CN220488319U - 真空蝶阀内密封组件和真空蝶阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空蝶阀内密封组件和真空蝶阀，内密封组件包括阀体、阀轴、阀板和密封圈，密封圈套设在阀板的周向边沿上，密封圈包括密封圈本体和弹性件，密封圈本体设有环形的安装槽，弹性件设在安装槽内并将密封圈本体的至少一部分常推向阀孔的壁面，以在阀板到达关闭位置时密封圈与阀体过盈密封配合。内密封组件采用泛塞封密封结构的密封圈实现真空蝶阀的内部密封，通过弹性件的弹性变形实现过盈密封配合，将密封圈本体紧紧的压向阀体的密封面，实现良好的密封性效果，解决了真空蝶阀内部密封问题，同时避免了软密封材质的损耗问题，减低了运行时的维护成本。

Description

真空蝶阀内密封组件和真空蝶阀

技术领域

本实用新型涉及密封技术领域，尤其是涉及一种真空蝶阀内密封组件和真空蝶阀。

背景技术

真空蝶阀广泛应用于真空半导体行业，例如PVD、ALD等工艺气体介质的流量控制阀门。真空蝶阀包括圆盘形的关闭件(阀板或蝶板)，关闭件围绕中心阀轴在0-90°范围内转动，关闭件转动到不同的位置(即不同的开度)来调节控制阀体内压力值。真空蝶阀主要由控制系统、驱动组件、外密封组件及内密封组件构成，其中内密封系统决定了蝶阀在完全关闭状态下，真空侧压力能否实现低泄露甚至零泄露。相关技术中真空蝶阀的内密封结构存在密封性能不好、损耗高的问题。

实用新型内容

本实用新型是基于发明人对以下事实和问题的发现和认识做出的：

相关技术中的真空阀的内密封方式通常分为两种：一种是在阀体与阀板之间形成极小的间隙，以降低阀体与阀板之间的摩擦阻力矩，但是这种方式无法实现良好的密封效果，尤其无法满足高真空的应用环境，同时对加工精度和安装精度要求极高，极易导致阀板卡死无法正常运转；另一种是在阀体与阀板上安装软密封材质(例如氟橡胶O型圈或者聚四氟乙烯耐磨环)以实现密封，但是这种密封方式是通过软密封材质与阀体和阀板之间的过盈压缩变形实现的，过盈压缩变形会极大增加阀板启闭时的摩擦阻力矩，大大增加了驱动电机的尺寸，还易卡死，而且在长期运转过程中，软密封材质与阀门和阀板之间不断摩擦磨损会损坏软密封材质，导致密封失效，还增加了使用时的维护成本。

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种真空蝶阀内密封组件，解决了真空蝶阀内密封问题，具有良好的密封效果。

本实用新型实施例的真空蝶阀内密封组件，包括：阀体、阀轴和阀板，所述阀体具有贯穿的阀孔，所述阀轴可旋转地穿设在阀孔中，所述阀板与所述阀轴相连并在所述阀轴的带动下相对所述阀孔转动，以在开启阀孔的打开位置和关闭阀孔的关闭位置之间转换；密封圈，所述密封圈套设在所述阀板的周向边沿上，所述密封圈包括密封圈本体和弹性件，所述密封圈本体设有环形的安装槽，所述弹性件设在所述安装槽内并将所述密封圈本体的至少一部分常推向所述阀孔的壁面，以在所述阀板到达所述关闭位置时所述密封圈与所述阀体过盈密封配合。

本实用新型实施例提供的真空蝶阀内密封组件采用泛塞封密封结构的密封圈实现真空蝶阀的内部密封，不同于相关技术中通过软密封材质的过盈压缩变形实现密封，本实用新型实施例的泛塞封密封圈通过弹性件的弹性变形实现过盈密封配合，也就是当阀板位于关闭位置时，能够通过弹性件的弹性变形将密封圈本体紧紧的压向阀体的密封面，实现良好的密封性效果，解决了真空蝶阀内部密封问题，同时避免了软密封材质的损耗问题，减低了运行时的维护成本。

