CN220227689U - 一种镀膜设备行星齿轮系结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种镀膜设备行星齿轮系结构，包括行星保持架以及驱动行星保持架转动的行星驱动装置，还包括与行星保持架同轴设置的太阳轮，所述行星保持架沿周向转动设置有若干行星轮，所述行星轮与太阳轮啮合；所述行星轮的底端设置有硅片治具；本实用新型通过行星驱动装置带动若干行星轮绕着太阳轮进行公转，在行星轮工装的同时通过行星轮与太阳轮之间的啮合结构使得行星轮绕着自身的轴线进行自转，进而通过行星轮带动硅片治具进行公转与自转，保证了靶材能够均匀喷射至硅片的表面形成厚度均匀的镀膜层，提高了硅片表面的镀膜质量。

Description

一种镀膜设备行星齿轮系结构

技术领域

本实用新型属于硅片镀膜的技术领域，涉及一种镀膜设备行星齿轮系结构。

背景技术

进行硅片镀膜时，现有技术通常是对应硅片的镀膜面设置靶材喷射设备，通过靶材喷射设备将靶材沿固定路径喷射至硅片上形成镀膜层。但是，现有技术中，通过移动靶材喷射设备的喷头进行镀膜存在难以保证镀膜厚度均匀性的问题，使得镀膜层总是在喷涂起始位置以及终止位置的厚度更厚。因此，为了保证硅片镀膜厚度的均匀性，同时保证能够完全覆盖硅片的镀膜面进行镀膜，本实用新型公开了一种镀膜设备行星齿轮系结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜设备行星齿轮系结构，能够通过太阳轮与行星轮配合构成的行星齿轮系结构带动硅片进行公转与自转，进而使得靶材能够均匀镀膜至硅片表面，保障了镀膜的均匀性。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种镀膜设备行星齿轮系结构，包括行星保持架以及驱动行星保持架转动的行星驱动装置，还包括与行星保持架同轴设置的太阳轮，所述行星保持架沿周向转动设置有若干行星轮，所述行星轮与太阳轮啮合；所述行星轮的底端设置有硅片治具。

行星保持架与太阳轮同轴设置，且行星保持架能够在行星驱动装置的驱动下相对于太阳轮同轴转动，在行星保持架转动的过程中，太阳轮保持固定。行星保持架上沿周向转动安装有若干行星轮。在行星驱动装置带动行星保持架转动时，进而通过行星保持架带动若干行星轮绕着太阳轮进行工装。同时，由于行星轮与太阳轮之间的啮合关系，使得行星轮绕着太阳轮进行公转的同时，还能够使得行星轮绕着自身的轮轴进行自转。进而通过行星轮的公转与自转带动其底部的硅片治具绕着自身轴线自转以及绕着太阳轮进行公转，硅片治具用于安装夹持镀膜硅片，进而带动硅片进行自转与公转。通过硅片的自转与公转，使得镀膜靶材能够更加均匀的射击至硅片的表面，进而保证了镀膜的均匀性。

为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述行星保持架上沿周向均匀设置有若干安装孔，所述安装孔中设置有台阶轴套，所述台阶轴套的内孔中转动安装有行星轮轴，所述行星轮轴的顶端延伸至行星保持架的上方并套装有行星轮，所述行星轮轴的底端延伸至行星保持架的下方并同轴安装有硅片治具。

为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述硅片治具包括轴连接盘、上治具、下治具，所述轴连接盘的顶端与行星轮轴的底端同轴连接，所述轴连接盘的底端同轴连接有上治具，所述上治具的底端同轴安装有下治具，所述上治具与下治具之间构成供硅片安装的安装槽。

为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述上治具包括上治具内环面，所述下治具包括下治具内环面；所述上治具内环面上设置有环状上凸缘，所述下治具内环面上设置有环状下凸缘，所述环状上凸缘与环状下凸缘之间构成构成供硅片安装的安装槽。

为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述下治具的底部端面上沿周向均匀设置有若干定位把手。

为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述行星驱动装置包括轴承座、驱动轴、驱动锥齿轮、从动锥齿轮、驱动电机，所述驱动轴转动设置在轴承座的内部，所述驱动轴的底端与行星保持架的顶端同轴连接，所述驱动轴的顶端套装有从动锥齿轮，所述轴承座的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上套装有与从动锥齿轮啮合的驱动锥齿轮。

为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述驱动轴的底端同轴安装有连接法兰，所述连接法兰的底端通过连接螺栓与行星保持架的顶端同轴连接。

为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述行星保持架的底部同轴设置有密封挡片。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：

本实用新型通过行星驱动装置带动若干行星轮绕着太阳轮进行公转，在行星轮工装的同时通过行星轮与太阳轮之间的啮合结构使得行星轮绕着自身的轴线进行自转，进而通过行星轮带动硅片治具进行公转与自转，保证了靶材能够均匀喷射至硅片的表面形成厚度均匀的镀膜层，提高了硅片表面的镀膜质量。

附图说明

图1为镀膜设备行星齿轮系结构的立体结构示意图；

图2为镀膜设备行星齿轮系结构的俯视图；

图3为镀膜设备行星齿轮系结构的仰视图；

图4为图2的A-A向剖视图；

图5为硅片治具的结构示意图；

图6为图5的B处局部放大图；

图7为行星驱动装置的结构示意图。

其中：1-行星保持架；2-行星驱动装置；3-太阳轮；4-行星轮；5-硅片治具；6-台阶轴套；7-行星轮轴；8-密封挡片；21-轴承座；22-驱动轴；23-驱动锥齿轮；24-从动锥齿轮；25-驱动电机；26-连接法兰；51-轴连接盘；52-上治具；53-下治具；54-定位把手；521-环状上凸缘；531-环状下凸缘。

具体实施方式

以下详细说明都是例示性的，旨在对本实用新型提供进一步的说明。除非另有指明，本实用新型使用的所有技术和科学术语具有与本实用新型所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本实用新型的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非本实用新型另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

为方便叙述，本实用新型中如果出现“上”、“下”、“左”“右”字样，仅表示与附图本身的上、下、左、右方向一致，并不对结构起限定作用,仅仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语解释部分:本实用新型中的术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或为一体；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部连接，或者两个元件的相互作用关系，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型的具体含义。

实施例1：

本实施例的一种镀膜设备行星齿轮系结构，如图1-图3所示，包括行星保持架1以及驱动行星保持架1转动的行星驱动装置2，还包括与行星保持架1同轴设置的太阳轮3，行星保持架1沿周向转动设置有若干行星轮4，行星轮4与太阳轮3啮合；行星轮4的底端设置有硅片治具5。

太阳轮3通过连接销与靶材基座连接固定，太阳轮3的中心处设置有供行星保持架1同轴安装的通孔，行星保持架1与太阳轮3同轴转动设置，行星保持架1的顶端设置有行星驱动装置2，通过行星驱动装置2带动行星保持架1相对于太阳轮3进行同轴转动。行星保持架1上沿周向均匀设置有若干行星轮4，行星轮4的轮轴与行星保持架1转动连接，使得行星轮4能够绕着自身轮轴的轴线进行自转。同时，行星轮4与太阳轮3啮合，当行星保持架1在行星驱动装置2的带动下转动时，进而带动行星轮4绕着太阳轮3进行公转，同时通过行星轮4与太阳轮3之间的啮合结构使得行星轮4在公转的同时绕着自身轮轴的轴线进行自转。

行星轮4的底端则同轴安装有用于夹持固定硅片的硅片治具5，通过行星轮4的公转与自转带动硅片治具5进行公转与自转，进而带动其上固定的硅片进行公转与自转，进而使得设置在硅片底部的镀膜靶材能够均匀镀膜至硅片的表面，进而保证了硅片最终镀膜层的均匀性与镀膜质量。

