CN212008794U - 基板检测装置、检测机构及整板组件 - Google Patents

基板检测装置、检测机构及整板组件 Download PDF

Info

Publication number
CN212008794U
CN212008794U CN202020089799.7U CN202020089799U CN212008794U CN 212008794 U CN212008794 U CN 212008794U CN 202020089799 U CN202020089799 U CN 202020089799U CN 212008794 U CN212008794 U CN 212008794U
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
moving
unit
assembly
synchronizing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202020089799.7U
Other languages
English (en)
Inventor
林咏华
沈炳元
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Kaima Times Technology Co ltd
Original Assignee
Shenzhen Kaima Times Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Kaima Times Technology Co ltd filed Critical Shenzhen Kaima Times Technology Co ltd
Priority to CN202020089799.7U priority Critical patent/CN212008794U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN212008794U publication Critical patent/CN212008794U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种基板检测装置、检测机构及整板组件,检测机构包括整板组件及检测组件,整板组件包括夹具单元及整板单元。检测机构设置于机架上,待测的基板设置在整板单元上,通过夹具单元的两个相对设置的夹持件,沿第一方向分别夹持在基板的相对的两侧边处,进而能够有效确定基板在第一方向的位置,避免基板沿第一方向错位。通过整板单元的两个相对设置的整板件,分别沿第二方向抵接在基板的另外的相对的两侧边处,有效确定基板在第二方向上的位置。由于第一方向与第二方向相交,进而有效确定基板的位置,提高基板的位置精度。进一步通过检测组件对准基板,进而检测,能够有效提高对基板的检测精度,进而提高检测的准确性。

Description

基板检测装置、检测机构及整板组件
技术领域
本实用新型涉及检测设备技术领域,特别是涉及一种基板检测装置、检测机构及整板组件。
背景技术
基板检查装置一般通过夹具夹住待测的基板,通过检测机构对基板进行检测,进而判断基板的电信号,由此检测基板是否合格。但是传统的夹具对基板的定位不稳定,导致检测机构无法有效对准基板,影响检测的准确性。
实用新型内容
基于此,有必要针对上述问题,提供一种能够提高基板检测的准确性的基板检测装置、检测机构及整板组件。
一种整板组件,包括:
夹具单元,包括两个相对设置的夹持件,两个相对设置所述夹持件用于沿第一方向夹持基板;及
整板单元,包括两个相对设置的整板件,两个相对设置的所述整板件用于沿第二方向抵接所述基板,所述第二方向与所述第一方向相交。
上述整板单元在使用时,将待测的基板设置在整板单元上,通过夹具单元的两个相对设置的夹持件,沿第一方向分别夹持在基板的相对的两侧边处,进而能够有效确定基板在第一方向的位置,避免基板沿第一方向错位。通过整板单元的两个相对设置的整板件,分别沿第二方向抵接在基板的另外的相对的两侧边处,有效确定基板在第二方向上的位置。由于第一方向与第二方向相交,进而有效确定基板的位置,提高基板的位置精度,方便基板的检测,以提高检测精度,进而提高检测的准确性。
下面对技术方案进行进一步说明:
在其中一个实施例中,所述夹持件包括第一夹持部、第二夹持部及驱动件,所述驱动件用于驱动所述第一夹持部相对于所述第二夹持部转动。
在其中一个实施例中,所述驱动件包括驱动源及推动部,所述第一夹持部可转动地设置于所述第二夹持部上,所述驱动源用于推动所述推动部移动,所述推动部能够推动所述第一夹持部转动。
在其中一个实施例中,所述第一夹持部上开设有条形槽,所述推动部上形成有导柱,所述导柱穿设于所述条形槽内,并能够在所述条形槽内移动。
在其中一个实施例中,所述夹具单元还包括第一同步件,所述第一同步件用于驱动至少一所述夹持件向朝向或远离另一所述夹持件的方向移动。
在其中一个实施例中,所述整板单元还包括第二同步件,所述第二同步件用于驱动至少一所述整板件向朝向另一所述整板件的方向移动。