在一些实施例中，所述阀孔的垂直与其中心线的横截面轮廓线为圆形，所述阀板为与所述阀孔形状相适配的圆形板，在所述关闭位置，所述阀板的中心线与所述阀孔的轴线重合。

在一些实施例中，所述阀孔的内壁面包括第一锥面，所述第一锥面具有在所述阀孔的轴向上相对的小径端和大径端，在所述关闭位置，所述密封圈与所述第一锥面相抵。

在一些实施例中，所述阀孔的内壁面包括第二锥面，所述第二锥面位于所述第一锥面的大径端的一侧且所述第二锥面的小径端与所述第一锥面的大径端相接。

在一些实施例中，所述第一锥面与所述阀孔的中心线之间的夹角小于所述第二锥面与所述阀孔的中心线之间的夹角；和/或，所述第一锥面与所述阀孔的中心线之间的夹角为13°-19°；和/或，所述第二锥面与所述阀孔的中心线之间的夹角为33°-43°。

在一些实施例中，所述安装槽在垂直于所述密封圈的轴向的方向上具有相对的第一槽壁面和第二槽壁面，所述弹性件止抵在所述第一槽壁面与所述第二槽壁面之间，所述密封圈本体的夹设于所述弹性件与所述阀孔的壁面之间的部分可弹性形变；和/或，所述密封圈本体为聚四氟乙烯部件，所述弹性件为弹簧。

在一些实施例中，所述密封圈本体在其轴向上相对的两个端面中的其中一者开设有开放式的安装槽，在所述关闭位置，所述阀板的两侧具有压力差，所述安装槽的槽口朝向所述阀孔的压力更大的一侧。

在一些实施例中，所述阀板的周向边沿上设有环形的开放式沟槽，所述开放式沟槽的开口朝向所述阀体的内壁面，所述密封圈的一部分配合在所述开放式沟槽内、另一部分向外伸出所述开放式沟槽。

在一些实施例中，所述阀板包括阀板盖板和阀板基板，所述阀板基板与所述阀轴相连，所述阀板盖板与所述阀板基板在所述阀体的轴向上相对并与所述阀板基板可拆卸地连接，所述阀板盖板与所述阀板基板之间限定出所述开放式沟槽。

本实用新型另一方面实施例还提出了一种真空蝶阀，包括：驱动组件；内密封组件，所述内密封组件为根据上述任一项实施例所述的内密封组件，所述驱动组件作用于所述阀轴用于驱动所述阀轴旋转，以带动所述阀板在所述打开位置和所述关闭位置之间转动。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的真空蝶阀内密封组件的剖面图(阀板位于关闭位置)。

图2是本实用新型实施例提供的真空蝶阀内密封组件的剖面图(阀板位于打开位置)。

图3是本实用新型实施例提供的阀体的剖面图。

图4是本实用新型实施例提供的阀轴和阀板的正视图。

图5是本实用新型实施例提供的阀轴和阀板的侧视图。

图6是本实用新型实施例提供的密封圈的剖视图。

图7是本实用新型实施例提供的真空蝶阀的结构示意图。

附图标记：

内密封组件100、阀体110、阀孔111、第一锥面1111、第二锥面1112、阀轴121、阀板122、开放式沟槽1221、阀板盖板1222、阀板基板1223、密封圈130、密封圈本体131、安装槽1311、第一槽壁面1312、第二槽壁面1313、弹性件132、外密封组件200、传动组件300、驱动组件400、控制系统500。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面根据图1-图7描述本实用新型实施例提供的真空蝶阀内密封组件100和具有真空蝶阀内密封组件100的真空蝶阀。

如图1所示，内密封组件100包括阀体110、阀轴121、阀板122和密封圈130。阀体110具有贯穿的阀孔111，阀孔111在其轴向上具有相对的第一开口和第二开口。阀轴121可旋转地穿设在阀孔111中，阀板122与阀轴121相连并在阀轴121的带动下相对阀孔111转动，以在开启阀孔111的打开位置和关闭阀孔111的关闭位置之间转换。密封圈130套设在阀板122的周向边沿上，密封圈130包括密封圈本体131和弹性件132，密封圈本体131设有环形的安装槽1311，弹性件132设在安装槽1311内并将密封圈本体131的至少一部分常推向阀孔111的壁面，以在阀板122到达关闭位置时密封圈130与阀体110过盈密封配合。优选弹性件132为与安装槽1311配合的环形件，其外周面与密封圈本体131相抵并向外推压密封圈本体131的至少一部分。

作为示例，如图1所示，阀板122在阀轴121的带动下转动至关闭位置，此时阀板122的开度为0，阀板122拦截在阀孔111中，在弹性件132的弹力作用下，套设在阀板121周沿上的密封圈130的外周面与阀孔111的壁面紧密相抵，实现良好密封。此时阀孔111的第一开口和第二开口之间被阀板122截断，真空蝶阀关闭。如图2所示，阀板122在阀轴121的带动下转动90°至打开位置，此时阀板122的开度为1，阀孔111的第一开口和第二开口连通，真空蝶阀开启。

本实用新型实施例提供的真空蝶阀内密封组件采用泛塞封密封结构的密封圈实现真空蝶阀的内部密封，不同于相关技术中通过软密封材质的过盈压缩变形实现密封，本实用新型实施例的泛塞封密封圈通过弹性件的弹性变形实现过盈密封配合，也就是当阀板位于关闭位置时，能够通过弹性件的弹性变形将密封圈本体紧紧的压向阀体的密封面，实现良好的密封性效果，解决了真空蝶阀内部密封问题，同时避免了软密封材质的损耗问题，减低了运行时的维护成本。

在一些实施例中，阀孔111的垂直与其中心线的横截面轮廓线为圆形，也就是说阀孔111位圆形孔。阀板122为与阀孔111形状相适配的圆形板，如图1所示，在关闭位置，阀板122的中心线与阀孔111的轴线重合，此时套设在阀板122周沿上的密封圈130的外周面均匀并紧密的贴合在阀孔111的壁面上，实现极低的真空漏率。如图2所示，在打开位置，阀板122的中心线与阀孔111的轴线垂直，此时密封圈130的绝大部分外周面脱离阀孔111的壁面。

由于弹性件132处于压缩状态，其向外(向远离阀板122的方向)压迫密封圈本体131的至少一部分。在阀板122在阀轴121的带动下从关闭位置向打开位置旋转的过程中(即真空蝶阀从图1的关闭状态向图2的开启状态转换的过程中)，弹性件132具有恢复变形的趋势，这种趋势使得密封圈130的外周面与阀孔111的壁面之间的摩擦阻力矩显著降低，从而降低了阀轴121的启动力矩，使阀板122不至于卡死。

进一步地，如图3所示，在一些实施例中，阀孔111的内壁面包括第一锥面1111，第一锥面1111与阀孔111的中心线之间具有夹角，第一锥面1111具有在阀孔111的轴向上相对的小径端和大径端，其中第一锥面1111的大径端的半径大于第一锥面1111的小径端的半径。在关闭位置，密封圈130与第一锥面1111相抵。第一锥面1111用于对阀板122和密封圈130起导向作用，防止泛塞封承受过大的阻力矩。

具体地，如图1-3所示，无论是阀板122从关闭位置向打开位置转动，还是从打开位置向关闭位置转动，密封圈130的外周面均会与第一锥面1111之间的发生相对滑动，具有一定倾角的第一锥面1111能够使两者之间的相对滑动更加顺畅，降低密封圈130的外周面与阀孔111的壁面之间的摩擦阻力矩，避免阀板122卡死。

更进一步地，如图3所示，阀孔111的内壁面包括第二锥面1112，第二锥面1112与阀孔111的中心线之间具有夹角，第二锥面1112具有在阀孔111的轴向上相对的小径端和大径端，其中第二锥面1112的大径端的半径大于第二锥面1112的小径端的半径。第二锥面1112位于第一锥面1111的大径端的一侧且第二锥面1112的小径端与第一锥面1111的大径端相接。第二锥面1112用于防止阀板122在转动时与阀体110之间发生尺寸干涉，即第二锥面1112用于避让阀板122。

优选地，第一锥面1111和第二锥面1112之间通过光滑圆弧过渡，第一锥面1111与阀孔111的其余壁面之间以及第二锥面1112与阀孔111的其余壁面之间均通过光滑圆弧过渡。

优选地，第一锥面1111与阀孔111的中心线之间的夹角小于第二锥面1112与阀孔111的中心线之间的夹角，使第二锥面1112更好地起到避让效果，避免阀体110对阀板122产生干预。

