CN220399313U - 一种适用于ebsd测试的多功能组合式样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，具体涉及样品台技术领域，包括样品定位台，所述样品定位台的顶端开设有定位顶端面，所述定位顶端面的一侧开设有阶梯定位槽，所述样品定位台的另一侧开设有倾斜槽，所述定位顶端面的顶端设有放置组件；所述放置组件包括设置在定位顶端面顶端的两个第一凸起板样品。本实用新型通过设置放置组件，既可以对定位顶端面上表面的测试样品进行测试，还可以对倾斜槽侧面的样品进行测试和对倾斜槽侧面的样品进行测试，可以用于装载多尺寸多样品，同时也可以满足多种SEM测试需求的EBSD多功能样品台，无需多次更换样品，测试效率更高。

Description

一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台

技术领域

本实用新型涉及样品台技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台。

背景技术

晶体材料的微观组织形貌、结构与取向分布、成分分布是表征和决定材料各类性能的关键，电子背散射衍射（electron backscatter diffraction，简称EBSD）表征技术是基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析从而确定晶体结构、取向及相关信息的方法，基于此技术的取向成像分析能够使研究者得到更加丰富的材料内部信息，因此需要用到样品台放置样品，方便测试分析样品状况。

经检索在现有已经公开的文献中，专利公开号CN212907639U的实用新型专利公开了一种多功能组合式扫描电镜样品台，针对同时用于一种或两种形貌类型的样品，例如同时适用于粉末和片状样品的样品台、同时适用于观察截面和平面结构的样品台等，因此，当同时测试多种形貌类型的样品，或者在样品不同位置进行测试时，就需要频繁更换样品台，浪费时间的同时影响电镜的真空度；该专利结构简单、操作方便、适合多种形式样品检测的优点；但是该装置还存在如下缺陷；

上述样品台在使用过程中，虽然可以对不同样品进行固定，但是样品所展现的面只有水平面，这样两侧面无法放置样品进行观察测试，对于观测样品的微观形貌又想收集EBSD信号的测试需求就需要多次地更换样品，这无疑也增加了测试时间，影响了测试效率，批量测试效率较低，为此需要提供一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台。

实用新型内容

本实用新型技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题，提供了显著不同于现有技术的解决方案，为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台，所述样品定位台的顶端开设有定位顶端面，所述定位顶端面的一侧开设有阶梯定位槽，所述样品定位台的另一侧开设有倾斜槽，所述定位顶端面的顶端设有放置组件；

所述放置组件包括设置在定位顶端面顶端的两个第一凸起板样品，且第一凸起板样品的一侧设有第一圆柱样品，所述倾斜槽的一侧嵌入有四个组合梯形锁紧块，在相邻两个组合梯形锁紧块之间设有狗骨型样品，所述阶梯定位槽的一侧嵌入有从上到下依次等距排列的多组梯形锁紧块，所述梯形锁紧块与定位顶端面之间设有第二凸起板样品。

优选地，两个所述第一凸起板样品和第一圆柱样品均与定位顶端面所属的样品定位台之间通过导电胶粘接，四个所述组合梯形锁紧块均与倾斜槽所属的样品定位台之间螺纹连接，且狗骨型样品与组合梯形锁紧块之间插接，每组所述梯形锁紧块的数量设为两个，且两个梯形锁紧块关于第二凸起板样品对称设置，多个所述梯形锁紧块均与阶梯定位槽所属的样品定位台之间螺纹连接。

优选地，所述样品定位台的底端设有定位底柱，且定位底柱与样品定位台之间一体化成型。

本实用新型的技术效果和优点：

通过设置放置组件，既可以对定位顶端面上表面的测试样品进行测试，还可以对倾斜槽侧面的样品进行测试和对倾斜槽侧面的样品进行测试，可以用于装载多尺寸多样品，同时也可以满足多种SEM测试需求的EBSD多功能样品台，无需多次更换样品，测试样品装载面积更广，样品放置数量更多，测试效率更高，而且优势在于螺纹紧固EBSD样品，减少漂移。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台整体结构示意图。

图2为本实用新型的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台中样品定位台与第一凸起板样品连接处结构示意图。

图3为本实用新型的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台中第三凸起板样品与样品定位台连接处结构示意图。

图4为本实用新型的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台中长截面样品与样品定位台连接处结构示意图。

图5为本实用新型的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台中第二断口凸块样品与样品定位台连接处结构示意图。

