CN220208889U - 一种扫描电镜试样台的支架结构及扫描电镜 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种扫描电镜试样台的支架结构及扫描电镜，涉及扫描电镜技术领域，扫描电镜试样台的支架结构包括底座、平台、倾斜板和试样容纳腔结构，底座连接于平台的下表面，且底座用于内嵌于扫描电镜的试样台上的凹槽内，倾斜板连接于平台的上表面，且倾斜板相对于平台的上表面呈70°角设置，试样容纳腔结构的腔体轴线与倾斜板垂直，试样容纳腔结构沿腔体轴线方向的一端设置有腔体开口，试样容纳腔结构内用于放置金相试样，且金相试样的检测面用于面向腔体开口的一侧。本实用新型的扫描电镜试样台的支架结构，相比于现有技术，可以在扫描电镜进行EBSD检测时，避免发生金相试样掉落，从而碰坏EBSD的检测屏的问题。

Description

一种扫描电镜试样台的支架结构及扫描电镜

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜技术领域，具体而言，涉及一种扫描电镜试样台的支架结构及扫描电镜。

背景技术

电子背散射衍射，简称EBSD，主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。在用扫描电镜进行EBSD检测时，需要试样的检测面与水平面呈70o角，EBSD检测屏与试样检测面距离在10mm以内。

目前的制样设备最方便的是制备金相镶嵌试样，但该试样安装在电镜上的试样台上，并且与水平面倾斜70°角，试样很难固定，容易掉下来碰坏EBSD的检测屏。

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题是：如何避免试样掉落而碰坏EBSD的检测屏。

本实用新型提供一种扫描电镜试样台的支架结构，包括：底座、平台、倾斜板和试样容纳腔结构，所述底座连接于所述平台的下表面，且所述底座用于内嵌于扫描电镜试样台上的凹槽内，所述倾斜板连接于所述平台的上表面，且所述倾斜板相对于所述平台的上表面呈70°角设置，所述试样容纳腔结构的腔体轴线与所述倾斜板垂直，所述试样容纳腔结构沿所述腔体轴线方向的一端设置有腔体开口，所述试样容纳腔结构沿所述腔体轴线方向的另一端固定在所述倾斜板上，所述试样容纳腔结构内用于放置金相试样，且所述金相试样的检测面用于面向所述腔体开口的一侧。

本实用新型提供的一种扫描电镜试样台的支架结构，相较于现有技术，具有但不局限于以下有益效果：

本实用新型所述的扫描电镜试样台的支架结构，通过底座可以内嵌在扫描电镜的试样台上的凹槽内，即在原有扫描电镜的试样台上安装可以拆卸的本扫描电镜试样台的支架结构，在用扫描电镜进行EBSD检测时，可以避免金相试样掉落，从而碰坏EBSD的检测屏的问题，具体地，所述平台通过底座插接于扫描电镜的试样台上，可以保证平台的水平度，倾斜板相对于平台呈70°角设置，并且试样容纳腔结构设置在倾斜板上，试样容纳腔结构的腔体轴线与倾斜板垂直，即腔体开口一端的端面与倾斜板平行，金相试样设置在试样容纳腔结构内且其检测面朝向腔体开口，这样，可以使得放置于试样容纳腔结构内的金相试样的检测面与平台呈70°角，以满足扫描电镜进行EBSD检测时，对试样的检测面与水平面呈70o角的要求。另外，EBSD用于相结构、织构等材料分析研究，学校和科研院所使用较多，在配备检测设备的同时，也购置了相匹配的昂贵的制样设备，但大多数普通实验室是无法配备这些上百万的制样设备的，本扫描电镜试样台的支架结构可以直接把金相试样安装在扫描电镜实验台上进行EBSD检测，可以利用现有常规的金相试样进行EBSD的检测，在一定程度上简化了EBSD的制样工序，相比节约了采购昂贵的精细切割、研磨等设备的成本。

可选地，所述试样容纳腔结构呈圆柱形，且所述试样容纳腔结构上开设有圆柱形腔体，且所述圆柱形腔体的尺寸用于与所述金相试样的尺寸相适配。

可选地，所述圆柱形腔体的内径为30mm至35mm。

可选地，本扫描电镜试样台的支架结构还包括螺纹紧固件，所述试样容纳腔结构上开设有螺纹孔，所述螺纹紧固件螺纹连接在所述螺纹孔上，所述螺纹紧固件用于将金相试样顶紧于所述试样容纳腔结构内。