实施例2：

本实施例的一种镀膜设备行星齿轮系结构，在实施例1的基础上进行改进，如图4和图5所示，行星保持架1上沿周向均匀设置有若干安装孔，安装孔中设置有台阶轴套6，台阶轴套6的内孔中转动安装有行星轮轴7，行星轮轴7的顶端延伸至行星保持架1的上方并套装有行星轮4，行星轮轴7的底端延伸至行星保持架1的下方并同轴安装有硅片治具5。

行星保持架1上沿周向均匀设置有四个安装孔，安装孔中同轴安装有台阶轴套6，台阶轴套6的内孔中安装有两个向心推力球轴承，向心推力球轴承的内孔中转动安装有行星轮轴7，行星轮轴7的顶端延伸至行星保持架1的上方并套装有行星轮4，行星轮轴7的底端延伸至行星保持架1的下方并同轴连接有硅片治具5。

进一步的，两个向心推力球轴承之间设置有隔离套筒，向心推力球轴承的端面与台阶轴套6的轴向定位台阶面之间设置有蝶形弹簧垫片，通过蝶形弹簧垫片将向心推力球轴承轴向顶紧。

进一步的，台阶轴套6的底部外侧螺纹套装有锁紧圆螺母，台阶轴套6的顶部外侧设置有轴向定位台阶，锁紧圆螺母的顶部端面与轴向定位台阶的底部端面与安装孔轴向配合卡接，进而实现台阶轴套6在安装孔内部的轴向定位安装。

本实施例的其他部分与实施例1相同，故不再赘述。

实施例3：

本实施例的一种镀膜设备行星齿轮系结构，在实施例1或2的基础上进行改进，如图5和图6所示，硅片治具5包括轴连接盘51、上治具52、下治具53，轴连接盘51的顶端与行星轮轴7的底端同轴连接，轴连接盘51的底端同轴连接有上治具52，上治具52的底端同轴安装有下治具53，上治具52与下治具53之间构成供硅片安装的安装槽。

上治具52的顶端中心处设置有定位台阶，定位台阶与轴连接盘51的底端同轴卡接，轴连接盘51的顶端中心处设置有连接凹孔，连接凹孔的内孔端面与行星轮轴7的底端之间通过连接螺栓以及连接销连接。上治具52的底端沿周向设置有若干螺纹孔，下治具53上沿周向对应螺纹孔设置有过孔，在过孔与螺纹孔中插装连接螺栓，进而实现下治具53在上治具52底部的同轴安装。上治具52与下治具53之间构成供硅片安装的安装槽，安装槽的轴向厚度大于等于硅片的厚度。

上治具52包括上治具内环面，下治具53包括下治具内环面；上治具内环面上设置有环状上凸缘521，下治具内环面上设置有环状下凸缘531，环状上凸缘521与环状下凸缘531之间构成构成供硅片安装的安装槽。

环状上凸缘521的底部端面与硅片的顶部端面接触，环状下凸缘531的顶部端面与硅片的底部端面接触，进而通过环状上凸缘521与环状下凸缘531对硅片进行轴向夹持固定。

进一步的，下治具53的底部端面上沿周向均匀设置有若干定位把手54，定位把手54靠近硅片的预测设置有定位弧面。

本实施例的其他部分与实施例1或2相同，故不再赘述。

实施例4：

本实施例的一种镀膜设备行星齿轮系结构，在实施例1-3任一项的基础上进行改进，如图7所示，行星驱动装置2包括轴承座21、驱动轴22、驱动锥齿轮23、从动锥齿轮24、驱动电机25，驱动轴22转动设置在轴承座21的内部，驱动轴22的底端与行星保持架1的顶端同轴连接，驱动轴22的顶端套装有从动锥齿轮24，轴承座21的一侧设置有驱动电机25，驱动电机25的输出轴上套装有与从动锥齿轮24啮合的驱动锥齿轮23。

轴承座21通过连接螺栓与靶材基座固定连接，轴承座21的内部从上至下依次同轴转动设置有第一深沟球轴承、单向推力球轴承、第二深沟球轴承，驱动轴22依次穿过第一深沟球轴承、单向推力球轴承、第二深沟球轴承的内孔转动安装。驱动轴22的顶端套装有从动锥齿轮24，驱动轴22的底端则与行星保持架1的顶端同轴连接。轴承座21的一侧设置有安装孔，驱动电机25的输出轴延伸至安装孔中并套装有驱动锥齿轮23，驱动锥齿轮23与从动锥齿轮24啮合连接。通过驱动电机25带动驱动锥齿轮23转动，进而带动从动锥齿轮24以及驱动轴22进行转动。

进一步的，驱动轴22的底端同轴安装有连接法兰26，连接法兰26的底端通过连接螺栓与行星保持架1的顶端同轴连接。连接法兰26的底部端面上沿周向均匀设置有若干螺纹孔，行星保持架1上对应螺纹孔设置有过孔，通过在过孔与螺纹孔中螺纹安装连接螺栓，进而实现连接法兰26与行星保持架1之间的连接。连接法兰26的顶部中心处设置有连接锥孔，驱动轴22的底端设置有导向锥面，导向锥面与连接锥孔的内孔面配合导向。

本实施例的其他部分与实施例1-3任一项相同，故不再赘述。

实施例5：

本实施例的一种镀膜设备行星齿轮系结构，在实施例1-4任一项的基础上进行改进，如图4所示，行星保持架1的底部同轴设置有密封挡片8，通过设置密封挡片8以阻挡向上喷射的靶材，避免靶材污染行星保持架1。

本实施例的其他部分与实施例1-4任一项相同，故不再赘述。

以上，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制，凡依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种镀膜设备行星齿轮系结构，包括行星保持架（1）以及驱动行星保持架（1）转动的行星驱动装置（2），其特征在于，还包括与行星保持架（1）同轴设置的太阳轮（3），所述行星保持架（1）沿周向转动设置有若干行星轮（4），所述行星轮（4）与太阳轮（3）啮合；所述行星轮（4）的底端设置有硅片治具（5）。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述行星保持架（1）上沿周向均匀设置有若干安装孔，所述安装孔中设置有台阶轴套（6），所述台阶轴套（6）的内孔中转动安装有行星轮轴（7），所述行星轮轴（7）的顶端延伸至行星保持架（1）的上方并套装有行星轮（4），所述行星轮轴（7）的底端延伸至行星保持架（1）的下方并同轴安装有硅片治具（5）。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述硅片治具（5）包括轴连接盘（51）、上治具（52）、下治具（53），所述轴连接盘（51）的顶端与行星轮轴（7）的底端同轴连接，所述轴连接盘（51）的底端同轴连接有上治具（52），所述上治具（52）的底端同轴安装有下治具（53），所述上治具（52）与下治具（53）之间构成供硅片安装的安装槽。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述上治具（52）包括上治具内环面，所述下治具（53）包括下治具内环面；所述上治具内环面上设置有环状上凸缘（521），所述下治具内环面上设置有环状下凸缘（531），所述环状上凸缘（521）与环状下凸缘（531）之间构成构成供硅片安装的安装槽。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述下治具（53）的底部端面上沿周向均匀设置有若干定位把手（54）。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述行星驱动装置（2）包括轴承座（21）、驱动轴（22）、驱动锥齿轮（23）、从动锥齿轮（24）、驱动电机（25），所述驱动轴（22）转动设置在轴承座（21）的内部，所述驱动轴（22）的底端与行星保持架（1）的顶端同轴连接，所述驱动轴（22）的顶端套装有从动锥齿轮（24），所述轴承座（21）的一侧设置有驱动电机（25），所述驱动电机（25）的输出轴上套装有与从动锥齿轮（24）啮合的驱动锥齿轮（23）。

7.根据权利要求6所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述驱动轴（22）的底端同轴安装有连接法兰（26），所述连接法兰（26）的底端通过连接螺栓与行星保持架（1）的顶端同轴连接。

8.根据权利要求7所述的一种镀膜设备行星齿轮系结构，其特征在于，所述行星保持架（1）的底部同轴设置有密封挡片（8）。