CN220324437U - 一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，包括双排设置在底部的支撑棒，支撑棒的上方对应设有双排的辅助棒，上下位置的支撑棒和辅助棒的两端通过连接组件连接固定，支撑棒和辅助棒上均开设有间隔均匀的安装槽，支撑棒的下方设有改变载具倾斜角度的调节件。本实用新型通过支撑棒下方的调节件改变载具的倾斜角度，使所有的晶圆向载具倾斜方向倾斜，相邻晶圆之间的间隔保持一致，不容易出现在载具水平状态下相邻晶圆可能会出现相反方向倾斜的情况，在烧制钝化过程中因晶圆自身倾斜重力原因朝一个方向变形，因此，不容易出现相邻晶圆相反方向变形后粘连，可大大改善在烧制过程中晶圆因形变造成粘连后损坏的情况，提高了产品的合格率。

Description

一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具

技术领域

本实用新型属于半导体芯片制造加工技术领域，具体涉及一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在半导体芯片的制作过程中，需要在晶圆的表面附着加工一层玻璃层起到保护作用，主要的工序是通过在晶圆的表面附着玻璃粉，然后将附着有玻璃粉的晶圆放在载具上进行烧制钝化，使玻璃粉融化后均匀的附着在晶圆的表面，进而对晶圆起到保护作用。

但是现有技术中，在对晶圆进行烧制过程中，将晶圆一片一片的放置竖直放置在载具上，然后在加热炉内进行加热烧制，其烧制温度在九百摄氏度左右，此时，附着在晶圆上的玻璃粉开始融化后附着在晶圆上。出于烧制效率等方面考虑，载具上相邻的安装槽的间距较小，同时考虑安装方便等因素安装槽的宽度略大于晶圆的厚度，因此，在载具水平放置的过程中，放置在安装槽内的晶圆片势必存在一定角度的倾斜，且倾斜的方向为随机的状态，因此在烧制过程中，玻璃粉融化生产形变，此时会拉动晶圆产生一定的变形，且不同晶圆表面附着的玻璃粉的厚度不同，融化后产生的形变也不相同，当出现相邻两片晶圆为相反方向倾斜，即相互靠拢的状态，此时两片晶圆的间距减小，当出现相反方向形变时，两片硅片会变形后通过玻璃粉的融化相互粘连，此时就会造成晶圆的损坏，影响产品的质量和合格率。

因此，继续改善现有技术中使用的载具在晶圆烧制过程中容易出现相邻晶圆之间粘连后造成晶圆损坏的问题。

实用新型内容

针对上述不足，本实用新型的目的在于，提供一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，极大的改善了现有技术中使用的载具在晶圆烧制过程中容易出现相邻晶圆之间粘连后造成晶圆损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：

一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，包括双排设置在底部的支撑棒，支撑棒的上方对应设有双排的辅助棒，上下位置的支撑棒和辅助棒的两端通过连接组件连接固定，所述支撑棒和辅助棒上均开设有间隔均匀的安装槽用于放置晶圆，所述支撑棒的下方设有改变载具倾斜角度的调节件。

采用上述结构设计，通过双排设置的支撑棒和辅助棒实现批量晶圆的放置，并通过支撑棒下方的调节件改变载具的倾斜角度，使所有的晶圆向载具倾斜方向倾斜，相邻晶圆之间的间隔保持一致，在烧制钝化过程中因晶圆自身倾斜重力原因朝一个方向变形，因此，可大大改善在烧制过程中晶圆因形变造成粘连后损坏的情况，提高了产品的合格率。

作为进一步的改进，所述调节件包括安装轴，安装轴的一端固定于载具一端的连接组件上，安装轴的另一端设有限位部，该安装轴上转动安装有支撑块，且所述支撑块上设有多个高度不同的支撑部。

采用上述结构设计，所述调节件通过旋转设置的支撑块转动，进而支撑块上设置的高度不同的支撑部进行切换对载具的一端进行支撑，可根据需求实现载具的角度倾斜的调整。

作为进一步的改进，所述支撑块与安装轴之间采用转动连接，在支撑块受外力下才能转动，不会受自身重力翻转。

采用上述结构设计，支撑块与安装轴之间的连接间隙较小，既能保证其在外力情况下顺利转动，更换不同的支撑部，同时也能保证在没有外力干扰的情况下不容易出现自动转动，进而保证了其稳定性。

作为进一步的改进，所述调节件为倾斜的垫块固定连接于载具下端的支撑棒上，且垫块与支撑棒的连接面为斜面使载具为倾斜状态。

采用上述结构设计，根据常规使用频率，将调节件设计为具备一定倾斜角度的垫块直接固定在支撑棒上，使载具整体具备一定倾斜角度，其能满足常规产品的使用，且结构更简单，稳定性更强。

作为进一步的改进，所述上方的双排辅助棒之间的间距大于下方双排支撑棒的间距，以便于对晶圆侧面进行支撑固定。

采用上述结构设计，能从两侧对晶圆形成环抱式的限位，保证在载具转移过程中，晶圆不容易出现滑落的情况。

作为进一步的改进，所述支撑棒和辅助棒的中部均横向连接有加强棒将双排结构连接增加载具的承载强度，同侧上下位置的支撑棒和辅助棒之间设有弧形结构的加强片。

采用上述结构设计，基于加工效率和烧制过程中受热均匀的考量，该载具采用简单的上下双排的支撑棒和辅助棒的固定，能保证受热均匀，且晶圆密集程度较大，间距较小，因此通过在相应位置设置加强棒和加强片保证该装置的强度。

作为进一步的改进，所述安装槽的底壁为便于安装和限位的弧形槽，所述连接组件上还设有弧形拉手用于装入晶圆后将载具于加热炉内取放。

作为进一步的改进，所述调节件使载具的倾斜角度为15-18度，在该倾斜角度内能有效改善晶圆在烧制过程中因变形造成损坏的情况。

相对于现有技术，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过支撑棒下方的调节件改变载具的倾斜角度，使所有的晶圆向载具倾斜方向倾斜，相邻晶圆之间的间隔保持一致，不容易出现在载具水平状态下相邻晶圆可能会出现相反方向倾斜的情况，在烧制钝化过程中因晶圆自身倾斜重力原因朝一个方向变形，因此，不容易出现相邻晶圆相反方向变形后粘连，可大大改善在烧制过程中晶圆因形变造成粘连后损坏的情况，提高了产品的合格率。

2、本实用新型的调节件包括转动安装的支撑块，且支撑块上设有多个高度不同的支撑部，因此可通过旋转支撑块转动，选择支撑块上设置的不同高度的支撑部对载具的一端进行支撑，进而可根据需求实现载具的角度倾斜的调整。

3、本实用新型采用简单的上下双排的支撑棒和辅助棒的固定，能保证晶圆受热均匀，且晶圆密集程度较大，间距较小，因此通过在相应位置设置加强棒和加强片保证该装置的强度，进而实现大批量的承载，保证烧制的效率。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型实施例1的结构示意图；

图2是图1中调节件的结构示意图；

图3是本实用新型实施例2的结构示意图。

支撑棒1、辅助棒2、安装槽3、调节件4、安装轴4a、限位部4b、支撑块4c、支撑部4d、第一支撑部41d、第二支撑部42d、第三支撑部43d、第四支撑部44d、加强棒5、加强片6、弧形拉手7、连接组件8。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。

实施例1

请参阅图1和图2，一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，包括双排设置在底部的支撑棒1，支撑棒1的上方对应设有双排的辅助棒2，上下位置的支撑棒1和辅助棒2的两端通过连接组件8连接固定，所述上方的双排辅助棒2之间的间距大于下方双排支撑棒1的间距，以便于对晶圆侧面进行支撑固定。所述支撑棒1和辅助棒2上均开设有间隔均匀的安装槽3用于晶圆的安装，所述安装槽3的底壁为便于安装和限位的弧形槽，以便于和晶圆的侧缘对接，所述连接组件8上还设有弧形拉手7用于装入晶圆后将载具于加热炉内取放。所述支撑棒1的下方设有改变载具倾斜角度的调节件4，通过该调节件4的作用，能使载具整体向一个方向呈一定角度倾斜，根据实践经验和实验数据可得出倾斜角度为15-18度。当载具呈倾斜设置后，由于安装槽3的宽度大于晶圆的厚度，因此载具上放置的晶圆便随载具一并向相同方向倾斜，晶圆自身具备一定重力，且倾斜方向相同，相邻晶圆的间距相等，相比于水平放置的载具，晶圆的倾斜方向随机，很可能造成间距变小，在烧制时容易出现相反方向变形后玻璃粉融化后粘连，造成晶圆损坏。但是采用本申请中具备一定倾斜角度的载具后，根据烧制过程中的统计数据可知，能大大改善晶圆粘连的情况。

其中，由于考虑到烧制时晶圆受热均匀，因此本申请采用简单上下双排的支撑棒1和辅助棒2完成，但是其承载强度有限，同时为了保证烧制效率，载具上需竟可能的多放置晶圆，因此所述支撑棒1和辅助棒2的中部均横向连接有加强棒5将双排结构连接增加载具的承载强度，同侧上下位置的支撑棒1和辅助棒2之间设有弧形结构的加强片6，不经能保证强度，还能呈环抱式的将晶圆进行限位，提高了该载具的使用稳定性。

具体的，在本实施例中，所述调节件4包括安装轴4a，安装轴4a的一端固定于载具一端的连接组件8上，该固定方式可采用焊接固定的方式，安装轴4a的另一端设有限位部4b，该安装轴4a上转动安装有支撑块4c，且所述支撑块4c上设有多个高度不同的支撑部4d。在本实施例中，所述支撑块4c为圆形结构，且所述支撑块4c上沿四个方向上设置4个支撑部4d，切削形成第一支撑部41d，该第一支撑部41d与支撑棒1下端平齐，该位置使载具为水平状态，支撑块4c上的另外方向依次设有高度不同的第二支撑部42d、第三支撑部43d和第四支撑部44d，可实现载具的不同倾斜角度。所述支撑块4c与安装轴4a之间采用转动连接，且支撑块4c与安装轴4a之间的装配间隙较小，在支撑块4c受外力下才能转动，不会受自身重力翻转，因此当需要对载具的倾斜角度时，可人为转动支撑块4c选择合适的支撑部向下即可。

工作原理：

使用时，首先将晶圆依次装设于安装槽3内，然后根据需求调节倾斜角度，所述支撑块4c上不同的支撑部4d对应不同的倾斜角度，选择对应的支撑部4a后旋转支撑块4c使其向下起到支撑作用，进而使载具处于倾斜状态，然后将装有晶圆的载具放入到加热炉内进行烧制钝化即可。

实施例2

请参阅图2，本实施中的其他技术特征与实施例1中一致，其主要区别在于所述调节件4为倾斜的垫块固定连接于载具下端的支撑棒1上，且垫块与支撑棒1的连接面为斜面使载具为倾斜状态。因为在一般情况下，载具所使用的倾斜角度为固定的，因此为了使载具的结构更简单，稳定性更强，直接采用在其下端固定一个倾斜的垫块即可满足。

根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还可以对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对本实用新型的一些修改和变更也应当落入本实用新型的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制，采用与其相同或相似的其它装置，均在本实用新型保护范围内。

Claims (8)

1.一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，其特征在于，包括双排设置在底部的支撑棒(1)，支撑棒(1)的上方对应设有双排的辅助棒(2)，上下位置的支撑棒(1)和辅助棒(2)的两端通过连接组件(8)连接固定，所述支撑棒(1)和辅助棒(2)上均开设有间隔均匀的安装槽(3)用于放置晶圆，所述支撑棒(1)的下方设有改变载具倾斜角度的调节件(4)。

2.如权利要求1所述的一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，其特征在于，所述调节件(4)包括安装轴(4a)，安装轴(4a)的一端固定于载具一端的连接组件(8)上，安装轴(4a)的另一端设有限位部(4b)，该安装轴(4a)上转动安装有支撑块(4c)，且所述支撑块(4c)上设有多个高度不同的支撑部(4d)。

3.如权利要求2所述的一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，其特征在于，所述支撑块(4c)与安装轴(4a)之间采用转动连接，在支撑块(4c)受外力下才能转动，不会受自身重力翻转。

4.如权利要求1所述的一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，其特征在于，所述调节件(4)为倾斜的垫块固定连接于载具下端的支撑棒(1)上，且垫块与支撑棒(1)的连接面为斜面使载具为倾斜状态。

5.如权利要求1所述的一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，其特征在于，所述上方的双排辅助棒(2)之间的间距大于下方双排支撑棒(1)的间距，以便于对晶圆侧面进行支撑固定。

6.如权利要求1或5所述的一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，其特征在于，所述支撑棒(1)和辅助棒(2)的中部均横向连接有加强棒(5)将双排结构连接增加载具的承载强度，同侧上下位置的支撑棒(1)和辅助棒(2)之间设有弧形结构的加强片(6)。

7.如权利要求1所述的一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，其特征在于，所述安装槽(3)的底壁为便于安装和限位的弧形槽，所述连接组件(8)上还设有弧形拉手(7)用于装入晶圆后将载具于加热炉内取放。

8.如权利要求1所述的一种可改善晶圆玻璃钝化形变的载具，其特征在于，所述调节件(4)使载具的倾斜角度为15-18度。