CN220719908U - 一种晶棒上料翻转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶棒上料翻转机构，包括旋转装置和夹持装置，所述夹持装置包括相对设置的固定夹板和活动夹板、安装座和第一驱动装置，所述固定夹板设置在所述旋转装置的旋转底板上，所述固定夹板和活动夹板可在垂直于所述旋转底板的方向上进行夹持，所述安装座设置在所述旋转底板上，与所述固定夹板和活动夹板相对设置，所述活动夹板设置在所述安装座上，与所述安装座滑动连接，所述第一驱动装置设置在所述安装座上，用于带动所述活动夹板靠近或远离所述固定夹板。本实用新型的有益效果是实现了在垂直于旋转底板的方向上夹持晶棒，晶棒可从侧边进料，保证了晶棒在翻转过程中的稳固性。

Description

一种晶棒上料翻转机构

技术领域

本实用新型属于硅片生产技术领域，尤其是涉及一种晶棒上料翻转机构。

背景技术

线切机作为单晶硅片生产的核心设备，加工物料为柱形晶棒与料座粘接后的组合物料。组合物料在运输过程中，料座位于下方，晶棒位于上方，而线切机上料时，需要料座位于上方，晶棒位于下方，因此需要将组合物料进行翻转。

在现有技术中，专利CN202111309695.8提出了一种晶棒上料工装，包括升降装置、旋转装置和夹持装置，夹持装置安装在旋转装置的旋转底板上，通过夹持装置对晶棒进行夹持，旋转装置带动夹持装置和晶棒进行翻转，在此专利中，夹持装置在平行于旋转底板的方向上夹持，无法从侧边，平行于旋转底板的方向进料。在实际的加工过程中，限于场地或者其它要求，需要在垂直于旋转底板的方向上进行夹持，从侧边平行于旋转底板的方向进料，因此需要设计一种晶棒上料翻转机构，在垂直于旋转底板的方向上夹持晶棒，晶棒可从侧边进料。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶棒上料翻转机构，有效的解决了晶棒上料翻转机构无法从侧边进料，在垂直于旋转底板的方向上夹持晶棒的问题，克服了现有技术的不足。

本实用新型采用的技术方案是：一种晶棒上料翻转机构，包括旋转装置和夹持装置，所述夹持装置包括，

相对设置的固定夹板和活动夹板，所述固定夹板设置在所述旋转底板上，所述固定夹板和活动夹板可在垂直于所述旋转底板的方向上进行夹持；

安装座，设置在所述旋转底板上，与所述固定夹板和活动夹板相对设置，所述活动夹板设置在所述安装座上，与所述安装座滑动连接；

第一驱动装置，设置在所述安装座上，用于带动所述活动夹板靠近或远离所述固定夹板。

进一步，所述安装座上设有滑轨，所述活动夹板上设有滑块，所述滑块可沿所述滑轨移动。

进一步，所述固定夹板一端设有挡板。

进一步，所述活动夹板靠近所述挡板的一端设有定位销，所述定位销可垂直于所述活动夹板移动。

进一步，所述定位销上设有第二驱动装置，用于带动所述定位销移动。

进一步，所述活动夹板设有所述定位销的一端设有定位传感器。

进一步，所述安装座上设有防脱销，所述防脱销可垂直于所述安装座移动插入所述活动夹板。

进一步，所述防脱销上设有第三驱动装置，用于带动所述防脱销移动。

进一步，所述活动夹板上相对所述防脱销的位置设有防脱块，所述防脱销可插入所述防脱块。

进一步，所述安装座的端部设有第一限位块，所述活动夹板的相对端设有第二限位块，当所述活动夹板和固定夹板夹持住晶棒时，所述第一限位块与第二限位块卡合

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，实现了在垂直于旋转底板的方向上夹持晶棒，晶棒可从侧边进料，保证了晶棒在翻转过程中的稳固性。