可选地，所述底座呈方形板状结构，且所述底座的厚度大于所述平台的厚度。

可选地，所述平台的横截面呈圆形，所述平台的直径为50mm至70mm，所述平台的厚度为1.5mm至3mm。

可选地，所述倾斜板呈方形板状结构。

可选地，所述试样容纳腔结构用于通过焊接或胶接在所述倾斜板上。

可选地，所述底座、所述平台、所述倾斜板以及所述试样容纳腔结构均由轻质铝合金材料制成。

另外，本实用新型还提供一种扫描电镜，包括如前所述的扫描电镜试样台的支架结构。

由于所述扫描电镜的技术改进和取得的技术效果与所述扫描电镜试样台的支架结构一样，因此不再对所述扫描电镜的技术效果做出详细说明。

附图说明

图1为本实用新型实施例的扫描电镜试样台的支架结构的立体图；

图2为本实用新型实施例的扫描电镜试样台的支架结构的主视图；

图3为本实用新型实施例的扫描电镜试样台的支架结构的俯视图。

附图标记说明：

1、底座；2、平台；3、倾斜板；4、试样容纳腔结构；41、圆柱形腔体；42、螺纹孔。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。

在本实用新型的描述中，采用了“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“前”、“后”、“内”和“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开，而不是指示或暗示所指的装置必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操控，因此不能理解为对本公开保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“一个实施例”和“一个实施方式”等的描述意指结合该实施例或实施方式描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示实施方式中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实施方式。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或实施方式以合适的方式结合。

而且，附图中Z轴表示竖向，也就是上下位置，并且Z轴的正向(也就是Z轴的箭头指向)表示上，Z轴的负向(也就是与Z轴的正向相反的方向)表示下；附图中X轴表示横向，也就是左右位置，并且X轴的正向(也就是X轴的箭头指向)表示右，X轴的负向(也就是与X轴的正向相反的方向)表示左。

同时需要说明的是，前述Z轴和X轴表示含义仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1至3所示，本实用新型实施例的一种扫描电镜试样台的支架结构，包括：底座1、平台2、倾斜板3和试样容纳腔结构4，所述底座1连接于所述平台2的下表面，且所述底座1用于内嵌于扫描电镜试样台上的凹槽内，所述倾斜板3连接于所述平台2的上表面，且所述倾斜板3相对于所述平台2的上表面呈70°角设置，所述试样容纳腔结构4的腔体轴线与所述倾斜板3垂直，所述试样容纳腔结构4沿所述腔体轴线方向的一端设置有腔体开口，所述试样容纳腔结构4沿所述腔体轴线方向的另一端固定在所述倾斜板3上，所述试样容纳腔结构4内用于放置金相试样，且所述金相试样的检测面用于面向所述腔体开口的一侧。

在本实施例中，通过底座1可以内嵌在扫描电镜的试样台上的凹槽内，即在原有扫描电镜的试样台上安装可以拆卸的本扫描电镜试样台的支架结构，在用扫描电镜进行EBSD检测时，可以避免金相试样掉落，从而碰坏EBSD的检测屏的问题，具体地，所述平台2通过底座1插接于扫描电镜的试样台上，可以保证平台2的水平度，倾斜板3相对于平台2呈70°角设置，并且试样容纳腔结构4设置在倾斜板3上，试样容纳腔结构4的腔体轴线与倾斜板3垂直，即腔体开口一端的端面与倾斜板3平行，金相试样设置在试样容纳腔结构4内且其检测面朝向腔体开口，这样，可以使得放置于试样容纳腔结构4内的金相试样的检测面与平台2呈70°角，以满足扫描电镜进行EBSD检测时，对试样的检测面与水平面呈70o角的要求。另外，EBSD用于相结构、织构等材料分析研究，学校和科研院所使用较多，在配备检测设备的同时，也购置了相匹配的昂贵的制样设备，但大多数普通实验室是无法配备这些上百万的制样设备的，本扫描电镜试样台的支架结构可以直接把金相试样安装在扫描电镜实验台上进行EBSD检测，可以利用现有常规的金相试样进行EBSD的检测，在一定程度上简化了EBSD的制样工序，相比节约了采购昂贵的精细切割、研磨等设备的成本。

可选地，所述试样容纳腔结构4呈圆柱形，且所述试样容纳腔结构4上开设有圆柱形腔体41，且所述圆柱形腔体41的尺寸用于与所述金相试样的尺寸相适配。

在本实施例中，结合附图1和附图3所示，试样容纳腔结构4可以是圆柱形筒状结构，其上开设有圆柱形腔体41，圆柱形腔体41的尺寸与金相试样的尺寸相适配，即金相试样可以装配在圆柱形腔体41内。

可选地，所述圆柱形腔体41的内径为30mm至35mm。

可选地，本扫描电镜试样台的支架结构还包括螺纹紧固件，所述试样容纳腔结构4上开设有螺纹孔42，所述螺纹紧固件螺纹连接在所述螺纹孔42上，所述螺纹紧固件用于将金相试样顶紧于所述试样容纳腔结构4内。

在本实施例中，结合附图2或附图3所示，螺纹孔42开设于试样容纳腔结构4的顶部(附图2中Z轴正方向)，螺纹紧固件可以是螺栓，通过螺栓向下旋拧可以抵接在金相试样上，以此将金相试样顶紧在试样容纳腔结构4内，故可以适用于不同尺寸的金相试样。

可选地，所述底座1呈方形板状结构，且所述底座1的厚度大于所述平台2的厚度。

在本实施例中，底座1可以是方形板状结构，底座1可以内嵌在扫描电镜的试样台上的凹槽内，底座1的厚度大于平台2的厚度，以保证底座1内嵌于试样台上的凹槽内的稳定性。

可选地，所述平台2的横截面呈圆形，所述平台2的直径为50mm至70mm，所述平台2的厚度为1.5mm至3mm。

在本实施例中，平台2可以是横截面呈圆形的板状结构，其直径为50mm至70mm(优选60mm)，平台2的厚度为1.5mm至3mm(优选2mm)。

可选地，所述倾斜板3呈方形板状结构。

可选地，所述试样容纳腔结构4用于通过焊接或胶接在所述倾斜板3上。

在本实施例中，考虑到扫描电镜的试样台的承重能力，通常将试样容纳腔结构4和倾斜板3选择铝合金材料制成，二者可通过氩弧焊或者瞬间胶连为一体。

可选地，所述底座1、所述平台2、所述倾斜板3以及所述试样容纳腔结构4均由轻质铝合金材料制成。

在本实施例中，考虑到扫描电镜的试样台的承重能力，故将底座1、平台2、倾斜板3以及试样容纳腔结构4均由轻质铝合金材料制成。

另外，本实用新型另一实施例的扫描电镜，包括如前的扫描电镜试样台的支架结构。

由于扫描电镜的技术改进和取得的技术效果与扫描电镜试样台的支架结构一样，因此不再对扫描电镜的技术效果做出详细说明。

术语“第一”和“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”和“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，包括：底座(1)、平台(2)、倾斜板(3)和试样容纳腔结构(4)，所述底座(1)连接于所述平台(2)的下表面，且所述底座(1)用于内嵌于扫描电镜试样台上的凹槽内，所述倾斜板(3)连接于所述平台(2)的上表面，且所述倾斜板(3)相对于所述平台(2)的上表面呈70°角设置，所述试样容纳腔结构(4)的腔体轴线与所述倾斜板(3)垂直，所述试样容纳腔结构(4)沿所述腔体轴线方向的一端设置有腔体开口，所述试样容纳腔结构(4)沿所述腔体轴线方向的另一端固定在所述倾斜板(3)上，所述试样容纳腔结构(4)内用于放置金相试样，且所述金相试样的检测面用于面向所述腔体开口的一侧。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，所述试样容纳腔结构(4)呈圆柱形，且所述试样容纳腔结构(4)上开设有圆柱形腔体(41)，且所述圆柱形腔体(41)的尺寸用于与所述金相试样的尺寸相适配。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，所述圆柱形腔体(41)的内径为30mm至35mm。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，还包括螺纹紧固件，所述试样容纳腔结构(4)上开设有螺纹孔(42)，所述螺纹紧固件螺纹连接在所述螺纹孔(42)上，所述螺纹紧固件用于将金相试样顶紧于所述试样容纳腔结构(4)内。

5.根据权利要求1所述的扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，所述底座(1)呈方形板状结构，且所述底座(1)的厚度大于所述平台(2)的厚度。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，所述平台(2)的横截面呈圆形，所述平台(2)的直径为50mm至70mm，所述平台(2)的厚度为1.5mm至3mm。

7.根据权利要求1所述的扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，所述倾斜板(3)呈方形板状结构。

8.根据权利要求1所述的扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，所述试样容纳腔结构(4)用于通过焊接或胶接在所述倾斜板(3)上。

9.根据权利要求1所述的扫描电镜试样台的支架结构，其特征在于，所述底座(1)、所述平台(2)、所述倾斜板(3)以及所述试样容纳腔结构(4)均由轻质铝合金材料制成。

10.一种扫描电镜，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的扫描电镜试样台的支架结构。