CN220367311U - 一种检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供的一种检测装置，涉及检测设备技术领域。检测装置包括检测件、检测轨道及沿第一方向延伸的第一运输轨道及设置于第一运输轨道上的第一承载平台，第一承载平台能相对第一运输轨道沿第一方向运动，第一承载平台具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位。检测过程中，检测件能够对第一承载平台上的物料进行表面检测，由于检测件能够在检测轨道上沿第二方向移动，可以使得检测件能够依次检测承载在第一承载平台上沿第二方向间隔排布的多个物料，从而提高了物料检测的效率。

Description

一种检测装置

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体而言，涉及一种检测装置。

背景技术

集成电路已成为各行各业实现信息化、智能化的基础，是支撑经济发展的先导性产业。经发明人研究发现，随着半导体技术的发展，载板的特征尺寸不断缩小、集成度不断提高，如何保证材料的质量成为关键一环。

经发明人研究发现，现有的一些对于物料检测主要以人工检测为主的检测方式，效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种检测装置，其能够提高对物料缺陷的效率。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种检测装置，包括：

沿第一方向延伸的第一运输轨道及设置于第一运输轨道上的第一承载平台，第一承载平台能相对第一运输轨道沿第一方向运动，第一承载平台具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位；

沿第一方向延伸的第二运输轨道及设置于第二运输轨道上的第二承载平台，第二承载平台能相对第二运输轨道沿第一方向运动，第一运输轨道与第二运输轨道沿第二方向间隔排布；

沿第二方向延伸的检测轨道及设置于检测轨道上的检测件，第一运输轨道与第二运输轨道均经过检测轨道，检测件能相对检测轨道沿第二方向运动且用于检测第一承载平台及第二承载平台上的待检测物料，第一方向与第二方向呈夹角。

在可选的实施方式中，还包括第一转运轨道、第一取料件、第一料仓及第二料仓，第一转运轨道与检测轨道沿第一方向间隔排布且靠近第一料仓及第二料仓，第一取料件能在第一转运轨道上移动，第一取料件能将第一料仓或第二料仓中的待测物料转运至第一放置工位。

在可选的实施方式中，第一料仓与第二料仓沿第二方向间隔排布且位于第一运输轨道两侧。

在可选的实施方式中，还包括第二转运轨道，第二转运轨道沿第三方向延伸，第一转运轨道沿第二方向延伸且能相对第二转运轨道沿第三方向运动，第一取料件设置于第一转运轨道，第一方向、第二方向及第三方向两两相互垂直。

在可选的实施方式中，检测装置还包括中转机构，中转机构用于将经过检测件检测后且位于第一承载平台上的物料翻转并放置于第二承载平台。

在可选的实施方式中，第二承载平台具有多个沿第二方向间隔排布的第二放置工位，检测件的数量为两个，两个检测件分别检测第一放置工位及第二放置工位上的物料。

在可选的实施方式中，检测装置还包括第二取料件、第三料仓及第四料仓，第二取料件设置于第一转运轨道且能在第一转运轨道上沿第二方向移动，第二取料件能将第三料仓或第四料仓中的物料转运至第二承载平台。

在可选的实施方式中，第三料仓与第四料仓沿第二方向间隔排布且位于第二运输轨道两侧。

在可选的实施方式中，中转机构包括中转手臂、中转轨道及翻转模组，中转手臂设置在中转轨道上并可在中转轨道上移动，中转手臂用于将经过检测件检测后的物料转运至翻转模组中，翻转模组靠近第一运输轨道远离第一转运轨道的一端，翻转模组用于翻转物料并将物料转运至第二承载平台中。

在可选的实施方式中，检测装置还包括第一除尘单元及第二除尘单元，第一除尘单元位于检测轨道靠近第一转运轨道的一侧，第二除尘单元位于检测轨道靠近中转轨道的一侧，第一除尘单元用于对位于第一承载平台上物料进行除尘，第二除尘单元用于对位于第二承载平台上物料进行除尘。

