CN220812665U - 一种摇摆机构及电镀辅助装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种摇摆机构及电镀辅助装置，涉及电镀设备技术领域。其包括旋转驱动组件及摇摆组件，旋转驱动组件的输出轴连接有第一传递件，第一传递件连接有与其同步运动的第二传递件；摇摆组件包括滑动板，滑动板设有用于第二传递件插设的导向槽，滑动板连接有摆动单元，旋转驱动组件用于驱动第二传递件沿导向槽的槽长方向往复运动并始终与导向槽的内侧壁抵接，以带动摆动单元做线性运动。通过将摆动单元设置在槽体内，滑动板带动摆动单元在槽体内以类正弦函数的变化趋势运动，在赶走槽体内溶液中气泡的同时使得安装于电镀挂具上的待镀件表面的电镀溶液形成紊流，从而提高搅拌效果，以提升电镀效率。

Description

一种摇摆机构及电镀辅助装置

技术领域

本申请涉及电镀设备技术领域，具体涉及一种摇摆机构及电镀辅助装置。

背景技术

电镀是指利用电解原理在基材上镀上金属，以改变待镀件表面性质或尺寸的工艺。

电镀被广泛应用与晶圆制造或封装工艺中，用于电子互连。目前在电镀工艺过程中，为了达到使电镀层的厚度均匀分布，并消除电镀溶液中的气泡等要求，大部分厂家会对电镀溶液进行搅拌；目前有的厂家会通过电机连接抖动杆，抖动杆与放置晶圆的挂具相连接，然后开启电机使挂具在电镀溶液内抖动，以实现对电镀溶液的搅拌。但是，在使用过程中发现上述设备在搅拌过程中无法实现抖动杆的抖动幅度的自动调节，即在搅动过程中一直保持同一搅拌强度，安装于挂具上的待镀件表面的电镀溶液流动只是缓慢的层流，搅拌效果较差，导致电镀效率较低。

因此，亟需一种可提高搅拌效果的摇摆机构及电镀辅助装置。

实用新型内容

本申请提供了一种摇摆机构，可以解决对电镀溶液搅拌效果差的问题。

为解决上述一个或多个技术问题，本申请采用的技术方案是：

第一方面，本申请提供了一种摇摆机构，包括：

旋转驱动组件，所述旋转驱动组件的输出轴连接有第一传递件，所述第一传递件连接有与其同步运动的第二传递件；

摇摆组件，所述摇摆组件包括滑动板，所述滑动板设有用于所述第二传递件插设的导向槽，所述滑动板连接有摆动单元，所述旋转驱动组件用于驱动所述第二传递件沿所述导向槽的槽长方向往复运动并始终与所述导向槽的内侧壁抵接，以带动所述摆动单元做线性运动。

进一步的，所述摇摆组件包括限位件，所述限位件用于引导所述摆动单元做线性运动。

进一步的，所述限位件包括具有限制孔的限位板，所述滑动板通过导杆与所述摆动单元相连，所述导杆适配穿设于所述限制孔，所述限制孔的轴向与所述摆动单元的线性方向一致；

和/或，

所述限位件包括导向机构，所述滑动板与所述导向机构滑动连接，所述滑动板的滑动方向与所述摆动单元的线性方向一致。

进一步的，所述第二传递件包括轴承，所述轴承的外圈侧与所述导向槽的内侧壁抵接。

进一步的，所述轴承的外圈直径与所述导向槽的槽宽相等。

第二方面，本申请提供了一种电镀辅助装置，包括如上所述的摇摆机构及朝向一侧开口的槽体，用于盛放电镀溶液；所述槽体内设有电镀挂具，用于放置待镀件，所述摆动单元设于所述槽体内。

进一步的，所述电镀挂具的一侧设有移料驱动件，所述移料驱动件设于所述槽体的一侧，用于带动所述电镀挂具进入或移出所述槽体。

进一步的，所述电镀挂具的两侧皆用于放置所述待镀件。

进一步的，所述电镀挂具放置有所述待镀件的一侧至少设有一组所述摆动单元。

进一步的，所述旋转驱动组件包括伺服电机。

根据本申请提供的具体实施例，本申请公开了以下技术效果：

通过旋转驱动组件带动第一传递件及第二传递件旋转，第二传递件在旋转的同时沿导向槽的槽长方向往复运动并始终与导向槽的内侧壁抵接，从而带动滑动板做线性运动，接着滑动板带动摆动单元做线性运动；

通过将摆动单元设置在槽体内，滑动板带动摆动单元在槽体内运动，赶走槽体中溶液内的气泡，同时滑动板的速度以类正弦函数的趋势变化，使得摆动单元的速度亦以类正弦函数的趋势发生变化，从而使得安装于电镀挂具上的待镀件表面的电镀溶液形成紊流，进而提高搅拌效果，以提升电镀效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的摇摆机构与电镀辅助装置连接的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的安装板与槽体连接的结构示意图。

附图标记：1、槽体；11、开口；12、排液管；13、导向管；14、限位件；141、限位板；142、限制孔；15、滑行孔；2、电镀挂具；3、安装板；31、加强筋；32、让位孔；4、摇摆机构；5、旋转驱动组件；51、伺服电机；52、减速机；53、第一传递件；54、第二传递件；6、摇摆组件；61、线性滑动组件；611、滑动板；612、导向槽；62、摆动单元；621、导杆。

具体实施方式

下面将对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

如背景技术所述，在电镀过程中，电机仅能驱动抖动杆保持均速抖动，即在搅动过程中保持同一搅拌强度，使得安装于挂具上的待镀件表面的电镀溶液流动只能是缓慢的层流，搅拌效果较差，导致电镀效率较低。

为解决现有技术中的上述一个或多个技术问题，本申请创造性的提出了一种摇摆机构，通过旋转驱动组件驱动第一传递件及第二传递件绕旋转驱动组件的输出轴线旋转，第二传递件沿导向槽的槽长方向往复运动并始终与导向槽的内侧壁抵接，以带动摆动单元做线性运动赶走溶液中的气泡，且摆动单元的速度以类正弦函数的趋势不断变化，使得待镀件的表面的电镀溶液流动发生紊乱，从而形成紊流，搅拌效果将会大幅提升，进而提高电镀效率。

下面结合附图具体描述本申请实施例的电镀辅助装置。

实施例1

参照图1及图2所示，摇摆机构4包括朝向一侧开口11的槽体1，用于盛放电镀溶液。具体地，槽体1的一侧连通有进液管(图未示)，用户可根据需要通过进液管向槽体1内通入相应的电镀溶液。槽体1的另一侧连通有排液管12，用于排出已使用的电镀溶液。

优选的，排液管12有两根，两个排液管12相连通有导向管13，导向管13的排出口朝向地面，从而提升排液效率。

参照图1所示，电镀摇臂机构包括电镀挂具2，设于槽体1内，用于安装待镀件(图未示)。

优选的，电镀挂具2的两侧皆用于放置待镀件。

进一步的，槽体1的一侧设有移料驱动件(图未示)，用于带动电镀挂具2进入或移出槽体1。

在本实施例中，移料驱动件为机械手。

具体地，电镀前，电镀挂具2位于槽体1具有开口11的一侧，用户可在电镀挂具2的两个安装侧上安装待镀件，然后开启移料驱动件以抓取电镀挂具2，移料驱动件继续移动以带动电镀挂具2从开口11进入槽体1，并使电镀溶液覆盖所有待镀件。电镀完成后，移料驱动件带动电镀挂具2从开口11移出槽体1内，便于用户取出完成电镀的零件。

参照图1及图2所示，电镀辅助装置还包括摇摆机构4，摇摆机构4包括旋转驱动组件5及摇摆组件6，槽体1的一侧设有用于安装旋转驱动组件5及摇摆组件6的安装板3，具体地，为提升连接强度，安装板3通过加强筋31与槽体1固定连接。

