CN220805916U - 氮化铝陶瓷基片自动化划线设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，设备主体开设有内腔，两个储料机构一者、上料机构和两个储料机构另一者依次设于内腔中，上料储料机构包括第一支架、抬升板、圆柱齿条和第一驱动电机，第一驱动电机设于第一支架上，圆柱齿条的一端与第一驱动电机的驱动端啮合配合，圆柱齿条的另一端与抬升板相连，第一支架的周缘均布设置有四个限位柱，且形成承载空间，第一对射传感器组设于两个第一支架一者上，第二对射传感器组设于两个第一支架另一者上。上述方案能够解决相关技术中人工上下料导致加工效率较低，工作人员在取出加工后的氮化铝陶瓷基板不可避免地呼吸到浮粉，上述过程不仅导致氮化铝陶瓷基板的加工效率低的问题。

Description

氮化铝陶瓷基片自动化划线设备

技术领域

本实用新型涉及氮化铝陶瓷基片技术领域，特别是涉及一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备。

背景技术

氮化铝具有优良的导热性（为氧化铝陶瓷的 5-10倍），较低的介电常数和清洗介质损耗，可靠的绝缘性能，优良的力学性能，无毒，耐高温，耐化学腐蚀，且与硅的热膨胀系数相近，广泛应用于通讯器件、高亮度LED、电力电子器件等行业，是理想的大规模集成电路散热基板和封装材料。

氮化铝陶瓷基板采用流延法进行加工时，通常先在陶瓷粉料中加入溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂等成分，球磨得到稳定、均一的陶瓷浆料，陶瓷浆料经过脱泡处理后在流延机上进行流延，干燥后形成一层生瓷片，生瓷片按照需要的尺寸进行划线、清洗、排胶、烧结、切割等工序，得到陶瓷薄片。

相关技术中，在氮化铝陶瓷基板的划线工艺过程中，工作人员先将氮化铝陶瓷基板固定于激光设备的工作台上，再通过激光设备形成激光束对氮化铝陶瓷基板进行划线，再等加工后的氮化铝陶瓷基板降温后，工作人员将其取出，同时，氮化铝陶瓷基板表面会被激光烧蚀形成凹槽，在激光烧蚀过程中氮化铝陶瓷基板会出现大量的浮粉，浮粉会四处漂浮，工作人员在取出加工后的氮化铝陶瓷基板不可避免地呼吸到浮粉，上述过程不仅导致氮化铝陶瓷基板的加工效率低，还影响工作人员的身体健康。

实用新型内容

基于此，提供一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，以解决相关技术中人工上下料导致加工效率较低，工作人员在取出加工后的氮化铝陶瓷基板不可避免地呼吸到浮粉，上述过程不仅导致氮化铝陶瓷基板的加工效率低，还影响工作人员的身体健康的问题。

一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，包括设备主体、第一对射传感器组、第二对射传感器组、储料机构和上料机构，所述设备主体开设有内腔，所述储料机构为两个，所述两个储料机构一者、所述上料机构和所述两个储料机构另一者依次间隔设于所述内腔中，所述上料储料机构包括第一支架、抬升板、圆柱齿条、对射传感器组和第一驱动电机，所述第一驱动电机设于所述第一支架上，所述第一支架沿重力方向开设有第一通孔，所述第一通孔中设置有线性轴承，所述圆柱齿条与所述线性轴承滑动配合，所述圆柱齿条的一端与所述第一驱动电机的驱动端啮合配合，所述圆柱齿条的另一端与所述抬升板相连，所述第一支架的周缘均布设置有四个限位柱，所述四个限位柱形成承载空间，所述第一对射传感器组设于所述两个第一支架一者上，在所述第一对射传感器组处于第一状态的情况下，所述两个储料机构一者承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，在所述两个储料机构一者中，所述第一驱动电机驱动所述圆柱齿条沿重力方向相反的方向移动预设距离，所述抬升板随所述圆柱齿条移动，所述多个叠置的氮化铝陶瓷基片随所述抬升板移动，所述上料机构抓取所述多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离所述抬升板的一者；在所述第二对射传感器组处于第二状态的情况下，在所述两个储料机构另一者中，所述第一驱动电机驱动所述圆柱齿条沿所述重力方向移动所述预设距离，所述抬升板随所述圆柱齿条移动，所述上料机构将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于所述抬升板上。

