CN220153240U - 半导体烧结炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种半导体烧结炉，其位于隧道烧结炉本体的上方设置有一通气主管，在此通气主管与隧道烧结炉本体之间设置有若干个分支管道，位于隧道烧结炉本体的出口、入口上方分别设置有一导风罩，在通气主管的顶部设置有一具有输气管的排风机，位于隧道烧结炉本体的一侧设置有一内部存储有水溶液的过滤箱，输气管的一端与排风机的出气端连通连接，另一端伸入过滤箱的内部且位于水溶液的液面之下，过滤箱的顶部开设有一出气口，且在该出气口的内壁之间设置有一过滤筒。本实用新型半导体烧结炉既减少了废气泄漏逸出直接排放的情况，又可以将废气导入水溶液中进行水洗，还可以对废气进行两次过滤，改善了对废气的过滤效果，提升了环境质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及烧结炉技术领域，尤其涉及一种半导体烧结炉。
背景技术
烧结炉是一种使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备，能够对金属材料，以及硅等多种非金属材料进行加工，在半导体的组焊生产中，需要将贴装有芯片和跳线的框架放入烧结炉进行烧结。
经检索，中国专利公开号为CN208465559U的专利，公开了一种废气抽风处理系统，包括隧道炉烤箱、人工操作台、抽气支管、抽气主管、气体处理模块、抽气竖管和抽风机，所述抽气支管连接所述抽气主管，所述抽气支管上连接有进气管和进气罩，所述进气管连接所述隧道炉烤箱的顶部，所述进气罩位于所述人工操作台的顶部，所述进气管位于所述抽气支管远离所述抽气主管的一端，所述抽气主管连接所述气体处理模块，所述气体处理模块连接所述抽气竖管的底部，所述抽气竖管的顶部连接有分水盘，所述分水盘连接有进水管，所述抽气竖管的底部设置有U形出水管段，所述抽风机连接于所述抽气竖管的顶部。本技术方案用于解决现有变压器车间尾气排放系统存在有害气体残留和设备寿命短的问题。
烧结炉在烧结时会产生大量废气，虽然采用上述装置通过水幕能够对尾气中的水溶性有害气体进行吸附，但是，采用上述装置时，废气容易在人员打开烧结炉的开口、出口时逸出直接排放至外界环境中，且水幕与气体的接触时间较短，过滤吸附效果较差。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种半导体烧结炉，该半导体烧结炉既减少了废气泄漏逸出直接排放的情况，又可以将废气导入水溶液中进行水洗，还可以对废气进行两次过滤，改善了对废气的过滤效果，提升了环境质量。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种半导体烧结炉，包括：隧道烧结炉本体，位于所述隧道烧结炉本体的上方设置有一通气主管，在此通气主管与隧道烧结炉本体之间设置有若干个分支管道，位于所述隧道烧结炉本体的出口、入口上方分别设置有一导风罩，且该导风罩通过一连通管道与通气主管连通连接，在所述通气主管的顶部设置有一具有输气管的排风机，该排风机的进风端与通气主管的出气端连通连接；
位于所述隧道烧结炉本体的一侧设置有一内部存储有水溶液的过滤箱，所述输气管的一端与排风机的出气端连通连接，另一端伸入过滤箱的内部且位于水溶液的液面之下，所述过滤箱的顶部开设有一出气口，且在该出气口的内壁之间设置有一过滤筒。
上述技术方案中进一步改进的方案如下：
1. 上述方案中，所述过滤筒的内部设置有若干个活性炭过滤网。
2. 上述方案中，所述活性炭过滤网沿所述过滤筒的长度方向间隔设置。
3. 上述方案中，在所述导风罩的内部设置有一通风扇。
4. 上述方案中，所述分支管道沿隧道烧结炉本体的长度方向等距间隔设置。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
