CN114526596B - 一种光电零部件的超净干燥处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种光电零部件的超净干燥处理装置，具体涉及光电零部件加工技术领域，包括底框，所述底框的顶端固定安装有底板，所述底板的顶端固定安装有防护框，所述防护框的内壁顶部设有输料组件，所述底板的顶端两侧分别固定安装有第一导料组件和第二导料组件，所述底板顶端靠近第一导料组件的一侧固定安装有清洁组件，所述底板顶端靠近第二导料组件的一侧固定安装有干燥组件，本发明，通过设置输料组件并配合使用第一导料组件和第二导料组件，对多个光电零部件进行依次间歇性自动进料，并对多个光电零部件依次进行自动间歇性运输，以便后续对光电零部件进行清洁和干燥，从而提升了整个装置对光电零部件的处理效率。

Description

一种光电零部件的超净干燥处理装置
技术领域
本发明涉及光电零部件加工技术领域，具体为一种光电零部件的超净干燥处理装置。
背景技术
光电技术领域使用的零部件，往往对清洁度、表面均匀度、工艺稳定性的要求较高，微小的杂质和尘埃，不均匀的颗粒大小都会影响半导体的性能。因此在光电领域内清洗、打磨、除杂等工序是非常重要的一系列技术，很多工艺需要经过对现有的设备进行非标定制才能满足其使用要求，因此，在进行光电零部件的加工处理过程中需要对光电零部件进行超净干燥处理；
然而传统的光电零部件超净干燥处理工艺，多数是工作人员依次手动将光电零部件置于清洗中进行清洗，清洗后，在将光电零部件手动运输至干燥设备进行干燥，处理费时费力，且清洗和干燥效果不够理想，从而降低了光电零部件的处理效果，为此，我们提出一种光电零部件的超净干燥处理装置用于解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光电零部件的超净干燥处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光电零部件的超净干燥处理装置，包括底框，所述底框的顶端固定安装有底板，所述底板的顶端固定安装有防护框，所述防护框的内壁顶部设有输料组件，所述底板的顶端两侧分别固定安装有第一导料组件和第二导料组件，所述底板顶端靠近第一导料组件的一侧固定安装有清洁组件，所述底板顶端靠近第二导料组件的一侧固定安装有干燥组件，所述防护框的外壁上端固定安装有电机。
作为本发明的一种优选技术方案，所述输料组件包括L型架，所述L型架设有呈对称分布的四个，所述输料组件通过L型架固定安装在防护框的内壁，相邻对应两个所述L型架之间转动卡设有输料轴，所述电机的驱动端延伸进防护框中并其中一个输料轴同轴固定安装，两个所述输料轴的外侧固定套设有皮带轮，两个所述皮带轮的外侧活动套设有传动带，所述传动带上固定卡设有均匀分布的多个输料横轴，所述输料横轴的外侧固定套设有套框，所述套框远离输料横轴的一侧固定卡设有升降杆，所述升降杆的驱动端固定安装有夹持外框，所述夹持外框远离升降杆的一侧滑动卡设有对称分布的两个卡块，所述夹持外框中固定安装有双向伸缩杆，所述双向伸缩杆的驱动端分别和对应卡块固定安装，所述卡块远离夹持外框的一侧固定安装有夹杆，所述夹杆的相对侧均固定安装有防护垫。
作为本发明的一种优选技术方案，两个所述卡块之间活动插设有导向柱，所述导向柱固定安装在夹持外框中。
作为本发明的一种优选技术方案，所述第一导料组件包括导料支架，所述导料支架设有呈对称分布的两个，所述导料支架固定安装在底板的顶端，两个所述导料支架的顶端固定安装有呈对称分布的两个导料侧架，两个所述导料侧架之间转动卡设有均匀分布的多个导料橡胶辊，多个所述导料橡胶辊的端部固定套设有第一链轮传动组，靠近所述清洁组件一侧的导料橡胶辊端部固定安装有连接轴，所述连接轴的外侧固定套设有导料齿轮。
作为本发明的一种优选技术方案，所述第二导料组件和第一导料组件的结构相同且对称分布，所述防护框内壁靠近第一导料组件、第二导料组件中连接轴的一侧均转动卡设有第一辅轴，所述第一辅轴的外侧固定套设有和对应导料齿轮啮合连接的辅齿轮，所述第一辅轴和对应输料轴端部之间固定套设有第二链轮传动组。
作为本发明的一种优选技术方案，所述防护框的外壁中部固定卡设有观察窗，所述观察窗相邻的防护框外壁开设有和第一导料组件、第二导料组件对应的进料槽，所述第一导料组件、第二导料组件的相背侧分别延伸出对应进料槽。
作为本发明的一种优选技术方案，所述清洁组件包括超声波清洗机，所述超声波清洗机的底端固定安装有清洁框，所述清洁框的底端和底板的顶端固定安装，所述超声波清洗机的内腔中部转动卡设有清洁轴，所述清洁轴的顶部固定套设有清洁架，所述清洁架的顶端两侧均固定安装有对称分布的两个清洁镂空卡框，所述清洁轴的底部延伸进清洁框中并固定套设有第一冠齿，所述清洁框的外壁转动卡设有清洁横轴，所述清洁横轴的一侧延伸进清洁框中并固定安装有第一齿轮，所述第一齿轮和第一冠齿啮合连接。
作为本发明的一种优选技术方案，所述清洁横轴远离第一齿轮的一端和第一辅轴的端部固定套设有第三链轮传动组。
作为本发明的一种优选技术方案，所述干燥组件包括干燥外框，所述干燥外框为中空且底端开通的结构，所述干燥外框的内侧开设有均匀分布的多个通槽，所述干燥外框的底端固定安装有干燥框，所述干燥框的底端和底板的顶端固定安装，所述干燥外框的内侧中部转动卡设有干燥轴，所述干燥轴的顶部固定套设有干燥架，所述干燥架的顶端两侧均固定安装有对称分布的两个干燥镂空卡框，所述干燥轴的底部延伸进干燥框中并固定套设有第二冠齿，所述干燥框的外壁转动卡设有干燥横轴，所述干燥横轴的一侧延伸进干燥框中并固定安装有和第二冠齿啮合连接的第二齿轮，所述干燥外框的底部固定安装有加热框，所述干燥轴的外侧中部固定套设有风机扇叶，所述干燥外框的外壁靠近干燥横轴的一侧转动卡设有第二辅轴，所述第二辅轴的外侧固定套设有第一传动齿轮，所述干燥横轴远离第二齿轮的一侧固定套设有和第一传动齿轮啮合连接的第二传动齿轮。
作为本发明的一种优选技术方案，所述第二辅轴和清洁横轴之间固定套设有第四链轮传动组。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：
1.通过设置输料组件并配合使用第一导料组件和第二导料组件，对多个光电零部件进行依次间歇性自动进料，并对多个光电零部件依次进行自动间歇性运输，以便后续对光电零部件进行清洁和干燥，从而提升了整个装置对光电零部件的处理效率；
2.通过设置清洁组件，驱动卡固的光电零部件进行光电零部件转动，配合使用超声波清洗机对光电零部件进行转动式超声波清洗，从而对光电零部件进行全面清洗，进而提升了对光电零部件的清洗效果；
3.通过设置干燥组件，带动待干燥的光电零部件进行间歇性高速转动，从而将待干燥的光电零部件外侧的清洁液通过离心力甩离光电零部件，并同时能够对转动的光电零部件进行风体干燥，从而提升了光电零部件的干燥处理效果。
附图说明
图1为本发明结构示意图，
图2为本发明的另一结构示意图，
图3为本发明的结构连接示意图，
图4为本发明中输料组件的结构连接示意图，
图5为本发明中第一导料组件的结构连接示意图，
图6为本发明中清洁组件的结构连接示意图，
图7为本发明中干燥组件的结构连接示意图，
图8为本发明中部分结构的连接示意图。
图中：1、底框；2、底板；3、防护框；31、观察窗；301、进料槽；4、输料组件；5、第一导料组件；6、第二导料组件；7、清洁组件；8、干燥组件；9、电机；10、第一辅轴；11、辅齿轮；12、第二链轮传动组；13、第三链轮传动组；14、第四链轮传动组；41、L型架；42、输料轴；43、皮带轮；431、传动带；44、输料横轴；45、套框；46、升降杆；47、夹持外框；48、卡块；481、导向柱；49、双向伸缩杆；410、夹杆；411、防护垫；51、导料支架；52、导料侧架；53、导料橡胶辊；54、第一链轮传动组；55、连接轴；56、导料齿轮；71、超声波清洗机；72、清洁框；73、清洁轴；74、清洁架；75、清洁镂空卡框；76、第一冠齿；761、第一齿轮；77、清洁横轴；81、干燥外框；811、通槽；82、干燥框；83、干燥轴；84、干燥架；85、干燥镂空卡框；86、第二冠齿；861、第二齿轮；87、干燥横轴；88、加热框；881、风机扇叶；89、第二辅轴；891、第一传动齿轮；892、第二传动齿轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例：如图1-8所示，本发明提供了一种光电零部件的超净干燥处理装置，包括底框1，底框1的顶端固定安装有底板2，底板2的顶端固定安装有防护框3，防护框3的内壁顶部设有输料组件4，底板2的顶端两侧分别固定安装有第一导料组件5和第二导料组件6，底板2顶端靠近第一导料组件5的一侧固定安装有清洁组件7，底板2顶端靠近第二导料组件6的一侧固定安装有干燥组件8，防护框3的外壁上端固定安装有电机9。
输料组件4包括L型架41，L型架41设有呈对称分布的四个，输料组件4通过L型架41固定安装在防护框3的内壁，相邻对应两个L型架41之间转动卡设有输料轴42，电机9的驱动端延伸进防护框3中并其中一个输料轴42同轴固定安装，两个输料轴42的外侧固定套设有皮带轮43，两个皮带轮43的外侧活动套设有传动带431，通过控制并开启电机9，驱动其中一个输料轴42进行间歇性转动，配合使用皮带轮43和传动带431，同步驱动两个输料轴42进行间歇性转动，并驱动传动带431进行间歇性传动，传动带431上固定卡设有均匀分布的多个输料横轴44，从而驱动多个输料横轴44同步间歇性传动，输料横轴44的外侧固定套设有套框45，套框45远离输料横轴44的一侧固定卡设有升降杆46，升降杆46的驱动端固定安装有夹持外框47，夹持外框47远离升降杆46的一侧滑动卡设有对称分布的两个卡块48，两个卡块48之间活动插设有导向柱481，导向柱481固定安装在夹持外框47中；
夹持外框47中固定安装有双向伸缩杆49，双向伸缩杆49的驱动端分别和对应卡块48固定安装，卡块48远离夹持外框47的一侧固定安装有夹杆410，夹杆410的相对侧均固定安装有防护垫411，通过控制并开启双向伸缩杆49，驱动两侧卡块48同步相向或背向移动，从而驱动两侧夹杆410相向或背向移动，进而通过夹杆410对光电零部件进行夹持或放开，且配合开启升降杆46，带动夹持的光电零部件进行升降，进而配合多个输料横轴44的间歇性传动，对多个光电零部件依次进行自动间歇性运输，以便后续对光电零部件进行清洁和干燥，从而提升了整个装置对光电零部件的处理效率。
第一导料组件5包括导料支架51，导料支架51设有呈对称分布的两个，导料支架51固定安装在底板2的顶端，两个导料支架51的顶端固定安装有呈对称分布的两个导料侧架52，两个导料侧架52之间转动卡设有均匀分布的多个导料橡胶辊53，多个导料橡胶辊53的端部固定套设有第一链轮传动组54，其中，第一链轮传动组54包括多个链轮和啮合在多个链轮外侧的传动链条，多个链轮分别和对应的导料橡胶辊53端部固定套接，靠近清洁组件7一侧的导料橡胶辊53端部固定安装有连接轴55，连接轴55的外侧固定套设有导料齿轮56，使用时，将多个待处理的光电零部件放置在多个导料橡胶辊53上，通过驱动导料齿轮56进行间接性转动，驱动连接轴55和其中一个导料橡胶辊53进行间接性转动，配合使用第一链轮传动组54，同步驱动多个导料橡胶辊53进行间接性转动，从而对多个光电零部件进行依次间歇性自动进料。
第二导料组件6和第一导料组件5的结构相同且对称分布，防护框3内壁靠近第一导料组件5、第二导料组件6中连接轴55的一侧均转动卡设有第一辅轴10，第一辅轴10的外侧固定套设有和对应导料齿轮56啮合连接的辅齿轮11，第一辅轴10和对应输料轴42端部之间固定套设有第二链轮传动组12，第二链轮传动组12包括两个链轮和啮合在两个链轮外侧的传动链条，两个链轮分别和第一辅轴10、对应输料轴42的端部固定套接，在输料轴42间歇性转动同时，配合第二链轮传动组12，驱动第一辅轴10和辅齿轮11进行间歇性转动，从而驱动对应导料齿轮56进行间接性转动，进而同步驱动第一导料组件5、第二导料组件6对光电零部件进行依次间歇性自动进料或出料。
防护框3的外壁中部固定卡设有观察窗31，观察窗31相邻的防护框3外壁开设有和第一导料组件5、第二导料组件6对应的进料槽301，第一导料组件5、第二导料组件6的相背侧分别延伸出对应进料槽301。
清洁组件7包括超声波清洗机71，超声波清洗机71的底端固定安装有清洁框72，清洁框72的底端和底板2的顶端固定安装，超声波清洗机71的内腔中部转动卡设有清洁轴73，清洁轴73的顶部固定套设有清洁架74，清洁架74的顶端两侧均固定安装有对称分布的两个清洁镂空卡框75，通过设置两组清洁镂空卡框75，可对两个待清洗的光电零部件进行稳定卡固放置，清洁轴73的底部延伸进清洁框72中并固定套设有第一冠齿76，清洁框72的外壁转动卡设有清洁横轴77，清洁横轴77的一侧延伸进清洁框72中并固定安装有第一齿轮761，第一齿轮761和第一冠齿76啮合连接；清洁横轴77远离第一齿轮761的一端和第一辅轴10的端部固定套设有第三链轮传动组13，其中，第三链轮传动组13包括两个链轮和啮合在两个链轮外侧的传动链条，两个链轮分别和清洁横轴77、第一辅轴10的端部固定套接，在第一辅轴10进行进行间歇性转动的同时，配合使用第三链轮传动组13，驱动清洁横轴77同步间歇性转动，从而通过第一齿轮761驱动第一冠齿76和清洁轴73进行间歇性转动，进而驱动清洁架74和两个清洁镂空卡框75进行间歇性转动，从而驱动卡固的光电零部件进行光电零部件转动，配合使用超声波清洗机71对光电零部件进行转动式超声波清洗，从而对光电零部件进行全面清洗，进而提升了对光电零部件的清洗效果。
干燥组件8包括干燥外框81，干燥外框81为中空且底端开通的结构，干燥外框81的内侧开设有均匀分布的多个通槽811，干燥外框81的底端固定安装有干燥框82，干燥框82的底端和底板2的顶端固定安装，干燥外框81的内侧中部转动卡设有干燥轴83，干燥轴83的顶部固定套设有干燥架84，干燥架84的顶端两侧均固定安装有对称分布的两个干燥镂空卡框85，通过设置两组干燥镂空卡框85，可对两个待干燥的光电零部件进行稳定卡固放置，干燥轴83的底部延伸进干燥框82中并固定套设有第二冠齿86，干燥框82的外壁转动卡设有干燥横轴87，干燥横轴87的一侧延伸进干燥框82中并固定安装有和第二冠齿86啮合连接的第二齿轮861；
干燥外框81的底部固定安装有加热框88，干燥轴83的外侧中部固定套设有风机扇叶881；通过驱动干燥横轴87进行间歇性高速转动，带动第二齿轮861驱动第二冠齿86和干燥轴83进行间歇性高速转动，从而带动两个干燥镂空卡框85和待干燥的光电零部件进行间歇性高速转动，从而将待干燥的光电零部件外侧的清洁液通过离心力甩离光电零部件，并同时能够驱动风机扇叶881进行间歇性高速转动，气流通过加热框88加热后进入干燥外框81中，并通过多个通槽811均匀排入干燥外框81内侧，对转动的光电零部件进行风体干燥，从而提升了光电零部件的干燥处理效果；
干燥外框81的外壁靠近干燥横轴87的一侧转动卡设有第二辅轴89，第二辅轴89和清洁横轴77之间固定套设有第四链轮传动组14，其中，第四链轮传动组14包括两个链轮和啮合在两个链轮外侧的传动链条，两个链轮分别和第二辅轴89、清洁横轴77固定套接，在清洁横轴77间歇性转动同时，配合使用第四链轮传动组14，驱动第二辅轴89进行间歇性转动；第二辅轴89的外侧固定套设有第一传动齿轮891，干燥横轴87远离第二齿轮861的一侧固定套设有和第一传动齿轮891啮合连接的第二传动齿轮892，配合使用第一传动齿轮891、第二传动齿轮892，驱动干燥横轴87进行间歇性高速转动。
