CN220827456U - 移动机构、移动装置及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于硅片加工技术领域，公开了移动机构、移动装置及镀膜设备。该移动结构包括传动组件和纠偏组件，传动组件用于带动载板移动；纠偏组件设置于传动组件，纠偏组件用于对载板的位置进行纠偏。通过在传动组件上设置纠偏组件，在传动组件带动载板移动时，纠偏组件能够实时对载板进行纠偏，不仅避免载板出现位置偏移，还能有效降低载板的导向成本。

Description

移动机构、移动装置及镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及移动机构、移动装置及镀膜设备。

背景技术

太阳能作为清洁可再生能源，是全球新能源的发展方向，光伏发电作为太阳能的主要利用方式，近年来得到了飞速的发展；太阳能电池硅片是光伏发电必不可少的组成之一，在太阳能电池硅片的生产过程中经常会用到载板在各工序之间进行硅片的运送。

为了确保载板输送过程中的顺畅性，通常需要导向装置对载板提供一定的导向作用，避免载板出现偏移甚至卡滞，现有技术中常见的方式是将导向轮设置于腔体的内壁上，通过导向轮对载板提供导向作用，这种方式需要在腔体内壁上进行精加工，以确保多个导向轮的安装精度，加工成本较高。因此，亟需一种移动装置及镀膜设备以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种移动机构、移动装置及镀膜设备，能够避免载板在输送的过程中出现偏移甚至卡滞，确保载板移动的顺畅性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

移动机构，用于输送载板，移动机构包括传动组件和纠偏组件，传动组件用于带动载板移动；纠偏组件设置于传动组件，纠偏组件用于对载板的位置进行纠偏。

作为一种可选的技术方案，传动组件包括传动件和驱动件，传动件用于带动所述载板移动；驱动件用于驱动传动件。

作为一种可选的技术方案，纠偏组件包括第一安装件、第二安装件和纠偏件，第一安装件设置于传动件上；第二安装件与第一安装件连接；纠偏件可转动设置于第二安装件，纠偏件用于对载板的位置进行纠偏。

作为一种可选的技术方案，第一安装件包括第一连接部和第二连接部，第一连接部在第一方向上位置可调地设于驱动件；和/或，第二安装件在第二方向上位置可调地设于第二连接部；其中，第一方向与第二方向相互垂直。

作为一种可选的技术方案，传动件设置有多个第一安装部，第一连接部可选择至少一个第一安装部连接；和/或，第二连接部设置有多个第二安装部，第二安装件可选择至少一个第二安装部连接。

作为一种可选的技术方案，第一安装部和/或第二安装部包括安装孔、夹持组件、卡扣组件中的至少一种。

作为一种可选的技术方案，纠偏件采用能够弹性变形的材质制成。

本实用新型采用以下技术方案：

作为一种可选的技术方案，移动装置，用于输送待加工件，包括如上所述的移动机构以及载板，移动机构用于输送载板，载板用于承载待加工件。

作为一种可选的技术方案，载板的中部设置有加强件，加强件的两端分别连接于载板位于第二方向上的两侧。

本实用新型采用以下技术方案：

作为一种可选的技术方案，镀膜设备，包括腔体和如上所述的移动装置，移动装置设置于腔体，移动装置用于输送待加工件，移动装置的移动机构设置于腔体的侧壁，移动机构用于输送载板，载板用于承载待加工件。

作为一种可选的技术方案，移动机构包括多个传动组件，多个传动组件分别设置于载板的两侧，每侧的至少部分传动组件上设有纠偏组件。

作为一种可选的技术方案，镀膜设备还包括支撑组件，支撑组件设置于腔体内，用于支撑载板。

作为一种可选的技术方案，载板包括相对设置的第一表面和第二表面，第二表面面向支撑组件，加强件设置于第二表面的中部；支撑组件包括多个，多个支撑组件沿加强件的长度方向间隔设置，且支撑组件支撑于加强件的底部。

作为一种可选的技术方案，支撑组件包括第三安装件、第四安装件和支撑件，第三安装件包括相对设置的第三表面和第四表面，第三表面面向载板；第四安装件设于第三表面；支撑件可转动安装在第四安装件远离第三安装件的一端，支撑件用于支撑载板。

本实用新型的有益效果：

本实用新型公开一种移动机构，包括传动组件和纠偏组件，传动组件用于带动载板移动；纠偏组件设置于传动组件，纠偏组件用于对载板的位置进行纠偏。这种移动机构通过在传动组件上设置纠偏组件，在传动组件带动载板移动的过程中，不仅能够有效避免载板出现位置偏移，确保载板移动的顺畅性，进而保证产品的生产效率，还能够降低加工成本。

相对于现有技术，本实用新型所述的移动装置具有的优势与移动机构的优势相同，这里不再赘述。

相对于现有技术，本实用新型所述的镀膜设备具有的优势与移动机构的优势相同，这里不再赘述。

附图说明

图1是本实用新型实施例的移动机构、载板和支撑组件等结构在一个视角的装配图；

图2是图1中A的局部放大图；

图3是本实用新型实施例的移动装置、载板和支撑组件等结构在另一个视角的装配图；

图4是图3中B的局部放大图；

图5是本实用新型实施例的传动组件和纠偏组件连接的示意图；

图6是本实用新型实施例的传动组件和纠偏组件连接的爆炸图；

图7是本实用新型实施例纠偏组件的结构示意图；

图8是图1中C的局部放大图；

图9是本实用新型实施例的支撑组件的结构示意图。

图中：

1、移动机构；2、载板；201、加强件；202、导轨；203、第一表面；204、第二表面；

10、传动组件；11、传动件；12、驱动件；121、第一安装部；122、磁流体；

20、纠偏组件；21、第一安装件；211、第一连接部；2111、第一调节孔；212、第二连接部；2121、第二安装部；22、第二安装件；23、纠偏件；

30、支撑组件；31、第三安装件；311、连接孔；312、第三表面；313、第四表面；32、第四安装件；33、支撑件；34、减震组件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实施例提供一种移动机构1，用于在镀膜过程中输送载板2，避免载板2出现偏移，甚至出现卡滞，影响载板2的输送顺畅性，进而确保硅片的生产效率。

如图1至图4所示，本实施例提供的移动结构包括传动组件10和纠偏组件20，传动组件10用于带动载板2移动，纠偏组件20设置于传动组件10上，用于对载板2的进行纠偏。

本实施例提供的移动机构，通过在传动组件10上设置纠偏组件20，在传动组件10带动载板2移动的过程中，不仅能够有效避免载板2出现位置偏移，确保载板移动的顺畅性，进而保证产品的生产效率，还能够降低加工成本。

如图4所示，示例性地，传动组件10包括传动件11和驱动件12，驱动件12连接于外部动力源，传动件11和驱动件12传动连接，传动件11与载板2连接，用于驱动载板2移动。在本实施例中，驱动件12为磁流体122，传动件11为传动轮。磁流体122安装于镀膜设备的腔体的侧壁上，磁流体122位于腔体的外部的一端连接外部动力源，例如：驱动电机等。磁流体122的另一端设置有传动轴，传动轴的外周设置有传动轮，载板2的两端分别设有导轨202，导轨202内部开设有滑槽，传动轮位于滑槽中，磁流体122带动传动轮转动时，传动轮与载板2之间存在摩擦力，进而将磁流体的传动轴的旋转运动转换为载板2的直线运动，从而输送载板2。

具体地，采用磁流体122作为驱动件12能够确保镀膜设备内部的密封性，进而确保镀膜设备的真空度，进而提升载板2的加工效果。

请参考图5和图6，纠偏组件20包括第一安装件21、第二安装件22和纠偏件23，第一安装件21设置于传动件11上，第二安装件22和第一安装件21连接，纠偏件23转动设置于第二安装件22，纠偏件23用于对载板2进行纠偏。本实施例中，纠偏件23为纠偏轮。纠偏轮转动设置于第二安装件22，载板2在移动的过程中，纠偏轮与载板2接触，纠偏轮与载板2之间的摩擦力带动纠偏轮转动，使得纠偏轮与载板2之间为滚动摩擦，能够减少载板2和纠偏轮的磨损，进而确保纠偏轮和载板2的使用寿命，降低成本。

