CN220821489U - 一种真空装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空装置，包括抽真空装置，抽真空装置安装在半导体刻蚀设备本体的抽气口处，且半导体刻蚀设备本体的内部开设真空反应腔室，所述抽真空装置由安装通道、抽吸内管、安装管、真空泵抽吸管和真空泵组成，且安装通道开设在半导体刻蚀设备本体内壁上，同时安装通道的内部固定的设置抽吸内管，并且抽吸内管端部与安装管进行固定，安装管远离抽吸内管的一端与安装法兰进行螺接固定。该真空装置，可避免真空泵停止工作之后，管道中的气体回流至真空反应腔室内部的情况发生，同时避免真空反应腔室内部存在其他杂质气体，不利于刻蚀晶圆工作的进行。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工领域，具体为一种真空装置。
背景技术
半导体设备主要应用于半导体制造和封测流程，是半导体行业的基础和核心，随着半导体制程的微缩和结构的复杂化，半导体刻蚀设备的种类和技术难度递增；
现有技术的半导体刻蚀设备中，工艺气体自进气喷嘴的进气孔进入腔室内部，在腔室内晶圆刻蚀过程中，由于气体进气方向、气体流场以及等离子体分布不均，导致晶圆存在刻蚀偏边现象，影响晶圆的均匀性；
为解决上述问题，经过检索，现有技术公开(申请号：CN202223076614.7)一种半导体刻蚀设备；文中提出“包括真空反应腔室(1)和进气喷嘴(2)，所述进气喷嘴(2)安装于所述真空反应腔室(1)，所述进气喷嘴(2)具有连通所述真空反应腔室(1)内部的进气孔(2a)，还包括封堵部件(3)，所述封堵部件(3)能够部分封堵所述进气孔(2a)，且所述封堵部件(3)的封堵位置可调；”
真空反应腔室(1)的形成方式为：真空腔的形成是通过抽取腔体内的气体,使其压力低于大气压,从而形成真空环境；
真空腔通常由一个密封的腔体和一个真空泵组成；真空泵通过抽取腔体内的气体,使其压力逐渐降低,直到达到所需的真空度；当真空反应腔室(1)内部形成所需的真空环境之时，真空泵关闭，与真空泵相连接的管道内部的气体会返流至真空反应腔室(1)的内部，使得真空反应腔室(1)内部存在其他杂质气体，不利于刻蚀晶圆工作的进行。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空装置，以解决上述背景技术中提到的缺陷。
为实现上述目的，提供一种真空装置，包括抽真空装置，抽真空装置安装在半导体刻蚀设备本体的抽气口处，且半导体刻蚀设备本体的内部开设真空反应腔室，所述抽真空装置由安装通道、抽吸内管、安装管、真空泵抽吸管和真空泵组成，且安装通道开设在半导体刻蚀设备本体内壁上，同时安装通道的内部固定的设置抽吸内管，并且抽吸内管端部与安装管进行固定，安装管远离抽吸内管的一端与安装法兰进行螺接固定，且安装法兰端部固定安装真空泵抽吸管；
安装管的内部安装单向流通组件，且单向流通组件上的密封座端部开设密封槽，且密封槽上密封连接阀芯，同时阀芯的两侧均固定设置连接杆，并且阀芯左端的连接杆端部与限位盘进行固定，连接杆上安装弹簧。
优选的，所述抽吸内管的外侧固定设置一层密封垫，且抽吸内管插接在安装通道的内部通过密封垫进行密封。
优选的，所述抽吸内管和安装管之间通过固定盘进行固定，且固定盘螺接覆盖在安装通道的右端，同时固定盘与安装通道之间通过密封圈进行密封。
优选的，所述安装法兰端部与安装管之间均匀通过多组螺栓进行固定，且安装法兰与安装管之间通过密封圈进行密封，同时真空泵抽吸管端部与外界真空泵的抽气端连接。
优选的，所述单向流通组件包括密封座、密封槽和阀芯，且密封槽通过阀芯进行密封，同时阀芯的剖面为“C”形设置，并且阀芯的内部开设异形开槽。
优选的，所述安装管的内部两侧分别安装第一孔盘、第二孔盘，且阀芯两侧的连接杆分别插接在第一孔盘、第二孔盘中部开设的导向孔中。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
真空泵进行抽吸工作，安装管内产生负压，使得阀芯自密封座上向右移动，使得密封槽裸露，在对真空反应腔室内部形成真空环境的时候，此时关闭真空泵，此时作用下阀芯上的吸力消失，处于压缩状态的弹簧进行复位反弹，使得阀芯即可复位并对密封座进行密封工作；
可避免真空泵停止工作之后，管道中的气体回流至真空反应腔室内部的情况发生，同时避免真空反应腔室内部存在其他杂质气体，不利于刻蚀晶圆工作的进行。
附图说明
图1为本实用新型结构正视示意图；
图2为本实用新型结构抽真空装置安装结构示意图；
图3为本实用新型结构单向流通组件结构示意图；
图4为本实用新型结构图2中抽真空时气体流向示意图。
图中标号：1、半导体刻蚀设备本体；2、真空反应腔室；3、抽真空装置；31、安装通道；32、抽吸内管；33、密封垫；34、固定盘；35、安装管；36、安装法兰；37、真空泵抽吸管；38、单向流通组件；381、限位盘；382、弹簧；383、连接杆；384、第一孔盘；385、密封座；386、密封槽；387、阀芯；388、第二孔盘；389、异形开槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种真空装置，包括抽真空装置3，抽真空装置3安装在半导体刻蚀设备本体1的抽气口处，且半导体刻蚀设备本体1的内部开设真空反应腔室2，抽真空装置3由安装通道31、抽吸内管32、安装管35、真空泵抽吸管37和真空泵组成，且安装通道31开设在半导体刻蚀设备本体1内壁上，同时安装通道31的内部固定的设置抽吸内管32，并且抽吸内管32端部与安装管35进行固定，安装管35远离抽吸内管32的一端与安装法兰36进行螺接固定，且安装法兰36端部固定安装真空泵抽吸管37；
安装管35的内部安装单向流通组件38，且单向流通组件38上的密封座385端部开设密封槽386，且密封槽386上密封连接阀芯387，同时阀芯387的两侧均固定设置连接杆383，并且阀芯387左端的连接杆383端部与限位盘381进行固定，连接杆383上安装弹簧382。
工作原理：在使用的时候，真空反应腔室2内部真空环境的营造方式为：
启动外界真空泵的开关，真空泵进行抽吸工作，安装管35内产生负压，使得阀芯387自密封座385上向右移动，使得密封槽386裸露，在对真空反应腔室2内部形成真空环境的时候，此时关闭真空泵，此时作用下阀芯387上的吸力消失，处于压缩状态的弹簧382进行复位反弹，使得阀芯387即可复位并对密封座385进行密封工作，可避免真空泵停止工作之后，管道中的气体回流至真空反应腔室2内部的情况发生，同时避免真空反应腔室2内部存在其他杂质气体，不利于刻蚀晶圆工作的进行。
作为一种较佳的实施方式，抽吸内管32的外侧固定设置一层密封垫33，且抽吸内管32插接在安装通道31的内部通过密封垫33进行密封。
如图2-4所示：抽吸内管32插接在安装通道31的内部，两者之间通过密封垫33进行密封工作；
固定盘34螺接覆盖在安装通道31端部通过密封圈进行密封，保证安装通道31、抽吸内管32在通气时候的气密性。
作为一种较佳的实施方式，抽吸内管32和安装管35之间通过固定盘34进行固定，且固定盘34螺接覆盖在安装通道31的右端，同时固定盘34与安装通道31之间通过密封圈进行密封。
如图2-4所示：固定盘34与安装通道31之间通过密封圈进行密封，通过将固定盘34上的螺丝进行拆卸下来，可将抽吸内管32自安装通道31的内部抽离，便于对抽吸内管32以及其上的安装组件件维修或者清洗。
作为一种较佳的实施方式，安装法兰36端部与安装管35之间均匀通过多组螺栓进行固定，且安装法兰36与安装管35之间通过密封圈进行密封，同时真空泵抽吸管37端部与外界真空泵的抽气端连接。