本实用新型实施例的有益效果是：本实用新型实施例提供的一种检测装置包括沿第一方向延伸的第一运输轨道及设置于第一运输轨道上的第一承载平台，第一承载平台能相对第一运输轨道沿第一方向运动，第一承载平台具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位。还包括沿第一方向延伸的第二运输轨道及设置于第二运输轨道上的第二承载平台，第二承载平台能相对第二运输轨道沿第一方向移动，第一运输轨道与第二运输轨道沿第二方向间隔排布，还包括沿第二方向延伸的检测轨道及设置于检测轨道上的检测件，第一运输轨道与第二运输轨道均经过检测轨道，检测件能在检测轨道上沿第二方向运动且用于检测第一承载平台及第二承载平台上的待检测物料。检测装置在检测过程中，第一承载平台承载待检测物料在第一运输轨道上沿第一方向运动，直至运输到合适位置时，检测件能够对第一承载平台上的物料进行表面检测，由于检测件能够在检测轨道上沿第二方向移动，可以使得检测件能够依次检测承载在第一承载平台上沿第二方向间隔排布的多个物料，从而提高了物料检测的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的检测装置的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的检测装置在第一视角下的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的检测装置在第二视角下的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的检测装置在第三视角下的结构示意图。

图标:1-检测装置；11-第一运输轨道；12-第一承载平台；121-第一放置工位；21-第一转运轨道；22-第二转运轨道；23-第一取料件；24-第一料仓；25-第二料仓；32-第二取料件；33-第三料仓；34-第四料仓；41-检测轨道；42-检测件；51-第一中转轨道；52-第二中转轨道；53-中转手臂；54-翻转模组；61-第二运输轨道；62-第二承载平台；621-第二放置工位；81-第一除尘单元；82-第二除尘单元；100-框架；2-物料。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的机构可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合专利附图详细介绍本实用新型实施例提供的一种检测装置的具体结构及其带来的相应的技术效果。

请参考图1-图4，本实用新型实施例提供的一种检测装置1包括沿第一方向延伸的第一运输轨道11及设置于第一运输轨道11上的第一承载平台12，第一承载平台12能相对第一运输轨道11沿第一方向运动，第一承载平台12具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位121。

检测装置1还包括沿第一方向延伸的第二运输轨道61及设置于第二运输轨道61上的第二承载平台62，第二承载平台62能相对第二运输轨道沿第一方向运动，第一运输轨道11与第二运输轨道61沿第二方向间隔排布。

检测装置1还包括沿第二方向延伸的检测轨道41及设置于检测轨道41上的检测件42，检测件42能相对检测轨道41沿第二方向运动且用于检测第一承载平台12及第二承载平台62上的待检测物料，第一方向与第二方向呈夹角。

具体的，在本实施例中，第一方向与第二方向垂直。需要说明的是，此处的垂直不应理解为严格意义上的垂直，第一方向与第二方向大致垂直即可。

容易理解的，检测装置1在检测过程中，第一承载平台12承载待检测物料2在第一运输轨道11上沿第一方向运动，直至运输到合适位置时，检测件42能够对第一承载平台12及第二承载平台62上的物料2进行表面检测，由于检测件42能够在检测轨道41上沿第二方向移动，可以使得检测件42能够依次检测承载在第一承载平台12上沿第二方向间隔排布的多个物料2，从而提高了物料2检测的效率。

具体得，在本实施例中，第一承载平台12上具有两个沿第二方向上间隔排布的第一放置工位121。

需要说明的是，第一承载平台12上的第一放置工位121可以有多个定位件限制而成，也可以为第一承载平台12内凹形成，还可以仅为两个物料2放置于第一承载平台12上所形成的两个位置。

进一步地，检测装置1还包括第一转运轨道21、第一取料件23、第一料仓24及第二料仓25，第一转运轨道21与检测轨道41沿第一方向间隔排布且靠近第一料仓24及第二料仓25，第一取料件23能在第一转运轨道21上移动，第一取料件23能将第一料仓24或第二料仓25中的待测物料2转运至第一放置工位121上。需要说明的是，第一取料件23还能够将第一放置工位121上的物料2转运至第一料仓24或第二料仓25上。

