CN220574161U - 三氯氢硅生产中渣浆排放系统 - Google Patents
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Abstract
一种三氯氢硅生产中渣浆排放系统,包括洗涤塔,洗涤塔底部设有排放管,排放管由上而下分别设置有第一手阀、第二手阀、第三手阀和气动开关阀,第一手阀和第二手阀之间设有清液输入管,清液输入管上设有第五手阀,第五手阀的输出端设有压力测量装置。本系统取消了传统输送用的渣浆泵,实现了无动力输送,避免了设备故障导致的排渣不畅,同时大大降低了设备维护成本。
Description
技术领域
本实用新型属于三氯氢硅生产中渣浆排放技术领域,特别涉及一种三氯氢硅生产中渣浆排放系统。
背景技术
多晶硅生产技术中,冷氢化工序主要利用硅粉、四氯化硅和氢气反应制备粗三氯氢硅,由于硅粉反应不完全,通过洗涤塔循环淋洗产生大量渣浆,渣浆如果不能得到及时排放,将直接影响三氯氢硅的产出以及后续系统的运行稳定。
在现有的冷氢化工艺渣浆排放过程中,由于洗涤塔锥部渣浆排放通过缓冲罐进行降压后再通过渣浆泵进行输送至后续渣浆系统水解处理,该处理方法在洗涤塔与缓冲罐之间,由于压力和温度都极剧下降,造成渣浆大量闪蒸,渣浆固含量高,再通过渣浆泵输送时极易造成渣浆泵汽蚀,设备维护成本高,且渣浆闪蒸过程中大量氯硅烷得不到冷凝直接作为尾气进行排放造成反应物浪费。
发明内容
鉴于背景技术所存在的技术问题,本实用新型所提供的三氯氢硅生产中渣浆排放系统,本系统取消了传统输送用的渣浆泵,实现了无动力输送,避免了设备故障导致的排渣不畅,同时大大降低了设备维护成本。
为了解决上述技术问题,本实用新型采取了如下技术方案来实现:
一种三氯氢硅生产中渣浆排放系统,包括洗涤塔,洗涤塔底部设有排放管,排放管由上而下分别设置有第一手阀、第二手阀、第三手阀和气动开关阀,第一手阀和第二手阀之间设有清液输入管,清液输入管上设有第五手阀,第五手阀的输出端设有压力测量装置。
优选的方案中,所述的压力测量装置包括与清液输入管连接支管,支管上设有第四手阀,第四手阀输出端连接压力表。
本实用新型可达到以下有益效果:
1、利用洗涤塔和渣浆处理系统间压力差进行渣浆输送,将原有压差造成的闪蒸转移至渣浆处理系统,因渣浆处理系统设有氯硅烷冷凝系统,闪蒸冷凝的氯硅烷可循环利用。
2、渣浆系统处理时,需要经过闪蒸、冷凝、分离、提纯等工序,该方案将渣浆输送中的缺陷闪蒸很好的转移到了渣浆处理系统中得以利用;
3、本系统取消了传统输送用的渣浆泵,实现了无动力输送,避免了设备故障导致的排渣不畅,同时大大降低了设备维护成本;
4、由于系统正常运行时洗涤塔的压力波动较小,排渣操作易控制,可实现固定操作,安全风险低;
5、通过排渣操作,结合洗涤塔液位,可实现洗涤塔温度的精准控制,保证了气相硅粉得到充分淋洗,后续分离提纯系统运行稳定。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明:
图1为本实用新型系统结构图。
图中:第一手阀1、第二手阀2、第三手阀3、第四手阀4、第五手阀5、洗涤塔6、气动开关阀7。
具体实施方式
实施例1:
优选的方案如图1所示,一种三氯氢硅生产中渣浆排放系统,包括洗涤塔6,洗涤塔6底部设有排放管,排放管由上而下分别设置有第一手阀1、第二手阀2、第三手阀3和气动开关阀7,第一手阀1和第二手阀2之间设有清液输入管,清液输入管上设有第五手阀5,第五手阀5的输出端设有压力测量装置。压力测量装置包括与清液输入管连接支管,支管上设有第四手阀4,第四手阀4输出端连接压力表。
本系统通过高低压差,配合液位和温度控制洗涤塔排渣量,减少了动力设备的投入,控制洗涤塔温度在工艺范围内,进一步保证了粗三氯氢硅的产出。将原有压差和温差造成的极易闪蒸的缺陷转移至渣浆处理系统,利用渣浆处理系统中冷凝系统对闪蒸的气体进行冷凝回收循环利用。
本系统中的所有手阀均采用硬密封球阀,确保密封性和耐磨性。
通过控制排渣量和排渣次数从而对洗涤塔液位和温度进行精准控制,进一步稳定了后续三氯氢硅产出以及系统整体的稳定性。
工作原理如下:
在正常操作过程中,保持气动开关阀、第三手阀 常开,通过第一手阀、第二手阀进行排渣操作;每次排渣完成后,关闭第一手阀,打开第五手阀引入清液对排渣管进行清洗,准备下一次排渣。
上述的实施例仅为本实用新型的优选技术方案,而不应视为对于本实用新型的限制,本实用新型的保护范围应以权利要求记载的技术方案,包括权利要求记载的技术方案中技术特征的等同替换方案为保护范围。即在此范围内的等同替换改进,也在本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种三氯氢硅生产中渣浆排放系统,其特征在于:包括洗涤塔(6),洗涤塔(6)底部设有排放管,排放管由上而下分别设置有第一手阀(1)、第二手阀(2)、第三手阀(3)和气动开关阀(7),第一手阀(1)和第二手阀(2)之间设有清液输入管,清液输入管上设有第五手阀(5),第五手阀(5)的输出端设有压力测量装置。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中渣浆排放系统,其特征在于:压力测量装置包括与清液输入管连接支管,支管上设有第四手阀(4),第四手阀(4)输出端连接压力表。
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