CN220253171U - 一种离子注入机圆晶转运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种离子注入机圆晶转运装置，其包括：支撑板，所述支撑板的外表面活动连接有固定板，所述固定板的下表面固定连接有加固板，所述支撑板上设置有螺纹孔，所述支撑板上设置有限位孔，所述限位孔的内部活动连接有导向杆，所述支撑板的下表面活动连接有转动轴，所述转动轴的外表面固定连接有移动轮；支撑杆，所述支撑杆活动连接在支撑板的上表面，所述支撑杆的上表面固定连接有挂板，所述挂板上设置有滑槽，所述滑块的下表面固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的下表面固定连接有固定块，所述固定块的下表面固定连接有吸盘，通过以上装置，可调节装置高度，且一次能转运多个圆晶，方便移动，节省人力，只需一人即可安装。

Description

一种离子注入机圆晶转运装置

技术领域

本实用新型涉及转运装置技术领域，特别涉及一种离子注入机圆晶转运装置。

背景技术

现有的离子注入机圆晶转运装置，通过机械臂与吸盘进行转运，但这种方式，机械臂安装步骤繁琐，重量大，需要多人进行安装，且调试周期长，如中国专利公开了一种“离子注入机圆晶转运装置”，其申请号为“202123146127.9”，其通过导向块、导向槽实现精准导向，并通过第一丝杠驱动结构能够达到高精度驱动滑座移动，实现调整圆晶水平位置，通过支撑柱穿设于滑座，提升支撑柱伸缩时的稳定性，并实现精确调整支撑柱伸缩量，从而达到提升圆晶搬运摆放的精准度，提供后续加工的精度，但是其安装步骤繁琐，且重量较大，需要多人进行安装，调试周期长。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种离子注入机圆晶转运装置，通过支撑板、固定板、加固板、螺纹孔、螺纹杆，方便调节机身高度，适应不同高度的机器，且使移动轮离开地面，防止在使用过程中发生位移，通过滑槽、支撑杆、挂板、移动槽，方便前后左右移动，节省人力，只需一人即可安装。

本实用新型还提供具有上述一种离子注入机圆晶转运装置，包括：支撑板，所述支撑板的外表面活动连接有固定板，所述固定板的下表面固定连接有加固板，所述支撑板上设置有螺纹孔，所述支撑板上设置有限位孔，所述限位孔的内部活动连接有导向杆，所述支撑板的下表面活动连接有转动轴，所述转动轴的外表面固定连接有移动轮；支撑杆，所述支撑杆活动连接在支撑板的上表面，所述支撑杆的上表面固定连接有挂板，所述挂板上设置有滑槽，所述滑块的下表面固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的下表面固定连接有固定块，所述固定块的下表面固定连接有吸盘，通过以上装置，可调节装置高度，且一次能转运多个圆晶，方便移动，节省人力，只需一人即可安装。

根据本实用新型所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述加固板上活动连接有固定栓，所述固定栓贯穿加固板，通过以上装置，方便固定整体。

根据本实用新型所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述支撑板的外表面固定连接有电机，所述电机的输出端与螺纹杆固定连接，通过以上装置，方便固定整体、调整机身高度。

根据本实用新型所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述支撑板的外表面固定连接有安装块，所述安装块与导向杆固定连接，通过以上装置，避免使用过程中发生脱落。

根据本实用新型所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述支撑板上设置有移动槽，所述支撑杆活动连接在移动槽的内部，通过以上装置，方便前后移动。

根据本实用新型所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述支撑杆上转动连接有连接轴，所述连接轴的外表面固定连接有滑轮，所述滑轮与移动槽的内底面活动连接，通过以上装置，方便前后移动。

根据本实用新型所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述滑槽的内部活动连接有挂轮，所述挂轮的上表面活动连接有滑块，通过以上装置，方便左右移动。

根据本实用新型所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述固定块与吸盘的连接处设置有安装板，所述安装板与固定块、吸盘固定连接，通过以上装置，方便对圆晶进行转运。

有益效果

1、与现有技术相比，该离子注入机圆晶转运装置，通过支撑板、固定板、加固板、螺纹孔、螺纹杆，方便调节机身高度，适应不同高度的机器，且使移动轮离开地面，防止在使用过程中发生位移。

2、与现有技术相比，该离子注入机圆晶转运装置，通过滑槽、支撑杆、挂板、移动槽，方便前后左右移动，节省人力，只需一人即可安装。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明；