换句话说，第一转运轨道21相对检测轨道41靠近第一料仓24及第二料仓25，便于第一取料件23对第一料仓24或第二料仓25内的物料2进行取料。

具体的，在本实施例中，第一料仓24与第二料仓25沿第二方向间隔排布且位于第一运输轨道11的两侧。

当第一取料件23作为上料机构时，第一取料件23设置有第一料仓24与第二料仓25，设置两个料仓是由于物料2上可能会有隔纸，当物料2上具有隔纸时，第一料仓24可以为物料仓，第二料仓25为隔纸仓，此时的第一取料件23可以运动至第一料仓24上将隔纸防止于第二料仓25内，并再运动会第一料仓24内将第一料仓24内的物料2转运至第一承载平台12上，如此循环作业。

若物料2上没有隔纸，那么第一料仓24与第二料仓25均可以为物料2仓。此时，第一取料件23可以从第一料仓24与第二料仓25中的一个将物料2转运至第一承载平台12上，再通过第一承载平台12移动至检测件42能够检测第一承载平台12上物料2表面缺陷的区域。

容易理解的，由于第一料仓24及第二料仓25位于第一运输轨道11的两侧，并且第一料仓24作为上料料仓，第二料仓25作为下料料仓时，能够便于第一取料件23将检测完成后的物料2放入第二料仓25中，减少第一取料件23的取放料路程。

进一步地，检测装置1还包括第二转运轨道22，第二转运轨道22沿第三方向延伸，第一转运轨道21沿第二方向延伸且能相对第二转运轨道22沿第三方向运动，第一取料件23设置于第一转运轨道21，第一方向、第二方向及第三方向两两相互垂直。

也即，在本实施例中，第一取料件23能够在第一转运轨道21及第二转运轨道22的作用下实现在第二方向及第三方向上的运动，提高第一取料件23的灵活性。

以图3为参考，其中第一方向为长度方向，第二方向为宽度方向，第三方向为高度方向。

进一步地，检测装置1还包括中转机构，中转机构用于将经过检测件42检测后且位于第一承载平台12上的物料2翻转并放置于第二承载平台62。

进一步地，第二承载平台62具有多个沿第二方向间隔排布的第二放置工位621，检测件42的数量为两个，两个检测件42分别检测第一放置工位121及第二放置工位621上的物料。也就是说，能够通过两个检测件42及中转机构检测物料2两面的表面缺陷。

当然，在另外的一些实施例中，检测件42的数量还可以为1个。1个检测件42用于检测第一承载平台12及第二承载平台62上的物料。

容易理解的，两个检测件42共用检测轨道41，能够减少设置一个单独的沿第二方向移动的轨道，能够节约一定的经济成本。

进一步地，检测装置1还包括第二取料件32、第三料仓33及第四料仓34，第二转运轨道22与检测轨道41沿第一方向间隔排布且靠近第三料仓33及第四料仓34，换句话说，第二转运轨道22相对于检测轨道41靠近第三料仓33及第四料仓34，能够便于第二取料件32将第三料仓33或第四料仓34的物料2转运至第二承载平台62上。

第二取料件32设置于第一转运轨道21上且能在第一转运轨道21上沿第二方向移动，第二取料件32能将第三料仓33或第四料仓34的物料2转运至第二承载平台62。

可以理解的，第一取料件23与第二取料件32均设置于第一转运轨道21上，避免单独设置两个沿第二方向设置的转运轨道，能够节约一定的成本。

需要说明的是，第二取料件32还能够将第二承载平台62上的物料2转运至第三料仓33或第四料仓34，第一方向、第二方向及第三方向两两相互垂直。

同样的，在本实施例中，第三料仓33与第四料仓34沿第二方向间隔排布且位于第二运输轨道61两侧。需要说明的是，第一料仓24、第二料仓25、第三料仓33及第四料仓34沿第二方向间隔排布。

进一步地，中转机构包括中转手臂53、中转轨道及翻转模组54，中转手臂53设置于中转轨道并可在中转轨道上移动，中转手臂53用于将经过检测件42检测后的物料2转运至翻转模组54中，翻转模组54靠近第一运输轨道11远离第一转运轨道21的一端，也就是说，翻转模组54靠近第一运输轨道11远离第一转运轨道21及第二转运轨道22的移动。以便于中转手臂53将经过检测件42检测后的转运至翻转模组54上，翻转模组54用于翻转物料2并将物料2转运至第二承载平台62中。

具体的，在本实施例中，中转轨道包括第一中转轨道51及第二中转轨道52，其中第一中转轨道51沿第三方向延伸，第二中转轨道52沿第二方向延伸，第二中转轨道52设置于第一中转轨道51上且能相对第一中转轨道51沿第三方向移动，中转手臂53设置于第二中转轨道52上且能相对第二中转轨道52沿第二方向移动。

在本实施例中，检测轨道41位于第一转运轨道21及中转轨道之间。

由于第二承载平台62能够沿第二运输轨道61在第一方向上运动，且第二运输轨道61与第一运输轨道11在第二方向间隔设置，因此，第二承载平台62能够在第二运输轨道61上沿第一方向运动至靠近靠近翻转模组54的位置时，此时翻转模组54能翻转物料2并将物料2转运至第二承载平台62中，第二承载平台62此时可以反向沿第一方向运动，运动至检测件42能够检测到第二承载平台62上物料2的区域，便能够完成对物料2另一面的表面缺陷检测，在完成检测后，第二承载平台62继续沿第一方向移动，运动至靠近第二转运轨道22，并能够通过第二取料件32将第二承载平台62上的物料2转运至第三料仓33或第四料仓34。

在一些可选的实施方式中，检测装置1还包括第一除尘单元81及第二除尘单元82，第一除尘单元81位于检测轨道41靠近第一转运轨道21的一侧，第二除尘单元82位于检测轨道41靠近中转轨道的一侧，第一除尘单元81用于对位于第一承载平台上物料2进行除尘，第二除尘单元82用于对位于第二承载平台上物料2进行除尘。

可以理解的，第一除尘单元81用于物料2在检测过程中，掉落在物料2删的灰尘也可能引起检测误差，为了减小或消除检测物料2表面缺陷的误差，由于第一除尘单元81位于检测轨道41靠近第一转运轨道21的一侧，因此能够在检测件42对物料2检测时对物料2的表面进行除尘，同样的，也可以通过第二承载平台对通过检测件42检测前的物料2的表面进行除尘。

需要说明的是，检测装置1框架100，上述的第一料仓24、第二料仓25、第三料仓33、第四料仓34、第一运输轨道11、第二运输轨道61、检测轨道41、第一转运轨道21、第二转运轨道22、第一中转轨道51、第二中转轨道52均设置于框架100上。上述的检测件42可以为现有的能够对物料2表面进行图线采集进而对物料2表面缺陷进行检测的装置，在此对检测件42的具体结构不再进行赘述，其中中转手臂53、第一取料件23及第二取料件32均可以为现有的取放料结构，在此对其的具体结构不再进行赘述。

检测装置1的工作原理如下：

第一料仓24、第二料仓25、第三料仓33及第四料仓34可以根据需要实际检测需要设定料仓存放物料2的类型。

模式一：第一料仓24和第二料仓25为上料料仓，第三料仓33与第四料仓34为下料料仓。

具体的，作业人员将待检测物料2放入第一料仓24及第二料仓25完中。由于第一转运轨道21运动在第二方向上运动，并且第一转运轨道21能沿第二转运轨道22在第三方向上运动，因此在第一取料件23能够将物料2的放置于第一承载平台12的第一放置工位121，在完成放置物料2后，第一取料件23返回第一料仓24或第二料仓25上方，依次循环进行上料作业。

进一步地，第一承载平台12在第一运输轨道11上沿第一方向运动，物料2经过第一除尘单元81时，能够通过第一除尘单元81对物料2的表面进行除尘清洁，需要说明的是，其中第一除尘单元81可以为接触式的粘尘方式进行除尘，其中除尘单元为本领域的常规手段，在此对第一除尘单元81的具体结构不再进行赘述。

进而第一承载平台12进行沿第一方向在第一运输轨道11上运动，直至运动靠近一个检测件42，并通过该检测件42进行物料2的图像采集，需要说明的是，此时具有一个检测件42位于第一承载平台12的上方，以对物料2朝向该检测件42的一面进行表面缺陷检测，当两个第一放置工位121均具有待检测物料2，在第二方向上的一侧的物料2检测完成后，该检测件42在检测轨道41上沿第二方向运动直至靠近另一侧的物料2，随后第一承载平台12在第一运输轨道11上沿靠近第一料仓24的方向运动，直至使得第一承载平台12上的物料2处于该检测件42进行图像检测的区域内，进而使得第一承载平台12继续向远离第一料仓24的方向运动，在该检测件42的作用下完成对另一侧物料2的检测。

进一步地，完成图像采集后的物料2伴随第一承载平台12沿第一运输轨道11继续向远离第一料仓24的方向运动，进而通过中转手臂53的作用下将物料2转运至翻转模组54上，随后中转手臂53在中转轨道上返回至靠近第一运输轨道11。

进而通过翻转模组54翻转180°，将物料2进行翻转并转运至第二承载平台62上，随后翻转模组54翻转复位，第二承载平台62在第二运输轨道61上沿第一方向靠近第三料仓33移动，在经过第二除尘单元82时对物料2的上表面进行除尘，最终移动至另外一个检测件42的检测区域以对第二承载平台上的物料2的另一面进行图像采集，从而进行另一面的表面缺陷检测，另外一个检测件42能够检测第二承载平台62上两片物料2的检测。

完成采集后，第二承载平台62可以在第二运输轨道61上向靠近第三料仓33的方向运动。

进一步地，此时可以通过第二取料将第二承载平台62上的物料2放入对应的料仓，其中可以将第三料仓33及第四料仓34分别定为OK仓及NG仓，可以通过第二取料件32将无缺陷的物料2防止第三料仓33中，将有缺陷的物料2放入第四料仓34中。

当第三料仓33或第四料仓34满仓后，人工可以将第三料仓33和第四料仓34内的物料2取出。

上述动作依次循环，实现物料2的不间断检测。

模式二：两个检测件42分别对第一承载平台12及第二承载平台62上的物料进行单面检测，并且中转机构停用。

具体的，作业人员将物料2放入第一料仓24及第三料仓33中完成上料动作。

进而，通过第一取料件23及第二取料件32分别将物料2放至于第一承载台及第二承载台上，若第一承载台与第二承载台上均同时上料两片物料2，与上述同理，一个检测件42分别检测第一承载台上的两片物料2，另外一个检测件42分别检测第二承载台上的两片物料2。

在完成检测后，第一承载平台12再第一运输轨道11上沿第一方向靠近第一料仓24运动，第二承载平台62在第二运输轨道61上沿第一方向靠近第三料仓33运动，此时可以通过第一取料件23及第二取料件32分别将第一承载平台12上的物料2放入第二料仓25中及第二承载平台62上的物料2放入第四料仓34中，此时第二料仓25及第四料仓34作为下料料仓。

上述动作依次循环，实现物料2的不间断检测。

综上所述，本实用新型实施例提供的一种检测装置1包括沿第一方向延伸的第一运输轨道11及设置于第一运输轨道11上的第一承载平台12，第一承载平台12能相对第一运输轨道11沿第一方向运动，第一承载平台12具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位121。还包括沿第一方向延伸的第二运输轨道61及设置于第二运输轨道61上的第二承载平台62，第二承载平台62能相对第二运输轨道61沿第一方向移动，第一运输轨道11与第二运输轨道61沿第二方向间隔排布，还包括沿第二方向延伸的检测轨道41及设置于检测轨道41上的检测件42，第一运输轨道11与第二运输轨道61均经过检测轨道41，检测件42能在检测轨道41上沿第二方向运动且用于检测第一承载平台12及第二承载平台62上的待检测物料2。检测装置1在检测过程中，第一承载平台12承载待检测物料2在第一运输轨道11上沿第一方向运动，直至运输到合适位置时，检测件42能够对第一承载平台12上的物料进行表面检测，由于检测件42能够在检测轨道41上沿第二方向移动，可以使得检测件42能够依次检测承载在第一承载平台12上沿第二方向间隔排布的多个物料2，从而提高了物料2检测的效率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

沿第一方向延伸的第一运输轨道及设置于所述第一运输轨道上的第一承载平台，所述第一承载平台能相对所述第一运输轨道沿所述第一方向运动，所述第一承载平台具有沿第二方向间隔排布的多个第一放置工位；

沿第一方向延伸的第二运输轨道及设置于第二运输轨道上的第二承载平台，所述第二承载平台能相对第二运输轨道沿所述第一方向运动，所述第一运输轨道与所述第二运输轨道沿所述第二方向间隔排布；

沿第二方向延伸的检测轨道及设置于所述检测轨道上的检测件，所述第一运输轨道与所述第二运输轨道均经过所述检测轨道，所述检测件能相对所述检测轨道沿所述第二方向运动且用于检测所述第一承载平台及所述第二承载平台上的待检测物料，所述第一方向与所述第二方向呈夹角。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：

还包括第一转运轨道、第一取料件、第一料仓及第二料仓，所述第一转运轨道与所述检测轨道沿第一方向间隔排布且靠近所述第一料仓及第二料仓，所述第一取料件能在第一转运轨道上移动，所述第一取料件能将所述第一料仓或第二料仓中的待测物料转运至所述第一放置工位。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于：

所述第一料仓与所述第二料仓沿所述第二方向间隔排布且位于所述第一运输轨道两侧。

4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于：

还包括第二转运轨道，所述第二转运轨道沿第三方向延伸，所述第一转运轨道沿第二方向延伸且能相对所述第二转运轨道沿第三方向运动，所述第一取料件设置于所述第一转运轨道，所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两相互垂直。

5.根据权利要求2项所述的检测装置，其特征在于：

所述检测装置还包括中转机构，所述中转机构用于将经过所述检测件检测后且位于所述第一承载平台上的物料翻转并放置于所述第二承载平台。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于：

所述第二承载平台具有多个沿所述第二方向间隔排布的第二放置工位，所述检测件的数量为两个，两个所述检测件分别检测所述第一放置工位及所述第二放置工位上的物料。

7.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于：

所述检测装置还包括第二取料件、第三料仓及第四料仓，所述第二取料件设置于所述第一转运轨道且能在所述第一转运轨道上沿第二方向移动，所述第二取料件能将所述第三料仓或第四料仓中的物料转运至所述第二承载平台。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于：

所述第三料仓与所述第四料仓沿所述第二方向间隔排布且位于所述第二运输轨道两侧。

9.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于：

所述中转机构包括中转手臂、中转轨道及翻转模组，所述中转手臂设置在所述中转轨道上并可在所述中转轨道上移动，所述中转手臂用于将经过检测件检测后的所述物料转运至所述翻转模组中，所述翻转模组靠近所述第一运输轨道远离所述第一转运轨道的一端，所述翻转模组用于翻转所述物料并将所述物料转运至所述第二承载平台中。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于：

所述检测装置还包括第一除尘单元及第二除尘单元，所述第一除尘单元位于检测轨道靠近第一转运轨道的一侧，所述第二除尘单元位于所述检测轨道靠近所述中转轨道的一侧，所述第一除尘单元用于对位于所述第一承载平台上物料进行除尘，所述第二除尘单元用于对位于所述第二承载平台上物料进行除尘。