CN220367341U - 固定组件、载料装置以及探针台 - Google Patents

Abstract

本申请涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种固定组件、载料装置以及探针台。一种固定组件，包括固定单元，固定单元包括活动板、同步压块以及调节定位件。同步压块能够带动活动板平行于第一方向滑动于卡塞的底部，而调节定位件能够跟随活动板运动。调节定位件包括挡销，当同步压块带动活动板朝向卡塞底部的内侧壁运动时，挡销能够平行于第一方向抵持于卡塞底部的侧壁，从而实现卡塞的单侧定位。当卡塞的另一侧通过设置位置固定的阻挡部件以抵持于卡塞底部的另一内侧壁，即能够实现卡塞的自动固定。当固定组件包括多个固定单元，多个固定单元能够从不同方向分别抵持于卡塞底部的各个内侧壁，从而实现卡塞的自动固定。

Description

固定组件、载料装置以及探针台

技术领域

本申请涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种固定组件、载料装置以及探针台。

背景技术

WAT(Wafer Acceptance Test，晶圆允收测试)是指晶圆生产后，出晶圆厂前要进行的电性测试(出货前需要经过一套完整的电学特性测试流程)。通过WAT数据，可以监控到晶圆制造工序是否异常，产品是否符合该工艺技术平台的电性规格要求。测试过程通常先将多片晶圆放在卡塞(Wafer Cassette)内，然后从卡塞中取出晶圆放在晶圆卡盘上进行测试。测试结束后再将测试好的晶圆取走，再放置下一片晶圆重复进行测试。卡塞用来盛放晶圆，为了避免晶圆从卡塞内掉下来，需要对卡塞进行固定。而为了提高通用性，需要能够对不同尺寸的卡塞进行固定。相关技术手段中，通常采用人工移动定位块，使得定位块与卡塞的外侧抵接的方式，从而实现对不同尺寸的卡塞进行固定。固定需要用手伸入机台，操作不便，卡塞的固定效率低下。

实用新型内容

有鉴于此，有申请提供一种固定组件、载料装置以及探针台，能够改善针对不同尺寸的卡塞固定不便的问题。

第一方面，本申请的实施例提供一种固定组件，用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定所述卡塞的位置，所述固定组件包括固定单元，所述固定单元包括活动板、同步压块以及调节定位件。所述活动板平行于第一方向可滑动地设置于所述卡塞的底部。所述同步压块设置于所述活动板远离所述卡塞的侧面，所述同步压块用于带动所述活动板运动。所述调节定位件设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面，所述调节定位件包括挡销，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，所述挡销能够平行于所述第一方向抵持所述卡塞底部的内侧壁。

上述实施例中，固定组件用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定卡塞的位置，相比于采用人工移动定位块，使得定位块与卡塞的外侧抵接的方式，固定组件能够根据卡塞的尺寸不同，从卡塞底部的内侧壁对卡塞进行固定，从而适应不用尺寸的卡塞，且固定方式简单方便。在一个固定单元中，同步压块设置于活动板远离卡塞的侧面，调节定位件设置于活动板靠近卡塞的侧面，同步压块能够带动活动板平行于第一方向滑动于卡塞的底部，而调节定位件能够跟随活动板运动。调节定位件包括挡销，当同步压块带动活动板朝向卡塞底部的内侧壁运动时，挡销能够平行于第一方向抵持于卡塞底部的侧壁，从而实现卡塞的单侧定位。当卡塞的另一侧通过设置位置固定的阻挡部件以抵持于卡塞底部的另一内侧壁，即能够实现卡塞的自动固定。当固定组件包括多个固定单元，多个固定单元能够从不同方向分别抵持于卡塞底部的各个内侧壁，从而实现卡塞的自动固定。其中，同步压块能够通过电机或者气缸作为驱动件，使用传动结构连接至同步压块，带动挡销实现卡塞的自动固定，从而不需要通过手动调节定位块从卡塞的外部抵紧卡塞，以改善针对不同尺寸的卡塞固定不便的问题。

在一些实施例中，所述固定组件包括至少两组固定单元，每组所述固定单元被配置为能够相互背离地运动以分别抵持所述卡塞底部的内侧壁。

上述实施例中，固定组件包括至少两组固定单元，且每组固定单元能够相互背离地运动，从而分别抵持于卡塞底部的内侧壁。相比于单组固定单元对于卡塞底部的内侧壁进行压紧，当卡塞的尺寸更换之后，在运动速率相同的情况下，多个固定单元分别相互背离地运动，能够缩短每个固定单元运动的行程，从而缩短固定单元的运动时间，以缩短对于卡塞定位的时间，提高卡塞的定位效率。

在一些实施例中，所述调节定位件至少设置有两个，至少两个所述调节定位件平行于第二方向依次设置，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，至少两个所述调节定位件中的所述挡销能够平行于所述第一方向共同抵持所述卡塞底部的内侧壁，所述第二方向垂直于所述第一方向。