优选的，安装板3靠近的地面的一侧，沿槽体1的宽度方向设有两个加强筋31。

旋转驱动组件5设于两个加强筋31之间，旋转驱动组件5固定安装于安装板3靠近地面的一侧；安装板3贯穿开设有用于旋转驱动组件5的输出轴穿设的让位孔32，旋转驱动组件5伸出安装板3的一端连接有第一传递件53，第一传递件53远离安装板3的一侧连接有第二传递件54。

优选的，旋转驱动组件5包括伺服电机51、减速机52，减速机52固定安装于安装板3靠近地面的一侧，伺服电机51的驱动轴与减速机52相连接；伺服电机51本身可以精准控制其输出轴的转动角度，在加装减速机52之后，进一步提升了其转动角度的精度，从而扩大了旋转驱动组件5的输送轴速的调节范围。

参照图1及图2所示，摇摆组件6包括滑动板611，滑动板611设有用于第二传递件54插设的导向槽612，滑动板611连接有摆动单元62，旋转驱动组件5用于驱动第二传递件54沿导向槽612的槽长方向往复运动并始终与导向槽612的内侧壁抵接，以带动滑动板611及摆动单元62运动。

作为一种实施方式，将摆动单元62设于槽体1内，摆动单元62包括摆动板，摆动板的长度方向与槽体1的长度方向一致。

进一步的，摇摆组件包括限位件14，用于引导摆动单元62做线性运动。

具体地，限位件14包括具有限制孔142的限位板141，限位板141固定于槽体1靠近所述安装板3的一侧，滑动板611通过导杆621与摆动单元62相连，导杆621适配穿设于限制孔142，限制孔142的轴向与摆动单元62的线性方向一致，以提升摆动单元62运动过程中的稳定性并限制滑动板611沿限制孔142的轴向做线性运动。

其中，槽体1开设有用于导杆621穿设的滑动孔15。

优选的，限位件14还包括导向机构，滑动板611与导向机构滑动连接，滑动板611的滑动方向与摆动单元62的线性方向一致。

具体地，本实施例中的导向机构为线性滑动组件61，设于安装板3远离地面的一侧，滑动板611与线性滑动组件61的运动件固定连接。

需要说明的是，在本实施例中，线性滑动组件61为直线导轨滑块组件，则其运动件为滑块，线性滑动组件61的导向为导轨的长度方向。

优选的，滑动板611呈长方体状，导向槽612呈长条形，导向槽612的槽长方向与槽体1的长度方向相互垂直。

优选的，线性滑动组件61的导向与槽体1的长度方向一致。

优选的，第一传递件53呈圆盘状，第二传递件54为轴承，轴承的外圈侧与导向槽612的内侧壁抵接。

优选的，轴承的外圈直径与导向槽612的槽宽相等，可提高第二传递件54的动力传递效果。

具体地，电镀时，预先设置伺服电机51的转速，然后开启伺服电机51并通过减速机52调整以使旋转驱动组件5的输出轴转速达到要求，然后带动第一传递件53绕旋转驱动组件5的输出轴进行旋转，第二传递件54则在第一传递件53的带动下绕旋转驱动组件5的输出轴进行旋转，第二传递件54同时沿导向槽612的槽长方向往复运动以带动滑动板611沿线性滑动组件61的导向滑动，最后通过导杆621带动摆动板沿槽体1的长度方向往复移动。

需要说明的是，第二传递件54绕减速机52的输出轴线做圆周运动，由于受到导向槽612的限制，第二传递件54对滑动板611的力可以分为沿导向槽612槽长方向的平移力以及另一个线性方向的传动力，平移力驱动第二传递件54沿导向槽612的槽长方向往复运动，传动力则驱动滑动板611做线性运动；而滑动板611的滑动速度随着第二传递件54的转动先由小变大，再由大变小，整体上以类正弦函数的趋势变化；从而使搅拌板在一定范围内自动调节其运动速度。

实施例2

对应于上述实施例1，本申请还提供了一种电镀辅助装置，其中，本实施例中，与上述实施例一相同或类似的内容，可以参考上述介绍，后续不再赘述。

参照图1及图2所示，电镀挂具2放置有待镀件的一侧至少有一组摆动单元62，相应地，每组摆动单元62通过对应的导杆621与滑动板611相连接，槽体1上开设有相应数量的滑行孔15，导杆621从对应的滑行孔15内穿过。

优选的，参照图1及图2所示，线性滑动组件61有偶数个，所有线性滑动组件61分为两组并关于第一传递件53对称设置，所有线性滑动组件61的运动件皆与滑动板611相连接。

进一步的，摆动单元62有偶数个，所有摆动单元62分为两组关于电镀挂具2对称设置。

优选的，线性滑动组件61有两个，摆动单元62有两个，两个线性滑动组件61提高了滑动板611运动过程中的平衡性，两个摆动单元62则以较少的摆动单元62的数量，更大程度地提升了搅拌面积。

以上对本申请所提供的一种摇摆机构，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“垂直”、“平行”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

以上所述仅为本申请的较佳实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种摇摆机构，其特征在于，所述机构包括：

旋转驱动组件(5)，所述旋转驱动组件(5)的输出轴连接有第一传递件(53)，所述第一传递件(53)连接有与其同步运动的第二传递件(54)；

摇摆组件(6)，所述摇摆组件(6)包括滑动板(611)，所述滑动板(611)设有用于所述第二传递件(54)插设的导向槽(612)，所述滑动板(611)连接有摆动单元(62)，所述旋转驱动组件(5)用于驱动所述第二传递件(54)沿所述导向槽(612)的槽长方向往复运动并始终与所述导向槽(612)的内侧壁抵接，以带动所述摆动单元(62)做线性运动。

2.根据权利要求1所述的摇摆机构，其特征在于，所述摇摆组件包括限位件(14)，所述限位件(14)用于引导所述摆动单元(62)做线性运动。

3.根据权利要求2所述的摇摆机构，其特征在于，所述限位件(14)包括具有限制孔(142)的限位板(141)，所述滑动板(611)通过导杆(621)与所述摆动单元(62)相连，所述导杆(621)适配穿设于所述限制孔(142)，所述限制孔(142)的轴向与所述摆动单元(62)的线性方向一致；

和/或，

所述限位件(14)包括导向机构，所述滑动板(611)与所述导向机构滑动连接，所述滑动板(611)的滑动方向与所述摆动单元(62)的线性方向一致。

4.根据权利要求1所述的摇摆机构，其特征在于，所述第二传递件(54)包括轴承，所述轴承的外圈侧与所述导向槽(612)的内侧壁抵接。

5.根据权利要求4所述的摇摆机构，其特征在于，所述轴承的外圈直径与所述导向槽(612)的槽宽相等。

6.一种电镀辅助装置，包括权利要求1至5任一所述的摇摆机构，其特征在于，所述电镀辅助装置包括朝向一侧开口(11)的槽体(1)，用于盛放电镀溶液；所述槽体(1)内设有电镀挂具(2)，用于放置待镀件，所述摆动单元(62)设于所述槽体(1)内。

7.根据权利要求6所述的电镀辅助装置，其特征在于，所述电镀挂具(2)的一侧设有移料驱动件，所述移料驱动件设于所述槽体(1)的一侧，用于带动所述电镀挂具(2)进入或移出所述槽体(1)。

8.根据权利要求6所述的电镀辅助装置，其特征在于，所述电镀挂具(2)的两侧皆用于放置所述待镀件。

9.根据权利要求8所述的电镀辅助装置，其特征在于，所述电镀挂具(2)放置有所述待镀件的一侧至少设有一组所述摆动单元(62)。

10.根据权利要求6至9任一所述的电镀辅助装置，其特征在于，所述旋转驱动组件(5)包括伺服电机(51)。