在其中一个实施例中,所述第一同步件包括第一同步源、两个间隔设置的第一同步轮及第一同步带,所述第一同步带绕过两个所述第一同步轮,所述第一同步源用于驱动所述第一同步带移动,其中一所述夹持件设置于位于所述第一同步轮一侧的所述第一同步带上,另一所述夹持件设置于相对的另一侧的所述第一同步带上;和/或
所述第二同步件包括第二同步源、两个间隔设置的第二同步轮及第二同步带,所述第二同步带绕过两个所述第二同步轮,所述第二同步源用于驱动所述第二同步带移动,其中一所述整板件设置于位于所述第二同步轮一侧的所述第二同步带上,另一所述整板件设置于相对的另一侧的所述第二同步带上。
一种检测机构,包括:
如上所述的整板组件;及
检测组件,用于检测基板。
上述检测机构在使用时,将待测的基板设置在整板单元上,通过夹具单元的两个相对设置的夹持件,沿第一方向分别夹持在基板的相对的两侧边处,进而能够有效确定基板在第一方向的位置,避免基板沿第一方向错位。通过整板单元的两个相对设置的整板件,分别沿第二方向抵接在基板的另外的相对的两侧边处,有效确定基板在第二方向上的位置。由于第一方向与第二方向相交,进而有效确定基板的位置,提高基板的位置精度。进一步通过检测组件对准基板,进而检测,能够有效提高对基板的检测精度,进而提高检测的准确性。
在其中一个实施例中,所述检测组件包括检测件及调节单元,所述调节单元用于微调所述检测件相对于所述基板的位置。
在其中一个实施例中,所述调节单元包括第一调节件及第二调节件,所述检测件设置于所述第一调节件上,所述第一调节件设置于所述第二调节件上,所述第一调节件用于带动所述检测件沿X轴方向移动,所述第二调节件用于带动所述检测件沿Y轴方向移动。
在其中一个实施例中,所述第一调节件包括第一安装板及第一传动件,所述检测件设置于所述第一安装板上,所述第一安装板可移动地安装于所述第二调节件上,所述第一传动件用于驱动所述第一安装板在所述第二调节件上沿X轴方向移动;所述第一调节件还包括第一光栅尺及第一读头,所述第一光栅尺与所述第一读头分别设置于所述第一安装板上和所述第二调节件上,所述第一读头能够读取所述第一光栅尺上的尺寸数值;和/或
所述第二调节件包括第二安装板及第二传动件,所述第一调节件设置于所述第二安装板上,所述第二安装板用于安装在机架上,所述第二传动件用于驱动所述第二安装板在所述机架上沿Y轴方向移动;所述第二调节件还包括第二光栅尺及第二读头,所述第二光栅尺与所述第二读头分别设置于所述第二安装板上和所述机架上,所述第二读头能够读取所述第二光栅尺上的尺寸数值。
在其中一个实施例中,所述调节单元还包括角度调节件,所述角度调节件用于调节所述检测件相对于所述基板转动。
在其中一个实施例中,所述检测机构还包括移动组件,所述移动组件的一端对位于所述整板单元,另一端对位于所述检测组件,所述夹具单元设置于所述移动组件上,所述夹具单元能够在所述移动组件上移动。
在其中一个实施例中,所述移动组件为两个,所述移动组件包括第一移动件及第二移动件,所述第一移动件设置于所述第二移动件上,所述第二移动件的一端对位于所述整板单元,另一端对位于所述检测组件,所述第一移动件能够在所述第二移动件上移动;每一所述第一移动件对应设置有一所述夹具单元,所述夹具单元能够在所述第一移动件向朝向整板单元或所述检测组件的方向移动;两个所述移动组件的第二移动件间隔相对设置,所述整板单元及所述检测组件位于两个所述第二移动件之间,所述整板单元还包括升降件,所述升降件用于驱动所述整板件向朝向所述夹具单元的方向升降。
一种基板检测装置,包括:
机架;及
如上所述的检测机构,所述检测机构设置于所述机架上。
上述基板检测装置在使用时,检测机构设置于机架上,利用机架能够有效支撑检测机构。将待测的基板设置在整板组件的整板单元上,通过夹具单元的两个相对设置的夹持件,沿第一方向分别夹持在基板的相对的两侧边处,进而能够有效确定基板在第一方向的位置,避免基板沿第一方向错位。通过整板单元的两个相对设置的整板件,分别沿第二方向抵接在基板的另外的相对的两侧边处,有效确定基板在第二方向上的位置。由于第一方向与第二方向相交,进而有效确定基板的位置,提高基板的位置精度。进一步通过检测组件对准基板,进而检测,能够有效提高对基板的检测精度,进而提高检测的准确性。
在其中一个实施例中,所述基板检测装置还包括上料机构,上料机构设置于检测机构的一侧,所述检测机构还包括抓取组件,所述抓取组件包括第一抓取件及第一移动轨,所述第一移动轨的一端对位与所述上料机构20,另一端对位于所述整板单元,所述第一抓取件能够在所述第一移动轨上移动。
在其中一个实施例中,所述基板检测装置还包括下料机构,所述下料机构设置于所述检测机构的另一侧,所述抓取组件还包括第二抓取件,所述第二抓取件设置于所述第一移动轨上并能够在所述第一移动轨上移动,所述第一移动轨远离所述上料机构一端对位于所述下料机构。
附图说明
图1为一实施例中的基板检测装置的结构示意图;
图2为图1中检测机构的结构示意图;
图3为图2中移动组件及夹具单元的俯视图;
图4为图3中夹持件的结构示意图;
图5为图4所示的夹持件的剖视图;
图6为图2中整板单元的结构示意图;
图7为图2中检测组件的结构示意图;
图8为图1中下料机构的结构示意图;
图9为图8中安装组件的结构示意图。
附图标记说明:
1、基板检测装置,10、机架,20、上料机构,30、检测机构,300、检测组件,310、检测件,320、第一调节件,321、第一安装板,322、第一传动件,323、第一导轨,324、第一光栅尺,325、第一读头,330、第二调节件,331、第二安装板,332、第二传动件,333、第二导轨,334、第二光栅尺,335、第二读头,340、角度调节件,350、起落件,400、整板组件,410、整板单元,411、整板件,412、第二同步件,4122、第二同步源,4124、第二同步轮,4126、第二同步带,413、托盘,420、夹具单元,421、夹持件,422、第一夹持部,4222、压条,4224、条形槽,423、第二夹持部,4232、限位槽,424、驱动件,425、驱动源,426、推动部,4262、导柱,427、第一同步件,4272、第一同步轮,4274、第一同步带,500、抓取组件,510、第一抓取件,520、第一移动轨,530、图像采集件,540、第二抓取件,600、移动组件,610、第一移动件,620、第二移动件,40、下料机构,700、打标组件,800、安装组件,810、安装件,820、限制件,830、第一限位件,840、第一推动源,850、第二限位件,401、第二移动轨,402、第三抓取件,403、下料件,2、基板。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
请参阅图1,一实施例中的基板检测装置1,用于检测基板2是否合格。基板2检测装置1包括机架10、上料机构20及检测机构30,上料机构20及检测机构30均设置于机架10上,机架10为上料机构20及检测机构30提供支撑。基板检测装置1具有上料工位及检测工位,上料机构20位于上料工位,用于基板2的上料,检测机构30位于检测工位,用于实现基板22的检测。上料机构20设置于检测机构30的一侧。上料机构20用于输送基板2,提高基板2输送的稳定性及准确性,以提高检测机构30检测的精度。
请参阅图2,一实施例中的检测机构30,检测机构30包括检测组件300及整板组件400,检测组件300用于检测基板2的性能,整板组件400用于调整基板2的位置,以提高检测组件300的检测精度,进而提高检测的准确性。具体地,整板组件400包括整板单元410及夹具单元420。
请参阅图3至图5,一实施例中,夹具单元420包括两个相对设置的夹持件421,两个相对设置所述夹持件421用于沿第一方向夹持基板2。利用夹具单元420能够有效限制基板2在第一方向上的位置,避免基板2沿第一方向错位,进而提高检测组件300的检测精度。
一实施例中,夹持件421包括第一夹持部422、第二夹持部423及驱动件424,驱动件424用于驱动第一夹持部422相对于第二夹持部423转动。通过驱动件424方便实现第一夹持部422与第二夹持部423之间的开合运动,进而方便实现对基板2的夹持,以使基板2安装在夹具单元420上。
可选地,驱动件424包括驱动源425及推动部426,第一夹持部422可转动地设置于第二夹持部423上,驱动源425用于推动推动部426移动,推动部426能够推动第一夹持部422转动。利用驱动源425推动推动部426推动第一夹持部422转动,能够提高第一夹持部422与第二夹持部423夹持的稳定性。
具体地,第一夹持部422上开设有条形槽4224,推动部426上形成有导柱4262,导柱4262穿设于条形槽4224内,并能够在条形槽4224内移动,进而提高推动部426推动第一夹持部422转动的稳定性。在其他实施例中,条形槽4224还可以开设在推动部426上,导柱4262形成于第一夹持部422上。
一实施例中,一夹持件421的第二夹持部423朝向另一夹持件421的一侧开设有限位槽4232,限位槽4232用于限位基板2。使用时,基板2的一侧边能够抵接于限位槽4232内,进而利用限位槽4232能够有效限制基板2的位置,更进一步提高基板2在夹具上设置的稳定性。
具体地,第一夹持部422朝向第二夹持部423的一侧设置压条4222,压条4222能够对位于限位槽4232处,进而使得基板2更加稳定地设置于限位于限位槽4232内,提高基板2在夹具上的设置的稳定性。
可选地,夹具单元420还包括第一同步件427,第一同步件427用于驱动至少一夹持件421向朝向或远离另一夹持件421的方向移动。通过第一同步件427方便实现两个夹持件421在第一方向上的位置的同步调整,进而方便使得夹持件421有效夹设在基板2上,以提高基板2在夹具上的稳定性。
在本实施例中,第一同步件427包括第一同步源、两个间隔设置的第一同步轮4272及第一同步带4274,第一同步带4274绕过两个第一同步轮4272,第一同步源驱动第一同步带4274移动。其中一夹持件421设置于位于第一同步轮4272一侧的第一同步带4274上,另一夹持件421设置于相对的另一侧的第一同步带4274上。当第一同步带4274朝不同方向移动时,能够实现两个夹持件421相对移动或相背移动,进而方便使得两个夹持件421有效夹持于基板2上,实现基板2沿第一方向上的定位。
