CN220710280U - 对准装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种对准装置，涉及半导体技术领域。该对准装置包括载台、第一对准组件和至少两个第二对准组件，第一对准组件和第二对准组件间隔围设于载台的放置区且围设区域大于放置区的半周区域；第一对准组件包括第一驱动部件、第一推动部件和连接于两者之间的弹性缓冲件，且弹性缓冲件的弹性伸缩方向与第一驱动部件的驱动方向一致；第二对准组件包括第二驱动部件和连接于第二驱动部件驱动端的第二推动部件；第一驱动部件和第二驱动部件的驱动方向均指向放置区的轴心。该对准装置对晶圆推动对准过程中，能够有效缓解晶圆受到的刚性碰撞，从而减少晶圆受到的挤压损坏、保证晶圆的品质。

Description

对准装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种对准装置。

背景技术

随着集成电路元器件集成度的不断提高，半导体加工过程的精度要求也随之提高，而晶圆位于载台加工位的位置精确度至关重要。现有半导体设备中一般均设有专门用于晶圆位置对准的对准装置，然而部分对准装置通过刚性推动对晶圆进行位置对准，推动过程中很容易出现过载现象，从而导致晶圆受到挤压损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种对准装置，以解决现有技术中，部分对准装置通过刚性推动对晶圆进行位置对准，推动过程中很容易出现过载现象，而导致晶圆受到挤压损坏的技术问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种对准装置，包括载台、第一对准组件和至少两个第二对准组件，所述第一对准组件和所述第二对准组件间隔围设于所述载台的放置区且围设区域大于所述放置区的半周区域；

所述第一对准组件包括第一驱动部件、第一推动部件和连接于两者之间的弹性缓冲件，且所述弹性缓冲件的弹性伸缩方向与所述第一驱动部件的驱动方向一致；所述第二对准组件包括第二驱动部件和连接于所述第二驱动部件驱动端的第二推动部件；所述第一驱动部件和所述第二驱动部件的驱动方向均指向所述放置区的轴心，所述第一推动部件和所述第二推动部件均用于推动置于所述放置区的晶圆。

可选地，所述第一推动部件包括安装座和间隔排布于所述安装座顶部的两个推动体，且两个所述推动体关于所述第一驱动部件的驱动方向对称设置；所述弹性缓冲件背离所述第一驱动部件的一端连接于所述安装座。

可选地，两个所述推动体均包括第一滚柱，所述第一滚柱枢接于所述安装座的顶部，且所述第一滚柱的轴向与竖直方向一致。

可选地，所述第一驱动部件的驱动端连接有驱动座，所述驱动座与所述安装座之间滑动插接有导向轴，且所述导向轴的轴向与所述第一驱动部件的驱动方向一致；所述弹性缓冲件包括弹簧，所述弹簧套设于所述导向轴，且所述弹簧的两端与所述驱动座及所述安装座两者一一对应连接。

可选地，所述导向轴为两个，两个所述导向轴的位置与两个所述推动体一一对应；所述弹簧为两个，两个所述弹簧一一对应套设于两个所述导向轴。

可选地，所述第一驱动部件的驱动端固接有固定座，所述驱动座可拆卸式连接于所述固定座。

可选地，所述第一驱动部件和/或所述第二驱动部件包括安装于所述载台的驱动电机和滑接于所述载台的滑接座，所述滑接座的一侧设有齿条，且所述滑接座的滑接方向及所述齿条的长度方向均与所述放置区的径向一致；所述驱动电机的输出端连接有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合配合。

可选地，所述驱动电机的壳体与所述载台之间连接有连接筒，所述驱动电机的输出轴伸入所述连接筒，所述齿轮容置于所述连接筒内；所述连接筒的筒侧壁设有沿其周向延伸的导向口，所述齿条滑动卡接于所述导向口，且所述齿条与所述导向口相应的齿段伸入所述连接筒内并与所述齿轮啮合。