本实用新型半导体烧结炉，其位于隧道烧结炉本体的上方设置有一通气主管，在此通气主管与隧道烧结炉本体之间设置有若干个分支管道，位于隧道烧结炉本体的出口、入口上方分别设置有一导风罩，在通气主管的顶部设置有一排风机，位于隧道烧结炉本体的一侧设置有一内部存储有水溶液的过滤箱，输气管的一端与排风机的出气端连通连接，另一端伸入过滤箱的内部且位于水溶液的液面之下，在该出气口的内壁之间设置有一过滤筒，通过在排风机与隧道烧结炉本体之间设置有通气主管、分支管道，且在隧道烧结炉本体的出口、入口上方设置有导风罩，在排风机工作时，可以将隧道烧结炉本体内部的废气，以及隧道烧结炉本体的出口、入口泄漏至外部的废气抽吸并通过输气管导入过滤箱的水溶液中，经过水溶液水洗降温后的气体，水溶液能够将废气中的水溶性废物进行吸收，再经过过滤筒进行过滤，从而大大减少了废气泄漏影响周围环境的情况，还改善了对废气的过滤效果，提升了环境质量。
附图说明
附图1为本实用新型半导体烧结炉的结构示意图；
附图2为本实用新型中过滤箱的内部结构示意图；
附图3为本实用新型半导体烧结炉的局部结构示意图。
以上附图中：1、输气管；2、排风机；3、通气主管；4、导风罩；5、隧道烧结炉本体；6、过滤箱；7、出气口；8、活性炭过滤网；9、通风扇；10、连通管道；11、分支管道；12、过滤筒；13、机架。
具体实施方式
通过下面给出的具体实施例可以进一步清楚地了解本专利，但它们不是对本专利的限定。
实施例1：一种半导体烧结炉，包括：隧道烧结炉本体5，位于所述隧道烧结炉本体5的上方设置有一通气主管3，在此通气主管3与隧道烧结炉本体5之间设置有若干个分支管道11，位于所述隧道烧结炉本体5的出口、入口上方分别设置有一导风罩4，且该导风罩4通过一连通管道10与通气主管3连通连接，在所述通气主管3的顶部设置有一具有输气管1的排风机2，该排风机2的进风端与通气主管3的出气端连通连接；
排风机通电工作，排风机将通气主管的气体抽出，此时通气主管处于负压状态，而通气主管、分支管道和隧道烧结炉本体外壳内的空腔处于连通状态，分支管道和隧道烧结炉本体外壳内的空气输送至通气主管内，此时分支管道和隧道烧结炉本体外壳内腔处于负压装填，而隧道烧结炉本体外壳内腔通过入口和出口与外界环境处于连通状态，外界环境中的空气经入口和出口流入隧道烧结炉本体外壳内腔中，并将废弃经连通管道输送至通气主管中，由于排风机持续工作，外界环境中的气体携带隧道烧结炉本体外壳中的废弃流动至通气主管内；
位于所述隧道烧结炉本体5的一侧设置有一内部存储有水溶液的过滤箱6，所述输气管1的一端与排风机2的出气端连通连接，另一端伸入过滤箱6的内部且位于水溶液的液面之下，所述过滤箱6的顶部开设有一出气口7，且在该出气口7的内壁之间设置有一过滤筒12；
通气主管内的废气再一次经排风机和输气管输送至过滤箱的水溶液中，废气与水溶液接触式，废气中的高温和水溶性有毒杂质分别进行降温和溶解处理，部分不溶性有毒气体杂会附着在水溶中，剩余的不溶性有毒气体杂质会随着气体持续排出至水溶液上方。
上述过滤筒12的内部设置有若干个活性炭过滤网8。
上述活性炭过滤网8沿上述过滤筒12的长度方向间隔设置。
在上述导风罩4的内部设置有一通风扇9。
上述分支管道11沿隧道烧结炉本体5的长度方向等距间隔设置。
实施例2：一种半导体烧结炉，包括：隧道烧结炉本体5，位于所述隧道烧结炉本体5的上方设置有一通气主管3，在此通气主管3与隧道烧结炉本体5之间设置有若干个分支管道11，位于所述隧道烧结炉本体5的出口、入口上方分别设置有一导风罩4，且该导风罩4通过一连通管道10与通气主管3连通连接，在所述通气主管3的顶部设置有一具有输气管1的排风机2，该排风机2的进风端与通气主管3的出气端连通连接；
位于所述隧道烧结炉本体5的一侧设置有一内部存储有水溶液的过滤箱6，所述输气管1的一端与排风机2的出气端连通连接，另一端伸入过滤箱6的内部且位于水溶液的液面之下，所述过滤箱6的顶部开设有一出气口7，且在该出气口7的内壁之间设置有一过滤筒12；
