CN220707861U - 一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装 - Google Patents
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000013077 target material Substances 0.000 title claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，包括固定底座，所述固定底座的顶部转动安装有中心柱，且中心柱的顶端外壁固定连接有中心齿轮，所述中心齿轮的一侧啮合有卡齿轮，且卡齿轮的内壁固定连接有转柱；所述固定底座的顶部固定安装有固定板。该平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，通过中心齿轮带动周围的卡齿轮进行同时旋转，使得不同位置的夹持柱同时旋转对背板进行夹持，从而将靶材板固定在工装的内部，然后首先通过风冷扇对靶材板和背板进行风冷，然后再将换热管内部通入液体，进行循环水冷，使得循序将靶材进行冷却处理，避免温差过大导致靶材出现开裂损坏情况，从而保证平面溅射靶材绑定用快速冷却工装的冷却效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装。
背景技术
在镀膜进程中，韧性比较差的金属、合金和氧化物等容易在运用进程中会产生决裂，进而在制备靶材时一般会把靶材绑定在铜背板上，绑定前将靶材和背靶外表预处理，然后将背靶固定放置在加热台上，将靶材放于背板上，升温到绑定温度，将靶材和背靶金属化，经过钎焊将靶材贴合在铜背板上，且在绑定后需要进行降温冷却处理。
在进行平面溅射靶材绑定后，通常使用水冷风进行靶材的降温冷却处理，但直接使用水冷风对靶材进行降温时，会导致初始温差较大，从而导致靶材以及背板可能出现开裂损坏，同时不方便将靶材在加热台外进行冷却操作，从而占用加热台的使用时间，影响靶材的加工效率，因此需要提出一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，以解决上述背景技术中提出的不方便将靶材在加热台外进行冷却，且冷却初始温差较大的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，包括固定底座，所述固定底座的顶部转动安装有中心柱，且中心柱的顶端外壁固定连接有中心齿轮，所述中心齿轮的一侧啮合有卡齿轮，且卡齿轮的内壁固定连接有转柱；
所述固定底座的顶部固定安装有固定板，所述卡齿轮的顶部固定连接有夹持柱，且夹持柱的一侧挤压设置有背板，所述背板的顶部固定连接有靶材板，所述固定底座的顶部固定安装有换热管，且固定底座的顶部对称设置有风冷扇。
优选的，所述固定底座的顶部固定连接有限位板，且限位板的内部移动设置有移动条，所述移动条的一侧设置有卡齿，且卡齿一侧啮合有连接齿轮，所述连接齿轮固定连接在中心柱的底端外壁。
优选的，所述连接齿轮和中心齿轮均通过中心柱转动安装在固定底座的顶部，且中心柱转动连接在固定板的内壁，所述卡齿轮通过转柱转动安装在固定板的顶部。
优选的，所述卡齿轮等距离设置在中心齿轮的外侧，且夹持柱固定设置在卡齿轮的顶部一侧，所述夹持柱的两端呈倾斜状结构，且背板通过夹持柱架设在固定板的顶部。
优选的，所述风冷扇对应设置在换热管的外侧，且换热管设置在背板和靶材板的外侧，所述换热管的两侧对称安装有连接板，且换热管通过连接板固定安装在固定底座的顶部。
优选的，所述换热管的一端固定安装有循环泵，且循环泵固定安装在固定底座的内侧，所述固定底座的内侧安装有冷水箱，所述移动条的一侧顶部固定连接有把手。
优选的，所述移动条的内部插接有限位柱，且限位柱的外壁移动连接有固定框，所述固定框固定安装在固定底座的顶部，且固定框的内侧固定安装有限位弹簧，所述限位弹簧的底端与限位柱的外壁固定连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该平面溅射靶材绑定用快速冷却工装；
1.通过中心齿轮带动周围的卡齿轮进行同时旋转，使得不同位置的夹持柱同时旋转对背板进行夹持，从而将靶材板固定在工装的内部，然后首先通过风冷扇对靶材板和背板进行风冷，然后再将换热管内部通入液体，进行循环水冷，使得循序将靶材进行冷却处理，避免温差过大导致靶材出现开裂损坏情况，从而保证平面溅射靶材绑定用快速冷却工装的冷却效果；
2.通过握住把手将移动条进行移动，从而将移动条一侧的卡齿带动连接齿轮进行旋转，使得中心柱带动中心齿轮转动，进而方便控制卡齿轮的旋转使用，且拉动移动条后，通过将限位柱插接在移动条内部，从而方便将移动条进行限位，进而方便使用者操作使用，且方便平面溅射靶材绑定用快速冷却工装在使用时能快速将靶材进行夹持固定。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型限位柱和限位弹簧的连接结构示意图；
图3为本实用新型中心齿轮和卡齿轮的连接结构示意图；
图4为本实用新型连接齿轮和移动条的连接结构示意图。
图中：1、固定底座；2、限位板；3、移动条；4、连接齿轮；5、中心柱；6、中心齿轮；7、卡齿轮；8、转柱；9、固定板；10、夹持柱；11、背板；12、靶材板；13、换热管；14、风冷扇；15、把手；16、固定框；17、限位柱；18、限位弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实例一：
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，包括固定底座1，固定底座1的顶部固定安装有固定板9，连接齿轮4和中心齿轮6均通过中心柱5转动安装在固定底座1的顶部，且中心柱5转动连接在固定板9的内壁，卡齿轮7通过转柱8转动安装在固定板9的顶部；
卡齿轮7的顶部固定连接有夹持柱10，卡齿轮7等距离设置在中心齿轮6的外侧，且夹持柱10固定设置在卡齿轮7的顶部一侧，夹持柱10的两端呈倾斜状结构，且背板11通过夹持柱10架设在固定板9的顶部；
且夹持柱10的一侧挤压设置有背板11，背板11的顶部固定连接有靶材板12，固定底座1的顶部固定安装有换热管13，风冷扇14对应设置在换热管13的外侧，且换热管13设置在背板11和靶材板12的外侧，换热管13的两侧对称安装有连接板，且换热管13通过连接板固定安装在固定底座1的顶部，且固定底座1的顶部对称设置有风冷扇14；
通过中心齿轮6带动周围的卡齿轮7进行同时旋转，使得不同位置的夹持柱10同时旋转对背板11进行夹持，从而将靶材板12固定在工装的内部，然后首先通过风冷扇14对靶材板12和背板11进行风冷；
然后再将换热管13内部通入液体，进行循环水冷，使得循序将靶材进行冷却处理，避免温差过大导致靶材出现开裂损坏情况，从而保证平面溅射靶材绑定用快速冷却工装的冷却效果，先用风冷，再水冷，最后风冷和水冷一起使用，进而方便提高靶材的冷却效率；
实例二：
在实例一的基础上，为方便靶材的快速夹持固定，所以请参阅图3和图4，固定底座1的顶部固定连接有限位板2，且限位板2的内部移动设置有移动条3，移动条3的一侧设置有卡齿，且卡齿一侧啮合有连接齿轮4，连接齿轮4固定连接在中心柱5的底端外壁，固定底座1的顶部转动安装有中心柱5，且中心柱5的顶端外壁固定连接有中心齿轮6，中心齿轮6的一侧啮合有卡齿轮7，且卡齿轮7的内壁固定连接有转柱8；
换热管13的一端固定安装有循环泵，且循环泵固定安装在固定底座1的内侧，固定底座1的内侧安装有冷水箱，移动条3的一侧顶部固定连接有把手15，移动条3的内部插接有限位柱17，且限位柱17的外壁移动连接有固定框16，固定框16固定安装在固定底座1的顶部，且固定框16的内侧固定安装有限位弹簧18，限位弹簧18的底端与限位柱17的外壁固定连接；
通过握住把手15将移动条3进行移动，从而将移动条3一侧的卡齿带动连接齿轮4进行旋转，使得中心柱5带动中心齿轮6转动，进而方便控制卡齿轮7的旋转使用，且拉动移动条3后，通过将限位柱17插接在移动条3内部，从而方便将移动条3进行限位，进而方便使用者操作使用，且方便平面溅射靶材绑定用快速冷却工装在使用时能快速将靶材进行夹持固定；
限位板2的设置方便对移动条3进行限位，从而方便在拉动移动条3时，将其进行水平移动，且移动条3向外拉动时，将卡齿轮7带动夹持柱10将靶材进行夹持，移动条3向内推动时，将夹持柱10从靶材的外侧移开，进而方便靶材的快速限位固定，且限位柱17和限位弹簧18等结构的设置方便将移动条3进行限位，从而保证夹持柱10使用的稳定性。
工作原理：在使用该平面溅射靶材绑定用快速冷却工装时，将背板11放置在卡齿轮7的顶部，拉住限位柱17向上移出移动条3的内部，然后握住把手15将移动条3向固定板9的外侧拉动，拉动移动条3后将限位柱17松开，进而通过限位弹簧18的弹性将限位柱17进行复位，使得限位柱17插接在移动条3和限位板2内部对其进行限位；
进而将移动条3的卡齿带动连接齿轮4进行旋转，从而将中心柱5带动中心齿轮6进行转动，然后中心齿轮6带动卡齿轮7进行旋转，从而将夹持柱10对背板11进行挤压，且由于夹持柱10的两端为倾斜面，进而将背板11挤压向上抬起，从而将背板11和靶材板12夹持在夹持柱10之间；
使得背板11和卡齿轮7之间留有空隙，然后通过风冷扇14对背板11和靶材板12进行风冷，接着通过水泵抽取水冷箱内部的水向换热管13内部流动循环，进而将背板11和靶材板12进行水冷，且水冷加风冷提高靶材冷却效率，同时循序冷却避免温差导致靶材开裂。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，包括固定底座(1)，其特征在于：所述固定底座(1)的顶部转动安装有中心柱(5)，且中心柱(5)的顶端外壁固定连接有中心齿轮(6)，所述中心齿轮(6)的一侧啮合有卡齿轮(7)，且卡齿轮(7)的内壁固定连接有转柱(8)；
所述固定底座(1)的顶部固定安装有固定板(9)，所述卡齿轮(7)的顶部固定连接有夹持柱(10)，且夹持柱(10)的一侧挤压设置有背板(11)，所述背板(11)的顶部固定连接有靶材板(12)，所述固定底座(1)的顶部固定安装有换热管(13)，且固定底座(1)的顶部对称设置有风冷扇(14)。
2.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，其特征在于，所述固定底座(1)的顶部固定连接有限位板(2)，且限位板(2)的内部移动设置有移动条(3)，所述移动条(3)的一侧设置有卡齿，且卡齿一侧啮合有连接齿轮(4)，所述连接齿轮(4)固定连接在中心柱(5)的底端外壁。
3.根据权利要求2所述的一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，其特征在于，所述连接齿轮(4)和中心齿轮(6)均通过中心柱(5)转动安装在固定底座(1)的顶部，且中心柱(5)转动连接在固定板(9)的内壁，所述卡齿轮(7)通过转柱(8)转动安装在固定板(9)的顶部。
4.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，其特征在于，所述卡齿轮(7)等距离设置在中心齿轮(6)的外侧，且夹持柱(10)固定设置在卡齿轮(7)的顶部一侧，所述夹持柱(10)的两端呈倾斜状结构，且背板(11)通过夹持柱(10)架设在固定板(9)的顶部。
5.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，其特征在于，所述风冷扇(14)对应设置在换热管(13)的外侧，且换热管(13)设置在背板(11)和靶材板(12)的外侧，所述换热管(13)的两侧对称安装有连接板，且换热管(13)通过连接板固定安装在固定底座(1)的顶部。
6.根据权利要求2所述的一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，其特征在于，所述换热管(13)的一端固定安装有循环泵，且循环泵固定安装在固定底座(1)的内侧，所述固定底座(1)的内侧安装有冷水箱，所述移动条(3)的一侧顶部固定连接有把手(15)。
7.根据权利要求6所述的一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，其特征在于，所述移动条(3)的内部插接有限位柱(17)，且限位柱(17)的外壁移动连接有固定框(16)，所述固定框(16)固定安装在固定底座(1)的顶部，且固定框(16)的内侧固定安装有限位弹簧(18)，所述限位弹簧(18)的底端与限位柱(17)的外壁固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322232020.9U CN220707861U (zh) | 2023-08-18 | 2023-08-18 | 一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322232020.9U CN220707861U (zh) | 2023-08-18 | 2023-08-18 | 一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220707861U true CN220707861U (zh) | 2024-04-02 |
Family
ID=90441860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322232020.9U Active CN220707861U (zh) | 2023-08-18 | 2023-08-18 | 一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220707861U (zh) |
-
2023
- 2023-08-18 CN CN202322232020.9U patent/CN220707861U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |