CN220287111U - 一种硅烷气体应急排泄装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅烷气体应急排泄装置。该硅烷气体应急排泄装置包括硅烷气管、抽气管、氮气管以及排放管，硅烷气管的一端与排放管连接、另一端与硅烷气源连接，氮气管的一端与排放管连接、另一端与氮气源连接，硅烷气管上沿出气方向依次设有硅烷阀、第一高压手阀、一级硅烷减压阀，氮气管上沿出气方向依次设有放空阀以及氮气减压阀，氮气管与硅烷气管通过连接管连接，连接管的一端连接在放空阀进气端一侧的氮气管上、另一端连接在第一高压手阀进气端一侧的硅烷气管上。本实用新型通过可靠的泄漏应急处理设计，高度可靠的密封连接方式，彻底消除安全隐患。本实用新型降低传输过程中的泄漏，妥善处理排放的气体和泄漏钢瓶，有效降低环境污染。
Description
技术领域
本实用新型属于应急排放装置技术领域，具体涉及一种硅烷气体应急排泄装置。
背景技术
硅烷是一种无色、与空气接触并会引起燃烧的气体，该气体与空气接触会引起自发燃烧并放出白色的二氧化硅或黄褐色的无定形硅的浓烟。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤。意外的自发燃烧可能导致火灾或爆炸。
硅烷一般使用气瓶进行储存，瓶阀一般使用隔膜阀进行密封，由于硅烷的自燃性，瓶阀微漏的情况下与空气中的氧反应成二氧化硅，而瓶阀密封面积聚的二氧化硅极容易造成密封面损伤导致硅烷从瓶阀口发生大量硅烷泄漏。
目前，处理硅烷钢瓶泄漏的应急操作，一般是在确保人员安全的前提下，关闭钢瓶阀切断泄漏源，转移通风无助燃物的场所，以避免硅烷气体聚集，给钢瓶喷雾状水降温，且绝对禁止扑灭火焰，燃烧生成的固体物质可能暂时堵塞泄漏点，任何的扰动将使硅烷再次泄漏，且泄漏过程中产生大量的白色的二氧化硅或黄褐色的无定形硅的浓烟，对环境造成极大污染，安全性也无法做到保障。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种硅烷气体应急排泄装置。
本实用新型的一种硅烷气体应急排泄装置的技术方案是：
一种硅烷气体应急排泄装置，包括硅烷气管、抽气管、氮气管以及排放管，所述硅烷气管的一端与排放管连接、另一端与硅烷气源连接，所述氮气管的一端与排放管连接、另一端与氮气源连接，所述硅烷气管上沿出气方向依次设有硅烷阀、第一高压手阀、一级硅烷减压阀，所述氮气管上沿出气方向依次设有放空阀以及氮气减压阀，所述氮气管与硅烷气管通过连接管连接，所述连接管的一端连接在放空阀进气端一侧的氮气管上、另一端连接在第一高压手阀进气端一侧的硅烷气管上，所述抽气管的一端连接在第一高压手阀和连接管之间的硅烷气管上、另一端与排放管连接，所述抽气管上沿出气方向依次设有第二高压手阀以及真空泵。
进一步的，所述一级硅烷减压阀出气端一侧的硅烷气管上沿出气方向依次设有二级硅烷减压阀、低压压力表以及第一低压手阀。
进一步的，所述连接管与硅烷阀之间的硅烷气管上设有高压压力表。
进一步的，所述第二高压手阀与真空泵之间的抽气管上设有第三高压手阀，所述真空泵出气端一侧的抽气管上设有第二低压手阀。
进一步的，所述连接管上设有氮气阀，所述氮气阀出气端一侧的连接管上设有第一止回阀，所述氮气减压阀出气端一侧的氮气管上设有第二止回阀。
进一步的，所述氮气源为氮气钢瓶，所述硅烷气源为硅烷钢瓶。
本实用新型提供了一种硅烷气体应急排泄装置，其有益效果是：
本实用新型使用时，打开硅烷钢瓶阀和硅烷阀；开第一高压手阀，调节一级减压阀和二级减压阀至出口压力为0.1MPa，打开第一低压手阀，此时排放管的管口有硅烷在燃烧。打开放空阀，调节氮气减压阀至出口压力0.12MPa，观察排放管的管口，如果还有燃烧则适量调大氮气减压阀压力，此时硅烷在氮气的保护下进入缓慢且无烟化排放的过程。当硅烷钢瓶下出口压力到达0.12MPa时，关闭第一高压手阀、第一低压手阀，打开第二高压手阀、第三高压手阀、第二低压手阀，打开真空泵对硅烷钢瓶内的硅烷进行抽真空。抽至-0.08MPa时关闭放空阀，关闭第二高压手阀，打开氮气阀充入硅烷钢瓶0.1MPa压力的氮气。关闭氮气阀，打开第二高压手阀继续进行抽真空，抽至-0.08MPa后，最终以观察排放管的管口无燃烧为准。关闭真空泵，关闭第二高压手阀、第三高压手阀、第二低压手阀；打开氮气阀充入硅烷钢瓶0.1MPa压力的氮气，关闭硅烷钢瓶手阀。打开第一高压手阀、第一低压手阀对管线中残余硅烷吹扫干净后关闭氮气钢瓶瓶阀和氮气阀；最后拆开硅烷钢瓶阀的连接，搬运至维修台拆开瓶阀。本实用新型通过可靠的泄漏应急处理设计，高度可靠的密封连接方式，彻底消除安全隐患。本实用新型降低传输过程中的泄漏，妥善处理排放的气体和泄漏钢瓶，有效降低环境污染。
附图说明
图1是本实用新型实施例的硅烷气体应急排泄装置的原理图；
图中：1、硅烷气管；2、抽气管；3、氮气管；4、连接管；5、排放管；6、氮气钢瓶；7、硅烷钢瓶；8、硅烷阀；9、高压压力表；10、第一高压手阀；11、一级减压阀；12、二级减压阀；13、低压压力表；14、第一低压手阀；15、第二高压手阀；16、第三高压手阀；17、真空泵；18、第二低压手阀；19、氮气阀；20、第一止回阀；21、放空阀；22、氮气减压阀；23、第二止回阀。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：
本实用新型的硅烷气体应急排泄装置的具体实施例，如图1所示，包括硅烷气管1、抽气管2、氮气管3以及排放管5，硅烷气管1的一端与排放管5连接、另一端与硅烷气源连接，氮气管3的一端与排放管5连接、另一端与氮气源连接，硅烷气管1上沿出气方向依次设有硅烷阀8、第一高压手阀10、一级硅烷减压阀，氮气管3上沿出气方向依次设有放空阀21以及氮气减压阀22，氮气管3与硅烷气管1通过连接管4连接，连接管4的一端连接在放空阀21进气端一侧的氮气管3上、另一端连接在第一高压手阀10进气端一侧的硅烷气管1上，抽气管2的一端连接在第一高压手阀10和连接管4之间的硅烷气管1上、另一端与排放管5连接，抽气管2上沿出气方向依次设有第二高压手阀15以及真空泵17。
本实施例中，一级硅烷减压阀出气端一侧的硅烷气管1上沿出气方向依次设有二级硅烷减压阀、低压压力表13以及第一低压手阀14。连接管4与硅烷阀8之间的硅烷气管1上设有高压压力表9。第二高压手阀与真空泵17之间的抽气管2上设有第三高压手阀16，真空泵17出气端一侧的抽气管2上设有第二低压手阀18。连接管4上设有氮气阀19，氮气阀19出气端一侧的连接管4上设有第一止回阀20，氮气减压阀22出气端一侧的氮气管3上设有第二止回阀23。氮气源为氮气钢瓶6，硅烷气源为硅烷钢瓶7。
本实用新型使用时，打开硅烷钢瓶7阀和硅烷阀8；开第一高压手阀10，调节一级减压阀11和二级减压阀12至出口压力为0.1MPa，打开第一低压手阀14，此时排放管5的管口有硅烷在燃烧。打开放空阀21，调节氮气减压阀22至出口压力0.12MPa，观察排放管5的管口，如果还有燃烧则适量调大氮气减压阀22压力，此时硅烷在氮气的保护下进入缓慢且无烟化排放的过程。当硅烷钢瓶7下出口压力到达0.12MPa时，关闭第一高压手阀10、第一低压手阀14，打开第二高压手阀15、第三高压手阀16、第二低压手阀18，打开真空泵17对硅烷钢瓶7内的硅烷进行抽真空。抽至-0.08MPa时关闭放空阀21，关闭第二高压手阀15，打开氮气阀19充入硅烷钢瓶70.1MPa压力的氮气。关闭氮气阀19，打开第二高压手阀15继续进行抽真空，抽至-0.08MPa后，最终以观察排放管5的管口无燃烧为准。关闭真空泵17，关闭第二高压手阀15、第三高压手阀16、第二低压手阀18；打开氮气阀19充入硅烷钢瓶70.1MPa压力的氮气，关闭硅烷钢瓶7手阀。打开第一高压手阀10、第一低压手阀14对管线中残余硅烷吹扫干净后关闭氮气钢瓶6瓶阀和氮气阀19；最后拆开硅烷钢瓶7阀的连接，搬运至维修台拆开瓶阀。本实用新型通过可靠的泄漏应急处理设计，高度可靠的密封连接方式，彻底消除安全隐患。本实用新型降低传输过程中的泄漏，妥善处理排放的气体和泄漏钢瓶，有效降低环境污染。
以上仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种硅烷气体应急排泄装置，其特征在于，包括硅烷气管、抽气管、氮气管以及排放管，所述硅烷气管的一端与排放管连接、另一端与硅烷气源连接，所述氮气管的一端与排放管连接、另一端与氮气源连接，所述硅烷气管上沿出气方向依次设有硅烷阀、第一高压手阀、一级硅烷减压阀，所述氮气管上沿出气方向依次设有放空阀以及氮气减压阀，所述氮气管与硅烷气管通过连接管连接，所述连接管的一端连接在放空阀进气端一侧的氮气管上、另一端连接在第一高压手阀进气端一侧的硅烷气管上，所述抽气管的一端连接在第一高压手阀和连接管之间的硅烷气管上、另一端与排放管连接，所述抽气管上沿出气方向依次设有第二高压手阀以及真空泵。
2.根据权利要求1所述的硅烷气体应急排泄装置，其特征在于，所述一级硅烷减压阀出气端一侧的硅烷气管上沿出气方向依次设有二级硅烷减压阀、低压压力表以及第一低压手阀。
3.根据权利要求2所述的硅烷气体应急排泄装置，其特征在于，所述连接管与硅烷阀之间的硅烷气管上设有高压压力表。
4.根据权利要求1所述的硅烷气体应急排泄装置，其特征在于，所述第二高压手阀与真空泵之间的抽气管上设有第三高压手阀，所述真空泵出气端一侧的抽气管上设有第二低压手阀。
5.根据权利要求1所述的硅烷气体应急排泄装置，其特征在于，所述连接管上设有氮气阀，所述氮气阀出气端一侧的连接管上设有第一止回阀，所述氮气减压阀出气端一侧的氮气管上设有第二止回阀。
6.根据权利要求1所述的硅烷气体应急排泄装置，其特征在于，所述氮气源为氮气钢瓶，所述硅烷气源为硅烷钢瓶。
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