优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述设备主体包括壳体、工装夹具、工作台、激光组件、第一吹风机、第一驱动气缸和集尘筒，所述壳体开设有所述内腔，所述工作台和所述激光组件设于所述内腔中，所述工装夹具设于所述工作台上，所述激光组件与所述工装夹具沿重力方向相对，所述第一驱动气缸设于所述工作台上，所述第一吹风机与第一驱动气缸的驱动端相连，所述集尘筒设于所述内腔中，在所述第一驱动气缸处于第三状态的情况下，所述第一吹风机、所述工装夹具和所述集尘筒沿第一方向依次间隔设置，所述第一吹风机开启。

优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述工作台包括基座、第一支撑架、第一安装板、第一连接板和第一伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述工装夹具设于所述第一连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第一连接板上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合。

优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述工作台包括基座、第一支撑架、第二支撑架、第一安装板、第二安装板、第一连接板、第二连接板、第一伺服电机和第二伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合，所述第一伺服电机可驱动所述第一安装板沿第二方向移动；所述第二支架设于所述第一连接板上，所述第二连接板设于所述第二安装板上，所述工装夹具设于所述第二连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第二连接板上，所述第二支撑架邻近所述基座的一侧设置有第二导轨和第二齿条，所述第二安装板设置有第二滑块，所述第二安装板与所述第二支撑架通过所述第二滑块与所述第二导轨滑动配合，所述第二伺服电机设于所述第二安装板上，所述第二伺服电机的驱动端与所述第二齿条啮合配合，所述第二伺服电机可驱动所述第二安装板沿所述第一方向移动，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述上料机构包括第二支架、第二驱动电机、第二驱动气缸、第三驱动气缸和抓取气爪，所述第二驱动电机设于第二支架上，所述第二驱动电机的驱动端与所述第二驱动气缸相连，所述第二驱动电机可驱动所述第二驱动气缸转动，所述第三驱动气缸与所述第二驱动气缸的伸缩端相连，所述抓取手爪与所述第三驱动气缸的伸缩端相连。

优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，还包括储尘仓，所述储尘仓的开口伸入所述内腔与所述集尘筒相连、且连通。

优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，所述储尘仓中设置有吸尘器。

优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，激光组件包括连接轴、补光灯、激光发射器和第二吹风机，所述连接轴设于所述内腔中，所述连接轴上设置有连接板，所述补光灯、所述激光发射器和所述第二吹风机均设于所述连接板上。

优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，还包括连接护罩件和接近传感器，所述连接护罩件设置于所述工装夹具上，所述接近传感器设于所述连接护罩件上，在所述接近传感器检测所述上料机构将所述氮化铝陶瓷基片放置于所述工装夹具上的情况下，所述激光发射器和所述补光灯均开启。

本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

在本申请公开的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备中，具体地，设备主体开设有内腔，储料机构为两个，两个储料机构一者、上料机构和两个储料机构另一者依次间隔设于内腔中，上料储料机构包括第一支架、抬升板、圆柱齿条、对射传感器组和第一驱动电机，第一驱动电机设于第一支架上，第一支架沿重力方向开设有第一通孔，第一通孔中设置有线性轴承，圆柱齿条与线性轴承滑动配合，圆柱齿条的一端与第一驱动电机的驱动端啮合配合，圆柱齿条的另一端与抬升板相连，第一支架的周缘均布设置有四个限位柱，四个限位柱形成承载空间，第一对射传感器组设于两个第一支架一者上，第二对射传感器组设于两个第一支架另一者上，在第一对射传感器组处于第一状态（即第一对射传感器检测不到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者）的情况下，两个储料机构一者承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，在两个储料机构一者中，第一驱动电机驱动圆柱齿条沿重力方向相反的方向移动预设距离，抬升板随圆柱齿条移动，多个叠置的氮化铝陶瓷基片随抬升板移动，上料机构抓取多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离抬升板的一者；在第二对射传感器组处于第二状态（即第二对射传感器检测到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者）的情况下，在两个储料机构另一者中，第一驱动电机驱动圆柱齿条沿重力方向移动预设距离，抬升板随圆柱齿条移动，上料机构将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于抬升板上。

在氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的使用过程中，两个储料机构一者的承载空间中承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，多个叠置的氮化铝陶瓷基片处于待加工状态，由于第一对射传感器组设于两个第一支架一者上，当第一对射传感器组检测不到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者，即多个叠置的氮化铝陶瓷基片中一者被上料机构抓取并放置至设备主体上，则在两个储料机构一者中，第一驱动电机驱动圆柱齿条沿重力方向相反的方向移动预设距离（即预设距离为氮化铝陶瓷基片的厚度），抬升板随圆柱齿条移动，多个叠置的氮化铝陶瓷基片随抬升板移动，以使第一对射传感器组能够检测到多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者，然后上料机构能够再次抓取多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离抬升板的一者；第二对射传感器组检测到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板的一者（多个叠置的氮化铝陶瓷基片处于已加工状态），第一驱动电机驱动圆柱齿条沿重力方向移动预设距离，抬升板随圆柱齿条移动，上料机构将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于抬升板上。可见，上述结构实现氮化铝陶瓷基板加工的自动化设计，从而避免工作人员需要每加工一个氮化铝陶瓷基片就要停机来上下料，从而提高加工效率。

附图说明

图1为本申请实施例公开的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的结构示意图;

图2为本申请实施例公开的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的正视图;

图3为图2在第一种角度下的剖视图；

图4为图2在第二种角度下的剖视图；

图5为图2在第三种角度下的剖视图；

图6为图2在第四种角度下的剖视图。

其中：壳体100、工装夹具200、激光组件400、连接轴410、补光灯420、激光发射器430、第二吹风机440、工作台300、基座310、第一支撑架320、第一安装板330、第一连接板340、第一伺服电机350、第二连接板360、第二伺服电机370、第二支撑架390、第二安装板380、激光组件400、第一吹风机510、第一驱动气缸520、集尘筒530、储料机构600、第一支架610、抬升板620、圆柱齿条630、第一驱动电机640、限位柱650、上料机构700、第二支架710、第二驱动电机720、第二驱动气缸730、第三驱动气缸740、抓取气爪750、储尘仓800、第一对射传感器组910、第二对射传感器组920、内腔A。

实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“底端”、“顶端”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参考图1至图6，本申请公开一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，包括设备主体、第一对射传感器组910、第二对射传感器组920、储料机构600和上料机构700。

具体地，设备主体开设有内腔A，储料机构600为两个，两个储料机构600一者、上料机构700和两个储料机构600另一者依次间隔设于内腔A中，上料储料机构600包括第一支架610、抬升板620、圆柱齿条630、对射传感器组和第一驱动电机640，第一驱动电机640设于第一支架610上，第一支架610沿重力方向开设有第一通孔，第一通孔中设置有线性轴承，圆柱齿条630与线性轴承滑动配合，圆柱齿条630的一端与第一驱动电机640的驱动端啮合配合，圆柱齿条630的另一端与抬升板620相连，第一支架610的周缘均布设置有四个限位柱650，四个限位柱650形成承载空间，第一对射传感器组910设于两个第一支架610一者上，第二对射传感器组920设于两个第一支架610另一者上，在第一对射传感器组910处于第一状态（即第一对射传感器检测不到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板620的一者）的情况下，两个储料机构600一者承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，在两个储料机构600一者中，第一驱动电机640驱动圆柱齿条630沿重力方向相反的方向移动预设距离，抬升板620随圆柱齿条630移动，多个叠置的氮化铝陶瓷基片随抬升板620移动，上料机构700抓取多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离抬升板620的一者；在第二对射传感器组920处于第二状态（即第二对射传感器检测到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板620的一者）的情况下，在两个储料机构600另一者中，第一驱动电机640驱动圆柱齿条630沿重力方向移动预设距离，抬升板620随圆柱齿条630移动，上料机构700将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于抬升板620上。

在氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的使用过程中，两个储料机构600一者的承载空间中承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，多个叠置的氮化铝陶瓷基片处于待加工状态，由于第一对射传感器组910设于两个第一支架610一者上，当第一对射传感器组910检测不到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板620的一者，即多个叠置的氮化铝陶瓷基片中一者被上料机构700抓取并放置至设备主体上，则在两个储料机构600一者中，第一驱动电机640驱动圆柱齿条630沿重力方向相反的方向移动预设距离（即预设距离为氮化铝陶瓷基片的厚度），抬升板620随圆柱齿条630移动，多个叠置的氮化铝陶瓷基片随抬升板620移动，以使第一对射传感器组910能够检测到多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板620的一者，然后上料机构700能够再次抓取多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离抬升板620的一者；第二对射传感器组920检测到承载空间中的多个叠置的氮化铝陶瓷基片远离抬升板620的一者（多个叠置的氮化铝陶瓷基片处于已加工状态），第一驱动电机640驱动圆柱齿条630沿重力方向移动预设距离，抬升板620随圆柱齿条630移动，上料机构700将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于抬升板620上。可见，上述结构实现氮化铝陶瓷基板加工的自动化设计，从而避免工作人员需要每加工一个氮化铝陶瓷基片就要停机来上下料，从而提高加工效率。

在本申请实施例中，设备主体可以包括壳体100、工装夹具200、工作台300、激光组件400、第一吹风机510、第一驱动气缸520和集尘筒530，其中，壳体100能够为工作台300、激光组件400和集尘筒530提供安装基础。

具体地，壳体100开设有内腔A，工作台300和激光组件400设于内腔A中，工装夹具200设于工作台300上，激光组件400与工装夹具200沿重力方向相对，第一驱动气缸520设于工作台300上，第一吹风机510与第一驱动气缸520的驱动端相连，集尘筒530设于内腔A中，在第一驱动气缸520处于第三状态（缩回状态）的情况下，第一吹风机510、工装夹具200和集尘筒530沿第一方向依次间隔设置，第一吹风机510开启。

在氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的使用过程中，氮化铝陶瓷基片放置于工装夹具200上，激光组件400对氮化铝陶瓷基片进行激光划线，第一驱动气缸520驱动第一吹风机510移动至第一位置（即第一驱动气缸520处于缩回状态），第一吹风机510、工装夹具200和集尘筒530沿第一方向依次间隔设置，第一吹风机510开启，第一吹风机510对工装夹具200及氮化铝陶瓷基片进行吹扫，激光组件400射出激光对氮化铝陶瓷基板烧蚀出现的浮粉会被吹扫至集尘筒530中，从而避免浮粉散落至各处和附着至激光组件400上，从而保证划线效果，同时，第一吹风机510吹扫的风能够对氮化铝陶瓷基板进行降温。

另外，集尘筒530相背的两侧还可以设置有导向板531，导向板531朝向第一吹风机510的出风口，以使浮粉被风力吹动至导向板531上，在沿导向方向移动至

在一种可选的方案中，工作台300可以包括基座310、第一支撑架320、第一安装板330、第一连接板340和第一伺服电机350，具体地，基座310设于内腔A中，第一支撑架320设于基座310上，工装夹具200设于第一连接板340上，第一连接板340设于第一安装板330上，第一驱动气缸520设于第一连接板340上，第一支撑架320邻近基座310的一侧设置有第一导轨和第一齿条，第一安装板330设置有第一滑块，第一安装板330与第一支撑架320通过第一滑块与第一导轨滑动配合，第一伺服电机350设于第一安装板330上，第一伺服电机350的驱动端与第一齿条啮合配合。

在氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的使用过程中，第一伺服电机350驱动第一安装板330移动，第一连接板340随第一安装板330移动，第一吹风机510、工装夹具200及氮化铝陶瓷基片随第一连接板340移动，从而便于激光组件400射出激光对氮化铝陶瓷基板烧蚀划线，同时，第一吹风机510对工装夹具200及氮化铝陶瓷基片进行吹扫，第一吹风机510对工装夹具200及氮化铝陶瓷基片进行吹扫。

在另一种可选的方案中，工作台300可以包括基座310、第一支撑架320、第二支撑架390、第一安装板330、第二安装板380、第一连接板340、第二连接板360、第一伺服电机350和第二伺服电机370，具体地，基座310设于内腔A中，第一支撑架320设于基座310上，第一连接板340设于第一安装板330上，第一支撑架320邻近基座310的一侧设置有第一导轨和第一齿条，第一安装板330设置有第一滑块，第一安装板330与第一支撑架320通过第一滑块与第一导轨滑动配合，第一伺服电机350设于第一安装板330上，第一伺服电机350的驱动端与第一齿条啮合配合，第一伺服电机350可驱动第一安装板330沿第二方向移动；第二支架710设于第一连接板340板上，第二连接板360设于第二安装板380上，工装夹具200设于第二连接板360上，第二支撑架390邻近基座310的一侧设置有第二导轨和第二齿条，第二安装板380设置有第二滑块，第二安装板380与第二支撑架390通过第二滑块与第二导轨滑动配合，第二伺服电机370设于第二安装板380上，第二伺服电机370的驱动端与第二齿条啮合配合，第二伺服电机370可驱动第二安装板380沿第一方向移动，其中，第一方向与第二方向相交。

在氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的使用过程中，第一伺服电机350驱动第一安装板330沿第二方向移动，第一连接板340及第二支撑架390随第一安装板330沿第二方向移动，当然，第二伺服电机370驱动第二安装板380沿第一方向移动，第二连接板360随第二安装板380沿第二方向移动，第一吹风机510、工装夹具200及氮化铝陶瓷基片随第二连接板360移动沿第二方向移动，从而便于激光组件400射出激光对氮化铝陶瓷基板可进行两个方向的自由度的烧蚀划线，同时，第一吹风机510对工装夹具200及氮化铝陶瓷基片进行吹扫，第一吹风机510对工装夹具200及氮化铝陶瓷基片进行吹扫。

在本申请实施例中，上料机构700可以包括第二支架710、第二驱动电机720、第二驱动气缸730、第三驱动气缸740和抓取气爪750，具体地，第二驱动电机720设于第二支架710上，第二驱动电机720的驱动端与第二驱动气缸730相连，第二驱动电机720可驱动第二驱动气缸730转动，第三驱动气缸740与第二驱动气缸730的伸缩端相连，抓取气爪750与第三驱动气缸740的伸缩端相连。上述结构中，抓取气爪750具有一个旋转自由度和两个移动自由度，从而有利于更好地抓取氮化铝陶瓷基片并放置于工装夹具200上。

在本申请实施例中，所公开的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备还可以包括储尘仓800，具体地，储尘仓800的开口伸入内腔A与集尘筒530相连、且连通，储尘仓800有利于浮粉的集中收集。

在进一步的技术方案中，储尘仓800中可以设置有吸尘器，吸尘器通过风力吸取浮粉来避免其扩散出去，从而保证浮粉的收集效果。

在本申请实施例中，激光组件400可以包括连接轴410、补光灯420、激光发射器430和第二吹风机440，具体地，连接轴410可以设于内腔A中，连接轴410可以上设置有连接板，补光灯420、激光发射器430和第二吹风机440均可以设于连接板上。

