CN220585184U - 一种应用于半导体加工装置的电极固定结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，半导体加工装置包括底板和真空腔体。上述电极固定结构包括设置在真空腔体外部的电极组件、至少二个第一固定板、以及设置在对应第一固定板上的两组第二固定板。电极组件包括正极电极和负极电极，其中至少一个所述第一固定板用于连接所述正极电极，另有至少一个所述第一固定板用于连接所述负极电极。所述第二固定板固定在所述底板上，且第二固定板包括固定部和呈直角结构的垂直侧板。本实用新型固定电极的结构简单且结构强度高，机械强度好，此外，固定电极时不需过多的元件，更易于实施，利于降低半导体加工装置的整体成本。

Description

一种应用于半导体加工装置的电极固定结构

技术领域

本实用新型涉及半导体加工电极固定技术领域，特别是涉及一种应用于半导体加工装置的电极固定结构。

背景技术

半导体加工时，半导体衬底放置于半导体延长工艺的腔体空间内，利用正极电极和负极电极之间形成电场来引导腔体空间内离子的运动，从而对半导体衬底进行镀膜和氧化等加工处理。

现参考中国专利202110869575.7所公开的一种适用于硅外延片电阻率测量前处理的设备，其揭示的处理设备包括电极，以对不同电性的等离子体产生作用力，但是对于电极的安装方式没有揭示，如何简便并可靠地将电极安装是需要解决的一个技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种应用于半导体加工装置的电极固定结构来便捷可靠的实现电极的安装。

一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，半导体加工装置包括底板和真空腔体，所述电极固定结构包括：

设置在真空腔体外部的电极组件，其包括正极电极和负极电极；

至少两个第一固定板；其中至少一个所述第一固定板用于连接所述正极电极，另有至少一个所述第一固定板用于连接所述负极电极；以及

设置在对应第一固定板上的第二固定板，其固定在所述底板上。

上述电极固定结构，固定电极的结构简单且结构强度高，机械强度好，此外，固定电极时不需过多的元件，更易于实施，利于降低半导体加工装置的整体成本。

在其中一个实施例中，所述真空腔体固定安装在所述底板上；所述底板上贯通开设有通孔，其用于容置所述真空腔体的一端。

在其中一个实施例中，所述真空腔体腔壁处开设有用于容纳电极组件的定位槽，且正极电极和负极电极分别通过对应定位槽契合嵌装在所述真空腔体上。

进一步地，两组所述正极电极间隔布设于真空腔体外部一侧，两组所述负极电极间隔设于真空腔体外部另一侧；所述正极电极与负极电极相对布设。

在其中一个实施例中，两组所述第一固定板以真空腔体的纵轴线为中心对称布设；所述第一固定板包括平板部和两组连接部，平板部固定于两组连接部之间。

进一步地，所述第二固定板与布设在正极电极上的连接部之间固定安装有绝缘板；所述第二固定板与布设在负极电极上的连接部之间固定安装有转接板。

再进一步地，所述第二固定板包括固定部和呈直角结构的垂直侧板；所述转接板为金属材质，且转接板的一侧边通过螺钉与第一固定板相连接。

在其中一个实施例中，所述转接板的另一侧边通过螺钉与垂直侧板相连接。

进一步地，所述固定部位于垂直侧板底部处，且与底板之间通过螺钉进行连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：利用第一固定板+两组第二固定板构成的承载体来支撑和固定电极，该承载体具备延伸固定在电极上的连接部，和连接部相连的呈直角结构的垂直侧板，从而具有结构强度高的特点，可加强机械强度，从而更好的实现电极组件在真空腔体上的定位安装和固定，达到便捷可靠的实现电极安装的效果，与此同时，固定电极时不需过多的元件，更易于实施，利于降低半导体加工装置的整体成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1所示为本实用新型实施例1提供的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构的示意图。

图2所示为图1中A的放大图。

图3为所示为本实用新型实施例2提供的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构的示意图。

图4为所示为本实用新型实施例3提供的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构的示意图。

主要元件符号说明

1、底板；2、真空腔体；3、电极组件；31、正极电极；32、负极电极；4、第一固定板；5、绝缘板；6、第二固定板；7、转接板。

以上主要元件符号说明结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-2，本实施例提供了一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，半导体加工装置包括底板1和真空腔体2。上述电极固定结构包括设置在真空腔体2外部的电极组件3、两组第一固定板4、以及设置在对应第一固定板4上的两组第二固定板6。

所述真空腔体2固定安装在所述底板1上，所述底板1上贯通开设有通孔，其用于容置所述真空腔体2的一端。本实施例中，采用底板1作为安装框架(图未示)的一部分，起到承载半导体加工装置的作用，采用石英材质的真空腔体2作为半导体加工装置的主体，其形成半导体延长工艺的腔体空间，半导体衬底(未图示)放置于真空腔体2内以便进行镀膜或氧化等加工处理。

所述电极组件3包括两组正极电极31和两组负极电极32，其中，所述真空腔体2腔壁处开设有用于容纳电极组件3的定位槽，且正极电极31和负极电极32分别通过对应定位槽契合嵌装在所述真空腔体2上。本实施例中，利用定位槽提供正极电极31和负极电极32在真空腔体2上的装配定位，配合由第一固定板4和第二固定板6构成的承重体来实现电极在半导体加工装置电极安装位置的固定。

两组所述正极电极31间隔布设于真空腔体2外部一侧，两组所述负极电极32间隔设于真空腔体2外部另一侧，所述正极电极31与负极电极32相对布设。本实施例中，采用由正极电极31和负极电极32构成的电极组件3作为半导体加工装置的处理部分，通过于正极电极31和负极电极32之间形成电场来引导腔体空间内离子的运动，从而达到对置放于真空腔体2内的半导体衬底进行镀膜的目的。

两组所述第一固定板4以真空腔体2的纵轴线为中心对称布设，其中一组所述第一固定板4用于连接两组所述正极电极31，剩余一组所述第一固定板4用于连接两组所述负极电极32。所述第一固定板4包括平板部和两组连接部，平板部固定于两组连接部之间，安装于两组正极电极31之间的第一固定板4，其一组连接部延伸固定在一组正极电极31的中部位置，剩余一组连接部延伸固定在另一组正极电极31的中部位置。同理，安装于两组负极电极32之间的第一固定板4，其一组连接部延伸固定在一组负极电极32的中部位置，剩余一组连接部延伸固定在另一组负极电极32的中部位置。所述第二固定板6与所述底板1相固定，其中，所述第二固定板6包括呈直角结构的垂直侧板和位于垂直侧板底部处的固定部，所述固定部与底板1之间通过螺钉进行连接。

本实施例中，利用第一固定板4+第二固定板6构成的承载体来支撑和固定电极，该承载体具备延伸固定在电极上的连接部，和连接部相连的呈直角结构的垂直侧板，从而具有结构强度高的特点，可加强机械强度，从而更好的实现电极组件3在真空腔体2上的定位安装和固定，达到便捷可靠的实现电极安装的效果，与此同时，固定电极时不需过多的元件，更易于实施，利于降低半导体加工装置的整体成本。

所述第二固定板6与布设在正极电极31上的连接部之间固定安装有绝缘板5，绝缘板5的一侧边通过螺钉与第一固定板4相连接，绝缘板5的另一侧边通过螺钉与垂直侧板相连接，起到电性绝缘的作用。所述第二固定板6与布设在负极电极32上的连接部之间固定安装有转接板7，所述转接板7为金属材质，且转接板7的一侧边通过螺钉与第一固定板4相连接，所述转接板7的另一侧边通过螺钉与垂直侧板相连接，以实现接地功能。

需要说明的是，在实际实施中，为了节省材料，可在与负极电极32连接的第一固定板4底端设置固定脚，后通过螺钉或焊接的方式直接与底板1相固定，也就不需要再设置第二固定板6及转接板7，或者也可只省去与连接负极电极32的第一固定板4相对应的转接板7，从而直接将连接负极电极32的第一固定板4与第二固定板6固定连接，在此不做赘述。

实施例2

请参阅图3，本实施例提供了一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其和实施例1的区别在于：本实施例的第一固定板4为独立元件，即每个电极均通过一个第一固定板4与第二固定板6配合进行固定。

如图3所示有二个正极电极31与二个负极电极32，则共需四个第一固定板4与四个第二固定板6来完成对电极的固定。

实施例3

请参阅图4，本实施例提供了一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其和实施例1的区别在于：本实施例的正极电极31与负极电极32均只有一个，并相对设置，相应的每个电极仅可通过如实施例2所述的第一固定板4与第二固定板6配合模式进行固定，或为了固定稳固，每个电极的两侧均可设置第一固定板4与第二固定板6，即共需四个第一固定板4与四个第二固定板6来完成对电极的固定。

综上，本实施例的电极固定结构，具备下述优点：固定电极的结构简单且结构强度高，机械强度好，此外，固定电极时不需过多的元件，更易于实施，利于降低半导体加工装置的整体成本。

对于所涉及的各个部件的命名，以其在说明书中描述的功能作为命名的标准，而不受本实用新型所用到的具体的名词的限定，本领域的技术人员也可以选用其它的名词来描述本实用新型的各个部件名称。

Claims (9)

1.一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，半导体加工装置包括底板(1)和真空腔体(2)，其特征在于，所述电极固定结构包括：

设置在真空腔体(2)外部的电极组件(3)，其包括正极电极(31)和负极电极(32)；

至少两个第一固定板(4)；其中至少一个所述第一固定板(4)用于连接所述正极电极(31)，另有至少一个所述第一固定板(4)用于连接所述负极电极(32)；以及

设置在对应第一固定板(4)上的第二固定板(6)，其固定在所述底板(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其特征在于，所述真空腔体(2)固定安装在所述底板(1)上；

所述底板(1)上贯通开设有通孔，其用于容置所述真空腔体(2)的一端。

3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其特征在于，所述真空腔体(2)腔壁处开设有用于容纳电极组件(3)的定位槽，且正极电极(31)和负极电极(32)分别通过对应定位槽契合嵌装在所述真空腔体(2)上。

4.根据权利要求3所述的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其特征在于，两组所述正极电极(31)间隔布设于真空腔体(2)外部一侧，两组所述负极电极(32)间隔设于真空腔体(2)外部另一侧；

所述正极电极(31)与负极电极(32)相对布设。

5.根据权利要求1所述的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其特征在于，两组所述第一固定板(4)以真空腔体(2)的纵轴线为中心对称布设；

所述第一固定板(4)包括平板部和两组连接部，平板部固定于两组连接部之间。

6.根据权利要求5所述的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其特征在于，所述第二固定板(6)与布设在正极电极(31)上的连接部之间固定安装有绝缘板(5)；

所述第二固定板(6)与布设在负极电极(32)上的连接部之间固定安装有转接板(7)。

7.根据权利要求6所述的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其特征在于，所述第二固定板(6)包括固定部和呈直角结构的垂直侧板；所述转接板(7)为金属材质，且转接板(7)的一侧边通过螺钉与第一固定板(4)相连接。

8.根据权利要求7所述的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其特征在于，所述转接板(7)的另一侧边通过螺钉与垂直侧板相连接。

9.根据权利要求8所述的一种应用于半导体加工装置的电极固定结构，其特征在于，所述固定部位于垂直侧板底部处，且与底板(1)之间通过螺钉进行连接。