CN220753391U - 用于超薄晶片的吸盘装置 - Google Patents
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 44
- 241000252254 Catostomidae Species 0.000 claims abstract description 4
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 4
- 210000003437 trachea Anatomy 0.000 claims description 4
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims 3
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 3
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Abstract
本实用新型涉及超薄晶片的生产领域，具体涉及一种用于超薄晶片的吸盘装置，包括吸盘盒、总气管和吸盘单元，吸盘盒内部设置吸盘单元，吸盘盒侧面设置总气管，总气管外部连接有气缸；本实用新型通过将传统的大吸盘分解成若干个小吸盘，将原来大而集中的吸力转化成小而分散的吸力，然后精确控制吸盘对超薄晶片的吸力，使超薄晶片各部分受力均匀，从而解决超薄晶片因太薄，易碎易损坏的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及超薄晶片的生产领域，具体涉及一种用于超薄晶片的吸盘装置。
背景技术
半导体晶片在生产过程中需要经过切割、研磨、抛光、清洗等复杂的工艺程序，在不同的工序之间需要用到吸盘对晶片进行转运。随着行业发展，半导体晶片的厚度越来越薄，这就对了转运设备提出了更高的要求，目前常规的转运设备已不满足生产需求。
现有技术中至少存在如下问题：超薄晶片因太薄，易碎易损坏，现有的吸盘式设备吸盘间距过大，各吸盘的吸力有差异，导致超薄晶片各部分受力不均匀，从而造成晶片碎裂。
实用新型内容
本实用新型根据现有技术的不足，研制一种用于超薄晶片的吸盘装置，将传统的大吸盘分解成若干个小吸盘，将原来大而集中的吸力转化成小而分散的吸力，然后精确控制吸盘对超薄晶片的吸力，使超薄晶片各部分受力均匀，从而解决超薄晶片因太薄，易碎易损坏的问题。
本实用新型解决技术问题的技术方案为：用于超薄晶片的吸盘装置，包括吸盘盒、总气管和吸盘单元，吸盘盒内部设置吸盘单元，吸盘盒侧面设置总气管，总气管外部连接有气缸。
作为优化，吸盘单元顶部设置单元总气管，单元总气管底部设置吸力控制器，吸力控制器通过吸盘分路气管和若干吸盘连接。
作为优化，吸盘分路气管中部竖直设置压力传感器。
作为优化，吸盘盒底部设置发泡棉和PE板。
作为优化，发泡棉和PE板均匀设置通孔。
作为优化，吸盘盒底部边缘设置吸盘固定架。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
通过设置吸盘盒，作为整体结构，能够容纳吸盘单元等结构，同时起到密封防尘的作用；通过设置吸盘盒侧面的总气管，能够将气缸压缩后的气体输送到各个吸盘单元，为吸盘单元抓取超薄晶片提供动力；通过设置吸盘单元，作为整体结构的执行机构，能够控制外部进入的气体通断，从而达到吸放超薄晶片动作，同时这些吸盘单元将原来大而集中的力分解成小而分散的力，但力的总和不变，这就使得超薄晶片各部分受力均匀，避免了晶片因某部分受力集中而碎裂的情况。
附图说明
图1为本实用新型一种用于超薄晶片的吸盘装置示意图。
图2为吸盘单元结构示意图。
图中1、吸盘盒；2、总气管；3、吸盘固定架；4、PE板；5、发泡棉；6、吸盘单元。
7、单元总气管；8、吸力控制器；9、吸盘分路气管；10、吸盘；11、压力传感器。
具体实施方式
为了能清楚说明本方案的技术特点，下面通过具体实施方式，并结合其附图，对本实用新型进行详细阐述。
实施例1
如图1-2所示，用于超薄晶片的吸盘装置，通过设置吸盘盒1，作为整体结构，能够容纳吸盘单元6等结构，同时起到密封防尘的作用；通过设置吸盘盒1侧面的总气管2，能够将气缸压缩后的气体输送到各个吸盘单元6，为吸盘单元6抓取超薄晶片提供动力；通过设置吸盘单元6，作为整体结构的执行机构，能够控制外部进入的气体通断，从而达到吸放超薄晶片动作，同时这些吸盘单元6将原来大而集中的力分解成小而分散的力，但力的总和不变，这就使得超薄晶片各部分受力均匀，避免了晶片因某部分受力集中而碎裂的情况。
通过设置吸盘单元6与总气管2连接，能够使外部气体进入吸盘单元6；通过设置吸力控制器8，能够控制吸盘10抓取超薄晶片。
通过设置压力传感器11，能够检测超薄晶片在吸盘10上的受力大小，通过吸力控制器8调整吸盘10的吸力，防止破坏超薄晶片。
通过设置吸盘盒1底面的发泡棉3和PE板4，能够在吸盘单元6吸取超薄晶片的过程中起到缓冲作用，从而起到缓冲吸盘10吸力及支撑超薄晶片整个平面的作用，能够对超薄晶片做到有效保护。
通过设置在发泡棉5和PE板4上的通孔，能够容纳突出的吸盘单元6和压力传感器11，进而能够检测作用于超薄晶片上的吸力大小，感应到晶片受力大小，将感应力反馈给吸盘控制器9，吸盘控制器9调整吸盘10的吸力大小，从而使超薄晶片各部分受力均匀。
通过设置吸盘盒1底部的吸盘固定架3，能够支撑吸盘盒1结构，同时在吸盘盒1底部留有间隙，为吸盘单元6吸取超薄晶片提供空间。
本实用新型中对结构的方位或相对位置关系的描述，如“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或相对位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的结构必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
Claims (5)
1.用于超薄晶片的吸盘装置，包括吸盘盒(1)、总气管(2)和吸盘单元(6)，其特征在于：吸盘盒(1)内部设置吸盘单元(6)，吸盘盒(1)侧面设置总气管(2)，总气管(2)外部连接有气缸；吸盘单元(6)顶部设置单元总气管(7)，单元总气管(7)底部设置吸力控制器(8)，吸力控制器(8)通过吸盘分路气管(9)和若干吸盘(10)连接。
2.根据权利要求1所述的用于超薄晶片的吸盘装置，其特征在于：吸盘分路气管(9)中部竖直设置压力传感器(11)。
3.根据权利要求2所述的用于超薄晶片的吸盘装置，其特征在于：吸盘盒(1)底部设置发泡棉(5)和PE板(4)。
4.根据权利要求3所述的用于超薄晶片的吸盘装置，其特征在于：发泡棉(5)和PE板(4)均匀设置通孔。
5.根据权利要求4所述的用于超薄晶片的吸盘装置，其特征在于：吸盘盒(1)底部边缘设置吸盘固定架(3)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321072272.3U CN220753391U (zh) | 2023-05-06 | 2023-05-06 | 用于超薄晶片的吸盘装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321072272.3U CN220753391U (zh) | 2023-05-06 | 2023-05-06 | 用于超薄晶片的吸盘装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220753391U true CN220753391U (zh) | 2024-04-09 |
Family
ID=90558038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321072272.3U Active CN220753391U (zh) | 2023-05-06 | 2023-05-06 | 用于超薄晶片的吸盘装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220753391U (zh) |
-
2023
- 2023-05-06 CN CN202321072272.3U patent/CN220753391U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |