CN220731492U - 一种可更换多组晶圆的托举结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可更换多组晶圆的托举结构，包括基座和承片台，所述承片台设置有两个，所述承片台的底部与基座顶部的两侧固定连接，所述基座的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有螺杆，所述螺杆表面的底部螺纹连接有螺套。本实用新型通过设置承片台有两个，放置两组晶圆在对应的承片台顶部，随后使用者在检测完成后，开启电机，使电机带动托举板向上移动，这时托举板便同步将两个承片台上面的共两组晶圆托举，解决了对与晶圆的托举数量较少，仅能够对单组晶圆进行托举，从而大幅度降低了托举效率，并且由于单组托举的局限性导致晶圆的检测效率降低，无法进行双组或多组检测的问题，达到了多组晶圆托举的效果。

Description

一种可更换多组晶圆的托举结构

技术领域

本实用新型涉及晶圆传输装置技术领域，具体为一种可更换多组晶圆的托举结构。

背景技术

探针台为半导体测试领域常见的测试设备，对晶圆进行检测之前，通常通过机械手将待测晶圆转运至承片台上，晶圆测试完毕后，其上表面会有特征和墨点。

例如申请号：CN201920003162.9，本实用新型公开了一种晶圆托举机构，包括承片台，所述承片台通过下方的安装基座连接在探针台上；所述承片台的上表面的中心处均布有四个滑孔，所述安装基座通过连接块与晶圆顶片机构连接。本实用新型结构紧凑、占用空间小，晶圆转运及取放过程稳定，有效的防止了待测晶圆上表面特征和墨点对吸取晶圆的影响，避免了造成待测晶圆的损伤。

基于上述专利的检索，以及结合现有技术中的设备发现，上述设备在应用时，虽然可以解决为了避免机械手对晶圆上表面特征和墨点的影响，有必要研发一种晶圆托举机构，将晶圆托举起，从而方便机械手从晶圆下方将测试完毕的晶圆取走而不损伤晶圆的问题，但在使用过程中，对与晶圆的托举数量较少，仅能够对单组晶圆进行托举，从而大幅度降低了托举效率，并且由于单组托举的局限性导致晶圆的检测效率降低，无法进行双组或多组检测的效果。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供一种可更换多组晶圆的托举结构，具备了多组晶圆托举的优点，解决了对与晶圆的托举数量较少，仅能够对单组晶圆进行托举，从而大幅度降低了托举效率，并且由于单组托举的局限性导致晶圆的检测效率降低，无法进行双组或多组检测的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可更换多组晶圆的托举结构，包括基座和承片台，所述承片台设置有两个，所述承片台的底部与基座顶部的两侧固定连接，所述基座的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有螺杆，所述螺杆表面的底部螺纹连接有螺套，所述螺套的两侧均固定连接有托举板，所述基座顶部的后侧固定连接有限位组件，所述托举板顶部远离基座正面的一侧固定连接有检测提示机构。

作为本实用新型优选的，所述限位组件包括限位滑杆，所述托举板背面远离电机的一侧固定连接有限位环，所述限位环的内壁与限位滑杆的表面滑动连接。

作为本实用新型优选的，所述检测提示机构包括接触板，所述限位滑杆顶部的前侧镶嵌有接触传感器，所述基座顶部的前侧固定连接有检测提示灯，所述接触传感器通过导线和检测提示灯和电机电性连接。

作为本实用新型优选的，所述承片台顶部的两侧均开设有第一镶嵌槽，所述托举板底部的两侧镶嵌在第一镶嵌槽的内部。

作为本实用新型优选的，所述承片台的顶部设置有加固板，所述加固板的两侧与托举板的内侧固定连接，所述加固板设置有两组。

作为本实用新型优选的，所述承片台的顶部开设有第二镶嵌槽，所述第二镶嵌槽开设有两组，所述加固板镶嵌在第二镶嵌槽的内部。

作为本实用新型优选的，所述接触板的顶部固定连接有缓冲垫，所述缓冲垫通过PET胶水与接触板固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置承片台有两个，放置两组晶圆在对应的承片台顶部，随后使用者在检测完成后，开启电机，使电机带动托举板向上移动，这时托举板便同步将两个承片台上面的共两组晶圆托举，解决了对与晶圆的托举数量较少，仅能够对单组晶圆进行托举，从而大幅度降低了托举效率，并且由于单组托举的局限性导致晶圆的检测效率降低，无法进行双组或多组检测的问题，达到了多组晶圆托举的效果。

