CN220731472U - 一种使用寿命长的石英舟结构 - Google Patents
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 84
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 83
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 56
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 29
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 29
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 17
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 12
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Abstract
本实用新型公开了一种使用寿命长的石英舟结构,本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域,包括石英舟本体,所述石英舟本体包括有石英舟组件、固定组件、调节组件以及放置板,所述石英舟组件以及固定组件从上至下分布于放置板的上方。本实用新型的优点在于:通过根据需要加热的硅片数量,将多组石英舟组件放置在限制杆之间的一侧,然后利用连接块插接于连接槽的内部,便于将多组石英舟组件进行堆放,人工将硅片放置在放置环上,便于工人根据硅片数量来放置石英舟组件,便于工人需要加热的硅片数量进行调节石英舟组件,使得石英舟受到损坏后便于对损坏部位进行更换的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域,具体为一种使用寿命长的石英舟结构。
背景技术
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性,被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业,其中应用较为广泛的器具包括石英舟。在硅片太阳能电池的制备过程中,石英舟是装载、转移硅片的用具,具体是把硅片直立密排插片在石英舟卡槽内,使硅片在反应室内进行工艺作业;其主要用途有:在太阳能电池的扩散、退火过程中装载硅片,使其相互间不接触,同时降低裂片率;此外在各工序之间的转移,也需用到石英舟;
但是在硅片在进行加热时,因无法根据硅片的数量来调节石英舟卡槽的数量,导致石英舟整体在加热时,因石英舟部分位置受到损坏导致整个石英舟需要更换,大幅多减少了石英舟其他部位的使用寿命,以及造成了部分的资源浪费的情况,为此,我们提出一种使用寿命长的石英舟结构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种使用寿命长的石英舟结构。
以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型提供如下技术方案:一种使用寿命长的石英舟结构,包括石英舟本体,所述石英舟本体包括有石英舟组件、固定组件、调节组件以及放置板,所述石英舟组件以及固定组件从上至下分布于放置板的上方,所述固定组件包括有限制杆、定位环以及螺纹杆,所述放置板呈L型,所述放置板顶部两侧均固定连接有限制杆,所述定位环滑动连接于放置板的内壁,所述螺纹杆的外侧滚动连接于放置板的内部,所述石英舟组件包括有限制环、放置环、连接块以及连接槽,两个所述限制杆之间的一侧内壁滑动连接有限制环,多组所述限制环的内壁均固定连接有放置环,多组所述限制环的一侧四周均固定连接有多个连接块,多组所述限制环的另一侧四周均固定连接有连接槽,且多个连接块均插接于连接槽的内壁,所述定位环固定连接有支撑架,所述放置板的顶面两侧均开设有第一滑槽,且第一滑槽未贯穿于放置板的内部,所述放置板顶面的中部开设有第二滑槽,所述第二滑槽的内壁滚动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外侧滚动连接于支撑架的内壁,所述螺纹杆的前端延伸至放置板的外侧,所述螺纹杆的前端固定连接有调节盘,所述支撑架的底端两侧均延伸至第一滑槽的内壁,所述调节组件包括有底座以及伸缩杆,所述底座的顶部一侧转动连接于放置板的底面,所述底座的顶部固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆的顶端滑动连接于放置板的底面上。
优选的,所述支撑架的顶部背面均固定连接有第一挤压环,多个所述限制环正面的底部两侧均开设有第一挤压槽,且第一挤压环与第一挤压槽之间相互配合。
优选的,所述限制环背面固定连接有第二挤压环,所述放置板的正面两侧均开设有第二挤压槽,且第二挤压环与第二挤压槽之间相互配合,所述第二挤压环和第一挤压环分别与第一挤压环和第二挤压槽的大小相同。
采用上述技术方案:与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于
1、通过根据需要加热的硅片数量,将多组石英舟组件放置在限制杆之间的一侧,然后利用连接块插接于连接槽的内部,便于将多组石英舟组件进行堆放,人工将硅片放置在放置环上,便于工人根据硅片数量来放置石英舟组件,通过支撑架的移动便于将第一挤压环挤压于第一挤压槽的内部,对多组放置在一起的石英舟组件进行挤压固定,便于工人需要加热的硅片数量进行调节石英舟组件,使得石英舟受到损坏后便于对损坏部位进行更换的效果,提高了石英舟在受到碰撞情况下使用寿命减少的情况出现。
2、通过将多组石英舟组件之间进行组装且放置在限制杆的侧面,便于工人通过转动调节盘带动螺纹杆进行转动,然后支撑架沿螺纹杆进行移动,然后支撑架与放置板的侧面向多组石英舟组件进行挤压固定,工人通过调节伸缩杆的高度,便于伸缩杆的顶端沿放置板的底面进行滑动,然后使得放置板与底座连接处为圆心进行转动,便于工人对石英舟组件的角度进行调节,便于对硅片进行更好烘烤。
附图说明
图1为本实用新型实施例中石英舟本体示意图;
图2为本实用新型实施例中放置板连接关系示意图;
图3为本实用新型实施例中第一石英舟组件示意图;
图4为本实用新型实施例中第二石英舟组件示意图;
图5为本实用新型实施例中调节组件示意图。
图中:1、石英舟本体;2、石英舟组件;21、限制环;211、第二挤压环;212、第二挤压槽;22、放置环;23、连接块;24、连接槽;3、固定组件;31、限制杆;32、定位环;33、螺纹杆;34、支撑架;341、第一挤压环;342、第一挤压槽;35、第一滑槽;36、第二滑槽;37、调节盘;4、调节组件;41、底座;42、伸缩杆;5、放置板。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是,对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型,但并不构成对本实用新型的限定。此外,下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
实施例1
请参阅图1-图5,本实用新型提供一种技术方案:包括石英舟本体1,石英舟本体1包括有石英舟组件2、固定组件3、调节组件4以及放置板5,石英舟组件2以及固定组件3从上至下分布于放置板5的上方,固定组件3包括有限制杆31、定位环32以及螺纹杆33,放置板5呈L型,放置板5顶部两侧均固定连接有限制杆31,定位环32滑动连接于放置板5的内壁,螺纹杆33的内壁滚动连接于放置板5的内部,石英舟组件2包括有限制环21、放置环22、连接块23以及连接槽24,两个限制杆31之间的一侧内壁滑动连接有限制环21,多组限制环21的内壁均固定连接有放置环22,多组限制环21的一侧四周均固定连接有多个连接块23,多组限制环21的另一侧四周均固定连接有连接槽24,且多个连接块23均插接于连接槽24的内壁。
请参阅图1-4,定位环32的固定连接有支撑架34,放置板5的顶面两侧均开设有第一滑槽35,且第一滑槽35未贯穿于放置板5的内部,支撑架34的底端两侧均延伸至第一滑槽35的内壁,支撑架34的顶部背面均固定连接有第一挤压环341,多个限制环21正面的底部两侧均开设有第一挤压槽342,且第一挤压环341与第一挤压槽342之间相互配合,限制环21背面固定连接有第二挤压环211,放置板5的正面两侧均开设有第二挤压槽212,且第二挤压环211与第二挤压槽212之间相互配合,第二挤压环211和第一挤压环341分别与第一挤压环341和第二挤压槽212的大小相同;
本实施例中,通过限制环21的侧面开设有交互孔,便于硅片在烘烤时,热量便于从交互孔流动至限制环21的内部,便于更换的对硅片进行烘烤的效果,利用第一滑槽35便于对支撑架34进行稳定移动。
在使用时,通过根据需要加热的硅片数量,将多组石英舟组件2放置在限制杆31之间的一侧,然后利用连接块23插接于连接槽24的内部,便于将多组石英舟组件2进行堆放,人工将硅片放置在放置环22上,便于工人根据硅片数量来放置石英舟组件2,通过支撑架34的移动便于将第一挤压环341挤压于第一挤压槽342的内部,对多组放置在一起的石英舟组件2进行挤压固定,便于工人需要加热的硅片数量进行调节石英舟组件2,使得石英舟受到损坏后便于对损坏部位进行更换的效果,提高了石英舟在受到碰撞情况下使用寿命减少的情况出现。
实施例2
请参阅图1-图5,本实用新型提供一种技术方案:包括石英舟本体1,石英舟本体1包括有石英舟组件2、固定组件3、调节组件4以及放置板5,石英舟组件2以及固定组件3从上至下分布于放置板5的上方,固定组件3包括有限制杆31、定位环32以及螺纹杆33,放置板5呈L型,放置板5顶部两侧均固定连接有限制杆31,定位环32滑动连接于放置板5的内壁,螺纹杆33的内壁滚动连接于放置板5的内部,石英舟组件2包括有限制环21、放置环22、连接块23以及连接槽24,两个限制杆31之间的一侧内壁滑动连接有限制环21,多组限制环21的内壁均固定连接有放置环22,多组限制环21的一侧四周均固定连接有多个连接块23,多组限制环21的另一侧四周均固定连接有连接槽24,且多个连接块23均插接于连接槽24的内壁。
请参阅图1-5,支撑架34的顶部背面均固定连接有第一挤压环341,多个限制环21正面的底部两侧均开设有第一挤压槽342,且第一挤压环341与第一挤压槽342之间相互配合,限制环21背面固定连接有第二挤压环211,放置板5的正面两侧均开设有第二挤压槽212,且第二挤压环211与第二挤压槽212之间相互配合,第二挤压环211和第一挤压环341分别与第一挤压环341和第二挤压槽212的大小相同,放置板5顶面的中部开设有第二滑槽36,第二滑槽36的内壁滚动连接有螺纹杆33,螺纹杆33的外侧滚动连接于支撑架34的内壁,螺纹杆33的前端延伸至放置板5的外侧,螺纹杆33延伸至放置板5的外侧未设有螺纹结构,螺纹杆33的前端固定连接有调节盘37,调节组件4包括有底座41以及伸缩杆42,底座41的顶部一侧转动连接于放置板5的底面,底座41的顶部固定连接有伸缩杆42,伸缩杆42的顶端滑动连接于放置板5的底面上;
本实施例中,利用支撑架34的中心底面延伸至第二滑槽36的内壁,便于螺纹杆33贯穿于内部,使得工人转动调节盘37时,螺纹杆33带动支撑架34在第二滑槽36的内部中进行移动。
在使用时,通过将多组石英舟组件2之间进行组装且放置在限制杆31的侧面,便于工人通过转动调节盘37带动螺纹杆33进行转动,然后支撑架34沿螺纹杆33进行移动,然后支撑架34与放置板5的侧面向多组石英舟组件2进行挤压固定,工人通过调节伸缩杆42的高度,便于伸缩杆42的顶端沿放置板5的底面进行滑动,然后使得放置板5与底座41连接处为圆心进行转动,便于工人对石英舟组件2的角度进行调节,便于对硅片进行更好烘烤。
工作原理:通过根据需要加热的硅片数量,将多组石英舟组件2放置在限制杆31之间的一侧,然后利用连接块23插接于连接槽24的内部,便于将多组石英舟组件2进行堆放,人工将硅片放置在放置环22上,便于工人根据硅片数量来放置石英舟组件2,通过支撑架34的移动便于将第一挤压环341挤压于第一挤压槽342的内部,对多组放置在一起的石英舟组件2进行挤压固定,便于工人需要加热的硅片数量进行调节石英舟组件2,使得石英舟受到损坏后便于对损坏部位进行更换的效果,提高了石英舟在受到碰撞情况下使用寿命减少的情况出现,通过将多组石英舟组件2之间进行组装且放置在限制杆31的侧面,便于工人通过转动调节盘37带动螺纹杆33进行转动,然后支撑架34沿螺纹杆33进行移动,然后支撑架34与放置板5的侧面向多组石英舟组件2进行挤压固定,工人通过调节伸缩杆42的高度,便于伸缩杆42的顶端沿放置板5的底面进行滑动,然后使得放置板5与底座41连接处为圆心进行转动,便于工人对石英舟组件2的角度进行调节,便于对硅片进行更好烘烤。
以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明,但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言,在不脱离本实用新型原理和精神的情况下,对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型,仍落入本实用新型的保护范围内。
Claims (3)
1.一种使用寿命长的石英舟结构,包括石英舟本体(1),其特征在于:所述石英舟本体(1)包括有石英舟组件(2)、固定组件(3)、调节组件(4)以及放置板(5),所述石英舟组件(2)以及固定组件(3)从上至下分布于放置板(5)的上方,所述固定组件(3)包括有限制杆(31)、定位环(32)以及螺纹杆(33),所述放置板(5)呈L型,所述放置板(5)顶部两侧均固定连接有限制杆(31),所述定位环(32)滑动连接于放置板(5)的内壁,所述螺纹杆(33)的外侧滚动连接于放置板(5)的内部,所述石英舟组件(2)包括有限制环(21)、放置环(22)、连接块(23)以及连接槽(24),两个所述限制杆(31)之间的一侧内壁滑动连接有限制环(21),多组所述限制环(21)的内壁均固定连接有放置环(22),多组所述限制环(21)的一侧四周均固定连接有多个连接块(23),多组所述限制环(21)的另一侧四周均固定连接有连接槽(24),且多个连接块(23)均插接于连接槽(24)的内壁,所述定位环(32)固定连接有支撑架(34),所述放置板(5)的顶面两侧均开设有第一滑槽(35),且第一滑槽(35)未贯穿于放置板(5)的内部,所述放置板(5)顶面的中部开设有第二滑槽(36),所述第二滑槽(36)的内壁滚动连接有螺纹杆(33),所述螺纹杆(33)的外侧滚动连接于支撑架(34)的内壁,所述螺纹杆(33)的前端延伸至放置板(5)的外侧,所述螺纹杆(33)的前端固定连接有调节盘(37),所述支撑架(34)的底端两侧均延伸至第一滑槽(35)的内壁,所述调节组件(4)包括有底座(41)以及伸缩杆(42),所述底座(41)的顶部一侧转动连接于放置板(5)的底面,所述底座(41)的顶部固定连接有伸缩杆(42),所述伸缩杆(42)的顶端滑动连接于放置板(5)的底面上。
2.根据权利要求1所述的一种使用寿命长的石英舟结构,其特征在于:所述支撑架(34)的顶部背面均固定连接有第一挤压环(341),多个所述限制环(21)正面的底部两侧均开设有第一挤压槽(342),且第一挤压环(341)与第一挤压槽(342)之间相互配合。
3.根据权利要求2所述的一种使用寿命长的石英舟结构,其特征在于:所述限制环(21)背面固定连接有第二挤压环(211),所述放置板(5)的正面两侧均开设有第二挤压槽(212),且第二挤压环(211)与第二挤压槽(212)之间相互配合,所述第二挤压环(211)和第一挤压环(341)分别与第一挤压环(341)和第二挤压槽(212)的大小相同。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202322104377.9U CN220731472U (zh) | 2023-08-04 | 2023-08-04 | 一种使用寿命长的石英舟结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202322104377.9U CN220731472U (zh) | 2023-08-04 | 2023-08-04 | 一种使用寿命长的石英舟结构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN220731472U true CN220731472U (zh) | 2024-04-05 |
Family
ID=90489056
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202322104377.9U Active CN220731472U (zh) | 2023-08-04 | 2023-08-04 | 一种使用寿命长的石英舟结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN220731472U (zh) |
-
2023
- 2023-08-04 CN CN202322104377.9U patent/CN220731472U/zh active Active
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GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |