CN220554831U - 一种石英炉管用自动清洗机 - Google Patents

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胡情华
刘芳亮
唐文璇
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Abstract

本实用新型涉及清洗机领域,公开了一种石英炉管用自动清洗机,包括第一液压缸,所述第一液压缸上端设置有滑动机构,所述滑动机构用于设备的平移滑动;且第一液压缸下端设置有抓取机构,所述抓取机构用于抓取固定石英炉管。本实用新型设计采用采用滚筒抓取架,并在滚筒上设置有橡胶涂层,解决手动对炉管进行旋转及搬运,容易造成炉管损坏的问题,且全程通过机械进行搬运清洗,解决石英炉管边缘有比较锋利的毛刺,对工作人员易造成安全事故隐患的问题,较为实用,适合广泛推广和使用。

Description

一种石英炉管用自动清洗机
技术领域
本实用新型属于清洗机技术领域,具体地说,涉及一种石英炉管用自动清洗机。
背景技术
随着半导体行业的发展,圆形半导体硅片的加工产能需求日趋增加,需要一种自动化程度高,生产效率高的设备,实现自动清洗炉管,取代人工繁琐的手动作业。目前炉管清洗设备需要人工进行手动对炉管进行旋转,炉管清洗后,人工将冲好的炉管搬运到固定位置进行自然干燥。整个炉管清洗的过程及中转过程完全手动操作;而这种操作在清洗过程中手动对炉管进行旋转及搬运,容易造成炉管损坏;且石英炉管边缘有比较锋利的毛刺,对工作人员易造成安全事故隐患。
实用新型内容
为解决上述容易造成炉管损坏和易造成安全事故隐患的技术问题,本实用新型采用技术方案的基本构思是:
一种石英炉管用自动清洗机,包括第一液压缸,所述第一液压缸上端设置有滑动机构,所述滑动机构用于设备的平移滑动;且第一液压缸下端设置有抓取机构,所述抓取机构用于抓取固定石英炉管。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述滑动机构包括滑轮杆,所述滑轮杆下端中心位置与第一液压缸上端固定连接,且滑轮杆两端各安装有两个滑轮,所述滑轮的轴杆上固定连接有滑轮传动轮,所述滑轮传动轮与电机传动轮通过皮带连接,所述电机传动轮固定在电机的传动轴上,所述电机下端固定连接在滑轮杆上端中心位置。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述抓取机构包括支撑架,所述支撑架上端中心位置与第一液压缸下端的伸缩杆末端固定连接,且支撑架下端左右两侧各活动连接有一个抓取架,所述抓取架上端与第二液压缸下端的伸缩杆末端活动连接,所述第二液压缸上端活动连接在支撑架下端内侧。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述抓取架内侧分支末端各活动连接有一个滚筒,所述上端滚筒的轴杆上固定连接有滚筒传动轮,所述滚筒传动轮与防水电机传动轮通过皮带进行连接,所述防水电机传动轮固定连接在防水电机的传动轴上,所述防水电机固定安装在抓取架中心内部,且做密封防水处理。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述滑轮与滑轨的凹槽卡接,并与其滚动连接,所述滑轨中部下端固定连接在支撑柱上端,所述支撑柱下端固定连接在清洗池上端,且支撑柱上安装有热风机,所述热风机的高度与抓取架最大高度相对应。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述抓取架与石英炉管卡接,且滚筒与石英炉管滚动连接,所述石英炉管安装在传送带表面的防滚动凹槽内。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述传送带分为送料和出料两部分,且传送带表面均固定连接有防滚动凹槽。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果:
本实用新型采用滚筒抓取架,并在滚筒上设置有橡胶涂层,解决手动对炉管进行旋转及搬运,容易造成炉管损坏的问题,且全程通过机械进行搬运清洗,解决石英炉管边缘有比较锋利的毛刺,对工作人员易造成安全事故隐患的问题。
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的描述。
附图说明
在附图中:
图1为一种石英炉管用自动清洗机的正视图;
图2为一种石英炉管用自动清洗机的抓取示意图;
图3为一种石英炉管用自动清洗机的清洗示意图;
图4为一种石英炉管用自动清洗机的风干示意图;
图5为一种石英炉管用自动清洗机的抓取架示意图;
图中:1、滑轨;2、滑轮传动轮;3、滑轮;4、电机传动轮;5、电机;6、滑轮杆;7、第一液压缸;8、支撑架;9、第二液压缸;10、石英炉管;11、传送带;12、抓取架;13、滚筒传动轮;14、滚筒;15、支撑柱;16、热风机;17、清洗池;18、防水电机传动轮;19、防水电机。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,以下实施例用于说明本实用新型。
如图1至图5所示,一种石英炉管用自动清洗机,包括第一液压缸7,第一液压缸7上端设置有滑动机构,滑动机构用于设备的平移滑动;且第一液压缸7下端设置有抓取机构,抓取机构用于抓取固定石英炉管10。
本设置中,将石英炉管10放置在传送带11的防滚动凹槽内,将石英炉管10输送到清洗池17边上,然后启动电机5逆时针转动,电机5通过皮带带动两个滑轮3向左滚动,并带动滑轮杆6左移,同时带动下端设备左移,与此同时第一液压缸7收缩,使支撑架8达到最大高度,当支撑架8到达与石英炉管10相对的位置时,关闭电机5,启动第二液压缸9,使其延伸,带动抓取架12转动张开,然后启动第一液压缸7延伸,带动支撑架8下移,当抓取架12与石英炉管10卡接时,停止第一液压缸,启动第二液压缸12收缩,使抓取架12抓取石英炉管10,接着电机5带动下端设备右移至清洗池17上端,第一液压缸7延伸,将石英炉管10浸没在清洗池17内,然后启动防水电机19,防水电机19转动,并通过皮带带动上端滚筒14转动,且滚筒14带动石英炉管10一起滚动进行清洗,当清洗完成后,第一液压缸7收缩,使石英炉管10与热风机16对其,并启动热封机16对石英炉管10进行风干,在此过程中使石英炉管10不断旋转,防止清洗液聚集,加快风干速度,当风干完成后,再将石英炉管10放置在右端传送带上,进行输送。
如图1至图5所示,在具体实施方式中,滑动机构包括滑轮杆6,滑轮杆6下端中心位置与第一液压缸7上端固定连接,且滑轮杆6两端各安装有两个滑轮3,滑轮3的轴杆上固定连接有滑轮传动轮2,滑轮传动轮2与电机传动轮4通过皮带连接,电机传动轮4固定在电机5的传动轴上,电机5下端固定连接在滑轮杆6上端中心位置。
本设置中,启动电机5逆时针转动,电机5通过皮带带动两个滑轮3向左滚动,并带动滑轮杆6左移,同时带动下端设备左移,与此同时第一液压缸7收缩,使支撑架8达到最大高度,当支撑架8到达与石英炉管10相对的位置时,关闭电机5,使抓取架12抓取石英炉管10,接着电机5带动下端设备右移至清洗池17上端。
如图1至图5所示,在具体实施方式中,抓取机构包括支撑架8,支撑架8上端中心位置与第一液压缸7下端的伸缩杆末端固定连接,且支撑架8下端左右两侧各活动连接有一个抓取架12,抓取架12上端与第二液压缸9下端的伸缩杆9末端活动连接,第二液压缸9上端活动连接在支撑架8下端内侧。
本设置中,第一液压缸7收缩,使支撑架8达到最大高度,当支撑架8到达与石英炉管10相对的位置时,关闭电机5,启动第二液压缸9,使其延伸,带动抓取架12转动张开,然后启动第一液压缸7延伸,带动支撑架8下移,当抓取架12与石英炉管10卡接时,停止第一液压缸,启动第二液压缸12收缩,使抓取架12抓取石英炉管10。
如图1至图5所示,在具体实施方式中,抓取架12内侧分支末端各活动连接有一个滚筒14,上端滚筒14的轴杆上固定连接有滚筒传动轮13,滚筒传动轮13与防水电机传动轮18通过皮带进行连接,防水电机传动轮18固定连接在防水电机19的传动轴上,防水电机19固定安装在抓取架12中心内部,且做密封防水处理。
本设置中,先启动第二液压缸9,使其延伸,带动抓取架12转动张开,然后启动第一液压缸7延伸,带动支撑架8下移,当抓取架12与石英炉管10卡接时,停止第一液压缸,启动第二液压缸12收缩,使抓取架12抓取石英炉管10。
如图1至图5所示,在具体实施方式中,滑轮3与滑轨1的凹槽卡接,并与其滚动连接,滑轨1中部下端固定连接在支撑柱15上端,支撑柱15下端固定连接在清洗池17上端,且支撑柱15上安装有热风机16,热风机16的高度与抓取架12最大高度相对应。
本设置中,当清洗完成后,第一液压缸7收缩,使石英炉管10与热风机16对其,并启动热封机16对石英炉管10进行风干,在此过程中使石英炉管10不断旋转,防止清洗液聚集,加快风干速度。
如图1至图5所示,在具体实施方式中,抓取架12与石英炉管10卡接,且滚筒14与石英炉管10滚动连接,石英炉管10安装在传送带11表面的防滚动凹槽内。
本设置中,将石英炉管10放置在传送带11的防滚动凹槽内,将石英炉管10输送到清洗池17边上。
如图1至图5所示,在具体实施方式中,传送带11分为送料和出料两部分,且传送带10表面均固定连接有防滚动凹槽。
本设置中,当风干完成后,再将石英炉管10放置在右端传送带上,进行输送。
本实施例的一种石英炉管用自动清洗机的实施原理如下:
将石英炉管10放置在传送带11的防滚动凹槽内,将石英炉管10输送到清洗池17边上,然后启动电机5逆时针转动,电机5通过皮带带动两个滑轮3向左滚动,并带动滑轮杆6左移,同时带动下端设备左移,与此同时第一液压缸7收缩,使支撑架8达到最大高度,当支撑架8到达与石英炉管10相对的位置时,关闭电机5,启动第二液压缸9,使其延伸,带动抓取架12转动张开,然后启动第一液压缸7延伸,带动支撑架8下移,当抓取架12与石英炉管10卡接时,停止第一液压缸,启动第二液压缸12收缩,使抓取架12抓取石英炉管10,接着电机5带动下端设备右移至清洗池17上端,第一液压缸7延伸,将石英炉管10浸没在清洗池17内,然后启动防水电机19,防水电机19转动,并通过皮带带动上端滚筒14转动,且滚筒14带动石英炉管10一起滚动进行清洗,当清洗完成后,第一液压缸7收缩,使石英炉管10与热风机16对其,并启动热封机16对石英炉管10进行风干,在此过程中使石英炉管10不断旋转,防止清洗液聚集,加快风干速度,当风干完成后,再将石英炉管10放置在右端传送带上,进行输送。

Claims (7)

1.一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,包括:
第一液压缸(7),所述第一液压缸(7)上端设置有滑动机构,所述滑动机构用于设备的平移滑动;
且第一液压缸(7)下端设置有抓取机构,所述抓取机构用于抓取固定石英炉管(10)。
2.根据权利要求1所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述滑动机构包括滑轮杆(6),所述滑轮杆(6)下端中心位置与第一液压缸(7)上端固定连接,且滑轮杆(6)两端各安装有两个滑轮(3),所述滑轮(3)的轴杆上固定连接有滑轮传动轮(2),所述滑轮传动轮(2)与电机传动轮(4)通过皮带连接,所述电机传动轮(4)固定在电机(5)的传动轴上,所述电机(5)下端固定连接在滑轮杆(6)上端中心位置。
3.根据权利要求1所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述抓取机构包括支撑架(8),所述支撑架(8)上端中心位置与第一液压缸(7)下端的伸缩杆末端固定连接,且支撑架(8)下端左右两侧各活动连接有一个抓取架(12),所述抓取架(12)上端与第二液压缸(9)下端的伸缩杆末端活动连接,所述第二液压缸(9)上端活动连接在支撑架(8)下端内侧。
4.根据权利要求3所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述抓取架(12)内侧分支末端各活动连接有一个滚筒(14),所述上端滚筒(14)的轴杆上固定连接有滚筒传动轮(13),所述滚筒传动轮(13)与防水电机传动轮(18)通过皮带进行连接,所述防水电机传动轮(18)固定连接在防水电机(19)的传动轴上,所述防水电机(19)固定安装在抓取架(12)中心内部,且做密封防水处理。
5.根据权利要求2所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述滑轮(3)与滑轨(1)的凹槽卡接,并与其滚动连接,所述滑轨(1)中部下端固定连接在支撑柱(15)上端,所述支撑柱(15)下端固定连接在清洗池(17)上端,且支撑柱(15)上安装有热风机(16),所述热风机(16)的高度与抓取架(12)最大高度相对应。
6.根据权利要求4所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述抓取架(12)与石英炉管(10)卡接,且滚筒(14)与石英炉管(10)滚动连接,所述石英炉管(10)安装在传送带(11)表面的防滚动凹槽内。
7.根据权利要求6所述的一种石英炉管用自动清洗机,其特征在于,所述传送带(11)分为送料和出料两部分,且传送带(11)表面均固定连接有防滚动凹槽。
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