2、本实用新型通过设置限位组件，便于使用者在螺杆旋转的过程中，利用限位滑杆与限位环的滑动连接，从而能够对螺套进行旋转限位，防止螺杆在旋转时直接带动螺套进行旋转而无法向上移动的现象。

3、本实用新型通过设置检测提示机构，便于使用者在托举板向上移动的过程中会带动接触板向上移动，当接触板的顶部与接触传感器的底部相接触后，接触传感器便会发出电信号将检测提示灯开启进行发光，而使用者可通过发光的检测提示灯来快速了解到当前的多组晶圆已经完成托举，并且接触传感器在检测与与接触板接触时，接触传感器同时会发出电信号将电机关闭。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型承片台的零件爆炸示意图；

图3为本实用新型限位滑杆的零件爆炸示意图。

图中：1、基座；2、承片台；3、电机；4、螺杆；5、螺套；6、托举板；7、限位组件；71、限位滑杆；72、限位环；8、检测提示机构；81、接触板；82、接触传感器；83、检测提示灯；9、第一镶嵌槽；10、加固板；11、第二镶嵌槽；12、缓冲垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图3所示，本实用新型提供的一种可更换多组晶圆的托举结构，包括基座1和承片台2，承片台2设置有两个，承片台2的底部与基座1顶部的两侧固定连接，基座1的顶部固定连接有电机3，电机3的输出端固定连接有螺杆4，螺杆4表面的底部螺纹连接有螺套5，螺套5的两侧均固定连接有托举板6，基座1顶部的后侧固定连接有限位组件7，托举板6顶部远离基座1正面的一侧固定连接有检测提示机构8。

参考图1至图3，限位组件7包括限位滑杆71，托举板6背面远离电机3的一侧固定连接有限位环72，限位环72的内壁与限位环72的表面滑动连接。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置限位组件7，便于使用者在螺杆4旋转的过程中，利用限位滑杆71与限位环72的滑动连接，从而能够对螺套5进行旋转限位，防止螺杆4在旋转时直接带动螺套5进行旋转而无法向上移动的现象。

参考图1至图3，检测提示机构8包括接触板81，限位滑杆71顶部的前侧镶嵌有接触传感器82，基座1顶部的前侧固定连接有检测提示灯83，接触传感器82通过导线和检测提示灯83和电机3电性连接。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置检测提示机构8，便于使用者在托举板6向上移动的过程中会带动接触板81向上移动，当接触板81的顶部与接触传感器82的底部相接触后，接触传感器82便会发出电信号将检测提示灯83开启进行发光，而使用者可通过发光的检测提示灯83来快速了解到当前的多组晶圆已经完成托举，并且接触传感器82在检测与与接触板81接触时，接触传感器82同时会发出电信号将电机3关闭。

参考图1至图3，承片台2顶部的两侧均开设有第一镶嵌槽9，托举板6底部的两侧镶嵌在第一镶嵌槽9的内部。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置第一镶嵌槽9，便于使用者在托举板6未进行托举时，托举板6可镶嵌在承片台2顶部所开设的第一镶嵌槽9内部，从而避免托举板6凸出在承片台2的顶部影响使用者对晶圆进行检测。

参考图1至图3，承片台2的顶部设置有加固板10，加固板10的两侧与托举板6的内侧固定连接，加固板10设置有两组。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置加固板10，利用加固板10能够将两个托举板6之间进行连接加固，避免两个托举板6在托举过程中存在弯曲造成托举不稳定的情况，同时加固板10能够提高托举板6与晶圆之间的接触面积，避免晶圆出现掉落的情况。

参考图1至图3，承片台2的顶部开设有第二镶嵌槽11，第二镶嵌槽11开设有两组，加固板10镶嵌在第二镶嵌槽11的内部。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置第二镶嵌槽11，便于使用者在托举板6未进行托举时，托举板6内侧的加固板10可镶嵌在第二镶嵌槽11的内壁，从而避免托加固板10凸出在承片台2的顶部影响使用者对晶圆进行检测。

参考图1至图3，接触板81的顶部固定连接有缓冲垫12，缓冲垫12通过PET胶水与接触板81固定连接。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置缓冲垫12，在接触板81受到托举板6传动并与接触传感器82的底部接触时所产生的冲击力可通过缓冲垫12进行缓冲，防止冲击力过大造成接触传感器82出现损坏的情况，再利用PET胶水粘黏性强的优点，提高了缓冲垫12的固定效果。

本实用新型的工作原理及使用流程：在使用者需要将晶圆进行检测时，使用者可放置两组晶圆在对应的承片台2顶部，随后使用者在检测完成后，使用者可通过开启电机3，使电机3带动螺杆4进行旋转，然后利用螺杆4与螺套5的螺纹连接，使螺杆4在旋转的过程中能够带动螺套5向上移动，然后螺套5便带动托举板6向上移动，这时托举板6便同步将两个承片台2上面的共两组晶圆托举，而在螺杆4旋转的过程中，利用限位滑杆71与限位环72的滑动连接，从而能够对螺套5进行旋转限位，防止螺杆4在旋转时直接带动螺套5进行旋转而无法向上移动的现象，在托举板6向上移动的过程中会带动接触板81向上移动，当接触板81的顶部与接触传感器82的底部相接触后，接触传感器82便会发出电信号将检测提示灯83开启进行发光，而使用者可通过发光的检测提示灯83来快速了解到当前的多组晶圆已经完成托举，并且接触传感器82在检测与与接触板81接触时，接触传感器82同时会发出电信号将电机3关闭，具备了多组晶圆托举的能力。

综上所述：该可更换多组晶圆的托举结构，通过设置承片台2有两个，放置两组晶圆在对应的承片台2顶部，随后使用者在检测完成后，开启电机3，使电机3带动托举板6向上移动，这时托举板6便同步将两个承片台2上面的共两组晶圆托举，解决了对与晶圆的托举数量较少，仅能够对单组晶圆进行托举，从而大幅度降低了托举效率，并且由于单组托举的局限性导致晶圆的检测效率降低，无法进行双组或多组检测的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种可更换多组晶圆的托举结构，包括基座(1)和承片台(2)，其特征在于：所述承片台(2)设置有两个，所述承片台(2)的底部与基座(1)顶部的两侧固定连接，所述基座(1)的顶部固定连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端固定连接有螺杆(4)，所述螺杆(4)表面的底部螺纹连接有螺套(5)，所述螺套(5)的两侧均固定连接有托举板(6)，所述基座(1)顶部的后侧固定连接有限位组件(7)，所述托举板(6)顶部远离基座(1)正面的一侧固定连接有检测提示机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种可更换多组晶圆的托举结构，其特征在于：所述限位组件(7)包括限位滑杆(71)，所述托举板(6)背面远离电机(3)的一侧固定连接有限位环(72)，所述限位环(72)的内壁与限位滑杆(71)的表面滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种可更换多组晶圆的托举结构，其特征在于：所述检测提示机构(8)包括接触板(81)，所述限位滑杆(71)顶部的前侧镶嵌有接触传感器(82)，所述基座(1)顶部的前侧固定连接有检测提示灯(83)，所述接触传感器(82)通过导线和检测提示灯(83)和电机(3)电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种可更换多组晶圆的托举结构，其特征在于：所述承片台(2)顶部的两侧均开设有第一镶嵌槽(9)，所述托举板(6)底部的两侧镶嵌在第一镶嵌槽(9)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种可更换多组晶圆的托举结构，其特征在于：所述承片台(2)的顶部设置有加固板(10)，所述加固板(10)的两侧与托举板(6)的内侧固定连接，所述加固板(10)设置有两组。

6.根据权利要求5所述的一种可更换多组晶圆的托举结构，其特征在于：所述承片台(2)的顶部开设有第二镶嵌槽(11)，所述第二镶嵌槽(11)开设有两组，所述加固板(10)镶嵌在第二镶嵌槽(11)的内部。

7.根据权利要求3所述的一种可更换多组晶圆的托举结构，其特征在于：所述接触板(81)的顶部固定连接有缓冲垫(12)，所述缓冲垫(12)通过PET胶水与接触板(81)固定连接。