图1为本实用新型离子注入机圆晶转运装置的正视结构图；

图2为本实用新型离子注入机圆晶转运装置的仰视结构图；

图3为本实用新型离子注入机圆晶转运装置的剖面结构图。

图例说明：

1、支撑板；2、固定板；3、加固板；4、螺纹孔；5、螺纹杆；6、限位孔；7、导向杆；8、滑槽；9、滑块；10、伸缩杆；11、固定块；12、安装板；13、吸盘；14、固定栓；15、转动轴；16、移动轮；17、滑轮；18、连接轴；19、安装块；20、电机；21、挂板；22、支撑杆；23、移动槽；24、挂轮。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

参照图1-3，本实用新型实施例一种离子注入机圆晶转运装置，其包括：支撑板1，支撑板1的外表面活动连接有固定板2，固定板2的下表面固定连接有加固板3，通过以上结构，防止装置在使用过程中发生偏移，支撑板1上设置有螺纹孔4，螺纹孔4的内部螺纹连接有螺纹杆5，通过以上结构，方便调节机身高度，且固定整体，支撑板1上设置有限位孔6，限位孔6的内部活动连接有导向杆7，通过以上结构，防止在使用过程中，支撑板1、固定板2、加固板3发生脱落，支撑板1的下表面活动连接有转动轴15，转动轴15的外表面固定连接有移动轮16，通过以上结构，方便装置移动，加固板3上活动连接有固定栓14，固定栓14贯穿加固板3，通过以上结构，方便固定整体，支撑板1的外表面固定连接有电机20，电机20的输出端与螺纹杆5固定连接，通过以上结构，为装置升降提供动力，支撑板1的外表面固定连接有安装块19，安装块19与导向杆7固定连接，通过以上结构，防止发生脱落，固定块11与吸盘13的连接处设置有安装板12，安装板12与固定块11、吸盘13固定连接，通过以上结构，防止圆晶碰撞。

支撑杆22，支撑杆22活动连接在支撑板1的上表面，支撑杆22的上表面固定连接有挂板21，挂板21上设置有滑槽8，通过以上结构，方便左右移动，滑块9的下表面固定连接有伸缩杆10，伸缩杆10的下表面固定连接有固定块11，固定块11的下表面固定连接有吸盘13，通过以上结构，方便转运圆晶，支撑板1上设置有移动槽23，支撑杆22活动连接在移动槽23的内部，支撑杆22上转动连接有连接轴18，连接轴18的外表面固定连接有滑轮17，滑轮17与移动槽23的内底面活动连接，通过以上结构，方便前后移动，滑槽8的内部活动连接有挂轮24，挂轮24的上表面活动连接有滑块9，通过以上结构，方便左右移动。

工作原理：在使用时，将装置推至需要安装的地方，打开电机20，电机20带动螺纹杆5，螺纹杆5旋转，使装置升起，移动轮15离开地面，防止发生偏移，调节好高度，将固定栓14固定在地面上，通过支撑杆22与滑块9，方便前后左右移动，通过吸盘13，将圆晶进行转运。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (7)

1.一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，包括：支撑板(1)，所述支撑板(1)的外表面活动连接有固定板(2)，所述固定板(2)的下表面固定连接有加固板(3)，所述支撑板(1)上设置有螺纹孔(4)，所述螺纹孔(4)的内部螺纹连接有螺纹杆(5)，所述支撑板(1)上设置有限位孔(6)，所述限位孔(6)的内部活动连接有导向杆(7)，所述支撑板(1)的下表面活动连接有转动轴(15)，所述转动轴(15)的外表面固定连接有移动轮(16)；

支撑杆(22)，所述支撑杆(22)活动连接在支撑板(1)的上表面，所述支撑杆(22)的上表面固定连接有挂板(21)，所述挂板(21)上设置有滑槽(8)，所述滑槽(8)的内部活动连接有挂轮(24)，所述挂轮(24)的上表面活动连接有滑块(9)，所述滑块(9)的下表面固定连接有伸缩杆(10)，所述伸缩杆(10)的下表面固定连接有固定块(11)，所述固定块(11)的下表面固定连接有吸盘(13)。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，所述加固板(3)上活动连接有固定栓(14)，所述固定栓(14)贯穿加固板(3)。

3.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，所述支撑板(1)的外表面固定连接有电机(20)，所述电机(20)的输出端与螺纹杆(5)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，所述支撑板(1)的外表面固定连接有安装块(19)，所述安装块(19)与导向杆(7)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，所述支撑板(1)上设置有移动槽(23)，所述支撑杆(22)活动连接在移动槽(23)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，所述支撑杆(22)上转动连接有连接轴(18)，所述连接轴(18)的外表面固定连接有滑轮(17)，所述滑轮(17)与移动槽(23)的内底面活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，所述固定块(11)与吸盘(13)的连接处设置有安装板(12)，所述安装板(12)与固定块(11)、吸盘(13)固定连接。