在一些实施例中，纠偏轮采用能够弹性变形的材质制成，能够避免纠偏轮与载板2之间出现硬接触，有利于缓解载板2的震动，避免载板2在输送过程中出现较大的震动导致硅片碎裂。本实施例中的纠偏轮采用聚氨酯材质制作，当然，在其他的一些实施例中，也可以采用橡胶等材质，在此不做赘述。

请参考图6和图7，第一安装件21包括第一连接部211和第二连接部212，第一连接部211在第一方向上位置可调地设置于驱动件12，能够使得设置于第二连接部212上的纠偏件23靠近或者远离载板2，用于调节纠偏件23与载板2之间的距离，在一定程度上提升纠偏组件20的通用性。第二安装件22在第二方向上位置可调地设于第二连接部212，能够调节设置于第二连接部212上的纠偏件23的位置，使得纠偏件23的位置较为合适，避免出现纠偏件23的卡滞。其中，第一方向与第二方向相互垂直，具体地，第一方向是驱动件12的轴向方向，第二方向为驱动件12的径向方向，同时，第二方向也是载板2的运行方向。

示例性地，传动件11上设有多个第一安装部121，第一连接部211可选择至少一个第一安装部121进行连接，第二连接部212设置有多个第二安装部2121，第二安装件22可选择至少一个第二安装部2121连接。这种设置能够便于将纠偏件23的位置进行调节，确保纠偏件23的纠偏效果，进而确保载板2的输送顺畅度，进而确保硅片的加工效率。

具体地，本实施例中，第一安装部121为第一安装孔，驱动件12上设置有多个第一安装孔，第二安装部2121为第二安装孔，第二连接部212上设置有多个第二安装孔，第一连接部211上设置有至少两个第一调节孔2111，通过第一螺栓与第一安装孔进行连接；第二连接部212上设置有至少两个第二调节孔，通过第二螺栓与第二安装孔进行连接，这种设置能够提升纠偏件23的调整精度。优选地，第一调节孔2111和第二调节孔均为腰型孔，通过调节第一螺栓位于第一调节孔2111的位置和调节第二螺栓位于第二调节孔中的位置还能够对纠偏件23的位置进行微调，进一步提升纠偏件23的纠偏效果。

在另一个实施例中，第一安装部121和第二安装部2121为夹持组件，用于分别夹持第一连接部211和第二安装件22，在此不做赘述。

在其他一个实施例中，第一安装部121和第二安装部2121为卡扣组件，第一安装部121用于将驱动件12和第一连接部211进行卡接，第二安装部2121用于将第二安装件22和第二连接部212进行卡接，在此不做赘述。

在其他的一些实施例中，第一安装部121和第二安装部2121也可以是安装孔、夹持组件和卡扣组件的其中两种或者三种的组合，在此不做赘述。

本实施例中还提供一种移动装置，用于输送待加工件，该移动装置包括载板2和上述的移动机构1，移动机构1用于输送载板2，载板2用于承载待加工件。本实施例中的待加工件为硅片，这种移动装置能够避免载板2出现偏移导致载板2输送受阻，确保载板2上硅片的生产效率。

如图1所示，在一些实施例中，载板2的中部设置有加强件201，加强件201的两端分别连接于载板2位于第二方向上的两侧。这种设置能够提升载板2本身的强度，避免载板2出现弯折变形，进而避免载板2在输送的过程中由于弯折出现载板2的位置偏移。