图6为本实用新型的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台中样品定位台与第四凸起板样品连接处结构示意图。

附图标记为：1、样品定位台；2、定位顶端面；3、阶梯定位槽；4、倾斜槽；5、第一凸起板样品；6、第一圆柱样品；7、组合梯形锁紧块；8、狗骨型样品；9、梯形锁紧块；10、第二凸起板样品；11、第三凸起板样品；12、第一矩形板样品；13、短部凸起板样品；14、第二圆柱样品；15、第二矩形板样品；16、第一断口凸块样品；17、长截面样品；18、第二断口凸块样品；19、短截面插接块；20、第三断口凸块样品；21、第四凸起板样品；22、锁紧短块；23、侧面断口样品块；24、定位底柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如附图1-2所示，一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台1，样品定位台1的顶端开设有定位顶端面2，定位顶端面2的一侧开设有阶梯定位槽3，样品定位台1的另一侧开设有倾斜槽4，定位顶端面2的顶端设有放置组件；

放置组件包括设置在定位顶端面2顶端的两个第一凸起板样品5，且第一凸起板样品5的一侧设有第一圆柱样品6，倾斜槽4的一侧嵌入有四个组合梯形锁紧块7，在相邻两个组合梯形锁紧块7之间设有狗骨型样品8，阶梯定位槽3的一侧嵌入有从上到下依次等距排列的多组梯形锁紧块9，梯形锁紧块9与定位顶端面2之间设有第二凸起板样品10，两个第一凸起板样品5和第一圆柱样品6均与定位顶端面2所属的样品定位台1之间通过导电胶粘接，四个组合梯形锁紧块7均与倾斜槽4所属的样品定位台1之间螺纹连接，且狗骨型样品8与组合梯形锁紧块7之间插接，每组梯形锁紧块9的数量设为两个，且两个梯形锁紧块9关于第二凸起板样品10对称设置，多个梯形锁紧块9均与阶梯定位槽3所属的样品定位台1之间螺纹连接，样品定位台1的底端设有定位底柱24，且定位底柱24与样品定位台1之间一体化成型；

本实施例工作原理；在样品放置时，可以将样品定位台1底部的定位底柱24插接固定在测试平台上，定位底柱24可以对样品定位台1起到竖向支撑作用，将第一圆柱样品6和两个第一凸起板样品5插接到样品定位台1顶端的定位顶端面2上，再将四个组合梯形锁紧块7对接到倾斜槽4的侧面孔洞内，通过螺栓插接组合梯形锁紧块7内部并与样品定位台1螺纹连接，然后将狗骨型样品8插接到两个组合梯形锁紧块7之间的空隙中，定位安装，再将多个梯形锁紧块9定位到阶梯定位槽3侧面位置处，通过螺栓插入到梯形锁紧块9内部，这样梯形锁紧块9可以固定在样品定位台1内部有位置处，再使第二凸起板样品10插接到梯形锁紧块9与阶梯定位槽3之间所形成的空隙中，起到定位插接的作用，这样在测试时，既可以对定位顶端面2上表面的测试样品进行测试，还可以对倾斜槽4侧面的样品进行测试和对倾斜槽4侧面的样品进行测试，样品放置面更广，放置数量更多，测试效率更高，优势在于螺纹紧固EBSD样品，减少漂移。

实施例

一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台1，样品定位台1的顶端开设有定位顶端面2，定位顶端面2的一侧开设有阶梯定位槽3，样品定位台1的另一侧开设有倾斜槽4；

定位顶端面2的顶端活动插接有两个第三凸起板样品11，且第三凸起板样品11的一侧设有第一矩形板样品12，阶梯定位槽3一侧设有多个短部凸起板样品13，倾斜槽4的一侧活动插接有两个第二圆柱样品14，倾斜槽4的一侧且位于第二圆柱样品14一侧位置插接有第二矩形板样品15；

本实施例工作原理；将两个第三凸起板样品11和第一矩形板样品12插接定位顶端面2顶端孔位，再将两个第二圆柱样品14以及两个第二矩形板样品15插接在倾斜槽4孔位，推动多个短部凸起板样品13，多个短部凸起板样品13均可以插入到阶梯定位槽3的侧面孔位内，多面放置样品，放置数量更多。

实施例

一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台1，样品定位台1的顶端开设有定位顶端面2，定位顶端面2的一侧开设有阶梯定位槽3，样品定位台1的另一侧开设有倾斜槽4；

定位顶端面2的顶端活动插接有三组第一断口凸块样品16，每组第一断口凸块样品16的数量均设为四个，相邻两组第一断口凸块样品16之间均设有长截面样品17，两个长截面样品17底端均与定位顶端面2所属的样品定位台1之间通过螺栓可拆卸式连接；

本实施例工作原理；将两组第一断口凸块样品16插入到定位顶端面2的顶端的孔位内，再将两个长截面样品17放置在两组第一断口凸块样品16的一侧位置处，通过螺栓将长截面样品17与样品定位台1固定连接，从而可以对长截面样品17起到样品测试作用。

实施例

一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台1，样品定位台1的顶端开设有定位顶端面2，定位顶端面2的一侧开设有阶梯定位槽3，样品定位台1的另一侧开设有倾斜槽4；

定位顶端面2的顶端活动插接有多个从前到后依次等距排列的第二断口凸块样品18，第二断口凸块样品18的一侧设有短截面插接块19，短截面插接块19的一侧设有第三断口凸块样品20，短截面插接块19与定位顶端面2所属的样品定位台1之间通过螺栓可拆卸式连接；

本实施例工作原理；将多个第二断口凸块样品18插接到定位顶端面2顶端的孔位内，而多个第三断口凸块样品20可以错位插接在定位顶端面2上，拿取短截面插接块19放置在短截面插接块19和第二断口凸块样品18之间的空隙中，通过螺栓插接短截面插接块19与样品定位台1螺纹锁紧固定，可以对短截面插接块19起到样品测试作用。

实施例

一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台1，样品定位台1的顶端开设有定位顶端面2，定位顶端面2的一侧开设有阶梯定位槽3，样品定位台1的另一侧开设有倾斜槽4；

定位顶端面2的顶端活动插接有两个第四凸起板样品21，样品定位台1的前后均设有锁紧短块22，锁紧短块22的顶端活动插接有两个侧面断口样品块23，且锁紧短块22与样品定位台1之间通过螺栓可拆卸式连接；

本实施例工作原理；将两个第四凸起板样品21插接在定位顶端面2顶端的孔位中，再将两个锁紧短块22分别放置在样品定位台1的前后方位，通过螺栓可以使锁紧短块22与样品定位台1连接固定，再将两个侧面断口样品块23插接在锁紧短块22顶端位置处，这样可以对第四凸起板样品21和侧面断口样品块23起到竖向测试作用，降低侧面断口样品块23的高度。

综上实施例1-5可知，本样品台可以用于装载多尺寸多样品，同时也可以满足多种SEM测试需求的EBSD多功能样品台，无需多次更换样品，测试样品装载面积更广，样品放置数量更多，测试效率更高。

最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台（1），所述样品定位台（1）的顶端开设有定位顶端面（2），其特征在于：所述定位顶端面（2）的一侧开设有阶梯定位槽（3），所述样品定位台（1）的另一侧开设有倾斜槽（4），所述定位顶端面（2）的顶端设有放置组件；

所述放置组件包括设置在定位顶端面（2）顶端的两个第一凸起板样品（5），且第一凸起板样品（5）的一侧设有第一圆柱样品（6），所述倾斜槽（4）的一侧嵌入有四个组合梯形锁紧块（7），在相邻两个组合梯形锁紧块（7）之间设有狗骨型样品（8），所述阶梯定位槽（3）的一侧嵌入有从上到下依次等距排列的多组梯形锁紧块（9），所述梯形锁紧块（9）与定位顶端面（2）之间设有第二凸起板样品（10）。

2.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：两个所述第一凸起板样品（5）和第一圆柱样品（6）均与定位顶端面（2）所属的样品定位台（1）之间通过导电胶粘接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：四个所述组合梯形锁紧块（7）均与倾斜槽（4）所属的样品定位台（1）之间螺纹连接，且狗骨型样品（8）与组合梯形锁紧块（7）之间插接。

4.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：每组所述梯形锁紧块（9）的数量设为两个，且两个梯形锁紧块（9）关于第二凸起板样品（10）对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：多个所述梯形锁紧块（9）均与阶梯定位槽（3）所属的样品定位台（1）之间螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：所述样品定位台（1）的底端设有定位底柱（24），且定位底柱（24）与样品定位台（1）之间一体化成型。