可选地，所述载台设有多个穿设孔，所述第一驱动部件和所述第二驱动部件均位于所述载台的底部，且所述第一推动部件和所述第二推动部件一一对应穿过所述穿设孔向上伸出。

可选地，所述滑接座固接有滑块，所述载台固接有滑轨，且所述滑轨的长度方向与所述放置区的径向一致，所述滑块滑动卡接于所述滑轨。

本实用新型提供的对准装置在实现对晶圆对准操作的基础上，当第一推动部件与晶圆接触的瞬间以及第一推动部件推动晶圆抵接于第二推动部件推动端的瞬间，第一推动部件与晶圆以及晶圆与第二推动部件之间的刚性碰撞均能够经第一推动部件传递至弹性缓冲件，并且由于弹性缓冲件的弹性伸缩方向与第一驱动部件的驱动方向一致，则上述刚性碰撞的瞬间，弹性缓冲件能够快速、有效地通过压缩形变缓冲第一驱动部件沿第一方向对第一推动部件的推动作用，从而快速、有效缓冲晶圆与第一推动部件及第二推动部件沿第一方向的刚性碰撞，相应在确保对准装置对晶圆推动位置精确度的基础上，有效减少刚性碰撞瞬间刚性碰撞力对晶圆造成的损坏，以确保晶圆的品质；同时，缓冲过程中第一推动部件的推动端仅发生沿第一方向背离晶圆的缩回运动，而无其他方向的附加运动，从而减少缓冲过程中第一推动部件推动端其他方向的附加运动推动晶圆无效移动可能对晶圆造成的损坏，相应进一步确保对准过程晶圆的品质。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的对准装置的仰视图；

图2为本实用新型实施例提供的对准装置中第一对准组件的轴测图；

图3为本实用新型实施例提供的对准装置中第二对准组件的轴测图。

附图标记说明：

100-载台；110-放置区；120-穿设孔；200-第一对准组件；210-第一驱动部件；220-第一推动部件；221-安装座；222-推动体；230-弹性缓冲件；240-驱动座；250-导向轴；260-固定座；300-第二对准组件；310-第二驱动部件；320-第二推动部件；321-连接臂；322-第二滚柱；400-晶圆；410-切边；11-驱动电机；12-滑接座；13-齿条；14-齿轮；15-连接筒；15a-导向口；16-滑块；17-滑轨。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实施例提供一种对准装置，如图1所示，包括载台100、第一对准组件200和至少两个第二对准组件300，第一对准组件200和第二对准组件300间隔围设于载台100的放置区110且围设区域大于放置区110的半周区域；第一对准组件200包括第一驱动部件210、第一推动部件220和连接于两者之间的弹性缓冲件230，且弹性缓冲件230的弹性伸缩方向与第一驱动部件210的驱动方向一致；第二对准组件300包括第二驱动部件310和连接于第二驱动部件310驱动端的第二推动部件320；第一驱动部件210和第二驱动部件310的驱动方向均指向放置区110的轴心，第一推动部件220和第二推动部件320均用于推动置于放置区110的晶圆400。

本实施例提供的对准装置用于对置于放置区110的晶圆400进行推动对准，以使晶圆400与放置区110共轴线，其中，定义第一驱动部件210的驱动方向为第一方向，水平方向上垂直于第一方向的方向为第二方向；初始时，第一对准组件200的第一驱动部件210驱动第一推动部件220以及第二对准组件300的第二驱动部件310驱动第二推动部件320均位于放置区110以外的区域，以减少对晶圆400放置造成的干涉；然后，运送组件将晶圆400粗精度放置于放置区110；随后，第二驱动部件310驱动第二推动部件320朝向放置区110运动至设定位置，此时各第二推动部件320的推动端围成的圆形轮廓与晶圆400的轮廓相同，且晶圆400在各第二推动部件320的推动下完成了沿第二方向的位置初调节；第一驱动部件210随后驱动第一推动部件220朝向放置区110运动，晶圆400在第一推动部件220的推动作用以及各第二推动部件320推动端的限位作用下向上述圆形轮廓所在位置移动，当晶圆400与各第二推动部件320的推动端抵接时，晶圆400到达与放置区110共轴线的目标位置，从而完成对晶圆400的对准操作。

其中，本实施例提供的对准装置在实现对晶圆400对准操作的基础上，当第一推动部件220与晶圆400接触的瞬间以及第一推动部件220推动晶圆400抵接于第二推动部件320推动端的瞬间，第一推动部件220与晶圆400以及晶圆400与第二推动部件320之间的刚性碰撞均能够经第一推动部件220传递至弹性缓冲件230，并且由于弹性缓冲件230的弹性伸缩方向与第一驱动部件210的驱动方向一致，则上述刚性碰撞的瞬间，弹性缓冲件230能够快速、有效地通过压缩形变缓冲第一驱动部件210沿第一方向对第一推动部件220的推动作用，从而快速、有效缓冲晶圆400与第一推动部件220及第二推动部件320沿第一方向的刚性碰撞，相应在确保对准装置对晶圆400推动位置精确度的基础上，有效减少刚性碰撞瞬间刚性碰撞力对晶圆400造成的损坏，以确保晶圆400的品质；同时，缓冲过程中第一推动部件220的推动端仅发生沿第一方向背离晶圆400的缩回运动，而无其他方向的附加运动，从而减少缓冲过程中第一推动部件220推动端其他方向的附加运动推动晶圆400无效移动可能对晶圆400造成的损坏，相应进一步确保对准过程晶圆400的品质。

本实施例中，如图1和图2所示，第一推动部件220包括安装座221和间隔排布于安装座221顶部的两个推动体222，且两个推动体222关于第一驱动部件210的驱动方向对称设置；弹性缓冲件230背离第一驱动部件210的一端连接于安装座221。当晶圆400在各第二推动部件320的推动下完成沿第二方向的位置初调节，且晶圆400于第二方向偏离放置区110的轴心位置时，由于两个推动体222的连线与第二方向一致，则定义位于晶圆400轴心偏离放置区110轴心一侧的推动体222为主推动体，另一推动体222为辅推动体；第一驱动部件210驱动安装座221带动其上的推动体222沿第一方向推动晶圆400的过程中，晶圆400朝向推动体222的凸缘向两个推动体222之间形成的槽口移动，且凸缘的外缘首先与主推动体抵接，第一驱动部件210继续驱动安装座221朝向晶圆400运动，则主推动体对晶圆400施加朝向放置区110轴心方向的推动力，从而在实现对晶圆400沿第一方向对准操作同时，还能够辅助第二推动部件320对晶圆400进行沿第二方向的对准调节，且第一推动部件220和第二推动部件320对晶圆400具有至少四点定位，相应进一步提高晶圆400到达目标位置的顺畅性及位置精确度。

此外，本实施例提供的对准装置除应用于常规的圆形晶圆外，如图1所示，还能够用于切边晶圆，第一推动部件220与切边晶圆的切边410相对应，则晶圆400完成位置初调节后，晶圆400的位置包括三种情况：第一种：晶圆400的切边410与第二方向平行且晶圆400轴心相对放置区110轴心不存在沿第二方向的偏移，则第一驱动部件210驱动安装座221朝向晶圆400移动的过程中，晶圆400的切边410同时与两个推动体222抵触，则两个推动体222同时推动晶圆400沿第一方向运动，直至与各第二推动部件320的推动端抵触，此时晶圆400到达目标位置；上述过程中，两个推动体222与切边410抵触瞬间以及晶圆400与各第二推动部件320推动端的抵触瞬间，安装座221均能够向弹性缓冲件230传递沿其弹性伸缩方向的刚性碰撞力，相应地，弹性缓冲件230能够快速、有效且无附加运动地对晶圆400起到缓冲碰撞作用，从而有效减少晶圆400对准过程中受到的刚性碰撞损坏以及无效移动对晶圆400造成的损坏。