在本申请实施例中，所公开的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备还可以包括连接护罩件930和接近传感器940，具体地，所述连接护罩件930设置于所述工装夹具200上，所述接近传感器940设于所述连接护罩件930上，接近传感器940用于检测上料机构700是否将氮化铝陶瓷基片放置于工装夹具200上，在接近传感器940检测上料机构700将氮化铝陶瓷基片放置于工装夹具200上的情况下，激光发射器430和补光灯420均开启，从而实现氮化铝陶瓷基片自动化划线设备的自动化加工设计。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.一种氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，包括设备主体、第一对射传感器组、第二对射传感器组、储料机构和上料机构，所述设备主体开设有内腔，所述储料机构为两个，所述两个储料机构一者、所述上料机构和所述两个储料机构另一者依次间隔设于所述内腔中，所述储料机构包括第一支架、抬升板、圆柱齿条和第一驱动电机，所述第一驱动电机设于所述第一支架上，所述第一支架沿重力方向开设有第一通孔，所述第一通孔中设置有线性轴承，所述圆柱齿条与所述线性轴承滑动配合，所述圆柱齿条的一端与所述第一驱动电机的驱动端啮合配合，所述圆柱齿条的另一端与所述抬升板相连，所述第一支架的周缘均布设置有四个限位柱，所述四个限位柱形成承载空间，所述第一对射传感器组设于所述两个第一支架一者上，所述第二对射传感器组设于所述两个第一支架另一者上，在所述第一对射传感器组处于第一状态的情况下，所述两个储料机构一者承载有多个叠置的氮化铝陶瓷基片，在所述两个储料机构一者中，所述第一驱动电机驱动所述圆柱齿条沿重力方向相反的方向移动预设距离，所述抬升板随所述圆柱齿条移动，所述多个叠置的氮化铝陶瓷基片随所述抬升板移动，所述上料机构抓取所述多个叠置的氮化铝陶瓷基片中远离所述抬升板的一者；在所述第二对射传感器组处于第二状态的情况下，在所述两个储料机构另一者中，所述第一驱动电机驱动所述圆柱齿条沿所述重力方向移动所述预设距离，所述抬升板随所述圆柱齿条移动，所述上料机构将加工后的氮化铝陶瓷基片放置于所述抬升板上。

2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，所述设备主体包括壳体、工装夹具、工作台、激光组件、第一吹风机、第一驱动气缸和集尘筒，所述壳体开设有所述内腔，所述工作台和所述激光组件设于所述内腔中，所述工装夹具设于所述工作台上，所述激光组件与所述工装夹具沿重力方向相对，所述第一驱动气缸设于所述工作台上，所述第一吹风机与第一驱动气缸的驱动端相连，所述集尘筒设于所述内腔中，在所述第一驱动气缸处于第三状态的情况下，所述第一吹风机、所述工装夹具和所述集尘筒沿第一方向依次间隔设置，所述第一吹风机开启。

3.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，所述工作台包括基座、第一支撑架、第一安装板、第一连接板和第一伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述工装夹具设于所述第一连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第一连接板上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合。

4.根据权利要求3所述的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，所述工作台包括基座、第一支撑架、第二支撑架、第一安装板、第二安装板、第一连接板、第二连接板、第一伺服电机和第二伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合，所述第一伺服电机可驱动所述第一安装板沿第二方向移动；所述第二支撑架设于所述第一连接板上，所述第二连接板设于所述第二安装板上，所述工装夹具设于所述第二连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第二连接板上，所述第二支撑架邻近所述基座的一侧设置有第二导轨和第二齿条，所述第二安装板设置有第二滑块，所述第二安装板与所述第二支撑架通过所述第二滑块与所述第二导轨滑动配合，所述第二伺服电机设于所述第二安装板上，所述第二伺服电机的驱动端与所述第二齿条啮合配合，所述第二伺服电机可驱动所述第二安装板沿所述第一方向移动，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

5.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，所述上料机构包括第二支架、第二驱动电机、第二驱动气缸、第三驱动气缸和抓取气爪，所述第二驱动电机设于第二支架上，所述第二驱动电机的驱动端与所述第二驱动气缸相连，所述第二驱动电机可驱动所述第二驱动气缸转动，所述第三驱动气缸与所述第二驱动气缸的伸缩端相连，抓取气爪与所述第三驱动气缸的伸缩端相连。

6.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，还包括储尘仓，所述储尘仓的开口伸入所述内腔与所述集尘筒相连、且连通。

7.根据权利要求6所述的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，所述储尘仓中设置有吸尘器。

8.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，激光组件包括连接轴、补光灯、激光发射器和第二吹风机，所述连接轴设于所述内腔中，所述连接轴上设置有连接板，所述补光灯、所述激光发射器和所述第二吹风机均设于所述连接板上。

9.根据权利要求8所述的氮化铝陶瓷基片自动化划线设备，其特征在于，还包括连接护罩件和接近传感器，所述连接护罩件设置于所述工装夹具上，所述接近传感器设于所述连接护罩件上，在所述接近传感器检测所述上料机构将所述氮化铝陶瓷基片放置于所述工装夹具上的情况下，所述激光发射器和所述补光灯均开启。