CN220482054U - 一种预制承片台毛坯的成型模具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种预制承片台毛坯的成型模具，底模包括下模和中模，中模套装在下模上，中模的上端面与承片台一侧的端面配合，上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，上模下压承片台，成型外模围绕下模和中模安装，下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，下模外缘面的端部还设有与承片台相对应的矩形凸起和弧形凸起，中模上开设有与下模的竖杆、条形凸起、圆柱凸起，矩形凸起和弧形凸起相配合的中模缺口，上模内设有容纳竖杆、矩形凸起和弧形凸起的上模缺口，下模底部可拆卸安装有吊环；该模具能成型复杂承片台毛坯，减少所需加工步骤，提高后续加工效率。

Description

一种预制承片台毛坯的成型模具

技术领域

本实用新型涉及碳化硅承片台的制造领域，尤其涉及一种预制承片台毛坯的成型模具。

背景技术

碳化硅承片台是用来承载硅片，方便对硅片进行光刻处理，例如硅片放置在碳化硅承片台上进行光刻处理，因此碳化硅承片台需要非常高的表面精度才能保证硅片放置平稳，而一旦碳化硅承片台的表面精度不够，硅片的放置不平整，那么光刻的质量就存在问题。目前，碳化硅承片台一般都是通过高纯硅粉与高纯碳粉按一定比例混合并搅拌均匀，导入预制的磨具中，形成一个圆盘，进行挤压凝固，倒出磨具进行平面打磨，洗出多个凹槽，并且保证碳化硅毛坯平行度，而要从整个圆盘加工成完成的碳化硅承片台需要多种工序步骤，非常繁琐且影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：一种预制承片台毛坯的成型模具，该模具能成型复杂承片台毛坯，减少所需加工步骤，提高后续加工效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种预制承片台毛坯的成型模具，包括底模、上模和成型外模，所述底模包括下模和中模，所述中模套装在下模上，所述中模的上端面与承片台一侧的端面配合，所述上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，所述上模下压承片台，所述成型外模围绕下模和中模安装，所述成型外模与中模可拆卸连接固定，所述下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，所述下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，所述下模外缘面的端部还设有与承片台相对应的矩形凸起和弧形凸起，所述中模上开设有与下模的竖杆、条形凸起、圆柱凸起，矩形凸起和弧形凸起相配合的中模缺口，所述上模内设有容纳竖杆、矩形凸起和弧形凸起的上模缺口，所述下模底部可拆卸安装有吊环。

作为一种优选的方案，所述成型外模包括第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模，所述第一成型外模上设有若干个半个模具容纳区域，所述第一成型外模与第三成型外模结构相同，所述第二成型外模上也设有与第一成型外模和第三成型外模对应的半个模具容纳区域，所示第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模围绕形成若干个模具容纳区域，所述模具区域内放置有对应的下模、中模和上模。

作为一种优选的方案，所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模之间设有相互连接的固定结构，所述第一成型外模和第三成型外模上开设有与对应的下模和中模螺钉固定连接的螺纹固定孔。

作为一种优选的方案，所述固定结构包括固定安装在第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模两侧的连接耳，所述连接耳之间通过螺栓连接固定。

作为一种优选的方案，所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模模具容纳区域的间隔处通过螺钉连接固定。

作为一种优选的方案，所述第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的模具容纳区域上方设有方便上模下压的倒角。

采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于预制承片台毛坯的成型模具，包括底模、上模和成型外模，所述底模包括下模和中模，所述中模套装在下模上，所述中模的上端面与承片台一侧的端面配合，所述上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，所述上模下压承片台，所述成型外模围绕下模和中模安装，所述成型外模与中模可拆卸连接固定，所述下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，所述下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，所述下模外缘面的端部还设有与承片台相对应的矩形凸起和弧形凸起，所述中模上开设有与下模的竖杆、条形凸起、圆柱凸起，矩形凸起和弧形凸起相配合的中模缺口，所述上模内设有容纳竖杆、矩形凸起和弧形凸起的上模缺口，所述下模底部可拆卸安装有吊环；首先将中模套装在下模上，将成型外模围绕中模和下模安装，接着向中模上倒入承片台成型材料，将上模与液压机连接，通过液压机驱动上模下降，与下模和中模配合挤压出承片台毛坯，完成挤压后，液压机带动上模上升，在下模底部安装吊环，接着通过吊环带动下模拔出，再将成型外模与中模之间解除固定，拆开成型外模，就能完成承片台毛坯的成型；该模具能成型复杂承片台毛坯，减少所需加工步骤，提高后续加工效率。

又由于所述成型外模包括第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模，所述第一成型外模上设有若干个半个模具容纳区域，所述第一成型外模与第三成型外模结构相同，所述第二成型外模上也设有与第一成型外模和第三成型外模对应的半个模具容纳区域，所示第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模围绕形成若干个模具容纳区域，所述模具区域内放置有对应的下模、中模和上模；这样单次能完成多组承片台的成型，进一步提高工作效率。

又由于所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模之间设有相互连接的固定结构，所述第一成型外模和第三成型外模上开设有与对应的下模和中模螺钉固定连接的螺纹固定孔；这样在进行成型时，通过固定结构将第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模有效固定，有效限制挤压时导致模具容纳区域变大，成型的尺寸不准确，同时将第一成型外模和第三成型外模与对应的下模和中模螺纹连接，这样就能方便下模和中模在模具容纳区域内相对位置的固定，一方面使在上模成型时不会产生晃动，保证成型稳定，另一方面能确保成型完成后，上模能顺利拔出，不会影响后续的拆卸，提高成型质量。

又由于所述固定结构包括固定安装在第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模两侧的连接耳，所述连接耳之间通过螺栓连接固定；通过连接耳连接能结构简单，操作方便，同时也能保证连接固定质量。

又由于所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模模具容纳区域的间隔处通过螺钉连接固定；这样能进一步提高第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模之间的连接强度，保证成型时能准确可靠。

又由于所述第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的模具容纳区域上方设有方便上模下压的倒角，起到一定的导向作用，保证成型的准确性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型实施例的立体图；

图2是本实用新型实施例下模、中模和上模的立体图；

图3是本实用新型实施例下模、中模和上模的剖视图；

图4是本实用新型实施例下模的结构示意图；

图5是本实用新型实施例中模的结构示意图；

附图中：1、上模；2、下模；3、中模；4、承片台；5、竖杆；6、条形凸起；7、圆柱凸起；8、矩形凸起；9、弧形凸起；10、中模缺口；11、上模缺口；12、吊环；13、第一成型外模；14、第二成型外模；15、第三成型外模；16、模具容纳区域；17、螺纹固定孔；18、连接耳；19、螺栓；20、螺母；21、螺纹连接孔；22、倒角。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1至图5所示，一种预制承片台毛坯的成型模具，包括底模、上模1和成型外模，所述底模包括下模2和中模3，所述中模3套装在下模2上，所述中模3的上端面与承片台4一侧的端面配合，所述上模1的下端面与承片台4另一侧的端面配合，所述上模1下压承片台4，所述成型外模围绕下模2和中模3安装，所述成型外模与中模3可拆卸连接固定，所述下模2的中心处圆周安装有贯穿承片台4的竖杆5，所述下模2外缘面上设有与承片台4相对应的条形凸起6和圆柱凸起7，所述下模2外缘面的端部还设有与承片台4相对应的矩形凸起8和弧形凸起9，所述中模3上开设有与下模2的竖杆5、条形凸起6、圆柱凸起7，矩形凸起8和弧形凸起9相配合的中模缺口10，所述上模1内设有容纳竖杆5、矩形凸起8和弧形凸起9的上模缺口11，所述下模2底部可拆卸安装有吊环12。

所述下模2中部圆周分布有三个竖杆5，该三个竖杆5贯穿中模3和承片台4毛坯，下模2上还圆周设有三个条形凸起6和两个圆柱凸起7，对承片台4下方就能进行沉槽和条型槽的成型，同时下模2的外缘面上设有三个矩形凸起8和一个弧形凸起9，其中一个矩形凸起8和弧形凸起9为贯穿中模3和承片台4，这样就能使中模3与承片台4毛坯面接触，下模2对承片台4的沉槽和通孔进行成型，再通过拔出下模2，方便承片台4毛坯的脱模；吊环12与下模2底部为螺纹连接，这样达到拆卸方便的效果，提高拔模时的效率。

如图1所示，所述成型外模包括第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15，所述第一成型外模13上设有若干个半个模具容纳区域16，所述第一成型外模13与第三成型外模15结构相同，所述第二成型外模14上也设有与第一成型外模13和第三成型外模15对应的半个模具容纳区域16，所示第一成型外模13和第二成型外模14、第三成型外模15和第二成型外模14围绕形成若干个模具容纳区域16，所述模具区域内放置有对应的下模2、中模3和上模1；承片台4为圆形结构，且下模2、中模3和上模1被成型外模围绕，因此模具容纳区域16为圆形，下模2、中模3和上模1也均为圆柱形模具，第一成型外模13上设有两个半圆模具容纳区域16，第二成型外模14上一侧设有相对应的半圆模具容纳区域16，这样通过第一成型外模13与第二成型外模14通过模糊容纳区域安装起来，就能进行模具成型，第三成型外模15与第二成型外模14同理，这样通过第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15依次完成安装就能形成四个模具容纳区域16，这样同时能进行四个承片台4毛坯的成型，大大提高了成型效率，且成型外模结构简单，方便安装。

进一步的，所述第一成型外模13和第二成型外模14、第三成型外模15和第二成型外模14之间设有相互连接的固定结构，所述第一成型外模13和第三成型外模15上开设有与对应的下模2和中模3螺钉固定连接的螺纹固定孔17；在下模2和中模3高度的第一成型外模13和第三成型外模15上均开设有与之对应两个螺纹固定孔17，这样在进行成型时，通过固定结构将第一成型外模13和第二成型外模14、第三成型外模15和第二成型外模14有效固定，有效限制挤压时导致模具容纳区域16变大，成型的尺寸不准确，同时将第一成型外模13和第三成型外模15与对应的下模2和中模3螺纹连接，这样就能方便下模2和中模3在模具容纳区域16内相对位置的固定，一方面使在上模1成型时不会产生晃动，保证成型稳定，另一方面能确保成型完成后，上模1能顺利拔出，不会影响后续的拆卸，提高成型质量。

在本实施例中，所述固定结构包括固定安装在第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15两侧的连接耳18，所述连接耳18之间通过螺栓19连接固定；通过连接耳18首先能确保在安装第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15时能准确安装，方便对准，且连接耳18结构简单，方便使用时，通过螺栓19和螺母20固定牢固可靠，拆卸方便。

进一步的，所述第一成型外模13和第二成型外模14、第三成型外模15和第二成型外模14模具容纳区域16的间隔处通过螺钉连接固定，所述第一成型外模13和第三成型外模15结构相同，且由于模具容纳区域16为圆形，两个模具容纳区域16之间开设有螺纹连接孔21，方便螺钉伸入将第一成型外模13和第二成型外模14、第三成型外模15和第二成型外模14进一步连接固定，提高第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15之间连接牢固性，防止成型时出现模具容纳区域16挤压变大的情况。

在本实施例中，所述第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15的模具容纳区域16上方设有方便上模1下压的倒角22；通过开设有倒角22方便第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15的对齐，安装准确，同时下压过程中能对上模1起到导向作用，保证良好的成型效果。

本实施例的工作原理：首先将中模3套装在下模2上，接着第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15依次绕中模3和下模2通过螺栓19和螺钉连接起来，同时第一成型外膜和第三成型外模15与中模3和下模2螺钉连接，接着朝容纳区域内的中模3上倾倒所需承片台4成型材料，液压机驱动上模1下压，下压完成后，液压机带动上模1上升，再将整体移动至别处进行脱模，拆卸第一成型外膜和第三成型外模15上与下模2连接的螺钉，在下模2底部螺旋连接吊环12，接着通过抵住第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15的下端面，模具容纳区域16露出，向下拉动吊环12，使下模2脱落，接着拆卸第一成型外模13、第二成型外模14和第三成型外模15即可完成承片台4的成型。

以上所述实施例仅是对本实用新型的优选实施方式的描述，不作为对本实用新型范围的限定，在不脱离本实用新型设计精神的基础上，对本实用新型技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (6)

1.一种预制承片台毛坯的成型模具，包括底模、上模和成型外模，其特征在于：所述底模包括下模和中模，所述中模套装在下模上，所述中模的上端面与承片台一侧的端面配合，所述上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，所述上模下压承片台，所述成型外模围绕下模和中模安装，所述成型外模与中模可拆卸连接固定，所述下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，所述下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，所述下模外缘面的端部还设有与承片台相对应的矩形凸起和弧形凸起，所述中模上开设有与下模的竖杆、条形凸起、圆柱凸起，矩形凸起和弧形凸起相配合的中模缺口，所述上模内设有容纳竖杆、矩形凸起和弧形凸起的上模缺口，所述下模底部可拆卸安装有吊环。

2.如权利要求1中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述成型外模包括第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模，所述第一成型外模上设有若干个半个模具容纳区域，所述第一成型外模与第三成型外模结构相同，所述第二成型外模上也设有与第一成型外模和第三成型外模对应的半个模具容纳区域，所示第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模围绕形成若干个模具容纳区域，所述模具区域内放置有对应的下模、中模和上模。

3.如权利要求2中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模之间设有相互连接的固定结构，所述第一成型外模和第三成型外模上开设有与对应的下模和中模螺钉固定连接的螺纹固定孔。

4.如权利要求3中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述固定结构包括固定安装在第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模两侧的连接耳，所述连接耳之间通过螺栓连接固定。

5.如权利要求4中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模模具容纳区域的间隔处通过螺钉连接固定。

6.如权利要求5中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的模具容纳区域上方设有方便上模下压的倒角。