CN219689848U - 一种高效控流管道 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种高效控流管道，包括主体，还包括安装在所述主体内的导向组件，所述导向组件包括安装在所述主体表面的壳体和安装在所述壳体一侧表面的电机以及设置在所述主体内侧的涡轮风扇，通过设置的导向条、导线螺纹、涡轮风扇和加压拨片的配合使用，在半导体尾气处理时，在管道转弯处增加导向条和导向螺纹，同时增加了涡轮风扇和加压拨片，对管道内的气体进行增压，并且通过气压计，对压力进行补偿，提高气体输送效率，并同时在对主体进行拼接时，将夹板塞进需要焊接的管道内壁，通过弹簧二的推力，使夹板上的防滑板抵在管道内壁，从而防止管道晃动，提高了管道焊接的稳定性。

Description

一种高效控流管道

技术领域

本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，具体涉及一种高效控流管道。

背景技术

在半导体产业中，化学气相沉积法是利用气态物质在固体表面进行化学反应而生成固态沉积物的工艺过程，该化学气相沉积技术是用于沉积多种材料的技术，其应用范围非常广，尤其，在大规模集成电路中的很多薄膜均使用化学气相沉积法制备；

经查公开(公告)号：CN209636314U公开了半导体制造装置的排气管道，此技术中公开了“半导体制造装置的排气管道，所述连接构件为环状构件，所述连接构件覆盖所述工艺腔室的废气排出口的端部和所述中心连接管的一端部之间的连接部分、以及所述中心连接管的另一端部和所述真空泵的吸入口的端部之间的连接部分等技术内容，并公开了该种半导体制造装置的排气管道，能够降低在真空泵和尾气处理装置的排气管道中堆积的粉末颗粒的堆积程度，从而能够降低附带设备(真空泵和尾气处理装置等)的故障率，并且能够延长预防性维护周期的效果等技术效果”；

虽然该设计能够降低在真空泵和尾气处理装置的排气管道中堆积的粉末颗粒的堆积程度，但是此设计在实际使用时，现有的管道在输送气体时，管道的转弯处容易损失风压，而且管道的转弯处导流效果较底，增加了输气的能耗。

为解决上述问题，本申请中提出一种高效控流管道。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种高效控流管道，可以对管道内的气体进行增压，通过气压计，检测损失的压力后，进行补偿，提高气体输送效率，并且能够在焊接时，将主体与其他管道之间临时拼接到一起，方便焊接。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效控流管道，包括主体，还包括安装在所述主体内的导向组件；

所述导向组件包括安装在所述主体表面的壳体和安装在所述壳体一侧表面的电机以及设置在所述主体内侧的涡轮风扇，所述电机的输出轴延伸至所述壳体内，并与转动连接在所述壳体内的加压拨片相连接，所述涡轮风扇的转架外侧转动连接有框架，所述框架表面对称安装有转轴，且所述转轴与所述主体内壁转动连接。

作为本实用新型一种高效控流管道优选的，其中一个所述转轴延伸至所述主体外部设置，且所述转轴外表面滑动连接有限位板，所述限位板靠近所述主体的一侧表面对称安装有限位杆，所述限位杆插接在所述主体表面开设的限位孔内。

作为本实用新型一种高效控流管道优选的，所述转轴外侧套设有弹簧一，所述弹簧一的一端与所述转轴相抵接，所述弹簧一的另一端抵接在所述限位板的一侧表面。

作为本实用新型一种高效控流管道优选的，所述主体内壁开设有导向螺纹，所述主体内壁安装有导向条，所述主体上表面安装有气压计。

作为本实用新型一种高效控流管道优选的，还包括安装在所述主体一端的固定组件，所述固定组件包括对称设置在所述主体一端的弧形结构的夹板和对称安装在所述主体一端的延伸杆以及安装在所述夹板表面的防滑板，所述延伸杆两侧表面均安装有导向杆，所述导向杆的一端滑动连接在所述夹板表面开设的导向孔内。

作为本实用新型一种高效控流管道优选的，所述导向杆表面套设有弹簧二，所述弹簧二的一端与所述延伸杆相抵接，所述弹簧二的另一端抵接在所述夹板的一侧表面。

作为本实用新型一种高效控流管道优选的，所述防滑板表面等间距安装有多个凸块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、在此基础上加入了导向组件，通过设置的导向条、导线螺纹、涡轮风扇和加压拨片的配合使用，在半导体尾气处理时，在管道转弯处增加导向条和导向螺纹，同时增加了涡轮风扇和加压拨片，对管道内的气体进行增压，并且通过气压计，检测损失的压力后，对压力进行补偿，提高气体输送效率；

2、与此同时，在此基础上还加入了固定组件，通过设置的夹板、防滑板、导向杆和弹簧二，在使用时，将夹板塞进需要焊接的管道内壁，通过弹簧二的推力，使夹板上的防滑板抵在管道内壁，从而防止管道晃动，提高了管道焊接的稳定性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中壳体和加压拨片的结构示意图；

图3为本实用新型中框架、涡轮风扇、转轴和限位板的结构示意图；

图4为本实用新型中转轴、限位板、限位杆和弹簧一的结构示意图；

图5为本实用新型中夹板、延伸杆和导向杆的结构示意图。

图中：

1、主体；

2、导向组件；201、壳体；202、电机；203、涡轮风扇；204、框架；205、转轴；206、限位板；207、限位杆；208、弹簧一；209、加压拨片；210、导向螺纹；211、导向条；212、气压计；

3、固定组件；301、夹板；302、延伸杆；303、防滑板；304、导向杆；305、弹簧二。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

如图1-5所示；

一种高效控流管道，包括主体1。

本实施方案中：经查公开(公告)号：CN209636314U公开了半导体制造装置的排气管道，此技术中公开了“半导体制造装置的排气管道，所述连接构件为环状构件，所述连接构件覆盖所述工艺腔室的废气排出口的端部和所述中心连接管的一端部之间的连接部分、以及所述中心连接管的另一端部和所述真空泵的吸入口的端部之间的连接部分等技术内容，并公开了该种半导体制造装置的排气管道，能够降低在真空泵和尾气处理装置的排气管道中堆积的粉末颗粒的堆积程度，从而能够降低附带设备(真空泵和尾气处理装置等)的故障率，并且能够延长预防性维护周期的效果等技术效果”；

虽然该设计能够降低在真空泵和尾气处理装置的排气管道中堆积的粉末颗粒的堆积程度，但是此设计在实际使用时，现有的管道在输送气体时，管道的转弯处容易损失风压，而且管道的转弯处导流效果较底，增加了输气的能耗等问题，结合实际使用而言，此问题显然是现实存在且比较难以解决的问题，鉴此，为解决此技术问题，在本申请文件上加入了导向组件2和固定组件3。

根据上述内容，为了能够对主体1内的气体进行增压，还包括安装在主体1内的导向组件2；导向组件2包括安装在主体1表面的壳体201和安装在壳体201一侧表面的电机202以及设置在主体1内侧的涡轮风扇203，电机202的输出轴延伸至壳体201内，并与转动连接在壳体201内的加压拨片209相连接，涡轮风扇203的转架外侧转动连接有框架204，框架204表面对称安装有转轴205，且转轴205与主体1内壁转动连接。

本实施方案中：当半导体尾气进入到主体1内时，先经过主体1一侧框架204，通过气流推动框架204内的涡轮风扇203转动，涡轮风扇203转动可以继续带动更多的气体向主体1的另一端推进，然后松开限位板206，通过转轴205上的弹簧一208推动限位板206上的限位杆207，使限位杆207能够插入到主体1表面开设的限位孔内，对主体1内失去的压力进行补偿，提高气体的输送效率。

在一个可选的实施例中：其中一个转轴205延伸至主体1外部设置，且转轴205外表面滑动连接有限位板206，限位板206靠近主体1的一侧表面对称安装有限位杆207，限位杆207插接在主体1表面开设的限位孔内。

本实施例中：并且能够根据气体的走向调节涡轮风扇203的方向，转动框架204上的转轴205，转轴205与主体1之间设有相匹配的密封垫，从而调节涡轮风扇203的方向，使涡轮风扇203与气体的流向相同。

在一个可选的实施例中：转轴205外侧套设有弹簧一208，弹簧一208的一端与转轴205相抵接，弹簧一208的另一端抵接在限位板206的一侧表面。

本实施例中：通过弹簧一208使限位板206上的限位杆207插入到主体1表面开设的限位孔内。

在一个可选的实施例中：主体1内壁开设有导向螺纹210，主体1内壁安装有导向条211，主体1上表面安装有气压计212。

本实施例中：通过主体1内壁设置的导向螺纹210和导向条211，能够对主体1转弯处的气体进行导流，可以对主体1内的气体进行增压，并且通过气压计212检测损失的压力后。

根据上述内容，为了能够在焊接时进行固定，还包括安装在主体1一端的固定组件3，固定组件3包括对称设置在主体1一端的弧形结构的夹板301和对称安装在主体1一端的延伸杆302以及安装在夹板301表面的防滑板303，延伸杆302两侧表面均安装有导向杆304，导向杆304的一端滑动连接在夹板301表面开设的导向孔内。

本实施方案中：将主体1上延伸杆302和夹板301塞进需要焊接的管道内壁，通过导向杆304外侧弹簧二305的推力，使夹板301上的防滑板303抵在管道内壁，从而防止管道晃动，提高了管道焊接的稳定性。

在一个可选的实施例中：导向杆304表面套设有弹簧二305，弹簧二305的一端与延伸杆302相抵接，弹簧二305的另一端抵接在夹板301的一侧表面。

本实施例中：通过弹簧二305能够使夹板301抵住需要焊接的管道内壁，增加夹板301与焊接管道之间的紧固效果。

在一个可选的实施例中：防滑板303表面等间距安装有多个凸块。

本实施例中：防止焊接管道与主体1之间晃动，提高主体1与焊接管道之间的稳定性。

本实用新型的工作原理及使用流程：当半导体尾气进入到主体1内时，先经过主体1一侧框架204，通过气流推动框架204内的涡轮风扇203转动，涡轮风扇203转动可以继续带动更多的气体向主体1的另一端推进，并且能够根据气体的走向调节涡轮风扇203的方向，转动框架204上的转轴205，转轴205与主体1之间设有相匹配的密封垫，从而调节涡轮风扇203的方向，使涡轮风扇203与气体的流向相同，然后松开限位板206，通过转轴205上的弹簧一208推动限位板206上的限位杆207，使限位杆207能够插入到主体1表面开设的限位孔内，并且通过主体1内壁设置的导向螺纹210和导向条211，能够对主体1转弯处的气体进行导流，可以对主体1内的气体进行增压，并且通过气压计212检测损失的压力后，通过壳体201上的电机202带动加压拨片209转动，对主体1内流失的压力进行补偿，提高气体的输送效率，然后将主体1上延伸杆302和夹板301塞进需要焊接的管道内壁，通过导向杆304外侧弹簧二305的推力，使夹板301上的防滑板303抵在管道内壁，从而防止管道晃动，提高了管道焊接的稳定性，通过弹簧二305能够使夹板301抵住需要焊接的管道内壁，增加夹板301与焊接管道之间的紧固效果通过防滑板303表面设置的凸块，防止焊接管道与主体1之间晃动，提高主体1与焊接管道之间的稳定性。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种高效控流管道，包括主体(1)，其特征在于：还包括安装在所述主体(1)内的导向组件(2)；

所述导向组件(2)包括安装在所述主体(1)表面的壳体(201)和安装在所述壳体(201)一侧表面的电机(202)以及设置在所述主体(1)内侧的涡轮风扇(203)，所述电机(202)的输出轴延伸至所述壳体(201)内，并与转动连接在所述壳体(201)内的加压拨片(209)相连接，所述涡轮风扇(203)的转架外侧转动连接有框架(204)，所述框架(204)表面对称安装有转轴(205)，且所述转轴(205)与所述主体(1)内壁转动连接。

2.根据权利要求1所述的高效控流管道，其特征在于：其中一个所述转轴(205)延伸至所述主体(1)外部设置，且所述转轴(205)外表面滑动连接有限位板(206)，所述限位板(206)靠近所述主体(1)的一侧表面对称安装有限位杆(207)，所述限位杆(207)插接在所述主体(1)表面开设的限位孔内。

3.根据权利要求2所述的高效控流管道，其特征在于：所述转轴(205)外侧套设有弹簧一(208)，所述弹簧一(208)的一端与所述转轴(205)相抵接，所述弹簧一(208)的另一端抵接在所述限位板(206)的一侧表面。

4.根据权利要求1所述的高效控流管道，其特征在于：所述主体(1)内壁开设有导向螺纹(210)，所述主体(1)内壁安装有导向条(211)，所述主体(1)上表面安装有气压计(212)。

5.根据权利要求1所述的高效控流管道，其特征在于：还包括安装在所述主体(1)一端的固定组件(3)，所述固定组件(3)包括对称设置在所述主体(1)一端的弧形结构的夹板(301)和对称安装在所述主体(1)一端的延伸杆(302)以及安装在所述夹板(301)表面的防滑板(303)，所述延伸杆(302)两侧表面均安装有导向杆(304)，所述导向杆(304)的一端滑动连接在所述夹板(301)表面开设的导向孔内。

6.根据权利要求5所述的高效控流管道，其特征在于：所述导向杆(304)表面套设有弹簧二(305)，所述弹簧二(305)的一端与所述延伸杆(302)相抵接，所述弹簧二(305)的另一端抵接在所述夹板(301)的一侧表面。

7.根据权利要求5所述的高效控流管道，其特征在于：所述防滑板(303)表面等间距安装有多个凸块。