可选地，第一锥面1111与阀孔111的中心线之间的夹角为13°-19°。例如第一锥面1111与阀孔111的中心线之间的夹角为16°。第一锥面1111与阀孔111的中心线之间的夹角为13°-19°，使得第一锥面1111起到良好的导向作用的同时不影响密封圈130的密封效果。若第一锥面1111与阀孔111的中心线之间的夹角为小于13°，导致第一锥面1111的倾斜程度较低，密封圈130的外周面与第一锥面1111之间具有较大的摩擦阻力矩，导致密封圈130与第一锥面1111之间不易发生相对滑动，阀板122的启动力矩较大，可能会导致阀板122卡死的情况发生。若第一锥面1111与阀孔111的中心线之间的夹角大于19°，第一锥面1111的倾斜程度较大，可能会导致密封圈130的外周面无法与第一锥面1111之前形成紧密的配合，导致气压泄露和密封失效的情况发生。

可选地，第二锥面1112与阀孔111的中心线之间的夹角为33°-43°。例如第二锥面1112与阀孔111的中心线之间的夹角为38°。第二锥面1112与阀孔111的中心线之间的夹角为33°-43°，第二锥面1112能够起到良好的避让效果，并且阀孔111的内壁面尺寸相差不易过大。若第二锥面1112与阀孔111的中心线之间的夹角小于33°，可能会导致避让效果不明显，阀体110有可能会与阀板122之间产生机械干预，影响阀板122的转动。若第二锥面1112与阀孔111的中心线之间的夹角大于43°，会使得第二锥面1112的大径端的半径过大，导致阀孔111的内壁面尺寸相差过大，阀孔111不易加工。

在一些实施例中，如图6所示，安装槽1311具有第一槽壁面1312和第二槽壁面1313，第一槽壁面1312和第二槽壁面1313在垂直于密封圈130的轴向的方向上相对。在密封圈130为圆形圈的实施例中，垂直于密封圈130的轴向的方向即为密封圈130的径向。弹性件132止抵在第一槽壁面1312和第二槽壁面1313之间，密封圈本体131的夹设于弹性件132与阀孔111的壁面之间的部分可弹性形变，弹性件132向外推压密封圈本体131的该可弹性形变的部分，以使密封圈本体131的外周面与阀孔111的壁面能够紧密相抵。

在一些优选实施例中，密封圈本体131为聚四氟乙烯部件，弹性件132为弹簧。密封圈130为泛塞封密封圈。聚四氟乙烯具有冷流性，具有极低的摩擦系数，与钢的润滑摩擦系数可达0.04，因此采用聚四氟乙烯材质制备密封圈本体131能够进一步降低密封圈130与阀孔111的壁面之间的摩擦阻力矩，使阀板122具有良好的启闭性能。

可选地，弹性件132为由扁平不锈钢卷制的螺旋弹簧。弹簧的弹性变形实现内密封组件100的过盈压缩。当阀板122处于关闭位置时，通过弹簧弹性变形将密封件本体131紧紧压向阀体110的密封面，在阀板122需要打开时，由于聚四氟乙烯的冷流性以及弹簧恢复变形的趋势，都将大大减小摩擦阻力矩，因此，本实用新型实施例提供的内密封组件100既能实现较小的摩擦阻力矩，又可以实现良好的密封。

在一些具体实施例中，如图1和图6所示，密封圈本体131在其轴向上相对的两个端面中的其中一者开设有开放式的安装槽1311，即环形的安装槽1311开设在密封圈本体131的一个端面上。并且，在所述关闭位置，安装槽1311的槽口朝向阀孔111的压力更大的一侧，以使密封圈本体131在压力下产生一定程度上的变形，从而使密封圈本体131的外周面能够更好地压紧第一锥面1111，实现更好的内密封效果。

本实用新型实施例的真空蝶阀应用于真空环境中，阀孔111的第一开口与真空泵密封相接，阀孔111的第二开口与低真空侧相连，位于阀孔111内的阀板122通过转动实现真空泵与低真空侧的连通。如图1所示，阀孔111右侧的第一开口与真空泵密封相接，左侧的第二开口连通低真空侧，第一开口处的压力接近0，第二开口处的压力实际工况大约在200Pa--8000pa之间，在关闭位置，安装槽1311的槽口朝左并敞开，由于阀板122左侧的压力大于阀板122右侧的压力，这种压力差对密封圈本体131施加有一个使其涨开的力，使得密封圈本体131的外周面能够更好的压紧密封面(第一锥面1111)，因此密封效果更好。并且，阀板122两侧的压差越大，施加给密封圈本体131的力越大，密封圈本体131能够更紧密地贴合密封面，密封效果越好。

作为示例，在图1和图6所示的实施例中，第一槽壁面1312相对第二槽壁面1313靠近阀孔111的壁面，即相对靠近第一锥面1111。弹性环132为环形件，弹性件132的外周面与第一槽壁面1312相抵，弹性件132的内周面与第二槽壁面1313相抵。如图1所示，密封圈本体131的夹设在弹性件132的外周面与第一锥面1111之间的部分具有可弹性形变特性，即可以采用软密封材质，可选地，密封圈本体131的这一部分为软聚四氟乙烯材料制成。

当然，密封圈本体131的其他部分也可以采用软聚四氟乙烯材料制成，例如在图6所示的实施例中，密封圈本体131的位于弹性件132内侧的部分具有可弹性形变特性，由软聚四氟乙烯材料制成。

在其他可替换实施例中，安装槽1311可以为其他结构，例如安装槽1311可以为封闭槽结构，即密封圈本体131内部限定出环形的腔室，弹性件132配合在封闭的安装槽1311内并与第一槽壁面1312和第二槽壁面1313相抵。

在其他可替换实施例中，密封圈130的朝向阀板122的周向边沿的侧面开设有开放式的安装槽1311，即安装槽1311的开口朝向阀板122，弹性件132在密封圈130的径向上配合安装槽1311中且弹性件132的内周面与阀板122的周向边沿相抵，弹性件132的外周面与密封圈本体131相抵。弹性件132被压缩并向外推压密封圈本体131。

在一些实施例中，为了实现密封圈130与阀板122之间的相对固定，如图1、图4和图5所示，阀板122的周向边沿上设有环形的开放式沟槽1221，开放式沟槽1221的开口朝向阀体110的内壁面(阀孔111的壁面)，密封圈130的一部分配合在开放式沟槽1221内、另一部分向外伸出开放式沟槽1221。由此，密封圈130在其轴向上实现了与阀板122之间的限位，避免阀板122在转动的过程中密封圈130发生错位。

进一步地，为了更方便密封圈130与阀板122之间的安装，如图4和图5所示，阀板122包括阀板盖板1222和阀板基板1223，阀板基板1223与阀轴121相连，阀板盖板1222与阀板基板1223在阀体110的轴向上相对并与阀板基板1223可拆卸地连接，阀板盖板1222与阀板基板1223之间限定出开放式沟槽1221。在安装密封圈130时，首先将安装圈130套设在阀板盖板1222上，再将阀板基板1223与阀板盖板1222相连，以形成开放式沟槽1221。阀板盖板1222与阀板基板1223在密封圈130的轴向上对其进行限位。

本实用新型实施例还提出了一种真空蝶阀。真空蝶阀包括驱动组件和内密封组件100,驱动组件作用于内密封组件的阀轴121用于驱动阀轴121旋转，以带动阀板122在打开位置和关闭位置之间转动。

具体地，如图7所示，真空蝶阀包括内密封组件100、外密封组件200、传动组件300、驱动组件400和控制系统500。传动组件300、驱动组件400和控制系统500位于内密封组件100的阀体121的外侧，驱动组件400通过传动组件300与内密封组件100的阀轴121传动连接。阀轴121穿过阀体110伸入阀孔111内，外密封组件200配合在阀轴121与阀体110之间实现密封。控制系统500用于控制驱动组件400运作。在控制系统500作用下，驱动组件400运作，通过传动组件300带动阀轴121转动，进而带动阀板122在阀体110内在关闭位置和打开位置之间转换。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种真空蝶阀内密封组件，其特征在于，包括：

阀体(110)、阀轴(121)和阀板(122)，所述阀体(110)具有贯穿的阀孔(111)，所述阀轴(121)可旋转地穿设在阀孔(111)中，所述阀板(122)与所述阀轴(121)相连并在所述阀轴(121)的带动下相对所述阀孔(111)转动，以在开启阀孔(111)的打开位置和关闭阀孔(111)的关闭位置之间转换；

密封圈(130)，所述密封圈(130)套设在所述阀板(122)的周向边沿上，所述密封圈(130)包括密封圈本体(131)和弹性件(132)，所述密封圈本体(131)设有环形的安装槽(1311)，所述弹性件(132)设在所述安装槽(1311)内并将所述密封圈本体(131)的至少一部分常推向所述阀孔(111)的壁面，以在所述阀板(122)到达所述关闭位置时所述密封圈(130)与所述阀体(110)过盈密封配合。

2.根据权利要求1所述的真空蝶阀内密封组件，其特征在于，所述阀孔(111)的垂直与其中心线的横截面轮廓线为圆形，所述阀板(122)为与所述阀孔(111)形状相适配的圆形板，在所述关闭位置，所述阀板(122)的中心线与所述阀孔(111)的轴线重合。

3.根据权利要求2所述的真空蝶阀内密封组件，其特征在于，所述阀孔(111)的内壁面包括第一锥面(1111)，所述第一锥面(1111)具有在所述阀孔(111)的轴向上相对的小径端和大径端，在所述关闭位置，所述密封圈(130)与所述第一锥面(1111)相抵。

4.根据权利要求3所述的真空蝶阀内密封组件，其特征在于，所述阀孔(111)的内壁面包括第二锥面(1112)，所述第二锥面(1112)位于所述第一锥面(1111)的大径端的一侧且所述第二锥面(1112)的小径端与所述第一锥面(1111)的大径端相接。

5.根据权利要求4所述的真空蝶阀内密封组件，其特征在于，所述第一锥面(1111)与所述阀孔(111)的中心线之间的夹角小于所述第二锥面(1112)与所述阀孔(111)的中心线之间的夹角；

和/或，所述第一锥面(1111)与所述阀孔(111)的中心线之间的夹角为13°-19°；

和/或，所述第二锥面(1112)与所述阀孔(111)的中心线之间的夹角为33°-43°。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的真空蝶阀内密封组件，其特征在于，所述安装槽(1311)在垂直于所述密封圈(130)的轴向的方向上具有相对的第一槽壁面(1312)和第二槽壁面(1313)，所述弹性件(132)止抵在所述第一槽壁面(1312)与所述第二槽壁面(1313)之间，所述密封圈本体(131)的夹设于所述弹性件(132)与所述阀孔(111)的壁面之间的部分可弹性形变；

和/或，所述密封圈本体(131)为聚四氟乙烯部件，所述弹性件(132)为弹簧。

7.根据权利要求6所述的真空蝶阀内密封组件，其特征在于，

所述密封圈本体(131)在其轴向上相对的两个端面中的其中一者开设有开放式的安装槽(1311)，在所述关闭位置，所述阀板(122)的两侧具有压力差，所述安装槽(1311)的槽口朝向所述阀孔(111)的压力更大的一侧。

8.根据权利要求1所述的真空蝶阀内密封组件，其特征在于，所述阀板(122)的周向边沿上设有环形的开放式沟槽(1221)，所述开放式沟槽(1221)的开口朝向所述阀体(110)的内壁面，所述密封圈(130)的一部分配合在所述开放式沟槽(1221)内、另一部分向外伸出所述开放式沟槽(1221)。

9.根据权利要求8所述的真空蝶阀内密封组件，其特征在于，所述阀板(122)包括阀板盖板(1222)和阀板基板(1223)，所述阀板基板(1223)与所述阀轴(121)相连，所述阀板盖板(1222)与所述阀板基板(1223)在所述阀体(110)的轴向上相对并与所述阀板基板(1223)可拆卸地连接，所述阀板盖板(1222)与所述阀板基板(1223)之间限定出所述开放式沟槽(1221)。

10.一种真空蝶阀，其特征在于，包括：

驱动组件(400)；

内密封组件(100)，所述内密封组件(100)为根据权利要求1-9中任一项所述的内密封组件(100)，所述驱动组件(400)作用于所述阀轴(121)用于驱动所述阀轴(121)旋转，以带动所述阀板(122)在所述打开位置和所述关闭位置之间转动。