第二种：晶圆400的切边410与第二方向平行且晶圆400轴心相对放置区110轴心存在沿第二方向的偏移，则第一驱动部件210驱动安装座221朝向晶圆400移动的过程中，晶圆400的切边410同时与两个推动体222抵触，则两个推动体222同时推动晶圆400沿第一方向运动，且运动过程中，晶圆400偏离一侧的第二推动部件320会对限制并推动晶圆400朝向另一侧运动，该过程中，切边410相对两个推动体222沿第二方向运动，直至晶圆400与各第二推动部件320的推动端抵触，晶圆400到达目标位置；上述工程中，当两个推动体222推动晶圆400与各第二推动部件320的推动端抵触瞬间，安装座221能够向弹性缓冲件230传递沿其弹性伸缩方向的刚性碰撞力，相应地，弹性缓冲件230能够快速、有效且无附加运动地对晶圆400起到缓冲碰撞作用，从而有效减少晶圆400对准过程中受到的刚性碰撞损坏以及无效移动对晶圆400造成的损坏。

第三种：晶圆400的切边410与第二方向交叉，则第一驱动部件210驱动安装座221朝向晶圆400移动的过程中，晶圆400的切边410靠近推动体222的一端与相应位置的推动体222首先抵触，随着安装座221及推动体222的继续推动，晶圆400在推动体222及第二推动部件320的共同作用下发生旋转、沿第一方向及第二方向的平移，直至晶圆400与两个推动体222及各第二推动部件320的推动端抵触而到达目标位置；上述工程中，当两个推动体222推动晶圆400与各第二推动部件320的推动端抵触瞬间，安装座221能够向弹性缓冲件230传递沿其弹性伸缩方向的刚性碰撞力，相应地，弹性缓冲件230能够快速、有效且无附加运动地对晶圆400起到缓冲碰撞作用，从而有效减少晶圆400对准过程中受到的刚性碰撞损坏以及无效移动对晶圆400造成的损坏。

具体地，本实施例中，如图2所示，两个推动体222均包括第一滚柱，第一滚柱枢接于安装座221的顶部，且第一滚柱的轴向与竖直方向一致。第一滚柱的轴向与晶圆400及放置区110的轴向一致，则对准过程中，第一滚柱的外圆与晶圆400的外圆呈线接触，当圆形晶圆的凸边或切边晶圆的切边410与第一滚柱发生相对运动时，第一滚柱随之转动，使得两者之间为滚动摩擦，从而减少晶圆400与推动体222之间相对移动的摩擦力，相应提高第一推动部件220对晶圆400对准操作的顺畅性，并减少对准过程对晶圆400造成的磨损。

类似地，本实施例中，如图3所示，第二推动部件320包括连接臂321和枢接于连接臂321顶端的第二滚柱322。与第一滚柱类似，第二滚柱322的设置能够使晶圆400相对第二滚柱322移动时为滚动摩擦，从而减少晶圆400与第二滚柱322之间相对移动的摩擦力，相应提高第二推动部件320对晶圆400对准操作的顺畅性，并进一步减少对准过程对晶圆400造成的磨损。

可选地，本实施例中，如图2所示，第一驱动部件210的驱动端连接有驱动座240，驱动座240与安装座221之间滑动插接有导向轴250，且导向轴250的轴向与第一驱动部件210的驱动方向一致；弹性缓冲件230包括弹簧，弹簧套设于导向轴250，且弹簧的两端与驱动座240及安装座221两者一一对应连接。这里是弹性缓冲件230连接于安装座221与第一驱动部件210驱动端的其中一种具体形式，导向轴250连接于驱动座240与安装座221之间且能够相对两者中的至少一者插接滑动，弹簧套设于导向轴250，且弹簧夹设抵接于驱动座240与安装座221之间或两端分别与驱动座240和安装座221固接；对准过程中，当晶圆400与推动体222抵触瞬间或晶圆400与第一推动部件220的推动端抵触瞬间，安装座221受推动朝向驱动件运动，导向轴250相对安装座221或驱动座240滑动，以确保安装座221沿其轴向即第一驱动方向运动，相应地，弹簧在导向轴250的限制作用及安装座221的挤压作用下沿第一驱动方向压缩形变起到缓冲作用，从而实现对晶圆400刚性碰撞的有效缓冲。

