CN212907639U - 多功能组合式扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

一种多功能组合式扫描电镜样品台，主台上表面为平面且中部加工有通槽，通槽内并列设置有第一副台和第二副台，第一副台为长方体上表面连为一体设置有多面体，第二副台为凹字形结构，主台、第一副台和第二副台均为铜或铝材质。本实用新型具有结构简单、操作方便、适合多种形式样品检测的优点。

Description

多功能组合式扫描电镜样品台

技术领域

本实用新型属于样品支架技术领域，具体涉及到一种扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜是继透射电子显微镜之后发展起来的又一种大型电子光学设备。其工作原理是采用细聚焦高压电子束，在材料样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来进行成像。由于扫描电镜可用多种物理信号对材料样品进行综合分析,且具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围广、分辨率高和景深大等特点,因此，在材料学、生物学、医学、农业以及工业生产和刑侦物证分析等领域有广泛应用。

扫描电镜样品台用于固定待测样品，起到保证样品在测试过程中避免掉落于样品仓内，及减少样品晃动，提高成像质量的作用。由于扫描电镜在多领域的广泛应用，样品的形貌类型及测试的区域差异极大，为适应不同的样品及测试需求，出现了多种规格的样品台。但现有的扫描电镜样品台存在以下问题：

第一、只能同时用于一种或两种形貌类型的样品。例如同时适用于粉末和片状样品的样品台、同时适用于观察截面和平面结构的样品台等。因此，当同时测试多种形貌类型的样品，或者在样品不同位置进行测试时，就需要频繁更换样品台，浪费时间的同时影响电镜的真空度。

第二、块状样品不易固定。在观察块状样品时必须将其一侧打磨平整或通过包埋的方法制备出平面后，再通过导电胶带或液体导电胶粘贴在样品台上。但这种方法对样品的固定不够牢固，在测试过程中可能出现样品晃动或者脱落的情况，不仅影响样品的观测，甚至会造成扫描电镜仓体污染、出现故障。

第三、扫描电镜在测试过程中，有时候要求电子束与观测面呈一定角度，通常采用的方法是通过扫描电镜的连轴马达进行倾转。但这种方法容易造成样品的脱落；再者，样品台的倾转角度还会受到样品台与极靴距离的限制。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的缺点，提供一种设计合理、结构简单、操作方便、适合多种多样样品检测多功能组合式扫描电镜样品台。

解决上述技术问题所采用的技术方案是：主台上表面为平面且中部加工有通槽，通槽内并列设置有第一副台和第二副台，第一副台为长方体上表面连为一体设置有多面体，第二副台为凹字形结构。

作为一种优选的技术方案，所述的第一副台的多面体为七面体，七面体的四个侧面相互垂直且与底面垂直、上表面由三个平面组成，上表面位于中间的平面与长方体上表面平行，位于两侧的平面与长方体上表面之间的夹角为不相等的锐角。

作为一种优选的技术方案，所述的第一副台的多面体沿着主台通槽中心线方向的宽度等于该方向第一副台长方体的宽度、垂直主台通槽中心线方向的宽度小于该方向第一副台长方体的宽度。

作为一种优选的技术方案，所述的第二副台凹槽中心线与主台通槽中心线垂直，第二副台内设置有样品夹固件。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的第一副台为长方体上表面连为一体设置有多面体，可以同时放置不规则的块状样品、断面样品、表面样品、需要观测倾斜的样品，使扫描电镜测试过程中无需倾转样品台即可实现样品观测角度的改变，第二副台为凹字形，保证不规则的块状样品被有效固定，使其在观测的过程中不会晃动脱落，一台多用，本实用新型一种组合式多功能扫描电镜样品台有多种组合方式，节省了样品台的制备成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中主台2的结构示意图。

图3是图1中第一副台1的结构示意图。

图4是图1中第二副台5和样品夹固件4连接结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步详细说明，但本实用新型不限于下述的实施方式。

在图1～4中，本实施例的一种多功能组合式扫描电镜样品台由第一副台1、主台2、第一螺栓3、样品夹固件4、第二副台5、第二螺栓6连接构成。

主台2为铜或铝材质的圆柱体，主台2上表面为平面且中部加工有通槽a，位于通槽a后端左右两侧壁上各加工有两个第一副台1安装螺孔b，通槽a前端左右两侧壁上各加工有一个样品夹固件安装螺孔c，通槽a前端底面上加工第二副台安装孔d，第一副台1安装在主台通槽a内对应的位置上并通过第一螺栓3固定，第一副台1的结构为长方体上表面连为一体加工有七面体，七面体的周向首尾相接的四个侧面相互垂直且与长方体上表面垂直、上表面由三个平面组成，上表面位于中间的平面与长方体上表面平行，位于两侧的平面与长方体上表面之间的夹角为不相等的锐角，七面体沿着主台通槽a中心线方向的宽度等于该方向第一副台1长方体的宽度、垂直主台通槽a中心线方向的宽度小于该方向第一副台1长方体的宽度，第二副台5为凹字形结构，第二副台5安装在主台通槽a内对应的位置上并通过第二螺栓6固定，第二副台5凹槽中心线与主台通槽a中心线垂直，第二副台5内安装有样品夹固件4，第一副台1和第二副台5均为铜或铝材质。

粉末类待测样品通过导电胶带或液体导电胶固定在第一副台1七面体的水平台面上，需要改变角度进行观测的样品根据倾角不同通过导电胶带分别固定在第一副台1七面体的倾斜面上；断面样品通过导电胶带分别固定在第一副台1七面体的四个侧面上；高度较低的待测样品通过导电胶带固定在第一副台1位于七面体两侧长方体上表面上；不规则的块状样品放入第二副台5凹槽中，再用样品夹固件4将样品夹牢固定；高度较高的待测样品通过导电胶带固定在主台2位于通槽a两侧的台面上；不使用第一副台1时，将第二副台5与主台2组合后使用；不使用第二副台5时，将第一副台1与主台2组合后使用；不使用第一副台1和第二副台5时，将圆柱形样品直接放入主台2的通槽a中，通过第一螺栓3直接将圆柱形样品夹牢固定。

Claims (4)

1.一种多功能组合式扫描电镜样品台，其特征在于：主台(2)上表面为平面且中部加工有通槽(a)，通槽(a)内并列设置有第一副台(1)和第二副台(5)，第一副台(1)为长方体上表面连为一体设置有多面体，第二副台(5)为凹字形结构。

2.根据权利要求1所述的多功能组合式扫描电镜样品台，其特征在于：所述的第一副台(1)的多面体为七面体，七面体的四个侧面相互垂直且与底面垂直、上表面由三个平面组成，上表面位于中间的平面与长方体上表面平行，位于两侧的平面与长方体上表面之间的夹角为不相等的锐角。

3.根据权利要求1或2所述的多功能组合式扫描电镜样品台，其特征在于：所述的第一副台(1)的多面体沿着主台通槽(a)中心线方向的宽度等于该方向第一副台(1)长方体的宽度、垂直主台通槽(a)中心线方向的宽度小于该方向第一副台(1)长方体的宽度。

4.根据权利要求1所述的多功能组合式扫描电镜样品台，其特征在于：所述的第二副台(5)凹槽中心线与主台通槽(a)中心线垂直，第二副台(5)内设置有样品夹固件(4)。

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