如图2-4所示：装法兰36端部与安装管35之间均匀通过多组螺栓进行固定，装法兰36与安装管35之间通过密封圈进行密封，保证安装管35、真空泵抽吸管37之间连接的气密封。
作为一种较佳的实施方式，单向流通组件38包括密封座385、密封槽386和阀芯387，且密封槽386通过阀芯387进行密封，同时阀芯387的剖面为“C”形设置，并且阀芯387的内部开设异形开槽389。
如图2-4所示：阀芯387的剖面为“C”形设置，阀芯387的内部开设异形开槽389，通过降低阀芯387的用料，来降低阀芯387的质量，使得阀芯387负压工作下，可更加容易的进行横向移动。
作为一种较佳的实施方式，安装管35的内部两侧分别安装第一孔盘384、第二孔盘388，且阀芯387两侧的连接杆383分别插接在第一孔盘384、第二孔盘388中部开设的导向孔中。
如图2-4所示：阀芯387在横向移动的时候，其两端的连接杆383分别插接在第一孔盘384、第二孔盘388中部开设的导向孔中，可对横向移动的阀芯387进行限位和导向，避免阀芯387在横向移动的时候发生倾斜。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种真空装置，包括抽真空装置(3)，抽真空装置(3)安装在半导体刻蚀设备本体(1)的抽气口处，且半导体刻蚀设备本体(1)的内部开设真空反应腔室(2)，其特征在于：所述抽真空装置(3)由安装通道(31)、抽吸内管(32)、安装管(35)、真空泵抽吸管(37)和真空泵组成，且安装通道(31)开设在半导体刻蚀设备本体(1)内壁上，同时安装通道(31)的内部固定的设置抽吸内管(32)，并且抽吸内管(32)端部与安装管(35)进行固定，安装管(35)远离抽吸内管(32)的一端与安装法兰(36)进行螺接固定，且安装法兰(36)端部固定安装真空泵抽吸管(37)；
安装管(35)的内部安装单向流通组件(38)，且单向流通组件(38)上的密封座(385)端部开设密封槽(386)，且密封槽(386)上密封连接阀芯(387)，同时阀芯(387)的两侧均固定设置连接杆(383)，并且阀芯(387)左端的连接杆(383)端部与限位盘(381)进行固定，连接杆(383)上安装弹簧(382)。
2.根据权利要求1所述的一种真空装置，其特征在于：所述抽吸内管(32)的外侧固定设置一层密封垫(33)，且抽吸内管(32)插接在安装通道(31)的内部通过密封垫(33)进行密封。
3.根据权利要求1所述的一种真空装置，其特征在于：所述抽吸内管(32)和安装管(35)之间通过固定盘(34)进行固定，且固定盘(34)螺接覆盖在安装通道(31)的右端，同时固定盘(34)与安装通道(31)之间通过密封圈进行密封。
4.根据权利要求1所述的一种真空装置，其特征在于：所述安装法兰(36)端部与安装管(35)之间均匀通过多组螺栓进行固定，且安装法兰(36)与安装管(35)之间通过密封圈进行密封，同时真空泵抽吸管(37)端部与外界真空泵的抽气端连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空装置，其特征在于：所述单向流通组件(38)包括密封座(385)、密封槽(386)和阀芯(387)，且密封槽(386)通过阀芯(387)进行密封，同时阀芯(387)的剖面为“C”形设置，并且阀芯(387)的内部开设异形开槽(389)。
6.根据权利要求1所述的一种真空装置，其特征在于：所述安装管(35)的内部两侧分别安装第一孔盘(384)、第二孔盘(388)，且阀芯(387)两侧的连接杆(383)分别插接在第一孔盘(384)、第二孔盘(388)中部开设的导向孔中。
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