具体地，本实施例中，导向轴250为两个，两个导向轴250的位置与两个推动体222一一对应；弹簧为两个，两个弹簧一一对应套设于两个导向轴250。两个弹簧与两个推动体222一一对应，同时，两个导向轴250分别对两个弹簧进行导向限位，定义与主推动体同侧的弹簧为主弹簧、与辅推动体同侧的弹簧为辅弹簧，对准过程中，当晶圆400的凸缘或切边410仅与主推动体抵触时，安装座221传递至主弹簧的作用力要大于辅弹簧，相应地，主弹簧压缩形变的程度较大，安装座221朝向主弹簧一侧倾斜，则第一驱动部件210的驱动作用力能够有效地经主推动体作用于晶圆400，从而有效地向朝向放置区110轴心方向推动晶圆400，使得晶圆400快速、高效到达目标位置。

本实施例中，如图2所示，第一驱动部件210的驱动端固接有固定座260，驱动座240可拆卸式连接于固定座260。安装座221与驱动座240之间通过弹簧和导向轴250弹性连接形成一个独立的弹性部件，固定座260固接于第一驱动部件210的驱动端用于连接该弹性部件，则组装时，可以将固定座260、驱动座240和弹簧、导向轴250组装形成上述弹性部件后，再将弹性部件的驱动座240连接于固定座260，从而减少驱动座240直接连接于第一驱动部件210的驱动端，在其上安装弹簧、导向轴250的难度，同时，后期需要对上述弹性部件进行维修时，可以直接将整个弹性部件自固定座260拆下，从而提高弹性部件及对准装置的组装及维护便捷度。

可选地，本实施例中，如图2和图3所示，第一驱动部件210和第二驱动部件310均包括安装于载台100的驱动电机11和滑接于载台100的滑接座12，滑接座12的一侧设有齿条13，且滑接座12的滑接方向及齿条13的长度方向均与放置区110的径向一致；驱动电机11的输出端连接有齿轮14，齿轮14与齿条13啮合配合。这里是第一驱动部件210和第二驱动部件310的其中一种具体形式，其中，滑接座12或齿条13朝向放置区110的一端作为第一驱动部件210及第二驱动部件310的驱动端，需要对第一推动部件220或第二推动部件320进行驱动时，可以启动相应的驱动电机11，驱动电机11驱动齿轮14转动，齿条13在齿轮14的啮合作用下沿朝向放置区110轴心或背离放置区110的方向平移，滑接座12随齿条13同步移动并带动第一推动部件220或第二推动部件320朝向晶圆400对其进行推动对准或远离放置区110进行晶圆400放置的避让。

其中，第一驱动部件210和第二驱动部件310采用上述形式，一方面，相对气缸无法设定其驱动行程，仅用于单个尺寸晶圆400的对准操作，本实施例的驱动电机11可以根据需要控制其驱动行程及驱动方向，则通过同步设置第一驱动部件210和第二驱动部件310中驱动电机11的驱动行程，可以使其能够兼容于不同尺寸晶圆400的对准操作，从而提高对准装置的适用范围；如图1中虚线所示，位于放置区的小直径虚线圆表示4寸切边晶圆，大直径虚线圆表示6寸切边晶圆，本实施例中的对准装置可以兼容于4寸和6寸晶圆400的对准操作，也可以兼容于6寸和8寸晶圆400的对准操作，还可以兼容于8寸和12寸晶圆400的对准操作等。另一方面，采用齿轮14和齿条13的啮合传动形式，齿轮14位于齿条13的一侧，而非齿条13长度方向的一端，相应地，驱动电机11与齿轮14位于齿条13的同侧，从而在实现对第一推动部件220和第二推动部件320沿第一驱动方向驱动行程的基础上，有效缩短第一驱动部件210和第二驱动部件310沿第一驱动方向的长度，提高第一驱动部件210和第二驱动部件310的紧凑性，减少第一驱动部件210和第二驱动部件310采用气缸、推杆电机等形式时，其壳体位于推杆长度方向的一端，导致长度偏长，对放置区110外围径向空间占用较大情况的发生。