本实用新型还提供一种镀膜设备，该镀膜设备包括腔体和上述的移动装置，移动装置设置于腔体，移动装置用于输送待加工件。具体地，移动装置的移动机构1安装于腔体的侧壁中，移动机构1用于输送载板2，载板2用于承载待加工件，这种镀膜装置的移动机构1安装便捷，且能够对载板2进行纠偏，避免载板2在输送过程中出现偏移现象，进而确保载板2的输送效率，进一步确保硅片的加工效率。

如图1所示，在一些实施例中，移动机构1包括多个传动组件10，多个传动组件10分别设置于载板2的两侧，每侧的至少部分传动组件10上设有纠偏组件20。可选地，本实施例中，位于载板2两侧的传动组件10的数量相同，且对称设置，能够进一步确保载板2的支撑的稳定性，确保载板2在输送的过程中受力较为均匀；并且本实施例中的，每个传动组件10上均设置有纠偏组件20，用于防止载板2出现位移偏移。

在另一个实施例中，部分传动组件10上设置有纠偏组件20，优选地，纠偏组件20在设置时，应该在相对称的两个传动组件10上均设置有该纠偏组件20，能够提升纠偏效果，尽量避免出现两个距离最近的分别位于载板2两侧的纠偏轮的连线与载板2的输送方向呈夹角设置，能够确保纠偏效果，避免载板2两侧受到不同步的纠偏作用导致的位置偏移。

请参考图8和图9，镀膜设备还包括支撑组件30，支撑组件30设置于腔体，用于支撑载板2，支撑组件30支撑载板2，能够避免载板2出现弯曲变形，进而避免载板2与传动组件10出现卡滞，提升载板2的输送顺畅性，同时，能够避免载板2上的硅片由于载板2变形导致的碎片问题。

请参考图1，载板2包括相对设置的第一表面203和第二表面204，第二表面204面向支撑组件30，加强件201设置于第二表面204的中部，支撑组件30设置有多个，多个支撑组件30沿加强件201的长度方向间隔设置，且支撑组件30用于支撑加强件201。多个支撑组件30沿着加强件201的长度方向间隔设置，在载板2的输送过程中，支撑组件30能够始终对载板2具有较好的支撑效果，避免载板2出现弯曲变形，导致硅片碎裂。

在镀膜过程中，支撑件33支撑于载板2的加强件201上，载板2在传动组件10的带动下移动时，第三安装件31和第四安装件32能够确保支撑件33能够始终与载板2的加强件201接触，且支撑件33能够相对于载板2转动，能够使得载板2的移动顺畅，同时支撑件33支撑于载板2的下方，能够避免载板2出现变形，进而确保载板2上的硅片不会由于载板2的变形而受损。

在另一个实施例中，加强件201设置有多个，多个加强件201沿垂直于载板2移动方向等间隔设置于载板2的第二表面204。相应地，多组支撑组件30沿着垂直于载板2移动方向等间隔设置于腔体，多组支撑组件30一一对应地支撑于多个加强件201的底部，进一步提升载板2的强度，同时避免载板2出现弯曲变形。

请参考图9，在一些实施例中，支撑组件30包括第三安装件31、第四安装件32和支撑件33，第三安装件31包括相对设置的第三表面312和第四表面313，其中第三表面312面向载板2，第三安装件31开设有连接孔311，用于连接外部的支撑件33，使得支撑装置的位置固定，确保在支撑装置使用过程中的稳定性。第四安装件32设置于第三表面312。支撑件33可转动地安装在第二安装件22远离第一安装件21的一端，支撑件33用于支撑载板2。

请继续参考图9，在一些实施例中，支撑组件30还包括减震组件34，减震组件34设置于第四安装件32和第三安装件31之间，在载板2振动时，减震组件34能够发生弹性形变，进而对载板2的震动进行缓冲，既能够确保载板2的稳定性，又能够避免支撑件33的受损，提升支撑件33的使用寿命。举例而言，减震组件34可以为液压减震缓冲器，液压缓冲减震器设置于第四安装件32和第三安装件31之间，当载板2的震动较大时，载板2将震动传递至支撑件33，支撑件33将震动传递至第四安装件32，液压缓冲减震器能够将第四安装件32传递过来的震动进行吸收，避免载板2出现较大的震动，进而确保硅片的安全。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (15)

1.移动机构，用于输送载板(2)，其特征在于，所述移动机构(1)包括：

传动组件(10)，用于带动所述载板(2)移动；

纠偏组件(20)，设置于所述传动组件(10)，所述纠偏组件(20)用于对所述载板(2)的位置进行纠偏。

2.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述传动组件(10)包括：

传动件(11)，用于带动所述载板(2)移动；

驱动件(12)，用于驱动所述传动件(11)。

3.根据权利要求2所述的移动机构，其特征在于，所述纠偏组件(20)包括：

第一安装件(21)，设置于所述传动件(11)上；

第二安装件(22)，与所述第一安装件(21)连接；

纠偏件(23)，可转动设置于所述第二安装件(22)，所述纠偏件(23)用于对所述载板(2)的位置进行纠偏。

4.根据权利要求3所述的移动机构，其特征在于，所述第一安装件(21)包括第一连接部(211)和第二连接部(212)，所述第一连接部(211)在第一方向上位置可调地设于所述驱动件(12)；和/或，所述第二安装件(22)在第二方向上位置可调地设于所述第二连接部(212)；其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

5.根据权利要求4所述的移动机构，其特征在于，所述传动件(11)设置有多个第一安装部(121)，所述第一连接部(211)与至少一个所述第一安装部(121)连接；和/或，

所述第二连接部(212)设置有多个第二安装部(2121)，所述第二安装件(22)与至少一个所述第二安装部(2121)连接。

6.根据权利要求5所述的移动机构，其特征在于，所述第一安装部(121)和/或所述第二安装部(2121)分别包括安装孔、夹持组件、卡扣组件中的至少一种。

7.根据权利要求3所述的移动机构，其特征在于，所述纠偏件(23)采用能够弹性变形的材质制成。

8.根据权利要求7所述的移动机构，其特征在于，所述纠偏件(23)与所述载板(2)之间为滚动摩擦。

9.移动装置，用于输送待加工件，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的移动机构(1)以及载板(2)，所述移动机构(1)用于输送载板(2)，所述载板(2)用于承载所述待加工件。

10.根据权利要求9所述的移动装置，其特征在于，所述载板(2)的中部设置有加强件(201)，所述加强件(201)的两端分别连接于所述载板(2)位于第二方向上的两侧。

11.镀膜设备，其特征在于，包括腔体和如权利要求9-10任一项所述的移动装置，所述移动装置设置于所述腔体，所述移动装置用于输送待加工件，所述移动装置的所述移动机构(1)设置于所述腔体的侧壁，所述移动机构(1)用于输送载板(2)，所述载板(2)用于承载待加工件。

12.根据权利要求11所述的镀膜设备，其特征在于，所述移动机构(1)包括多个所述传动组件(10)，多个所述传动组件(10)分别设置于所述载板(2)的两侧，每侧的至少部分所述传动组件(10)上设有所述纠偏组件(20)。

13.根据权利要求11所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括支撑组件(30)，所述支撑组件(30)设置于所述腔体内，用于支撑所述载板(2)。

14.根据权利要求13所述的镀膜设备，其特征在于，所述载板(2)包括相对设置的第一表面(203)和第二表面(204)，所述第二表面(204)面向所述支撑组件(30)，加强件(201)设置于所述第二表面(204)的中部；所述支撑组件(30)设置有多个，多个所述支撑组件(30)沿所述加强件(201)的长度方向间隔设置，且所述支撑组件(30)支撑于所述加强件(201)的底部。

15.根据权利要求13所述的镀膜设备，其特征在于，所述支撑组件(30)包括：

第三安装件(31)，包括相对设置的第三表面(312)和第四表面(313)，所述第三表面(312)面向所述载板(2)；

第四安装件(32)，设于所述第三表面(312)；

支撑件(33)，可转动安装在所述第四安装件(32)远离所述第三安装件(31)的一端，所述支撑件(33)用于支撑所述载板(2)。