CN220464356U - 一种线切机液路系统及线切机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种线切机液路系统及线切机，属于线切割技术领域，解决了现有液路系统无法有效调节线切机各模块温度的问题。本实用新型包括冷却管路，所述冷却管路可通入冷却液，所述冷却管路上设有若干个冷却支路，各个所述冷却支路具有设定温度；检测模块，检测模块设置于冷却支路上；调温模块，调温模块设置于冷却支路上；其中，检测模块可检测冷却支路的温度，调温模块可根据检测的温度调高或调低冷却支路的温度，以使得所述检测模块检测的温度趋向于或等于设定的温度。本实用新型通过给各个冷却支路配置检测模块，以实时监测各个冷却支路的温度状况，相应的，给各个冷却支路配置调温模块，保证各个冷却支路可分别独立调整至设定的温度。

Description

一种线切机液路系统及线切机

技术领域

本实用新型属于线切机切割技术领域，具体而言，涉及一种线切机液路系统及线切机。

背景技术

线切机通过线网的来回运动将磨粒带入硅棒的加工区域进行磨削，从而将晶棒加工成数个薄片。线切机主要由进刀系统、主轴系统、绕线系统、液路系统、气路系统和电控系统组成，其中液路系统包括冷却水循环系统和切割液循环系统，其作用分别是为线切机的各关键零部件进行降温和为切割提供磨粒、润滑、冷却等作用。两个循环系统独立循环，相互作用但不互相干扰。液路系统的完整性和单点操控性对探索线切机的切割质量、切割工艺和更多功能拓展起着关键作用。

现有线切机的液路系统通过一根总管和阀门控制各支路的冷却，无法确定和控制各冷却支路的实际温度，当单个支路温度过高或堵塞，总管并不会出现明显变化，不利于晶圆表面质量的提高和故障排查。

因此，本申请要解决的技术问题是：提供一种可控制各冷却支路温度的线切机液路系统。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种线切机液路系统及线切机，解决了现有液路系统无法有效调节线切机各模块温度的问题。本申请方案的技术效果是：可使线切机各个模块具有合适的工作温度。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种冷却液路系统，包括冷却管路，所述冷却管路可通入冷却液，所述冷却管路上设有若干个冷却支路，各个所述冷却支路具有设定温度；检测模块，所述检测模块设置于冷却支路上；调温模块，所述调温模块设置于冷却支路上；其中，所述检测模块可检测冷却支路的温度，所述调温模块可根据检测的温度调高或调低冷却支路的温度，以使得所述检测模块检测的温度趋向于或等于设定的温度。

可以理解的是，通过给各个冷却支路配置检测模块，以实时监测各个冷却支路的温度状况，相应的，给各个冷却支路配置调温模块，即便各个冷却支路的工作环境温度不同，也可进行调温控制，保证各个冷却支路可分别独立调整至设定的温度，进而保证与各个冷却支路相连的线切机模块可正常工作，最终提高线切成品的质量。示例性的，检测模块可配置为温度传感器，并且同一个冷却支路上可设置多个适量的温度传感器。

在上述的线切机液路系统中，所述调温模块包括设置于所述冷却支路上的加热单元，所述加热单元可向冷却支路提供热量。可以理解的是，当冷却支路上的检测模块检测到该冷却支路的温度低于设定温度时，可通过加热单元对冷却支路加热，使其回升至设定温度，防止线切机内的部件过冷收缩，从而影响工作精度与线切质量。

在上述的线切机液路系统中，所述加热单元为加热器，所述加热器具有多级加热控制件。示例性的，加热单元配置为电控的加热器，并且该加热器可配置多种升温档位，可根据实际检测的温度选择合适的档位进行调控。

在上述的线切机液路系统中，作为另一种方案，所述加热单元为加热管路，所述加热管路设置于冷却管路外侧，可供热液流通，且所述加热管路上设有控制热液流量大小的第一阀门。示例性的，加热单元也可配置为加热管路，向加热管路通入热液以提升冷却管路的温度，可根据实际检测的温度，选择性的提升或降低热液的流量。

在上述的线切机液路系统中，所述调温模块包括设置于所述冷却支路上的降温单元，所述降温单元可加快散发冷却支路的热量。可以理解的是，当冷却支路上的检测模块检测到该冷却支路高于设定温度时，可通过降温单元加快散热冷却支路的热量，使其回落至设定温度，防止线切机内部的部件过热膨胀，从而影响工作精度与线切质量。

在上述的线切机液路系统中，所述降温单元为控制冷却液流量大小的第二阀门。示例性的，当检测模块检测到冷却管路温度高于设定温度时，可以通过第二阀门增大冷却液流量以调低该冷却管路的温度；当检测模块检测到冷却管路低于设定温度时，可以通过第二阀门减小冷却液流量以提高该冷却管路的温度。

在上述的线切机液路系统中，还包括出液管路，所述出液管路上设有若干个出液支管，所述出液支管用于接收线切机的各个部件的冷却用液。可以理解的是，通过设置出液管路和出液支管，可将冷却用液重新回收，实现冷却液的循环利用。

本实用新型的另一目的在于提供一种线切机，包括：线切机液路系统；切割室，所述切割室连接有第一冷却支路；升降模块，所述升降模块设置于切割室内，且所述升降模块连接有第二冷却支路；切割主辊，所述切割主辊设置于升降模块下方，且所述切割主辊连接有第三冷却支路。

可以理解的是，通过将切割室与第一冷却支路连接、升降模块与第二冷却支路连接、切割主辊与第三冷却支路连接，可以保证切割室、升降模块及切割主辊始终处于正常工作状态，升降模块升降精度不受影响，切割主辊不易膨胀，即不易造成轴向窜动，也不易收缩，切割主辊上的线网不会松弛，防止线网线弓的增加。

在上述的线切机中，还包括夹紧模块，所述夹紧模块连接于升降模块上，且所述夹紧模块连接有第四冷却支路。可以理解的是，夹紧模块一般用于夹紧带有晶棒的晶托，通过为夹紧模块配置第四冷却支路，防止其受热而带动晶托窜动，影响切割效果。

在上述的线切机中，还包括电机模组，所述电机模组设置于切割室一侧，且所述电机模组连接有第五冷却支路。可以理解的是，电机模组一般发热较为严重，因此，通过为电机模组配置第五冷却支路，防止其受热而影响工作功率，进而影响切割效果。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：通过给各个冷却支路配置检测模块，以实时监测各个冷却支路的温度状况，相应的，给各个冷却支路配置调温模块，即便各个冷却支路的工作环境温度不同，也可进行调温控制，保证各个冷却支路可分别独立调整至设定的温度，进而保证与各个冷却支路相连的线切机模块可正常工作，最终提高线切成品的质量；通过加热单元对冷却支路加热，使其回升至设定温度，防止线切机内的部件过冷收缩，从而影响工作精度与线切质量；通过降温单元加快散热冷却支路的热量，使其回落至设定温度，防止线切机内部的部件过热膨胀，从而影响工作精度与线切质量。

附图说明

图1是本实用新型冷却管路与出液管路的立体结构示意图；

图2是本实用新型整体的液路系统结构示意图；

图3是本实用新型第一冷却支路与加热管路的装配结构示意图；

图中，100、冷却管路；110、第一冷却支路；120、第二冷却支路；130、第三冷却支路；140、第四冷却支路；150、第五冷却支路；200、检测模块；300、调温模块；310、加热单元；311、第一阀门；320、降温单元；400、出液管路；500、切割室；600、升降模块；700、切割主辊；800、夹紧模块。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

本申请的线切机液路系统，请参照说明书附图的图1，具体包括：冷却管路100、检测模块200、调温模块300。其中，冷却管路100可通入冷却液，冷却管路100上设有若干个冷却支路，各个冷却支路具有设定温度，检测模块200设置于冷却支路上，调温模块300设置于冷却支路上；并且，检测模块200可检测冷却支路的温度，所述调温模块300可根据检测的温度调高或调低冷却支路的温度，以使得所述检测模块200检测的温度趋向于或等于设定的温度。

可以理解的是，通过给各个冷却支路配置检测模块200，以实时监测各个冷却支路的温度状况，相应的，给各个冷却支路配置调温模块300，即便各个冷却支路的工作环境温度不同，也可进行调温控制，保证各个冷却支路可分别独立调整至设定的温度，进而保证与各个冷却支路相连的线切机模块可正常工作，最终提高线切成品的质量。示例性的，检测模块200可配置为温度传感器，并且同一个冷却支路上可设置多个适量的温度传感器。

调温模块300包括设置于所述冷却支路上的加热单元310，所述加热单元310可向冷却支路提供热量。可以理解的是，当冷却支路上的检测模块200检测到该冷却支路的温度低于设定温度时，可通过加热单元310对冷却支路加热，使其回升至设定温度，防止线切机内的部件过冷收缩，从而影响工作精度与线切质量。

在一些实施方式中，加热单元310为加热器，加热器具有多级加热控制件。示例性的，加热单元310配置为电控的加热器，并且该加热器可配置多种升温档位，可根据实际检测的温度选择合适的档位进行调控。

在一些实施方式中，加热单元310为加热管路，参见说明书附图的图3，加热管路设置于冷却管路100外侧，可供热液流通，且所述加热管路上设有控制热液流量大小的第一阀门。示例性的，加热单元310也可配置为加热管路，向加热管路通入热液以提升冷却管路100的温度，可根据实际检测的温度，选择性的提升或降低热液的流量。

调温模块300包括设置于所述冷却支路上的降温单元320，所述降温单元320可加快散发冷却支路的热量。可以理解的是，当冷却支路上的检测模块200检测到该冷却支路高于设定温度时，可通过降温单元320加快散热冷却支路的热量，使其回落至设定温度，防止线切机内部的部件过热膨胀，从而影响工作精度与线切质量。

降温单元320为控制冷却液流量大小的第二阀门。示例性的，当检测模块200检测到冷却管路100温度高于设定温度时，可以通过第二阀门增大冷却液流量以调低该冷却管路100的温度；当检测模块200检测到冷却管路100低于设定温度时，可以通过第二阀门减小冷却液流量以提高该冷却管路100的温度。

在一些实施方式中，本申请的线切机液路系统还包括出液管路400，出液管路400上设有若干个出液支管，出液支管用于接收线切机的各个部件的冷却用液。可以理解的是，通过设置出液管路400和出液支管，可将冷却用液重新回收，实现冷却液的循环利用。

本实用新型的线切机，参见说明书附图的图2，具体包括：线切机液路系统、切割室500、升降模块600以及切割主辊700。其中，切割室500连接有第一冷却支路110，升降模块600设置于切割室500内，且升降模块600连接有第二冷却支路120，切割主辊700设置于升降模块600下方，且切割主辊700连接有第三冷却支路130。

可以理解的是，通过将切割室500与第一冷却支路110连接、升降模块600与第二冷却支路120连接、切割主辊700与第三冷却支路130连接，可以保证切割室500、升降模块600及切割主辊700始终处于正常工作状态，升降模块600升降精度不受影响，切割主辊700不易膨胀，即不易造成轴向窜动，也不易收缩，切割主辊700上的线网不会松弛，防止线网线弓的增加。

在一些实施方式中，本申请的线切机还包括夹紧模块800，夹紧模块800连接于升降模块600上，且夹紧模块800连接有第四冷却支路140。可以理解的是，夹紧模块800一般用于夹紧带有晶棒的晶托，通过为夹紧模块800配置第四冷却支路140，防止其受热而带动晶托窜动，影响切割效果。

在一些实施方式中，本申请的线切机还包括电机模组，电机模组(图中未示出)设置于切割室500一侧，且电机模组连接有第五冷却支路150。可以理解的是，电机模组一般发热较为严重，因此，通过为电机模组配置第五冷却支路150，防止其受热而影响工作功率，进而影响切割效果。

有益效果：本实用新型通过给各个冷却支路配置检测模块200，以实时监测各个冷却支路的温度状况，相应的，给各个冷却支路配置调温模块300，即便各个冷却支路的工作环境温度不同，也可进行调温控制，保证各个冷却支路可分别独立调整至设定的温度，进而保证与各个冷却支路相连的线切机模块可正常工作，最终提高线切成品的质量；通过加热单元310对冷却支路加热，使其回升至设定温度，防止线切机内的部件过冷收缩，从而影响工作精度与线切质量；通过降温单元320加快散热冷却支路的热量，使其回落至设定温度，防止线切机内部的部件过热膨胀，从而影响工作精度与线切质量。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (10)

1.一种线切机液路系统，其特征在于，包括：

冷却管路(100)，所述冷却管路(100)可通入冷却液，所述冷却管路(100)上设有若干个冷却支路，各个所述冷却支路具有设定温度；

检测模块(200)，所述检测模块(200)设置于冷却支路上；以及

调温模块(300)，所述调温模块(300)设置于冷却支路上；

其中，所述检测模块(200)可检测冷却支路的温度，所述调温模块(300)可根据检测的温度调高或调低冷却支路的温度，以使得所述检测模块(200)检测的温度趋向于或等于设定的温度。

2.根据权利要求1所述的线切机液路系统，其特征在于，所述调温模块(300)包括设置于所述冷却支路上的加热单元(310)，所述加热单元(310)可向冷却支路提供热量。

3.根据权利要求2所述的线切机液路系统，其特征在于，所述加热单元(310)为加热器，所述加热器具有多级加热控制件。

4.根据权利要求2所述的线切机液路系统，其特征在于，所述加热单元(310)为加热管路，所述加热管路设置于冷却管路(100)外侧，可供热液流通，且所述加热管路上设有控制热液流量大小的第一阀门(311)。

5.根据权利要求1所述的线切机液路系统，其特征在于，所述调温模块(300)包括设置于所述冷却支路上的降温单元(320)，所述降温单元(320)可加快散发冷却支路的热量。

6.根据权利要求5所述的线切机液路系统，其特征在于，所述降温单元(320)为控制冷却液流量大小的第二阀门。

7.根据权利要求1所述的线切机液路系统，其特征在于，还包括出液管路(400)，所述出液管路(400)上设有若干个出液支管，所述出液支管用于接收线切机的各个部件的冷却用液。

8.一种线切机，其特征在于，包括：

线切机液路系统，如权利要求1-7任一所述；

切割室(500)，所述切割室(500)连接有第一冷却支路(110)；

升降模块(600)，所述升降模块(600)设置于切割室(500)内，且所述升降模块(600)连接有第二冷却支路(120)；

切割主辊(700)，所述切割主辊(700)设置于升降模块(600)下方，且所述切割主辊(700)连接有第三冷却支路(130)。

9.根据权利要求8所述的线切机，其特征在于，还包括夹紧模块(800)，所述夹紧模块(800)连接于升降模块(600)上，且所述夹紧模块(800)连接有第四冷却支路(140)。

10.根据权利要求8所述的线切机，其特征在于，还包括电机模组，所述电机模组设置于切割室(500)一侧，且所述电机模组连接有第五冷却支路(150)。