CN220509007U - 一种探针卡 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及测试治具技术领域，具体公开了一种探针卡。该探针卡包括PCB基板、MLO基板、固定框和卡头组件，MLO基板设于PCB基板上；固定框设于PCB基板上，且围设于MLO基板外，卡头组件可拆卸连接于固定框上；其中，卡头组件包括探针本体，MLO基板上覆盖有第一弹性体，探针本体能够穿过第一弹性体后抵接于MLO基板，且第一弹性体始终具有使探针本体远离MLO基板的运动趋势。本实用新型中将卡头组件从固定框上拆卸下时，第一弹性体能够直接将探针本体弹开，进而避免了探针本体刮伤MLO基板表面后，造成MLO基板维修代价大，甚至无法维修的问题。

Description

一种探针卡

技术领域

本实用新型涉及测试治具技术领域，尤其涉及一种探针卡。

背景技术

在芯片生产过程中，需要通过测试手段保证芯片的各项功能符合设计要求。在晶元封装前的测试时，被测对象安置于探针本体台之上，然后用探针卡上的探针本体与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出测试机产生的芯片讯号施加于被测器件之上，并将被测器件中的反馈信号传输回引出测试机，从而完成整个测试。

目前的芯片测试中对多引脚和高频的芯片常规采用MEMS+MLO结构的探针卡，其中探针卡的探针本体需要接触MLO，但MLO是制作成本高，周期长的精密电子器件，在修护组装探针卡时，探针本体容易刮伤MLO表面，进而造成了维修代价大，严重时可能无法维修的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种探针卡，以解决现有技术中在修护组装探针卡时，探针本体容易刮伤MLO表面，进而造成了维修代价大，严重时可能无法维修的问题。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种探针卡，该探针卡包括：

PCB基板；

MLO基板，上述MLO基板设于上述PCB基板上；

固定框，上述固定框设于上述PCB基板上，围设于上述MLO基板外；

卡头组件，上述卡头组件可拆卸连接于上述固定框上；上述卡头组件包括探针本体，上述MLO基板上覆盖有第一弹性体，上述探针本体能够穿过上述第一弹性体后抵接于上述MLO基板；上述第一弹性体始终具有使上述探针本体远离上述MLO基板的运动趋势。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述探针本体包括抵接部和卡接部，上述抵接部能够穿过上述第一弹性体后抵接于上述MLO基板；上述卡接部抵接于上述第一弹性体远离上述MLO基板的一面。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述卡头组件还包括支撑垫板、上安装板和下安装板，上述支撑垫板盖设于上述固定框上，用于封闭上述MLO基板；上述上安装板和上述下安装板设于上述支撑垫板的相对两端，分别可拆卸连接于上述支撑垫板；上述探针本体能够穿过上述上安装板、上述支撑垫板和上述下安装板；上述上安装板和上述下安装板用于将上述探针本体限位于上述支撑垫板上。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述探针卡还包括第一连接件，上述支撑垫板通过上述第一连接件可拆卸连接于上述固定框。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述支撑垫板远离上述固定框的一端开设有第一凹槽，上述第一连接件沉设于上述第一凹槽内。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述探针卡还包括第二连接件，上述固定框通过上述第二连接件可拆卸连接于上述PCB基板。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述固定框和上述PCB基板之间设置有第二弹性体，上述第二连接件能够穿过上述固定框和上述第二弹性体，并连接于上述PCB基板。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述第一弹性体和上述第二弹性体均为氟硅橡胶体。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述卡头组件能够覆盖设于上述第二连接件上。

作为上述探针卡的一种可选方案，上述固定框远离上述PCB基板的一端开设有第二凹槽，上述第二连接件沉设于上述第二凹槽内。

本实用新型的有益效果为：

该探针卡包括PCB基板、MLO基板、固定框和卡头组件。MLO基板设于PCB基板上，以方便MLO基板与PCB基板的电连接，固定框设于PCB基板上，且围设于MLO基板外，卡头组件可拆卸连接于固定框上，从而卡头组件能够进行拆卸更换，方便探针卡的维修及使用。其中，卡头组件包括探针本体，MLO基板上覆盖有第一弹性体，探针本体能够穿过第一弹性体后抵接于MLO基板，且第一弹性体始终具有使探针本体远离MLO基板的运动趋势，从而将卡头组件从固定框上拆卸下时，第一弹性体能够直接将探针本体弹开，进而避免了探针本体刮伤MLO基板表面后，造成MLO基板维修代价大，甚至无法维修的问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例所提供的探针卡的结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图。

图中：

1、PCB基板；2、MLO基板；3、固定框；31、第二凹槽；4、卡头组件；41、探针本体；411、抵接部；412、卡接部；42、支撑垫板；421、第一凹槽；43、上安装板；44、下安装板；5、第一弹性体；6、第一连接件；7、第二连接件；8、第二弹性体。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

本实施例提供一种探针卡，用于对芯片进行测试。

如图1和图2所示，该探针卡包括PCB基板1、MLO基板2、固定框3和卡头组件4。MLO基板2设于PCB基板1上，以方便MLO基板2与PCB基板1的电连接，固定框3设于PCB基板1上，且围设于MLO基板2外，卡头组件4可拆卸连接于固定框3上，从而卡头组件4能够进行拆卸更换，方便探针卡的维修及使用。

其中，卡头组件4包括探针本体41，MLO基板2上覆盖有第一弹性体5，探针本体41能够穿过第一弹性体5后抵接于MLO基板2，且第一弹性体5始终具有使探针本体41远离MLO基板2的运动趋势，从而将卡头组件4从固定框3上拆卸下时，第一弹性体5能够直接将探针本体41弹开，进而避免了探针本体41刮伤MLO基板2表面后，造成MLO基板2维修代价大，甚至无法维修的问题。具体地，探针本体41包括抵接部411和卡接部412，抵接部411能够穿过第一弹性体5后抵接于MLO基板2，卡接部412抵接于第一弹性体5远离MLO基板2的一面，从而将卡头组件4从固定框3上拆卸下时，第一弹性体5能够弹开卡接部412，使得卡接部412带动抵接部411远离MLO基板2。

如图1所示，卡头组件4还包括支撑垫板42、上安装板43和下安装板44，支撑垫板42盖设于固定框3上，用于封闭MLO基板2，以此避免外部灰尘水汽对MLO基板2造成侵蚀。上安装板43和下安装板44设于支撑垫板42的相对两端，分别可拆卸连接于支撑垫板42，探针本体41能够穿过上安装板43、支撑垫板42和下安装板44，且上安装板43和下安装板44用于将探针本体41限位于支撑垫板42上，从而分别对上安装板43和下安装板44进行拆卸后，能够对探针本体41进行维修或更换，以此提高探针卡的使用寿命。

其中，探针卡还包括第一连接件6，支撑垫板42通过第一连接件6可拆卸连接于固定框3，以通过第一连接件6能够降低支撑垫板42与固定框3之间的安装或拆卸难度，方便对探针卡进行维修。具体地，支撑垫板42远离固定框3的一端开设有第一凹槽421，第一连接件6沉设于第一凹槽421内，从而将第一连接件6沉设于第一凹槽421内后，能够避免在探针卡对芯片进行测试时，凸出的第一连接件6干涉对芯片的测试。可选地，第一连接件6为螺栓。

进一步地，探针卡还包括第二连接件7，固定框3通过第二连接件7可拆卸连接于PCB基板1，从而通过设置第二连接件7，能够实现固定框3与PCB基板1之间的安装或拆卸，以此方便探针卡的维修。可选地，第二连接件7为螺栓。

具体地，固定框3和PCB基板1之间设置有第二弹性体8，第二连接件7能够穿过固定框3和第二弹性体8，并连接于PCB基板1，从而工作人员在未拆卸第一连接件6而先误拆卸掉第二连接件7时，第二弹性体8能够将固定框3弹起，使得探针本体41与MLO基板2直接分离，以此避免探针本体41刮伤MLO基板2。可选地，第一弹性体5和第二弹性体8均为氟硅橡胶体，氟硅橡胶体的耐热性、耐老化性和耐高电压性等性能较好，能够满足探针卡的使用需求，提高探针卡的使用寿命。

在其它实施例中，卡头组件4能够覆盖设于第二连接件7上，从而工作人员无法在未拆卸掉第一连接件6时，先误拆卸掉第二连接件7，以此能够避免探针本体41刮伤MLO基板2。具体地，固定框3远离PCB基板1的一端开设有第二凹槽31，第二连接件7沉设于第二凹槽31内，从而将第二连接件7沉设于第二凹槽31内后，能够使得卡头组件4贴合设于固定框3上，并使得探针卡的整体结构稳定。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种探针卡，其特征在于，包括：

PCB基板(1)；

MLO基板(2)，所述MLO基板(2)设于所述PCB基板(1)上；

固定框(3)，所述固定框(3)设于所述PCB基板(1)上，围设于所述MLO基板(2)外；

卡头组件(4)，所述卡头组件(4)可拆卸连接于所述固定框(3)上；所述卡头组件(4)包括探针本体(41)，所述MLO基板(2)上覆盖有第一弹性体(5)，所述探针本体(41)能够穿过所述第一弹性体(5)后抵接于所述MLO基板(2)；所述第一弹性体(5)始终具有使所述探针本体(41)远离所述MLO基板(2)的运动趋势。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针本体(41)包括抵接部(411)和卡接部(412)，所述抵接部(411)能够穿过所述第一弹性体(5)后抵接于所述MLO基板(2)；所述卡接部(412)抵接于所述第一弹性体(5)远离所述MLO基板(2)的一面。

3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述卡头组件(4)还包括支撑垫板(42)、上安装板(43)和下安装板(44)，所述支撑垫板(42)盖设于所述固定框(3)上，用于封闭所述MLO基板(2)；所述上安装板(43)和所述下安装板(44)设于所述支撑垫板(42)的相对两端，分别可拆卸连接于所述支撑垫板(42)；所述探针本体(41)能够穿过所述上安装板(43)、所述支撑垫板(42)和所述下安装板(44)；所述上安装板(43)和所述下安装板(44)用于将所述探针本体(41)限位于所述支撑垫板(42)上。

4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡还包括第一连接件(6)，所述支撑垫板(42)通过所述第一连接件(6)可拆卸连接于所述固定框(3)。

5.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述支撑垫板(42)远离所述固定框(3)的一端开设有第一凹槽(421)，所述第一连接件(6)沉设于所述第一凹槽(421)内。

6.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡还包括第二连接件(7)，所述固定框(3)通过所述第二连接件(7)可拆卸连接于所述PCB基板(1)。

7.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述固定框(3)和所述PCB基板(1)之间设置有第二弹性体(8)，所述第二连接件(7)能够穿过所述固定框(3)和所述第二弹性体(8)，并连接于所述PCB基板(1)。

8.根据权利要求7所述的探针卡，其特征在于，所述第一弹性体(5)和所述第二弹性体(8)均为氟硅橡胶体。

9.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述卡头组件(4)能够覆盖设于所述第二连接件(7)上。

10.根据权利要求9所述的探针卡，其特征在于，所述固定框(3)远离所述PCB基板(1)的一端开设有第二凹槽(31)，所述第二连接件(7)沉设于所述第二凹槽(31)内。