附图说明

图1是本实用新型实施例一种晶棒上料翻转机构的整体结构示意图。

图2是本实用新型实施例一种晶棒上料翻转机构夹持装置的结构示意图。

图3是本实用新型实施例一种晶棒上料翻转机构夹持装置的结构示意图。

图中：

10、升降装置 20、旋转装置 21、旋转底板

30、夹持装置 31、固定夹板 311、第一连接板

312、第一加强肋板 313、挡板 32、活动夹板

321、第二连接板 322、第二加强肋板 323、滑块

324、定位销 325、第二驱动装置 326、定位传感器

327、支架 328、防脱块 329、第二限位块

33、安装座 331、延伸部 332、第三加强肋板

333、底座 334、滑轨 335、第三驱动装置

336、第一限位块 34、第一驱动装置 40、晶棒

50、料座

具体实施方式

本实用新型实施例提供了一种晶棒上料翻转机构，下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-3所示，本实用新型实施例一种晶棒上料翻转机构，包括升降装置10、旋转装置20和夹持装置30，升降装置10用于带动晶棒40上下移动，旋转装置20用于带动晶棒40翻转，夹持装置30用于夹持晶棒40。升降装置10和旋转装置20与现有技术相同，在此不做赘述。夹持装置30包括固定夹板31和活动夹板32、安装座33和第一驱动装置34。相对设置的固定夹板31和活动夹板32平行于旋转装置20的旋转底板21设置，固定夹板31设置在旋转底板21上。固定夹板31和活动夹板32在垂直于旋转底板21的方向上对晶棒进行夹持，晶棒40可以从平行于旋转底板21的方向即侧边进料。安装座33一侧固定在旋转底板21上，与固定夹板31和活动夹板32相对设置，形成一个夹持腔。活动夹板32设置在安装座33远离旋转底板21的一侧，与安装座33滑动连接。第一驱动装置34安装在安装座33远离旋转底板21的一侧，用于带动活动夹板32靠近或者远离固定夹板31，对晶棒40进行夹持。第一驱动装置34的具体形式不做限制，在本实施例中，第一驱动装置34为伸缩气缸，伸缩气缸的活动端与活动夹板32固定连接。

在本实施例中，固定夹板31与旋转底板21的连接侧设有第一连接板311，第一连接板311一侧与固定夹板31固定连接，另外一侧与旋转底板21固定连接，为了增强连接的牢固性，在第一连接板311和旋转底板21之间设置第一加强肋板312。第一加强肋板312的数量不做限制。

安装座33上设有滑轨334，活动夹板32上设有滑块323，滑块323可沿滑轨334移动。在本实施例中，为了便于活动夹板32与安装座33连接，在活动夹板32靠近安装座33的一侧安装有截面为L形的第二连接板321，第二连接板321的竖直部与活动夹板32固定连接，第二连接板321的水平部与安装座33滑动连接。为了增强连接的牢固性，在第二连接板321上安装有第二加强肋板322用于连接水平部和竖直部。第二加强肋板322的数量不做限制。安装座33远离旋转底板21的一侧设有水平的延伸部331，延伸部331与第二连接板321的水平部滑动连接，延伸部331与安装座33之间设有第三加强肋板332，第三加强肋板332的数量不做限制。在延伸部331的中部安装有底座333，用于固定第一驱动装置34。第二连接板321的水平部相对第一驱动装置34的位置开设有凹槽。在第二连接板321的水平部和安装座33延伸部331的相对位置分别安装有滑块323和滑轨334，滑块323可沿滑轨334移动。为了保证移动的平稳性和对称性。在第一驱动装置34的两侧对称设有两套滑轨334和滑块323。

固定夹板31的一端设有挡板313。在本实施例中，挡板313为长条状，一端与固定夹板31固定连接。由于夹持装置30在垂直于旋转底板21的方向上进行夹持，晶棒40从固定夹板31未设有挡板313的一端进料。晶棒40上粘接有料座50，挡板313用于对料座50的端部进行定位。

当晶棒40转动至竖直状态时，为了避免晶棒40从夹持装置30中脱落，在活动夹板32靠近挡板313的一端设有定位销324，定位销324可垂直于活动夹板32移动。在本实施例中，在第二连接板321的竖直部上安装有定位销324，当料座50的端部与挡板313接触时，活动夹板32对料座50进行夹持的同时，定位销324插入料座50上的定位孔，对料座50进行进一步的固定，防止晶棒40翻转到竖直状态时，从夹持装置30中脱落。

为了带动定位销324移动，在定位销324上设有第二驱动装置325。在本实施例中，在第二连接板321的竖直部上安装有第二驱动装置325，第二驱动装置325的具体形式不做限制，可以为伸缩气缸，定位销324固定在伸缩气缸的活动端。当料座50的端部与挡板313接触时，伸缩气缸带动定位销324插入料座50端部的定位孔。

活动夹板32设有定位销324的一端设有定位传感器326。在本实施例中，在第二连接板321竖直部设有定位销324的一端安装有支架327，支架327上安装有定位传感器326，当定位传感器326检测到料座50端部与挡板313接触时，第一驱动装置34带动活动夹板32朝向固定夹板31移动，对料座50进行夹紧,第二驱动装置325带动定位销324插入料座50端部的定位孔。定位传感器326为激光传感器，当料座50端部与挡板抵持时激光的反射距离发生改变，从而检测出料座50端部的位置。

在固定夹板31和活动夹板32对晶棒40的夹持过程中，为了避免第一驱动装置34发生故障，在安装座33上设有防脱销(未在图中显示)，防脱销可垂直于安装座33移动，插入活动夹板32。在本实施例中，为了避免第一驱动装置34的伸缩气缸泄气，导致夹持力变小，在安装座33的水平延伸部331安装有防脱销，当活动夹板32移动将料座50夹持住时，防脱销插入第二连接板321的水平部，将活动夹板32的位置进行固定，防止第一驱动装置34泄气导致活动夹板32移动。

为了带动防脱销移动，在防脱销上设有第三驱动装置335。在本实施例中，第三驱动装置335设置在安装座33水平延伸部331上，第三驱动装置335的具体形式不做限制，可以为伸缩气缸，伸缩气缸的活动端固定连接有防脱销。在第二连接板321水平部的相对位置开设有定位孔。防脱销可插入到定位孔内，对活动夹板32进行固定。

活动夹板32上相对防脱销的位置设有防脱块328，防脱销可插入防脱块328。在本实施例中，在第二连接板321水平部远离安装座33水平延伸部331的一侧相对防脱销的位置固定安装有防脱块328。第三驱动装置335可带动防脱销插入防脱块328。

为了避免夹持力过大，对料座50造成损坏，在安装座33的端部设有第一限位块336，在活动夹板32的相对端设有第二限位块329，当活动夹板32和固定夹板31夹持住料座50时，第一限位块336与第二限位块329卡合。在本实施例中，在安装座33的水平延伸部331的端部固定安装有第一限位块336，在第二连接板321水平部的相对端固定安装有第二限位块329，当活动夹板32和固定夹板31将料座50夹持住时，第一限位块336与第二限位块329卡合，防止活动夹板32进一步朝向固定夹板31移动。第一限位块336和第二限位块329的具体形状不做限制，在本实施例中，第一限位块336和第二限位块329均为T形。第一限位块336和第二限位块329均采用螺栓进行可拆卸式连接，这样便于调节二者之间的距离，以便适应夹持不同规格的晶棒40。

使用方法：晶棒40与料座50被输送线体输送至晶棒40上料翻转机构，此时晶棒40位于上方，料座50位于下方。晶棒40从侧边进料，直至料座50的端部与挡板313接触，晶棒40停止移动，此时定位传感器326检测到料座50已与挡板313接触抵持，第一驱动装置34带动活动夹板32朝向固定夹板31移动，对料座50进行夹紧，第一限位块336和第二限位块329卡合防止过度夹紧。第二驱动装置325带动定位销324插入料座50端部的定位孔。同时，第三驱动装置335带动防脱销插入防脱块328，对活动夹板32进一步固定。升降装置10带动整个夹持装置30移动，搬离输送线体。旋转装置20带动夹持装置30翻转使晶棒40位于下方，料座50位于上方，图示为翻转后的晶棒40和料座50。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1.实现了在垂直于旋转底板的方向上夹持晶棒，晶棒可从侧边进料，满足加工的多样化需求。

2.通过设置定位销和防脱销，防止晶棒在翻转过程中脱落，保证了晶棒在翻转过程中的稳固性。

3.通过第一限位块和第二限位块的卡合作用，防止夹持力过大，对料座造成损坏。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种晶棒上料翻转机构，包括旋转装置和夹持装置，其特征在于：所述夹持装置包括，

相对设置的固定夹板和活动夹板，所述固定夹板设置在所述旋转装置的旋转底板上，所述固定夹板和活动夹板可在垂直于所述旋转底板的方向上进行夹持；

安装座，设置在所述旋转底板上，与所述固定夹板和活动夹板相对设置，所述活动夹板设置在所述安装座上，与所述安装座滑动连接；

第一驱动装置，设置在所述安装座上，用于带动所述活动夹板靠近或远离所述固定夹板。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述安装座上设有滑轨，所述活动夹板上设有滑块，所述滑块可沿所述滑轨移动。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述固定夹板一端设有挡板。

4.根据权利要求3所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述活动夹板靠近所述挡板的一端设有定位销，所述定位销可垂直于所述活动夹板移动。

5.根据权利要求4所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述定位销上设有第二驱动装置，用于带动所述定位销移动。

6.根据权利要求5所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述活动夹板设有所述定位销的一端设有定位传感器。

7.根据权利要求1-2和4-6任一所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述安装座上设有防脱销，所述防脱销可垂直于所述安装座移动插入所述活动夹板。

8.根据权利要求7所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述防脱销上设有第三驱动装置，用于带动所述防脱销移动。

9.根据权利要求8所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述活动夹板上相对所述防脱销的位置设有防脱块，所述防脱销可插入所述防脱块。

10.根据权利要求1-2、4-6和8-9任一所述的一种晶棒上料翻转机构，其特征在于：所述安装座的端部设有第一限位块，所述活动夹板的相对端设有第二限位块，当所述活动夹板和固定夹板夹持住晶棒时，所述第一限位块与第二限位块卡合。