通过在排风机与隧道烧结炉本体之间设置有通气主管、分支管道，且在隧道烧结炉本体的出口、入口上方设置有导风罩，在排风机工作时，可以将隧道烧结炉本体内部的废气，以及隧道烧结炉本体的出口、入口泄漏至外部的废气抽吸并通过输气管导入过滤箱的水溶液中，经过水溶液水洗降温后的气体，水溶液能够将废气中的水溶性废物进行吸收，再经过过滤筒进行过滤，从而大大减少了废气泄漏影响周围环境的情况，还改善了对废气的过滤效果，提升了环境质量。
上述过滤筒12的内部设置有若干个活性炭过滤网8；
过滤箱中气压大于外界气压时，废气依次在多个活性炭过滤网中流动，废气中的不溶性有毒气体杂质会被活性炭吸附，进一步处理废气中不溶性有毒气体杂质，提升废弃自身的安全性，过滤后的废气从出气口中排出，用于完成处理半导体器件在烧结时产生的废气工作。
在上述导风罩4的内部设置有一通风扇9，在出口和入口的一侧分别设置导风罩，而通风扇可以捕捉从出口和入口排出的部分废气。
上述通气主管3与连通管道10之间、连通管19与导风罩4之间均通过法兰连接。
上述隧道烧结炉本体5固定安装在一机架13的顶部。
工作原理为：
在工作时，排风机通电工作，排风机将通气主管的气体抽出，此时通气主管处于负压状态，而通气主管、分支管道和隧道烧结炉本体外壳内的空腔处于连通状态，分支管道和隧道烧结炉本体外壳内的空气输送至通气主管内，此时分支管道和隧道烧结炉本体外壳内腔处于负压装填，而隧道烧结炉本体外壳内腔通过入口和出口与外界环境处于连通状态，外界环境中的空气经入口和出口流入隧道烧结炉本体外壳内腔中，在出口和入口的一侧分别设置导风罩，而通风扇可以捕捉从出口和入口排出的部分废气，并将废弃经连通管道输送至通气主管中，由于排风机持续工作，外界环境中的气体携带隧道烧结炉本体外壳中的废弃流动至通气主管内，通气主管内的废气再一次经排风机和输气管输送至过滤箱的水溶液中，废气与水溶液接触式，废气中的高温和水溶性有毒杂质分别进行降温和溶解处理，部分不溶性有毒气体杂会附着在水溶中，剩余的不溶性有毒气体杂质会随着气体持续排出至水溶液上方，过滤箱中气压大于外界气压时，废气依次在多个活性炭过滤网中流动，废气中的不溶性有毒气体杂质会被活性炭吸附，进一步处理废气中不溶性有毒气体杂质，提升废弃自身的安全性，过滤后的废气从出气口中排出，用于完成处理半导体器件在烧结时产生的废气工作。
采用上述半导体烧结炉时，其在排风机工作时，可以将隧道烧结炉本体内部的废气，以及隧道烧结炉本体的出口、入口泄漏至外部的废气抽吸并通过输气管导入过滤箱的水溶液中，经过水溶液水洗降温后的气体，水溶液能够将废气中的水溶性废物进行吸收，再经过过滤筒进行过滤，从而大大减少了废气泄漏影响周围环境的情况，还改善了对废气的过滤效果，提升了环境质量。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种半导体烧结炉，包括：烧结炉本体（5），其特征在于：位于所述烧结炉本体（5）的上方设置有一通气主管（3），在此通气主管（3）与烧结炉本体（5）之间设置有若干个分支管道（11），位于所述烧结炉本体（5）的出口、入口上方分别设置有一导风罩（4），且该导风罩（4）通过一连通管道（10）与通气主管（3）连通连接，在所述通气主管（3）的顶部设置有一具有输气管（1）的排风机（2），该排风机（2）的进风端与通气主管（3）的出气端连通连接；
位于所述烧结炉本体（5）的一侧设置有一内部存储有水溶液的过滤箱（6），所述输气管（1）的一端与排风机（2）的出气端连通连接，另一端伸入过滤箱（6）的内部且位于水溶液的液面之下，所述过滤箱（6）的顶部开设有一出气口（7），且在该出气口（7）的内壁之间设置有一过滤筒（12）。
2.根据权利要求1所述的半导体烧结炉，其特征在于：所述过滤筒（12）的内部设置有若干个活性炭过滤网（8）。
3.根据权利要求2所述的半导体烧结炉，其特征在于：所述活性炭过滤网（8）沿所述过滤筒（12）的长度方向间隔设置。
4.根据权利要求1所述的半导体烧结炉，其特征在于：在所述导风罩（4）的内部设置有一通风扇（9）。
5.根据权利要求1所述的半导体烧结炉，其特征在于：所述分支管道（11）沿烧结炉本体（5）的长度方向等距间隔设置。
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