在本实施例中,第一同步件427为带传动机构。在其他实施例中,第一同步件427还可以为气缸,气缸推动其中一夹持件421相对于另一夹持件421移动,或者第一同步件427还可以为丝杠螺母传动方式,只要能够实现两个夹持件421的相对移动即可。
其中,上述任一实施例中的夹具单元420还可以应用到其他装置中,用于夹取其他部件。
请参阅图2及图6,一实施例中,整板单元410包括两个相对设置的整板件411,两个相对设置的整板件411用于沿第二方向抵接基板2,第二方向与第一方向相交。通过整板单元410的两个相对设置的整板件411,分别沿第二方向抵接在基板2的另外的相对的两侧边处,有效确定基板2在第二方向上的位置。与夹具单元420配合,由于第一方向与第二方向相交,更进一步提高基板2的位置精度,方便基板2的检测,以提高检测精度,进而提高检测的准确性。
一实施例中,整板单元410还包括第二同步件412,第二同步件412用于驱动至少一整板件411向朝向另一整板件411的方向移动。通过第二同步件412能够有效实现两个整板件411的相对移动,进而方便整板件411抵接于基板2上,实现基板2在第二方向上的定位。
具体地,第二同步件412包括第二同步源4122、两个间隔设置的第二同步轮4124及第二同步带4126,第二同步带4126绕过两个第二同步轮4124,第二同步源4122驱动第二同步带4126移动。其中一整板件411设置于位于第二同步轮4124一侧的第二同步带4126上,另一整板件411设置于相对的另一侧的第二同步带4126上。当第二同步带4126朝不同方向移动时,能够实现两个整板件411相对移动或相背移动,进而方便使得两个整板件411抵接于基板2上,实现基板2沿第二方向上的定位。
在本实施例中,第二同步件412为带传动机构。在其他实施例中,第二同步件412还可以为气缸,气缸推动其中一整板件411相对于另一整板件411移动,或者第二同步件412还可以为丝杠螺母传动方式,只要能够实现两个夹持件421的相对移动即可。
一实施例中,整板单元410还包括托盘413,两个整板件411分别位于托盘413的相背对的两侧,并能够向靠近或远离托盘413的方向移动。基板2能够放置于托盘413上,通过托盘413能够提高基板2放置的稳定性,方便夹具单元420的夹设,方便整板件411的抵接。
一实施例中,整板单元410还包括升降件,升降件用于驱动整板件411向朝向夹具单元420的方向升降。当整板件411沿第二方向抵靠基板2,夹具单元420沿第一方向夹设基板2。此时,第二同步件412驱动两个整板件411向远离彼此的方向移动,升降件驱动整板件411向远离夹具单元420的方向移动,以使基板2脱离整板件411的限位,方便夹具单元420带动基板2移动至检测组对应位置,进而方便检测。当当前基板2移走之后,升降件驱动整板件411归位,方便下一个基板2的放置。在本实施例中,升降件为升降气缸,或者其他能够实现整板件411及托盘413升降的结构。
具体地,升降件用于驱动托盘413及整板件411同时向朝向夹具单元420的方向升降。方便实现基板2脱离托盘413,进而方便夹具单元420带动基板2移动至检测组对应位置。
其中,上述任一实施例中的整板单元410还可以应用于其他装置中,用于其他产品的整理过程中。上述任一实施例中的整板组件400还可以应用于其他装置中,用于其他产品的整理和夹取过程中。
请参阅图2及图3,在本实施例中,基板检测装置1还包括整板工位,整板工位位于上料工位与检测工位之间,上料机构20位于所述上料工位,整板单元410位于所述整板工位,检测组件300位于所述检测工位。
一实施例中,检测机构30还包括抓取组件500,抓取组件500包括第一抓取件510及第一移动轨520,第一移动轨520的一端对位与上料机构20,另一端对位于整板单元410,第一抓取件510能够在第一移动轨520上移动。第一抓取件510能够抓取上料机构20上的基板2,进而将基板2放置到整板单元410上,实现基板2由上料工位到整板工位的转移。具体地,抓取组件500能够将基板2放置于整板单元410的托盘413上。
一实施例中,检测机构30还包括移动组件600,移动组件600的一端对位于整板单元410,另一端对位于检测组件300,夹具单元420设置于移动组件600上,夹具单元420能够在移动组件600上移动。通过移动组件600方便实现夹具单元420在整板单元410及检测组件300之间的移动,通过整板单元410提高基板2的位置精度,通过检测组件300实现基板2的检测。
在本实施例中,移动组件600为两个,移动组件600包括第一移动件610及第二移动件620,第一移动件610设置于第二移动件620上,第二移动件620的一端对位于整板单元410,另一端对位于检测组件300,第一移动件610能够在第二移动件620上移动;每一第一移动件610对应设置有一夹具单元420,夹具单元420能够在第一移动件610向朝向整板单元410或检测组件300的方向移动;两个移动组件600的第二移动件620间隔相对设置,整板单元410及检测组件300位于两个第二移动件620之间。