工作原理：使用时，将多个待处理的光电零部件放置在第一导料组件5上的多个导料橡胶辊53上，随后，控制并开启电机9，驱动其中一个输料轴42进行间歇性转动，配合使用皮带轮43和传动带431，同步驱动两个输料轴42进行间歇性转动，配合第二链轮传动组12，驱动第一辅轴10和辅齿轮11进行间歇性转动，从而驱动对应导料齿轮56进行间接性转动，配合使用第一链轮传动组54，同步驱动多个导料橡胶辊53进行间接性转动，从而将多个光电零部件依次间歇性自动进入防护框3中，并接近输料组件4，当光电零部件接近输料组件4初端的夹杆410时，控制升降杆46和双向伸缩杆49，将光电零部件夹持并升起；
两个输料轴42进行间歇性转动时，驱动传动带431进行间歇性传动，驱动多个输料横轴44同步间歇性传动，从而将夹持的光电零部件依次自动间歇性运输；
当夹持的光电零部件运输至清洁组件7时，再次控制升降杆46和双向伸缩杆49，将光电零部件下降并松开放入对应的一组清洁镂空卡框75之间，开启超声波清洗机71对光电零部件进行转动式超声波清洗，在第一辅轴10进行进行间歇性转动的同时，配合使用第三链轮传动组13，驱动清洁横轴77同步间歇性转动，从而通过第一齿轮761驱动第一冠齿76和清洁轴73进行间歇性转动，进而驱动清洁架74和两个清洁镂空卡框75进行间歇性转动，从而驱动卡固的光电零部件进行光电零部件转动，配合使用超声波清洗机71对光电零部件进行转动式超声波清洗，从而对光电零部件进行全面清洗；
当光电零部件清洗完毕后，再次控制升降杆46和双向伸缩杆49，将清洗的光电零部件夹持并升起，并运输至干燥组件8，并将清洗的光电零部件放入对应的一组干燥镂空卡框85之间；
在清洁横轴77间歇性转动同时，配合使用第四链轮传动组14，驱动第二辅轴89进行间歇性转动，在清洁横轴77间歇性转动同时，配合使用第四链轮传动组14，驱动第二辅轴89进行间歇性转动，带动第二齿轮861驱动第二冠齿86和干燥轴83进行间歇性高速转动，从而带动两个干燥镂空卡框85和待干燥的光电零部件进行间歇性高速转动，从而将待干燥的光电零部件外侧的清洁液通过离心力甩离光电零部件，并同时能够驱动风机扇叶881进行间歇性高速转动，气流通过加热框88加热后进入干燥外框81中，并通过多个通槽811均匀排入干燥外框81内侧，对转动的光电零部件进行风体干燥，从而提升了光电零部件的干燥处理效果；
干燥后再次控制升降杆46和双向伸缩杆49，将清洗的干燥零部件夹持并升起，放置在第二导料组件6上多个导料橡胶辊53上出料，大大提升了整个装置对多个光电零部件的处理效果。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种光电零部件的超净干燥处理装置，包括底框(1)，其特征在于：所述底框(1)的顶端固定安装有底板(2)，所述底板(2)的顶端固定安装有防护框(3)，所述防护框(3)的内壁顶部设有输料组件(4)，所述底板(2)的顶端两侧分别固定安装有第一导料组件(5)和第二导料组件(6)，所述底板(2)顶端靠近第一导料组件(5)的一侧固定安装有清洁组件(7)，所述底板(2)顶端靠近第二导料组件(6)的一侧固定安装有干燥组件(8)，所述防护框(3)的外壁上端固定安装有电机(9)；
所述输料组件(4)包括L型架(41)，所述L型架(41)设有呈对称分布的四个，所述输料组件(4)通过L型架(41)固定安装在防护框(3)的内壁，相邻对应两个所述L型架(41)之间转动卡设有输料轴(42)，所述电机(9)的驱动端延伸进防护框(3)中并与 其中一个输料轴(42)同轴固定安装，两个所述输料轴(42)的外侧固定套设有皮带轮(43)，两个所述皮带轮(43)的外侧活动套设有传动带(431)，所述传动带(431)上固定卡设有均匀分布的多个输料横轴(44)，所述输料横轴(44)的外侧固定套设有套框(45)，所述套框(45)远离输料横轴(44)的一侧固定卡设有升降杆(46)，所述升降杆(46)的驱动端固定安装有夹持外框(47)，所述夹持外框(47)远离升降杆(46)的一侧滑动卡设有对称分布的两个卡块(48)，所述夹持外框(47)中固定安装有双向伸缩杆(49)，所述双向伸缩杆(49)的驱动端分别和对应卡块(48)固定安装，所述卡块(48)远离夹持外框(47)的一侧固定安装有夹杆(410)，所述夹杆(410)的相对侧均固定安装有防护垫(411)；