上述实施例中，每个固定单元中，调节定位件至少设置有两个，从而调节定位件在抵持卡塞底部的内侧壁时，同步压块带动活动板运动，活动板共同带动多个调节定位件运动，多个调节定位件中的挡销能够平行于第一方向共同抵持卡塞底部的内侧壁，以使得卡塞的单侧具有至少两个定位点，从而提高卡塞的定位稳定性。

在一些实施例中，所述调节定位件还包括调节块，所述调节块可拆卸地设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面；所述调节块设置有第一调节孔，所述挡销固定于所述调节块的所述第一调节孔。

上述实施例中，第一连接件穿过调节块的第一调节孔并连接于挡销，以使得挡销和调节块固定连接。并且，调节块可拆卸地设置于活动板靠近卡塞的侧面，一方面，调节块能够对挡销进行垫高，从而缩短挡销的长度，进而提高挡销的抗弯曲强度，以提高挡销对于卡塞的压紧稳定性。另一方面，挡销和调节块可拆卸连接，当挡销的外周面磨损或者需要更换另外形式的挡销时，能够方便地将挡销从调节块上拆卸，从而提高挡销的维护便利性。

在一些实施例中，所述调节定位件还包括第一连接件，所述活动板设置有第一安装孔，所述调节块还设置有第二调节孔，所述第二调节孔被配置为平行于所述第一方向延伸，以使得所述第一连接件能够穿过所述第二调节孔连接于所述第一安装孔，以调整所述调节块的位置。

上述实施例中，第一连接件穿过调节块的第二调节孔连接于活动板的第一安装孔，由于第二调节孔被配置为平行于第一方向延伸，从而使得调节块在活动板上具有活动范围，调节块能够平行于第一方向根据需要进行移动，从而调整调节块相对于活动板的位置，进而调整挡销与活动板的相对位置。在多个调节定位件分别抵持卡塞底部的内侧壁时，多个调节定位件中的挡销能够调整位置，以使得多个调节定位件中的挡销平行于第一方向共同抵持卡塞底部的内侧壁，从而提高挡销的调节便利性。

在一些实施例中，所述活动板靠近所述卡塞的侧面设置有多条导向棱，多条所述导向棱沿着第二方向依次间隔设置，多条所述导向棱的延伸方向均平行于所述第一方向，所述调节块的两侧边抵持于相邻的两条所述导向棱之间，以使得所述调节块沿所述导向棱的延伸方向与所述活动板可滑移地配合。

上述实施例中，调节块的侧边抵持于导向棱，以使得调节块在平行于第一方向调整位置的过程中，调节块能够沿着导向棱的延伸方向运动，从而使得导向棱作为调节块的导向基础，改善调节块在调整位置的过程中，调节块的移动方向与第一方向存在角度差异，而使得挡销出现位置不准确的问题。

在一些实施例中，所述活动板还设置有第二安装孔，所述同步压块设置有压块安装孔；所述固定单元还包括第二连接件，所述第二连接件被配置为穿过所述压块安装孔连接于所述第二安装孔，以使得所述同步压块固定于所述活动板。

上述实施例中，第二连接件穿过同步压块的压块安装孔连接于活动板的第二安装孔，从而使得同步压块能够固定于活动板远离卡塞的底面，从而便于同步压块与相关的驱动部件连接，提高空间利用率。

在一些实施例中，所述固定单元还包括同步滑块和第三连接件，所述同步滑块固定于所述活动板朝向所述卡塞的侧面，所述同步滑块被配置为可滑动地连接于所述卡塞底部的滑轨，以使得所述同步滑块能够带动所述活动板平行于所述第一方向滑移；所述活动板还设置有第三安装孔，所述同步滑块设置有滑块安装孔，所述第三连接件被配置为穿过所述滑块安装孔连接于所述第三安装孔，以使得所述同步滑块固定于所述活动板。

上述实施例中，第三连接件穿过同步滑块的滑块安装孔连接于活动板的第三安装孔，以将同步滑块于活动板固定连接。并且，由于同步滑块固定于活动板朝向卡塞的侧面，且同步滑块可滑动地连接于卡塞底部的滑轨，以使得同步滑块能够与活动板一起平行于第一方向滑移，从而提高活动板的运动顺滑性。

第二方面，本申请的实施例提供一种载料装置，包括固定座、卡塞供料机构、托盘供料机构以及卡塞保护机构。卡塞供料机构用于装载多片晶圆，所述卡塞供料机构包括定位托板、定位驱动件、定位夹板以及上述的固定组件，所述定位托板设置于所述固定座，所述定位夹板设置于所述定位托板，所述定位夹板被配置为在所述第二方向对所述卡塞进行定位，所述固定组件设置于所述定位托板，所述固定组件用于抵持所述卡塞底部的内侧壁以平行于所述第一方向固定所述卡塞的位置；所述定位驱动件设置于所述定位托板，所述定位驱动件用于带动所述同步压块平行于所述第一方向运动；托盘供料机构用于装载单片所述晶圆，所述托盘供料机构设置于所述固定座；卡塞保护机构用于罩设所述卡塞，所述卡塞保护机构设置于所述固定座。

上述实施例中，卡塞供料机构、托盘供料机构以及卡塞保护机构均设置于固定座，卡塞供料机构用于装载多片晶圆，托盘供料机构用于装载单片晶圆，卡塞保护机构用于罩设卡塞以改善卡塞被灰尘污染的问题。在需要进行批量晶圆检测时，可以通过卡塞供料机构装载晶圆，而需要单次检测晶圆时，可以通过托盘供料机构装载晶圆，从而提高晶圆检测的效率。卡塞供料机构的定位托板设置于固定座，定位夹板设置于定位托板，定位夹板能够在第二方向对卡塞进行定位，且第二方向垂直于第二方向，因此，当卡塞被定位托板在第二方向定位之后，固定组件抵持卡塞底部的内侧壁，从而平行于第一方向固定卡塞的位置。固定组件能够根据卡塞的尺寸不同，从卡塞底部的内侧壁对卡塞进行固定，从而适应不用尺寸的卡塞，固定方式简单方便。

第三方面，本申请的实施例提供一种探针台，包括机架、上述的载料装置、检测装置以及转运装置。所述载料装置设置于所述机架，所述载料装置用于装载所述晶圆。所述检测装置设置于所述机架，所述检测装置用于接收所述载料装置中的所述晶圆并进行检测。所述转运装置设置于所述机架，所述转运装置用于从所述载料装置中取出所述晶圆并向所述检测装置中输送所述晶圆，所述转运装置还能够用于从所述检测装置中取出检测完成的所述晶圆并向所述载料装置中输送检测完成的所述晶圆。

上述实施例中，载料装置能够通过卡塞供料机构装载多片晶圆或者通过托盘供料机构装载单片晶圆，而卡塞供料机构能够兼容多种不同尺寸的卡塞，通过定位托板对卡塞在第二方向进行定位，固定组件抵持卡塞底部的内侧壁，从而平行于第一方向固定卡塞的位置，完成卡塞的固定。固定组件能够根据卡塞的尺寸不同，从卡塞底部的内侧壁对卡塞进行固定，从而适应不用尺寸的卡塞，固定方式简单方便。转运装置能够从载料装置中取出晶圆并向检测装置中输送晶圆，从而完成晶圆上料检测。当晶圆检测完成之后，转运装置能够从检测装置中取出检测完成的晶圆并向载料装置中输送检测完成的晶圆，检测过程实现全自动化，提高晶圆检测效率。

实施本实用新型实施例，将具有如下有益效果：

将多片晶圆放置于卡塞内，固定组件用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定卡塞的位置。具体地，多个固定单元能够从不同方向分别抵持于卡塞底部的各个内侧壁，从而实现卡塞的自动固定。同步压块能够通过电机或者气缸作为驱动件，使用传动结构连接至同步压块，带动挡销实现卡塞的自动固定，从而不需要通过手动调节定位块从卡塞的外部抵紧卡塞，以改善针对不同尺寸的卡塞固定不便的问题。

