CN220288196U - 一种四氯化铪提纯炉胆 - Google Patents

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钟明龙
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Jiangxi Jinhe New Materials Co ltd
Shenzhen Zhonghafnium Technology Group Co.,Ltd.
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Shenzhen Zhong Hafnium Technology Co ltd
Jiangxi Jinhe New Materials Co ltd
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Abstract

本实用新型涉及一种提纯炉胆,尤其涉及一种四氯化铪提纯炉胆。本实用新型提供一种减少提纯四氯化铪操作步骤的四氯化铪提纯炉胆。一种四氯化铪提纯炉胆,包括有外壳、加热管、挥发桶、炉体、顶板和出气口等;挥发桶外围设置加热管,由外壳包裹,外壳顶部设置有顶板,炉体通过顶板中央开口处与挥发桶连接,在炉体的顶部设置有出气口。本实用新型通过利用四氯化铪的物理性质,对其进行蒸馏提纯,依靠加热管对挥发桶内部的材料进行控温加热,减少了提纯步骤并在相同时间内提高了四氯化铪的产量。

Description

一种四氯化铪提纯炉胆
技术领域
本实用新型涉及一种提纯炉胆,尤其涉及一种四氯化铪提纯炉胆。
背景技术
目前高纯四氯化铪的制备主要是两步法,先通过氧化铪和碳或结晶铪和氯气反应制备粗四氯化铪,再进行精提纯,但这种方法生产的四氯化铪含有较多的杂质,此方法下,提纯成本较大,提纯步骤较为繁琐且提纯处的四氯化铪有较多的有害物质,无法直接在制备半导体时使用,为了方便四氯化铪的提纯处理,有必要设计一种新型设备给四氯化铪的提纯。
实用新型内容
本实用新型为了克服四氯化铪提纯步骤较为繁琐的缺点,本实用新型提供一种减少操作步骤的四氯化铪提纯炉胆。
本实用新型提供了这样一种四氯化铪提纯炉胆,包括有外壳、顶板、炉体、出气口、挥发桶和加热管,挥发桶外围设置加热管,由外壳包裹,外壳顶部设置有顶板,炉体通过顶板中央开口处与挥发桶连接,在炉体的顶部设置有出气口。
优选地,还包括有支撑板,在外壳的顶部开口处设置有支撑板,支撑板与顶板直接连接。
优选地,还包括有密封板与拉杆,在挥发桶上部与炉体相连的部分设置密封板,密封板与拉杆直连。
优选地,还包括有隔板,在顶板的下端额外增设隔板。
优选地,还包括有观察窗,在底部外壳处设置观察窗。
优选地,还包括有温度感应器,在炉体外部设置温度感应器。
本实用新型的有益效果:
本实用新型通过利用四氯化铪的物理性质,对其进行蒸馏提纯,依靠加热管对挥发桶内部的材料进行控温加热,实现对四氯化铪粗矿的单向提取,同时在密封板的作用下,因为冷凝而未被完全排出四氯化铪可以在机器降温之后落在密封板上,避免了四氯化铪浪费,提高了四氯化铪的产量。
附图说明
图1为本实用新型正面结构示意图。
图2为本实用新内部侧面结构示意图。
图3为本实用新型装置内部结构示意图。
附图中的标记为:1-外壳,2-观察窗,3-支撑板,4-顶板,5-炉体,6-温度感应器,7-出气口,8-密封板,9-隔板,10-拉杆,11-加热管,12-挥发桶。
实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
实施例
一种四氯化铪提纯炉胆,如图1-图3所示,包括有外壳1、顶板4、炉体5、出气口7、挥发桶12和加热管11,挥发桶12外围套设加热管11,由外壳1包裹,外壳1顶部设置有顶板4,炉体5通过顶板4中央开口处与挥发桶12直接连接,在炉体5的顶部焊接有出气口7。
根据四氯化铪沸点为319℃的特性,经由挥发桶12装料后,随着加热管11的加温,四氯化铪升华成为气体,为了节约能源并保护挥发桶12和加热管11,挥发桶12外设置的外壳1可由耐高温的隔热材料制成,减少直接把挥发桶12暴露在外可能造成的损坏的同时降低热量的损耗,经由加热管11加热后生成的四氯化铪气体可飘至炉体5内并经由出气口7排出实现提纯。
图1和图3所示,还包括有支撑板3,在外壳1的顶部开口处设置有支撑板3,支撑板3与顶板4直接连接。
当设置有支撑板3时,支撑板3可嵌入外壳1开口处并与顶板4直接相连,可提高挥发桶12与炉体5的密封性,减少四氯化铪的损耗。
图2所示,还包括有隔板9,在顶板4的下端额外焊接隔板9。
当在顶板4的下端焊接隔板9时,由于加热时炉体5内部温度较高,气压较低,在冷却后,在外部高气压区域的作用下就易发生气体倒灌进炉体5内部,在隔板9的作用下,气体倒灌所代入的杂质就可以被拦截在隔板9上。
图1-图3所示,还包括有密封板8与拉杆10,在挥发桶12上部与炉体5相连的部分设置密封板8,密封板8与拉杆10焊接。当在挥发桶12上部与炉体5相连的部分设置密封板8后,密封板8可依靠拉杆10带动以中断炉体5与挥发桶12的连接,依靠密封板8控制四氯化铪流动,此外设备停止运行后,防止尚未完全排出的四氯化铪冷却后重新落回挥发桶12中。
图1和图3所示,还包括有观察窗2,在底部外壳1处嵌入观察窗2。
观察窗2可以是玻璃或其他耐高温的透明材料,在外壳1处设置观察窗2时,实验人员就可以通过观察窗2来观察挥发桶12内部材料情况,增加方便操作人员操作。
图1和图3所示,还包括有温度感应器6,在炉体5外部嵌入温度感应器6。
在炉体5外部嵌入温度感应器6时,就可通过观察温度感应器6所反映的炉体5内部温度来调节加热管11温度,增加四氯化铪的排出效率,同时防止其他可能的杂质由于温度原因被排出。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形、改进及替代,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种四氯化铪提纯炉胆,其特征在于,包括有外壳(1)、顶板(4)、炉体(5)、出气口(7)、挥发桶(12)和加热管(11),挥发桶(12)外围连接用于加热四氯化铪的加热管(11),由外壳(1)包裹,炉体(5)通过顶板(4)中央开口处与用于盛放含有四氯化铪原材料的挥发桶(12)直接连接,在炉体(5)的顶部连接有用于四氯化铪高温气体排出的出气口(7)。
2.根据权利要求1所述的一种四氯化铪提纯炉胆,其特征在于,还包括有支撑板(3),在外壳(1)的顶部开口处连接有支撑板(3),支撑板(3)与顶板(4)直接连接。
3.根据权利要求2所述的一种四氯化铪提纯炉胆,其特征在于,还包括有密封板(8)与拉杆(10),在挥发桶(12)上部与炉体(5)相连的部分设置密封板(8),密封板(8)与拉杆(10)直接连接。
4.根据权利要求3所述的一种四氯化铪提纯炉胆,其特征在于,还包括有隔板(9),隔板(9)连接在顶板(4)下端。
5.根据权利要求4所述的一种四氯化铪提纯炉胆,其特征在于,还包括有观察窗(2),在底部外壳(1)处设置观察窗(2)。
6.根据权利要求5所述的一种四氯化铪提纯炉胆,其特征在于,还包括有温度感应器(6),在炉体(5)外部设置温度感应器(6)。
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