在使用时,一移动组件600上的夹具单元420在第一移动件610上移动,对位于整板单元410,通过整板单元410实现基板2的整理,升降件驱动整板件411及托盘413远离基板2。第二移动件620带动该夹具单元420由整板单元410移动至检测组件300,通过检测组件300检测基板2。此时,另一移动组件600的夹具单元420可以对位于整板单元410。当另一移动组件600的夹具单元420向检测组件300移动时,一移动组件600上夹具单元420在第一移动件610上移动,以使该夹具单元420错开检测组件300,避免干扰另一夹具单元420移动到检测组件300。一移动组件600上夹具单元420继续在第二移动件620上移动至整板单元410对应的位置,方便对下一个基板2进行整板。通过两个移动组件600能够实现对基板2的交替整板和检测,有效提高基板2的检测效率。
一实施例中,第一移动件610能够在第二移动件620上沿Y轴方向移动,或者,第一移动件610能够在第二移动件620上沿第一方向移动;其中第一方向可以为Y轴方向。夹具组件能够在第一移动件610上沿X轴方向移动,或者,夹具组件能够在第一移动件610上沿第二方向移动。其中第二方向可以为X轴方向。
一实施例中,检测机构30还包括图像采集件530,图像采集件530对位于整板单元410。当整板单元410及夹具单元420对基板2定位之后,通过图像采集件530对基板2进行拍照,进而可以准确计算出基板2的测试位置。然后方便实现夹具单元420在第二移动件620上移动的控制,保证基板2对应检测组件300的位置精度,进而提高检测组件300的检测精度及准确性。在本实施例中,图像采集件530为高精度CCD相机。
请参阅图2及图7,一实施例中,检测组件300为两个,两个检测组件300相对设置,两个检测组件300能够分别设置于基板2的相背对两侧上。对基板2进行检测时,两个检测同时抵接于基板2的相背对的两侧上,进而能够提高基板2与检测组件300对接的稳定性,同时提高对基板2检测的稳定性。
一实施例中,检测组件300包括检测件310及调节单元,调节单元用于微调检测件310相对于基板2的位置。通过检测件310方便实现对基板2的检测,通过调节单元能够提高检测件310对准基板2的精度,进而提高检测准确性。
具体地,调节单元包括第一调节件320及第二调节件330,检测件310设置于第一调节件320上,第一调节件320设置于第二调节件330上,第一调节件320用于带动检测件310沿X轴方向移动,第二调节件330用于带动检测件310沿Y轴方向移动。利用第一调节件320与第二调节件330有效实现检测件310在X轴与Y轴形成的平面上的位置的调节,进而提高检测件310对位于基板2的精度。
在本实施例中,第一调节件320包括第一安装板321及第一传动件322,检测件310设置于第一安装板321上,第一安装板321可移动地安装于第二调节件330上,第一传动件322驱动第一安装板321在第二调节件330上沿X轴方向移动。
具体地,第一调节件320还包括第一导轨323,第一安装板321通过第一导轨323安装于第二调节件330上,第一传动件322驱动第一安装板321沿第一导轨323在第二调节件330上移动。其中第一导轨323沿X轴方向设置。
可选地,第一传动件322为电机带动的丝杠螺母结构;在其他实施例中,第一传动件322还可以为气缸等能够推动第一安装板321移动的结构。
具体地,第一调节件320还包括第一光栅尺324及第一读头325,第一光栅尺324与第一读头325分别设置于第一安装板321上和第二调节件330上,第一读头325能够读取第一光栅尺324上的尺寸数值。利用第一光栅尺324能够有效提高第一安装板321的移动精度,进而提高检测件310沿X轴方向的移动精度。
在本实施例中,第二调节件330包括第二安装板331及第二传动件332,第一调节件320设置于第二安装板331上,第二安装板331安装在机架10上。第二传动件332驱动第二安装板331在机架10上沿Y轴方向移动。
具体地,第二调节件330还包括第二导轨333,第一安装板321通过第一导轨323安装于第二安装板331上,第二安装板331通过第二导轨333安装在机架10上。第二传动件332驱动第二安装板331沿第二导轨333在机架10上移动。其中第二导轨333沿Y轴方向设置。
可选地,第二传动件332为电机带动的丝杠螺母结构;在其他实施例中,第二传动件332还可以为气缸等能够推动第一安装板321移动的结构。
具体地,第二调节件330还包括第二光栅尺334及第二读头335,第二光栅尺334与第二读头335分别设置于第二安装板331上和机架10上,第二读头335能够读取第二光栅尺334上的尺寸数值。利用第二光栅尺334能够有效提高第二安装板331的移动精度,进而提高检测件310沿Y轴方向的移动精度。
一实施例中,调节单元还包括角度调节件340,角度调节件340用于调节检测件310相对于基板2转动。利用角度调节件340能够进一步提高检测件310对位于基板2的精度。
具体地,角度调节件340用于调节检测件310围绕Z轴方向转动。进一步地,角度调节件340设置于第一安装板321上,以实现检测件310相对于第一安装板321的角度调节。或者,第二调节件330可以设置在角度调节件340上,只要能够实现检测件310围绕Z轴方向的转动调节即可。
一实施例中,检测组件300还包括起落件350,起落件350用于驱动调节单元带动检测件310向朝向基板2的方向升降。通过起落件350方便实现检测件310与基板2的对接,进而方便实现对基板2的检测。具体地,起落件350用于驱动检测件310沿Z轴方向移动。
请参阅图8及图9,一实施例中,基板检测装置1还包括下料机构40,下料机构40设置于所述检测机构30远离上料机构的一侧。基板检测装置1还包括下料工位,下料机构40位于下料工位。检测完的基板2能够设置于下料机构40上进行下料。
具体地,检测机构30的抓取组件500还包括第二抓取件540(如图4所示),第二抓取件540设置于第一移动轨520上并能够在第一移动轨520上移动,第一移动轨520远离上料机构20一端对位于下料机构40。当基板2检测完毕后,第二抓取件540抓取基板2,并在第一移动轨520上移动,将基板2放置到下料机构40上,实现下料过程。
一实施例中,下料机构40还包括打标组件700及安装组件800,第一移动轨520远离上料机构20一端对位于安装组件800,第二抓取件540能够将基板2放置到安装组件800上,打标组件700根据检测结果对基板2进行打标,方便根据检测实现基板2的分类。
具体地,安装组件800包括安装件810、限制件820、第一限位件830及第一推动源840,限制件820设置于安装件810上,第一限位件830设置于安装件810上,且第一推动源840能够推动第一限位件830向靠近或远离限制件820的方向移动。其中基板2能够设置于限制件820与第一限位件830之间,进而能够使得基板2有效定位到限制件820上,提高基板2在安装件810上设置的位置精度。
可选地,安装组件800还包括至少两个相对设置的第二限位件850,且每一第二限位件850对应设置有一第二推动源,第二推动源用于驱动第二限位件850向靠近或远离相对设置的另一第二限位件850的方向移动。其中第二限位件850可移动地设置于安装件810上,第二限位件850位于限制件820与第一限位件830之间,第二限位件850的移动方向与第一限位件830移动方向相交。相对设置的两个第二限位件850能够进一步抵接在基板上,进一步限制基板在安装件810上的位置。
一实施例中,下料机构40包括第二移动轨401、第三抓取件402及至少两个下料件403,第二移动轨401的一端对位于安装组件800,另一端对位于下料件403上。第三抓取件402能够抓取安装组件800上的基板2,根据基板2的检测结果,将基板2堆叠到不同下料件403上,进而实现基板2的分类。
上述任一实施例中的下料机构40还可以应用于其他装置中产品的下料过程中。
请参阅图1、图2及图8,上述基板检测装置1在使用时,在整板的过程中,基板2放置到上料机构20上,检测机构30的抓取组件500将上料机构20上的基板2抓取并放置到整板单元410的托盘413上。第一同步件427带动夹具单元420的两个夹持件421相对移动,驱动件424驱动第一夹持部422与第二夹持部423开合运动,进而沿第一方向夹持基板2,限制基板2沿第一方向的位置。整板单元410的整板件411在第二同步件412的驱动下,能够沿第二方向抵接在基板2上,实现基板2在第二方向上的位置整理。整理完毕后,第二同步件412驱动整板件411解除对基板2的抵接,且升降件带动托盘413解除对托盘413的支撑。
在检测的过程中,第二移动件620带动夹具单元420由整板单元410移动至图像采集件530,通过图像采集件530对基板2进行拍照,进而可以准确计算出基板2的测试位置。进一步地,第二移动件620带动夹具单元420移动至检测组件300。检测件310通过调节单元调节相对于基板2的位置及角度,以使检测件310对准基板2的不同的测试位置。起落件350驱动检测件310移动,以使两个相对设置的检测件310对接到基板2,实现基板2与检测件310的电路压合,进而通过检测件310实现对基板2的不同测试位置的检测。
由于移动组件600为两个,分别为左移动组件600和右移动组件600。当左移动组件600带动基板2对位于检测件310进行检测时,抓取组件500将上料机构20上的另一基板2放置到整板单元410上。右移动组件600能够带动右夹具单元420对位于整板单元410,实现对另一基板2的整板和夹持。右移动组件600的第二移动件620带动右夹具单元420由整板单元410移动至图像采集件530,通过图像采集件530对另一基板2进行拍照,计算出另一基板2的测试位置。
此时,检测完的左移动组件600上的基板2在第一移动件610上移动,错开检测件310,并通过左移动组件600的第二移动组件620移动至整板单元410,方便该基板2的下料。进一步地,右移动组件600的第二移动件620带动右夹具单元420移动至检测件310,并与检测件310对位,通过检测件310对右移动组件600上的另一基板2进行检测。检测完毕后,右移动组件600上的另一基板2在第一移动件610上移动,错开检测件310,以方便左移动组件600带动基板2移动至与检测件310对应的位置。另一基板2通过右移动组件600的第二移动组件620移动至整板单元410,方便该另一基板2的下料。通过两个移动组件600实现对基板2的交替整板和检测,有效提高基板2的检测效率。
在下料的过程中,检测后的基板2被放置到整板单元410的托盘413上。抓取组件500的第二抓取件540抓取检测后的基板2,移动到下料机构40的安装组件800上。根据检测结果,打标组件700对基板2进行打标。下料机构40的第三抓取件402抓取安装组件800上的基板2,根据基板2的检测的结果,将基板2堆叠到不同下料件403上,进而实现基板2的分类。
上述基板检测装置1,由于基板检测装置1的检测精度高,进而能够用于对高精密的IC载板的电性能进行测试,以检验出IC载板是否合格。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (17)

1.一种整板组件,其特征在于,包括:
夹具单元,包括两个相对设置的夹持件,两个相对设置所述夹持件用于沿第一方向夹持基板;及
整板单元,包括两个相对设置的整板件,两个相对设置所述整板件用于沿第二方向抵接于所述基板,所述第二方向与所述第一方向相交。
2.根据权利要求1所述的整板组件,其特征在于,所述夹持件包括第一夹持部、第二夹持部及驱动件,所述驱动件用于驱动所述第一夹持部相对于所述第二夹持部转动。
3.根据权利要求2所述的整板组件,其特征在于,所述驱动件包括驱动源及推动部,所述第一夹持部可转动地设置于所述第二夹持部上,所述驱动源用于推动所述推动部移动,所述推动部能够推动所述第一夹持部转动。
4.根据权利要求3所述的整板组件,其特征在于,所述第一夹持部上开设有条形槽,所述推动部上形成有导柱,所述导柱穿设于所述条形槽内,并能够在所述条形槽内移动。
5.根据权利要求1-4任一项所述的整板组件,其特征在于,所述夹具单元还包括第一同步件,所述第一同步件用于驱动至少一所述夹持件向朝向或远离另一所述夹持件的方向移动。
6.根据权利要求5所述的整板组件,其特征在于,所述整板单元还包括第二同步件,所述第二同步件用于驱动至少一所述整板件向朝向另一所述整板件的方向移动。
7.根据权利要求6所述的整板组件,其特征在于,所述第一同步件包括第一同步源、两个间隔设置的第一同步轮及第一同步带,所述第一同步带绕过两个所述第一同步轮,所述第一同步源用于驱动所述第一同步带移动,其中一所述夹持件设置于位于所述第一同步轮一侧的所述第一同步带上,另一所述夹持件设置于相对的另一侧的所述第一同步带上;和/或
所述第二同步件包括第二同步源、两个间隔设置的第二同步轮及第二同步带,所述第二同步带绕过两个所述第二同步轮,所述第二同步源用于驱动所述第二同步带移动,其中一所述整板件设置于位于所述第二同步轮一侧的所述第二同步带上,另一所述整板件设置于相对的另一侧的所述第二同步带上。
8.一种检测机构,其特征在于,包括:
如权利要求1-7任一项所述的整板组件;及
检测组件,用于检测基板。
9.根据权利要求8所述的检测机构,其特征在于,所述检测组件包括检测件及调节单元,所述调节单元用于微调所述检测件相对于所述基板的位置。
10.根据权利要求9所述的检测机构,其特征在于,所述调节单元包括第一调节件及第二调节件,所述检测件设置于所述第一调节件上,所述第一调节件设置于所述第二调节件上,所述第一调节件用于带动所述检测件沿X轴方向移动,所述第二调节件用于带动所述检测件沿Y轴方向移动。
11.根据权利要求10所述的检测机构,其特征在于,所述第一调节件包括第一安装板及第一传动件,所述检测件设置于所述第一安装板上,所述第一安装板可移动地安装于所述第二调节件上,所述第一传动件用于驱动所述第一安装板在所述第二调节件上沿X轴方向移动;所述第一调节件还包括第一光栅尺及第一读头,所述第一光栅尺与所述第一读头分别设置于所述第一安装板上和所述第二调节件上,所述第一读头能够读取所述第一光栅尺上的尺寸数值;和/或
所述第二调节件包括第二安装板及第二传动件,所述第一调节件设置于所述第二安装板上,所述第二安装板用于安装在机架上,所述第二传动件用于驱动所述第二安装板在所述机架上沿Y轴方向移动;所述第二调节件还包括第二光栅尺及第二读头,所述第二光栅尺与所述第二读头分别设置于所述第二安装板上和所述机架上,所述第二读头能够读取所述第二光栅尺上的尺寸数值。
12.根据权利要求10所述的检测机构,其特征在于,所述调节单元还包括角度调节件,所述角度调节件用于调节所述检测件相对于所述基板转动。
13.根据权利要求8-12任一项所述的检测机构,其特征在于,还包括移动组件,所述移动组件的一端对位于所述整板单元,另一端对位于所述检测组件,所述夹具单元设置于所述移动组件上,所述夹具单元能够在所述移动组件上移动。
14.根据权利要求13所述的检测机构,其特征在于,所述移动组件为两个,所述移动组件包括第一移动件及第二移动件,所述第一移动件设置于所述第二移动件上,所述第二移动件的一端对位于所述整板单元,另一端对位于所述检测组件,所述第一移动件能够在所述第二移动件上移动;每一所述第一移动件对应设置有一所述夹具单元,所述夹具单元能够在所述第一移动件向朝向整板单元或所述检测组件的方向移动;两个所述移动组件的第二移动件间隔相对设置,所述整板单元及所述检测组件位于两个所述第二移动件之间,所述整板单元还包括升降件,所述升降件用于驱动所述整板件向朝向所述夹具单元的方向升降。
15.一种基板检测装置,其特征在于,包括:
机架;及
如权利要求8-14任一项所述的检测机构,所述检测机构设置于所述机架上。
16.根据权利要求15所述的基板检测装置,其特征在于,还包括上料机构,上料机构设置于检测机构的一侧,所述检测机构还包括抓取组件,所述抓取组件包括第一抓取件及第一移动轨,所述第一移动轨的一端对位与所述上料机构,另一端对位于所述整板单元,所述第一抓取件能够在所述第一移动轨上移动。
17.根据权利要求16所述的基板检测装置,其特征在于,还包括下料机构,所述下料机构设置于所述检测机构的另一侧,所述抓取组件还包括第二抓取件,所述第二抓取件设置于所述第一移动轨上并能够在所述第一移动轨上移动,所述第一移动轨远离所述上料机构一端对位于所述下料机构。
CN202020089799.7U 2020-01-16 2020-01-16 基板检测装置、检测机构及整板组件 Active CN212008794U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202020089799.7U CN212008794U (zh) 2020-01-16 2020-01-16 基板检测装置、检测机构及整板组件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202020089799.7U CN212008794U (zh) 2020-01-16 2020-01-16 基板检测装置、检测机构及整板组件

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN212008794U true CN212008794U (zh) 2020-11-24

Family

ID=73426609

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202020089799.7U Active CN212008794U (zh) 2020-01-16 2020-01-16 基板检测装置、检测机构及整板组件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN212008794U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111123025A (zh) * 2020-01-16 2020-05-08 深圳市凯码时代科技有限公司 基板检测装置、检测机构及整板组件
CN117630044A (zh) * 2023-12-05 2024-03-01 苏州创信维自动化设备有限公司 一种用于检测片状基板的aoi设备

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111123025A (zh) * 2020-01-16 2020-05-08 深圳市凯码时代科技有限公司 基板检测装置、检测机构及整板组件
CN117630044A (zh) * 2023-12-05 2024-03-01 苏州创信维自动化设备有限公司 一种用于检测片状基板的aoi设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111123025A (zh) 基板检测装置、检测机构及整板组件
CN212008794U (zh) 基板检测装置、检测机构及整板组件
CN108674915A (zh) 一种锂电池载具运送装置
CN108946050B (zh) 一种aoi自动下料装置
CN211014913U (zh) 一种液晶面板检测装置
CN108608726A (zh) 一种手机锂电池的移印装置
CN214723558U (zh) 一种检测装置
CN108557409A (zh) 一种聚合物锂电池生产流水线的转接装置
CN108631000A (zh) 一种手机锂电池的条码扫描装置
CN108461823A (zh) 一种用于锂电池生产的电池载具回流装置
CN108574117A (zh) 一种锂电池载具运送的定位机构
CN216836072U (zh) 检测装置
CN111380496A (zh) 安装座检测机
CN215339544U (zh) 检测设备
CN214894928U (zh) 线路板检测装置
CN211876990U (zh) 安装座检测机
CN114044357A (zh) 板材上料设备及方法
CN209954536U (zh) 定位装置
CN116022523A (zh) 运载装置和具有其的检测设备
CN209878941U (zh) 一种双面探针台
CN112798618A (zh) 线路板检测装置
CN108891887A (zh) 一种用于锂电池加工运送的载具
CN112497266A (zh) 机械臂控制式过滤器测试装置
CN216785017U (zh) 一种用于无板边双面pcba的在线检测供料装置
CN108598588A (zh) 一种手机锂电池载具连接器分离装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant