CN220788751U - 一种真空镀膜设备的样品位置调整机构 - Google Patents

Abstract

一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，所属真空镀膜样品位置调整技术领域，包括密封板和外接固定板，其特征在于，外接固定板的上下两端均固定安装有定位板，两个定位板之间转动安装有丝杠，丝杠的外表面套接安装有丝杠滑台，上端定位板的上表面固定安装有丝杠电机，丝杠电机的输出端与丝杠的顶端固定连接，丝杠滑台的左端贯穿转动安装有支撑杆，支撑杆贯穿密封板的中心位置，支撑杆与密封板固定连接，且支撑杆的顶端固定安装有镀膜架，下端定位板的下表面固定安装有减速电机，减速电机的输出端与支撑杆的底端固定连接，本实用新型在不影响镀膜架与取样机械爪配合使用的前提下，能够使镀膜架与真空镀膜设备之间装卸更加方便快捷，提高工作效率。

Description

一种真空镀膜设备的样品位置调整机构

技术领域

本实用新型属于真空镀膜样品位置调整技术领域，具体涉及一种真空镀膜设备的样品位置调整机构。

背景技术

真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中开发时间最早，应用领域最广的一种薄膜沉积方法，近年来随着长寿命电阻蒸发源、电子束蒸发源、激光束蒸发源等在真空蒸发镀膜技术中的应用，使这一技术的发展更趋完善，目前仍然在真空镀膜技术中占有相当重要的地位。

镀膜过程中，需要利用将待镀膜样品装载在镀膜室内的镀膜架上，关闭镀膜室门抽真空镀膜，镀膜结束后再将镀膜架上的已镀膜样品卸载。

传统的镀膜架是通过手动安装的方式放置到真空镀膜设备的腔体内的，在对样品换料时，存在装载效率较低，影响工作效率，很不方便，因此，特提供一种真空镀膜设备的样品位置调整机构来解决上述技术。

实用新型内容

针对现有技术中的真空镀膜设备的镀膜架，是通过手动安装的方式放置到真空镀膜设备的腔体内的，在对样品换料时，存在装载效率较低，影响工作效率，很不方便的问题，本实用新型提供一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，可以通过丝杠电机带动丝杠转动，驱使丝杠滑台沿丝杠外表面上下移动，从而带动支撑杆和镀膜架上下移动进出真空镀膜设备，使镀膜架与真空镀膜设备之间装卸更加方便快捷，提高工作效率，有效解决了现有技术中的镀膜架装载效率较低，影响工作效率的问题。其具体技术方案如下：

一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，包括密封板和外接固定板，其特征在于，所述外接固定板的上下两端均固定安装有定位板，两个定位板之间转动安装有丝杠，所述丝杠的外表面套接安装有丝杠滑台，上端所述定位板的上表面固定安装有丝杠电机，所述丝杠电机的输出端与丝杠的顶端固定连接，所述丝杠滑台的左端贯穿转动安装有支撑杆，所述支撑杆贯穿密封板的中心位置，所述支撑杆与密封板固定连接，且支撑杆的顶端固定安装有镀膜架，下端所述定位板的下表面固定安装有减速电机，所述减速电机的输出端与支撑杆的底端固定连接。

上述技术方案中，所述镀膜架包括底板，所述底板的上表面四角处贯穿安装有定位螺杆，所述定位螺杆的下端均螺接安装有螺母，所述螺母的上表面与底板的下表面贴合，所述定位螺杆的外表面均套接安装有多根套管，前后两个所述定位螺杆之间均套接安装有多个支撑件，所述支撑件位于上下两个相对应的套管之间。

上述技术方案中，左右两个相对应的支撑件处于同一水平位置。

上述技术方案中，四个所述定位螺杆之间套接安装有多个隔板，所述隔板位于对应的两个所述支撑件之间。

上述技术方案中，四个所述定位螺杆的顶端套接安装有模板，所述模板的上表面贯穿开设有通口，所述通口的开口形状根据镀膜的形状定制。

上述技术方案中，所述丝杠滑台的后表面开设有两个U型槽，所述外接固定板的左表面固定安装有两个定位轨，所述U型槽滑动设置在定位轨的外表面。

本实用新型的一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，与现有技术相比，有益效果为：

本实用新型不仅可以通过丝杠电机带动丝杠转动，驱使丝杠滑台沿丝杠外表面上下移动，从而带动支撑杆和镀膜架上下移动进出真空镀膜设备，还可以利用减速电机带动支撑杆转动调节镀膜载架的取样角度，在不影响镀膜架与取样机械爪配合使用的前提下，能够使镀膜架与真空镀膜设备之间装卸更加方便快捷，提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图。

图2为图1中a处局部结构放大图。

图3为本实用新型的爆炸结构示意图。

图1-3中，其中：1-密封板，2-外接固定板，21-定位轨，3-定位板，4-丝杠，41-丝杠滑台，411-U型槽，5-丝杠电机，6-支撑杆，7-减速电机，8-镀膜架，81-底板，82-定位螺杆，83-套管，84-支撑件，85-隔板，86-模板，861-通口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：

一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，包括密封板1和外接固定板2，其特征在于，外接固定板2的上下两端均固定安装有定位板3，两个定位板3之间转动安装有丝杠4，丝杠4的外表面套接安装有丝杠滑台41，上端定位板3的上表面固定安装有丝杠电机5，丝杠电机5的输出端与丝杠4的顶端固定连接，丝杠滑台41的左端贯穿转动安装有支撑杆6，支撑杆6贯穿密封板1的中心位置，支撑杆6与密封板1固定连接，且支撑杆6的顶端固定安装有镀膜架8，下端定位板3的下表面固定安装有减速电机7，减速电机7的输出端与支撑杆6的底端固定连接；

结合图1和图2所示，将镀膜架8装载到真空镀膜设备内时，先在镀膜架8内预先放置好待镀膜样品，然后利用丝杠电机5带动丝杠4转动，在丝杠4与丝杠滑台41的联动下，丝杠滑台41沿丝杠4的外表面向上移动，从而带动支撑杆6、减速电机7和镀膜架8向上移动深入到真空镀膜设备内，在支撑杆6移动的过程中，密封板1也会随之移动，当镀膜架8位于真空镀膜设备内后，密封板1将真空镀膜设备的入口处密封，最后根据真空镀膜设备内取样机械爪的位置，利用减速电机7带动支撑杆6和镀膜架8转动调节取样位置即可。

需要说明的是，镀膜架8包括底板81，底板81的上表面四角处贯穿安装有定位螺杆82，定位螺杆82的下端均螺接安装有螺母，螺母的上表面与底板81的下表面贴合，定位螺杆82的外表面均套接安装有多根套管83，前后两个定位螺杆82之间均套接安装有多个支撑件84，支撑件84位于上下两个相对应的套管83之间，左右两个相对应的支撑件84处于同一水平位置，上下两个支撑件84之间的间隙可以通过两者之间安装的套管83数量来进行调节；

将样品放置到镀膜架8内时，如图1所示，样品是通过左右两个支撑件84对样品进行支撑放置的，上下两个支撑件84之间存在一定的间隙，能够便于真空镀膜设备内的取样机械爪拿取样品。

为避免最上方的样品在镀膜时透光会影响到下方样品，如图1所示，在四个定位螺杆82之间套接安装有多个隔板85，隔板85位于对应的两个支撑件84之间，可以利用隔板85对待镀膜的样品进行遮挡，避免其受到影响。

具体而言，四个定位螺杆82的顶端套接安装有模板86，模板86的上表面贯穿开设有通口861，通口861的开口形状根据镀膜的形状定制。

镀膜时，利用真空镀膜设备内的取样机械爪拿取样品，将样品放置到最上方的两个支撑件84的上表面之间，利用激光透过通口861照射在样品的上表面进行镀膜，镀膜后，将其放入到下方闲置的两个支撑件84之间存放即可，放置后，再次利用真空镀膜设备内的取样机械爪拿取未镀膜的样品放置到最上方的两个支撑件84的上表面之间做镀膜工作，如此循环，直至镀膜架8中的样品全部镀膜完毕后，将镀膜架8下移出真空镀膜设备进行卸料。

为加强丝杠滑台41上下移动时的稳定性，如图2所示，在丝杠滑台41的后表面开设有两个U型槽411，在外接固定板2的左表面固定安装有两个定位轨21，U型槽411滑动设置在定位轨21的外表面，当丝杠4带动丝杠滑台41上下移动时，定位轨21会在U型槽411的作用下，对丝杠滑台41进行导向，使其上下移动更加稳定。

Claims (6)

1.一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，包括密封板(1)和外接固定板(2)，其特征在于，所述外接固定板(2)的上下两端均固定安装有定位板(3)，两个定位板(3)之间转动安装有丝杠(4)，所述丝杠(4)的外表面套接安装有丝杠滑台(41)，上端所述定位板(3)的上表面固定安装有丝杠电机(5)，所述丝杠电机(5)的输出端与丝杠(4)的顶端固定连接；

所述丝杠滑台(41)的左端贯穿转动安装有支撑杆(6)，所述支撑杆(6)贯穿密封板(1)的中心位置，所述支撑杆(6)与密封板(1)固定连接，且支撑杆(6)的顶端固定安装有镀膜架(8)，下端所述定位板(3)的下表面固定安装有减速电机(7)，所述减速电机(7)的输出端与支撑杆(6)的底端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，其特征在于，所述镀膜架(8)包括底板(81)，所述底板(81)的上表面四角处贯穿安装有定位螺杆(82)，所述定位螺杆(82)的下端均螺接安装有螺母，所述螺母的上表面与底板(81)的下表面贴合，所述定位螺杆(82)的外表面均套接安装有多根套管(83)，前后两个所述定位螺杆(82)之间均套接安装有多个支撑件(84)，所述支撑件(84)位于上下两个相对应的套管(83)之间。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，其特征在于，左右两个相对应的支撑件(84)处于同一水平位置。

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，其特征在于，四个所述定位螺杆(82)之间套接安装有多个隔板(85)，所述隔板(85)位于对应的两个所述支撑件(84)之间。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，其特征在于，四个所述定位螺杆(82)的顶端套接安装有模板(86)，所述模板(86)的上表面贯穿开设有通口(861)，所述通口(861)的开口形状根据镀膜的形状定制。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，其特征在于，所述丝杠滑台(41)的后表面开设有两个U型槽(411)，所述外接固定板(2)的左表面固定安装有两个定位轨(21)，所述U型槽(411)滑动设置在定位轨(21)的外表面。