所述第一导料组件(5)包括导料支架(51)，所述导料支架(51)设有呈对称分布的两个，所述导料支架(51)固定安装在底板(2)的顶端，两个所述导料支架(51)的顶端固定安装有呈对称分布的两个导料侧架(52)，两个所述导料侧架(52)之间转动卡设有均匀分布的多个导料橡胶辊(53)，多个所述导料橡胶辊(53)的端部固定套设有第一链轮传动组(54)，靠近所述清洁组件(7)一侧的导料橡胶辊(53)端部固定安装有连接轴(55)，所述连接轴(55)的外侧固定套设有导料齿轮(56)；
所述第二导料组件(6)和第一导料组件(5)的结构相同且对称分布，所述防护框(3)内壁靠近第一导料组件(5)、第二导料组件(6)中连接轴(55)的一侧均转动卡设有第一辅轴(10)，所述第一辅轴(10)的外侧固定套设有和对应导料齿轮(56)啮合连接的辅齿轮(11)，所述第一辅轴(10)和对应输料轴(42)端部之间固定套设有第二链轮传动组(12)；
所述清洁组件(7)包括超声波清洗机(71)，所述超声波清洗机(71)的底端固定安装有清洁框(72)，所述清洁框(72)的底端和底板(2)的顶端固定安装，所述超声波清洗机(71)的内腔中部转动卡设有清洁轴(73)，所述清洁轴(73)的顶部固定套设有清洁架(74)，所述清洁架(74)的顶端两侧均固定安装有对称分布的两个清洁镂空卡框(75)，所述清洁轴(73)的底部延伸进清洁框(72)中并固定套设有第一冠齿(76)，所述清洁框(72)的外壁转动卡设有清洁横轴(77)，所述清洁横轴(77)的一侧延伸进清洁框(72)中并固定安装有第一齿轮(761)，所述第一齿轮(761)和第一冠齿(76)啮合连接；
所述干燥组件(8)包括干燥外框(81)，所述干燥外框(81)为中空且底端开通的结构，所述干燥外框(81)的内侧开设有均匀分布的多个通槽(811)，所述干燥外框(81)的底端固定安装有干燥框(82)，所述干燥框(82)的底端和底板(2)的顶端固定安装，所述干燥外框(81)的内侧中部转动卡设有干燥轴(83)，所述干燥轴(83)的顶部固定套设有干燥架(84)，所述干燥架(84)的顶端两侧均固定安装有对称分布的两个干燥镂空卡框(85)，所述干燥轴(83)的底部延伸进干燥框(82)中并固定套设有第二冠齿(86)，所述干燥框(82)的外壁转动卡设有干燥横轴(87)，所述干燥横轴(87)的一侧延伸进干燥框(82)中并固定安装有和第二冠齿(86)啮合连接的第二齿轮(861)，所述干燥外框(81)的底部固定安装有加热框(88)，所述干燥轴(83)的外侧中部固定套设有风机扇叶(881)，所述干燥外框(81)的外壁靠近干燥横轴(87)的一侧转动卡设有第二辅轴(89)，所述第二辅轴(89)的外侧固定套设有第一传动齿轮(891)，所述干燥横轴(87)远离第二齿轮(861)的一侧固定套设有和第一传动齿轮(891)啮合连接的第二传动齿轮(892)。
2.根据权利要求1所述的一种光电零部件的超净干燥处理装置，其特征在于：两个所述卡块(48)之间活动插设有导向柱(481)，所述导向柱(481)固定安装在夹持外框(47)中。
3.根据权利要求2所述的一种光电零部件的超净干燥处理装置，其特征在于：所述防护框(3)的外壁中部固定卡设有观察窗(31)，所述观察窗(31)相邻的防护框(3)外壁开设有和第一导料组件(5)、第二导料组件(6)对应的进料槽(301)，所述第一导料组件(5)、第二导料组件(6)的相背侧分别延伸出对应进料槽(301)。
4.根据权利要求1所述的一种光电零部件的超净干燥处理装置，其特征在于：所述清洁横轴(77)远离第一齿轮(761)的一端和第一辅轴(10)的端部固定套设有第三链轮传动组(13)。
5.根据权利要求1所述的一种光电零部件的超净干燥处理装置，其特征在于：所述第二辅轴(89)和清洁横轴(77)之间固定套设有第四链轮传动组(14)。
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