附图说明

图1为本申请一实施例提供的载料装置的整体结构示意图，其展示的是卡塞保护机构关闭时的状态。

图2为本申请一实施例提供的载料装置的整体结构示意图，其展示的是卡塞保护机构打开时的状态。

图3为本申请一实施例提供的卡塞供料机构的结构示意图，其展示的是卡塞供料机构与卡塞的安装关系。

图4为本申请一实施例提供的卡塞供料机构的结构示意图，其展示的是定位托板底部的结构。

图5为本申请一实施例提供的定位夹板的结构示意图，其展示的是定位夹板与定位托板的安装关系。

图6为本申请一实施例提供的卡塞的结构示意图。

图7为本申请一实施例提供的固定组件的固定原理示意图。

图8为本申请一实施例提供的固定单元的整体结构示意图。

图9为本申请一实施例提供的固定单元底部视角的爆炸结构示意图。

图10为本申请一实施例提供的固定单元顶部视角的爆炸结构示意图。

图11为本申请一实施例提供的调节块的整体结构示意图。

图12为本申请一实施例提供的载料装置的整体结构示意图，其展示的是卡塞保护机构打开时，固定座背面的结构。

图13为本申请一实施例提供的卡塞保护机构的整体结构示意图，其展示的是卡塞保护机构打开时的状态。

图14为图13中A部分的放大结构示意图。

图15为本申请一实施例提供的托盘供料机构的整体结构示意图。

主要元件符号说明

载料装置 10

固定座 11

对射光电开关 111

对射单元 1111

卡塞供料机构 12

卡塞 20

主体 201

横向棱 202

纵向棱 203

定位托板 21

第一定位柱 211

第二定位柱 212

定位销 213

感应组件 214

弹簧拨片 2141

安装架 2142

位置检测传感器 2143

感应帽 2144

同步滑轨 215

限位柱 216

位置光电传感器 217

第一感应单元 2171

第二感应单元 2172

定位驱动件 22

驱动电机 221

皮带 222

第一同步轮 223

第二同步轮 224

定位夹板 23

第一子板 231

第二子板 232

定位槽 233

定位孔 234

固定组件 24

固定单元 25

活动板 251

第一安装孔 2511

导向棱 2512

第二安装孔 2513

第三安装孔 2514

第一感应片 2515

同步压块 252

压块安装孔 2521

调节定位件 253

挡销 2531

调节块 2532

第一调节孔 2532a

第二调节孔 2532b

同步滑块 254

滑块安装孔 2541

第一方向 X

第二方向 Y

托盘供料机构 13

抽检安装板 131

双层滑轨 132

抽检盒 133

晶圆载台 134

晶圆感应片 1341

阻挡块 135

托盘位置传感器 136

正向阻挡柱 137

侧向阻挡柱 138

卡塞保护机构 14

外罩 141

保护罩 142

锁紧片 143

锁紧孔 1431

支撑件 144

伸缩气缸 145

伸缩杆 1451

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本申请。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明的是，本文使用的术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“左”、“右”、“前”、“后”等术语指本申请的一些实施方式中探针台处于正常状态时，工作人员朝向并便于操作探针台的方位。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。下面结合附图，对本申请的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施方式及实施例中的特征可以相互组合。

请参阅图1，本申请的一实施例提供一种探针台，其用于对晶圆进行电学特性测试。探针台包括机架(图中未示出)、载料装置10、检测装置(图中未示出)以及转运装置(图中未示出)。载料装置10、检测装置以及转运装置均设置于机架，载料装置10用于装载晶圆，检测装置用于接收载料装置10中的晶圆并进行检测。转运装置用于从载料装置10中取出晶圆并向检测装置中输送晶圆，从而完成晶圆上料检测。当晶圆检测完成之后，所述转运装置还能够用于从检测装置中取出检测完成的晶圆并向载料装置10中输送检测完成的晶圆，检测过程实现全自动化，提高晶圆检测效率。

请参阅图1和图2，在一些实施例中，载料装置10包括固定座11、卡塞供料机构12、托盘供料机构13以及卡塞保护机构14。卡塞供料机构12、托盘供料机构13以及卡塞保护机构14均安装于固定座11。卡塞供料机构12位于托盘供料机构13的上方，卡塞保护机构14位于卡塞供料机构12上方。卡塞供料机构12用于装载多片晶圆，托盘供料机构13用于装载单片晶圆，卡塞保护机构14用于罩设卡塞20以改善卡塞20被灰尘污染的问题。在需要进行批量晶圆检测时，可以通过卡塞供料机构12装载晶圆，而需要进行单次检测晶圆时，可以通过托盘供料机构13装载晶圆，从而提高晶圆检测的效率。

请参阅图2、图3和图4，在一些实施例中，卡塞供料机构12包括定位托板21、定位驱动件22、定位夹板23以及固定组件24。定位托板21设置于固定座11，固定组件24设置于定位托板21，固定组件24用于抵持卡塞20底部的内侧壁以平行于第一方向X固定卡塞20的位置。定位驱动件22设置于定位托板21，以用于驱动固定组件24运动。定位夹板23用于在第二方向Y对卡塞20进行定位，第二方向Y垂直于第一方向X。定位托板21在第一方向X展示为长度方向，定位托板21在第二方向Y展示为宽度方向。

在一些实施例中，定位托板21的上表面设置有第一定位柱211，第一定位柱211用于对6寸卡塞20进行预定位；定位托板21的上表面设置有第二定位柱212，第二定位柱212用于对8寸卡塞20进行预定位。通过设置第一定位柱211和第二定位柱212，从而便于卡塞20快速定位，提高安装便利性。

在一些实施例中，定位夹板23通过螺栓固定于定位托板21的上表面。其中，定位夹板23上表面设置有定位槽233，定位槽233的延伸方向与第一方向X平行。

请参阅图5，在一些实施例中，定位夹板23由对称设置的第一子板231和第二子板232组成。定位托板21的上表面设置有定位销213，第一子板231和第二子板232上均设置有定位孔234，以用于和定位托板21上表面的定位销213配合，实现第一子板231和第二子板232的精确定位，且第一子板231和第二子板232均通过螺栓固定于定位托板21的上表面。第一子板231和第二子板232之间具有间隙，定位槽233形成于第一子板231和第二子板232之间的间隙内。

请参阅图5和图6，卡塞20包括主体201以及设置于主体201底部的横向棱202和纵向棱203，主体201能够用于承载多片晶圆，横向棱202和纵向棱203用于定位主体201。横向棱202的长度方向平行于第一方向X，纵向棱203的长度方向平行于第二方向Y，且纵向棱203设置有两条，横向棱202设置于两条纵向棱203之间。横向棱202能够嵌入定位夹板23的定位槽233内，从而通过横向棱202限制主体201在第二方向Y的移动，主体201能够平行于第一方向X在定位托板21上滑移。

请参阅图3和图4，定位驱动件22包括驱动电机221和皮带222。驱动电机221固定于定位托板21的侧边，驱动电机221的输出轴安装有第一同步轮223，定位托板21的底面可转动地安装有第二同步轮224，皮带222绕过第一同步轮223和第二同步轮224并进行张紧，以使得皮带222共同与第一同步轮223和第二同步轮224啮合。固定组件24连接于皮带222，以通过皮带222驱动固定组件24运动。

在一些实施例中，定位驱动件22包括驱动电机221和链条。驱动电机221固定于定位托板21的侧边，驱动电机221的输出轴安装有第一链轮，定位托板21的底面可转动地安装有第二链轮，链条绕过第一链轮和第二链轮并进行张紧，以使得链条共同与第一链轮和第二链轮同步啮合。固定组件24连接于链条，以通过链条驱动固定组件24运动。

在一些实施例中，定位托板21的底部还设置有感应组件214，感应组件214用于检测定位托板21的上表面是否安装有卡塞20。感应组件214包括弹簧拨片2141、安装架2142、位置检测传感器2143以及感应帽2144。弹簧拨片2141的一端固定于定位托板21的背面，感应帽2144固定于弹簧拨片2141，且感应帽2144穿过定位托板21并伸出，卡塞20在安装后能够将感应帽2144压下，以使得感应帽2144具有一段位移。安装架2142固定于定位托板21的背面，位置检测传感器2143固定于安装架2142的侧边。感应帽2144在未受压的状态时，弹簧拨片2141与位置检测传感器2143错开。当卡塞20将感应帽2144压下，感应帽2144发生位移后，弹簧拨片2141的另一端伸入并触发位置检测传感器2143，从而通过位置检测传感器2143感应到定位托板21的上表面是否安装有卡塞20。

在一些实施例中，感应组件214设置有两组，此两组感应组件214呈对角设置，以用于感应6寸卡塞20。通过对角设置两组感应组件214，能够提高检测的灵敏度与稳定性，只有当两组感应组件214共同感应到6寸卡塞20才能进行后续的测试动作，从而提高6寸卡塞20的位置准确性。

在一些实施例中，感应组件214设置有另外的两组，此两组感应组件214呈对角设置，以用于感应8寸卡塞20。通过对角设置两组感应组件214，能够提高检测的灵敏度与稳定性，只有当两组感应组件214共同感应到8寸卡塞20才能进行后续的测试动作，从而提高8寸卡塞20的位置准确性。

请参阅图4和图7，在一些实施例中，固定组件24包括一组固定单元25，固定单元25连接于皮带222，以通过皮带222驱动固定单元25运动。固定单元25能够平行于第一方向X抵持于卡塞20的一条纵向棱203，卡塞20的另一侧设置位置固定的阻挡部件，以抵持于卡塞20底部的另一条纵向棱203，从而能够实现卡塞20的自动固定。其中，位置固定的阻挡部件可以为第一定位柱211或第二定位柱212。通过单侧固定、单侧活动的形式对卡塞20进行定位，能够精简固定组件24的结构，降低固定组价的体积和成本。

在一些实施例中，固定组件24包括至少两组固定单元25，多组固定单元25均连接于皮带222。以两组固定单元25为例，一组固定单元25固定于皮带222的前进段，另一组固定单元25固定于皮带222的后退段，以使得两组固定单元25相互靠近或远离地运动。每组固定单元25能够平行于第一方向X抵持于卡塞20的一条纵向棱203，从而分别抵持于卡塞20底部的内侧壁。相比于单组固定单元25对于卡塞20底部的内侧壁进行压紧，当卡塞20的尺寸更换之后，在运动速率相同的情况下，多个固定单元25分别相互背离地运动，能够缩短每个固定单元25运动的行程，从而缩短固定单元25的运动时间，以降低对于卡塞20定位的时间，提高卡塞20的定位效率。

请参阅图3、图6和图8，在一些实施例中，固定单元25包括活动板251、同步压块252以及调节定位件253。活动板251平行于第一方向X可滑动地设置于卡塞20的底部。同步压块252设置于活动板251远离卡塞20的侧面，同步压块252固定于皮带222，以用于通过同步压块252带动活动板251运动。调节定位件253设置于活动板251靠近卡塞20的侧面，调节定位件253包括挡销2531，以使得同步压块252带动活动板251朝向卡塞20底部的内侧壁运动时，挡销2531能够平行于第一方向X抵持卡塞20的一条纵向棱203，从而实现卡塞20的单侧定位。

在一些实施例中，调节定位件253至少设置有两个，至少两个调节定位件253平行于第二方向Y依次设置，以使得同步压块252带动活动板251朝向卡塞20底部的纵向棱203运动时，同步压块252带动活动板251运动，活动板251共同带动多个调节定位件253运动，至少两个调节定位件253中的挡销2531能够平行于第一方向X共同抵持卡塞20底部的纵向棱203，以使得卡塞20的单侧具有至少两个定位点，从而提高卡塞20的定位稳定性。

请参阅图8和图9，在一些实施例中，调节定位件253还包括调节块2532，调节块2532可拆卸地设置于活动板251靠近卡塞20的侧面。调节块2532设置有第一调节孔2532a，挡销2531固定于调节块2532的第一调节孔2532a。一方面，调节块2532能够对挡销2531进行垫高，从而缩短挡销2531的长度，进而提高挡销2531的抗弯曲强度，以提高挡销2531对于卡塞20的压紧稳定性。另一方面，挡销2531和调节块2532可拆卸连接，当挡销2531的外周面磨损或者需要更换另外形式的挡销2531时，能够方便地将挡销2531从调节块2532上拆卸，从而提高挡销2531的维护便利性。

请参阅图9、图10和图11，在一些实施例中，调节定位件253还包括第一连接件，活动板251设置有第一安装孔2511，调节块2532还设置有第二调节孔2532b，第二调节孔2532b被配置为平行于第一方向X延伸，以形成腰型孔。第一连接件穿过调节块2532的第二调节孔2532b连接于活动板251的第一安装孔2511，由于第二调节孔2532b被配置为平行于第一方向X延伸，从而使得调节块2532在活动板251上具有活动范围，调节块2532能够平行于第一方向X根据需要活动，从而调整调节块2532相对于活动板251的位置，进而调整挡销2531相对于活动板251的位置。在多个调节定位件253分别抵持卡塞20底部的内侧壁时，多个调节定位件253中的挡销2531能够调整位置，以使得多个调节定位件253中的挡销2531平行于第一方向X共同抵持卡塞20底部的内侧壁，从而提高挡销2531的调节便利性。在一些实施例中，第一连接件可以为螺栓。

请参阅图8和图9，在一些实施例中，活动板251靠近卡塞20的侧面设置有多条导向棱2512，多条导向棱2512沿着第二方向Y依次间隔设置，多条导向棱2512的延伸方向均平行于第一方向X，调节块2532的两侧边抵持于相邻的两条导向棱2512之间，以使得调节块2532在平行于第一方向X调整位置的过程中，调节块2532能够沿着导向棱2512的延伸方向运动，从而使得导向棱2512作为调节块2532的导向基础，改善调节块2532在调整位置的过程中，调节块2532的移动方向与第一方向X存在角度差异，而使得挡销2531出现位置不准确的问题。

在一些实施例中，同步压块252设置有压块安装孔2521，活动板251还设置有第二安装孔2513，固定单元25还包括第二连接件，第二连接件被配置为穿过压块安装孔2521连接于第二安装孔2513，从而使得同步压块252能够固定于活动板251远离卡塞20的底面，从而便于同步压块252与皮带222连接，提高空间利用率。在一些实施例中，第二连接件可以为螺栓。

请参阅图4和图9，在一些实施例中，定位托板21的背面设置有同步滑轨215，固定单元25还包括同步滑块254和第三连接件，同步滑块254固定于活动板251朝向卡塞20的侧面，同步滑块254被配置为可滑动地连接于同步滑轨215，以使得同步滑块254能够与活动板251一起平行于第一方向X滑移，从而提高活动板251的运动顺滑性。活动板251还设置有第三安装孔2514，同步滑块254设置有滑块安装孔2541，第三连接件被配置为穿过滑块安装孔2541连接于第三安装孔2514，以使得同步滑块254固定于活动板251。在一些实施例中，第三连接件可以为螺栓。

请参阅图4，在一些实施例中，定位托板21的底部设置有限位柱216，以用于限制活动板251的运动范围。具体地，限位柱216至少设置有两个，两个限位柱216平行于第一方向X间隔设置并形成限位空间，活动板251至少部分地设置于限位空间，以使得两个限位柱216能够对活动板251起到限位阻挡作用，提高活动板251运动的安全性。

在一些实施例中，活动板251的底部设置有第一感应片2515，第一感应片2515跟随活动板251运动。定位托板21的背面设置有位置光电传感器217，位置光电传感器217用于检测第一感应片2515的移动范围。具体地，位置光电传感器217分为第一感应单元2171和第二感应单元2172，第一感应单元2171和第二感应单元2172平行于第一方向X设置，第一感应单元2171和第二感应单元2172之间设置有感应空间，第一感应片2515至少部分地设置于感应空间。当第一感应片2515伸入并触发第一感应单元2171，从而通过第一感应单元2171感应到活动板251运动至左极限行程。当第一感应片2515伸入并触发第二感应单元2172，从而通过第二感应单元2172感应到活动板251运动至右极限行程。

请参阅图4和图12，在一些实施例中，固定座11的背面设置有一组对射光电开关111，一组对射光电开关111包括两个对射单元1111，两个对射单元1111上下同轴布置以发射检测光线，检测光线位于卡塞20的开口处。于晶圆受震动可能会移动到卡塞20外部，影响机器使用安全性，当晶圆阻挡检测光线时，机器自动停机进行保护，防止晶圆掉片，即防止晶圆从卡塞20中掉落。

请参阅图12、图13和图14，在一些实施例中，卡塞保护机构14包括外罩141、保护罩142、锁紧片143、支撑件144以及伸缩气缸145，外罩141固定于固定座11的侧面且位于卡塞供料机构12的外周，保护罩142铰接于外罩141并用于罩覆卡塞20。保护罩142与外罩141之间通过支撑件144进行支撑。在一些实施例中，支撑件144为氮气弹簧。

锁紧片143设置于保护罩142的内侧，锁紧片143具有锁紧孔1431。伸缩气缸145设置于外罩141外周侧面的底部，伸缩气缸145具有伸缩杆1451。当保护罩142关闭时，保护罩142带动锁紧片143运动，以使得锁紧片143的锁紧孔1431正对伸缩杆1451。此时通过伸缩气缸145驱动伸缩杆1451运动，以使得伸缩杆1451进入锁紧孔1431，从而完成保护罩142的锁紧，以改善卡塞20被灰尘污染的问题。

请参阅图2和图15，在一些实施例中，托盘供料机构13包括抽检安装板131、双层滑轨132、抽检盒133以及晶圆载台134，抽检安装板131设置于固定座11的侧面，双层滑轨132设置于抽检安装板131的上表面，抽检盒133设置于双层滑轨132的上表面，晶圆载台134固定设置于抽检盒133内。通过拉动抽检盒133能够将晶圆载台134拉出，以便于放置单片的晶圆。在一些实施例中，晶圆载台134的底部设置有晶圆感应片1341，用于检测晶圆在位情况。

在一些实施例中，托盘供料机构13还包括阻挡块135和托盘位置传感器136，阻挡块135和托盘位置传感器136均设置于抽检安装板131上表面远离抽检盒133的一侧，以用于双层滑轨132上层回原位时的运动限位和感应。

在一些实施例中，托盘供料机构13还包括正向阻挡柱137和侧向阻挡柱138。正向阻挡柱137设置有两个，两个正向阻挡柱137沿双层滑轨132的滑移方向设置于抽检安装板131的上表面。侧向阻挡柱138设置于双层滑轨132的侧边，且侧向阻挡柱138位于两个正向阻挡柱137之间，以使得两个正向阻挡柱137能够对双层滑轨132的行程进行限制，改善抽检盒133从抽检安装板131上脱离的问题，提高抽检盒133的滑移安全性。

需要对晶圆进行测试时，将晶圆放置于晶圆载台134或者卡塞20内，检测装置用于接收晶圆载台134或者卡塞20中的晶圆并进行检测。转运装置用于从晶圆载台134或者卡塞20中取出晶圆并向检测装置中输送晶圆，从而完成晶圆上料检测。当晶圆检测完成之后，所述转运装置还能够用于从检测装置中取出检测完成的晶圆并向晶圆载台134或者卡塞20中输送检测完成的晶圆，检测过程实现全自动化，提高晶圆检测效率。

使用晶圆载台134进行供料时，将抽检盒133从固定座11中抽出，并将单片晶圆放置于晶圆载台134上，然后将抽检盒133推回，即可完成单片晶圆供料。使用卡塞20进行供料时，将多片晶圆放置于卡塞20内，固定组件24用于抵持卡塞20底部的内侧壁以固定卡塞20的位置，固定组件24能够根据卡塞20的尺寸不同，从卡塞20底部的内侧壁对卡塞20进行固定，从而适应不用尺寸的卡塞20，且固定方式简单方便。在一个固定单元25中，同步压块252设置于活动板251远离卡塞20的侧面，调节定位件253设置于活动板251靠近卡塞20的侧面，同步压块252能够带动活动板251平行于第一方向X滑动于卡塞20的底部，而调节定位件253能够跟随活动板251运动。调节定位件253包括挡销2531，当同步压块252带动活动板251朝向卡塞20底部的内侧壁运动时，挡销2531能够平行于第一方向X抵持于卡塞20底部的侧壁，从而实现卡塞20的单侧定位。当卡塞20的另一侧通过设置位置固定的阻挡部件以抵持于卡塞20底部的另一内侧壁，即能够实现卡塞20的自动固定。当固定组件24包括多个固定单元25，多个固定单元25能够从不同方向分别抵持于卡塞20底部的各个内侧壁，从而实现卡塞20的自动固定。其中，同步压块252能够通过电机或者气缸作为驱动件，使用传动结构连接至同步压块252，带动挡销2531实现卡塞20的自动固定，从而不需要通过手动调节定位块从卡塞20的外部抵紧卡塞20，以改善针对不同尺寸的卡塞20固定不便的问题。

另外，本领域技术人员还可在本申请技术构思内做其它变化，当然，这些依据本申请技术构思所做的变化，都应包含在本申请所公开的范围。

Claims (10)

1.一种固定组件，用于抵持卡塞底部的内侧壁以固定所述卡塞的位置，其特征在于，所述固定组件包括固定单元，所述固定单元包括：

活动板，所述活动板平行于第一方向可滑动地设置于所述卡塞的底部；

同步压块，所述同步压块设置于所述活动板远离所述卡塞的侧面，所述同步压块用于带动所述活动板运动；

调节定位件，所述调节定位件设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面，所述调节定位件包括挡销，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，所述挡销能够平行于所述第一方向抵持所述卡塞底部的内侧壁。

2.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述固定组件包括至少两组固定单元，每组所述固定单元被配置为能够相互背离地运动以分别抵持所述卡塞底部的内侧壁。

3.如权利要求2所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件至少设置有两个，至少两个所述调节定位件平行于第二方向依次设置，以使得所述同步压块带动所述活动板朝向所述卡塞底部的内侧壁运动时，至少两个所述调节定位件中的所述挡销能够平行于所述第一方向共同抵持所述卡塞底部的内侧壁，所述第二方向垂直于所述第一方向。

4.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件还包括调节块，所述调节块可拆卸地设置于所述活动板靠近所述卡塞的侧面；所述调节块设置有第一调节孔，所述挡销固定于所述调节块的所述第一调节孔。

5.如权利要求4所述的固定组件，其特征在于，所述调节定位件还包括第一连接件，所述活动板设置有第一安装孔，所述调节块还设置有第二调节孔，所述第二调节孔被配置为平行于所述第一方向延伸，以使得所述第一连接件能够穿过所述第二调节孔连接于所述第一安装孔，以调整所述调节块的位置。

6.如权利要求5所述的固定组件，其特征在于，所述活动板靠近所述卡塞的侧面设置有多条导向棱，多条所述导向棱沿着第二方向依次间隔设置，多条所述导向棱的延伸方向均平行于所述第一方向，所述调节块的两侧边抵持于相邻的两条所述导向棱之间，以使得所述调节块沿所述导向棱的延伸方向与所述活动板可滑移地配合。

7.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述活动板还设置有第二安装孔，所述同步压块设置有压块安装孔；所述固定单元还包括第二连接件，所述第二连接件被配置为穿过所述压块安装孔连接于所述第二安装孔，以使得所述同步压块固定于所述活动板。

8.如权利要求1所述的固定组件，其特征在于，所述固定单元还包括同步滑块和第三连接件，所述同步滑块固定于所述活动板朝向所述卡塞的侧面，所述同步滑块被配置为可滑动地连接于所述卡塞底部的滑轨，以使得所述同步滑块能够带动所述活动板平行于所述第一方向滑移；所述活动板还设置有第三安装孔，所述同步滑块设置有滑块安装孔，所述第三连接件被配置为穿过所述滑块安装孔连接于所述第三安装孔，以使得所述同步滑块固定于所述活动板。

9.一种载料装置，其特征在于，包括：

固定座；

卡塞供料机构，用于装载多片晶圆，所述卡塞供料机构包括定位托板、定位驱动件、定位夹板以及如权利要求1至8任意一项所述的固定组件，所述定位托板设置于所述固定座，所述定位夹板设置于所述定位托板，所述定位夹板被配置为在第二方向对所述卡塞进行定位；所述固定组件设置于所述定位托板，所述固定组件用于抵持所述卡塞底部的内侧壁以平行于所述第一方向固定所述卡塞的位置；所述定位驱动件设置于所述定位托板，所述定位驱动件用于带动所述同步压块平行于所述第一方向运动；

托盘供料机构，用于装载单片所述晶圆，所述托盘供料机构设置于所述固定座；

卡塞保护机构，用于罩设所述卡塞，所述卡塞保护机构设置于所述固定座。

10.一种探针台，其特征在于，包括：

机架；

载料装置，所述载料装置为如权利要求9所述的载料装置，所述载料装置设置于所述机架，所述载料装置用于装载所述晶圆；

检测装置，所述检测装置设置于所述机架，所述检测装置用于接收所述载料装置中的所述晶圆并进行检测；

转运装置，所述转运装置设置于所述机架，所述转运装置用于从所述载料装置中取出所述晶圆并向所述检测装置中输送所述晶圆，所述转运装置还能够用于从所述检测装置中取出检测完成的所述晶圆并向所述载料装置中输送检测完成的所述晶圆。