具体地，本实施例中，如图2和图3所示，滑接座12固接有滑块16，载台100固接有滑轨17，且滑轨17的长度方向与放置区110的径向一致，滑块16滑动卡接于滑轨17。驱动电机11和齿轮14驱动齿条13和滑接座12沿第一驱动方向移动时，滑块16随滑接座12同步移动，且移动过程中，滑轨17能够对滑块16的移动位置进行导向限位，相应对滑接座12及其上的齿条13进行沿放置区110径向的导向限位，以提高齿条13和滑接座12对第一推动部件220和第二推动部件320的驱动位置精确度，相应确保第一推动部件220和第二推动部件320对晶圆400的对准位置精确度。

具体地，本实施例中，如图2和图3所示，驱动电机11的壳体与载台100之间连接有连接筒15，驱动电机11的输出轴伸入连接筒15，齿轮14容置于连接筒15内；连接筒15的筒侧壁设有沿其周向延伸的导向口15a，齿条13滑动卡接于导向口15a，且齿条13与导向口15a相应的齿段伸入连接筒15内并与齿轮14啮合。连接筒15的一端共轴连接于驱动电机11的壳体、另一端固接于载台100，驱动电机11的输出轴伸至连接筒15内并连接有齿轮14，则齿轮14容置于连接筒15的筒内空间，齿条13的啮合齿朝向导向口15a，且齿条13沿导向口15a的周向延伸方向穿过导向口15a，从而使其位于导向口15a的齿段伸入导向口15a内并与齿轮14啮合，一方面，齿条13与齿轮14的啮合区域位于连接筒15内，连接筒15能够对该啮合区域和整个齿轮14起到隔离保护作用，从而确保齿轮14与齿条13的精确啮合配合，相应提高第一驱动部件210对第一推动部件220的驱动精确度；另一方面，齿条13与齿轮14啮合传动的过程中，导向口15a同时能够于上下方向对齿条13沿第一驱动方向的移动进行导向限位，从而进一步提高齿条13移动行程的精确度，相应进一步提高第一驱动部件210对第一推动部件220的驱动精确度。

当然，在其他实施例中，第一驱动部件210和第二驱动部件310两者中也可以仅一者采用上述形式。

可选地，本实施例中，如图1所示，载台100设有多个穿设孔120，第一驱动部件210和第二驱动部件310均位于载台100的底部，且第一推动部件220和第二推动部件320一一对应穿过穿设孔120向上伸出。第一驱动部件210和第二驱动部件310均安装于载台100的底部，其中，第一推动部件220具体可以通过安装座221经相应的穿设孔120向上延伸，以使其推动体222向上伸出穿设孔120以对放置区110的晶圆400进行推动对准；第二推动部件320可以包括连接臂321和第二滚柱322，连接臂321的底端连接于第一驱动部件210的驱动端、顶端连接第二滚柱322，则连接臂321伸入相应的穿设孔120，第二滚柱322向上伸出穿设孔120以对放置区110的晶圆400进行推动对准。上述设置，在实现对晶圆400推动对准的基础上，能够有效利用载台100的底部空间，相应减少对准装置安装于载台100顶面占用其顶面空间的情况，从而提高载台100上各部件的安装紧凑性，并减少对准装置对其他部件安装及运行造成的干涉。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种对准装置，其特征在于，包括载台(100)、第一对准组件(200)和至少两个第二对准组件(300)，所述第一对准组件(200)和所述第二对准组件(300)间隔围设于所述载台(100)的放置区(110)且围设区域大于所述放置区(110)的半周区域；

所述第一对准组件(200)包括第一驱动部件(210)、第一推动部件(220)和连接于两者之间的弹性缓冲件(230)，且所述弹性缓冲件(230)的弹性伸缩方向与所述第一驱动部件(210)的驱动方向一致；所述第二对准组件(300)包括第二驱动部件(310)和连接于所述第二驱动部件(310)驱动端的第二推动部件(320)；所述第一驱动部件(210)和所述第二驱动部件(310)的驱动方向均指向所述放置区(110)的轴心，所述第一推动部件(220)和所述第二推动部件(320)均用于推动置于所述放置区(110)的晶圆(400)。

2.根据权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述第一推动部件(220)包括安装座(221)和间隔排布于所述安装座(221)顶部的两个推动体(222)，且两个所述推动体(222)关于所述第一驱动部件(210)的驱动方向对称设置；所述弹性缓冲件(230)背离所述第一驱动部件(210)的一端连接于所述安装座(221)。

3.根据权利要求2所述的对准装置，其特征在于，两个所述推动体(222)均包括第一滚柱，所述第一滚柱枢接于所述安装座(221)的顶部，且所述第一滚柱的轴向与竖直方向一致。

4.根据权利要求2所述的对准装置，其特征在于，所述第一驱动部件(210)的驱动端连接有驱动座(240)，所述驱动座(240)与所述安装座(221)之间滑动插接有导向轴(250)，且所述导向轴(250)的轴向与所述第一驱动部件(210)的驱动方向一致；所述弹性缓冲件(230)包括弹簧，所述弹簧套设于所述导向轴(250)，且所述弹簧的两端与所述驱动座(240)及所述安装座(221)两者一一对应连接。

5.根据权利要求4所述的对准装置，其特征在于，所述导向轴(250)为两个，两个所述导向轴(250)的位置与两个所述推动体(222)一一对应；所述弹簧为两个，两个所述弹簧一一对应套设于两个所述导向轴(250)。

6.根据权利要求4所述的对准装置，其特征在于，所述第一驱动部件(210)的驱动端固接有固定座(260)，所述驱动座(240)可拆卸式连接于所述固定座(260)。

7.根据权利要求1-6任一项所述的对准装置，其特征在于，所述第一驱动部件(210)和/或所述第二驱动部件(310)包括安装于所述载台(100)的驱动电机(11)和滑接于所述载台(100)的滑接座(12)，所述滑接座(12)的一侧设有齿条(13)，且所述滑接座(12)的滑接方向及所述齿条(13)的长度方向均与所述放置区(110)的径向一致；所述驱动电机(11)的输出端连接有齿轮(14)，所述齿轮(14)与所述齿条(13)啮合配合。

8.根据权利要求7所述的对准装置，其特征在于，所述驱动电机(11)的壳体与所述载台(100)之间连接有连接筒(15)，所述驱动电机(11)的输出轴伸入所述连接筒(15)，所述齿轮(14)容置于所述连接筒(15)内；所述连接筒(15)的筒侧壁设有沿其周向延伸的导向口(15a)，所述齿条(13)滑动卡接于所述导向口(15a)，且所述齿条(13)与所述导向口(15a)相应的齿段伸入所述连接筒(15)内并与所述齿轮(14)啮合。

9.根据权利要求8所述的对准装置，其特征在于，所述载台(100)设有多个穿设孔(120)，所述第一驱动部件(210)和所述第二驱动部件(310)均位于所述载台(100)的底部，且所述第一推动部件(220)和所述第二推动部件(320)一一对应穿过所述穿设孔(120)向上伸出。

10.根据权利要求7所述的对准装置，其特征在于，所述滑接座(12)固接有滑块(16)，所述载台(100)固接有滑轨(17)，且所述滑轨(17)的长度方向与所述放置区(110)的径向一致，所述滑块(16)滑动卡接于所述滑轨(17)。