CN220138261U - 一种单面湿法处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单面湿法处理装置，涉及器件加工技术领域，包括支撑筒、支撑板及负压组件；支撑筒上端为开口端；支撑板固定设置于支撑筒内，且支撑板周向边缘与支撑筒内壁密封连接，支撑板上设置有多个沿厚度方向贯穿的支撑孔，各支撑孔上端均用于密封盖设有一个处理面朝上的工件；负压组件与各支撑孔下端均能够连通，并能够使各支撑孔内形成负压。本实用新型提供的单面湿法处理装置，使用方便，且能够同时处理多个工件以提高处理效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及器件加工技术领域，尤其是涉及一种单面湿法处理装置。
背景技术
在一些晶圆器件开发中，会遇到对晶圆单面进行湿法处理，同时需要保护另一面的有效区内不接触药液的情况；例如，在微纳光栅阴极组件的加工过程中，需要对光栅基片的玻璃面分别进行酸处理或碱处理，以满足其与防光晕玻璃输入窗键合前所需表面状态要求，同时，根据微纳光栅基片结构面的特性，需要在表面处理过程中对结构面进行保护；如专利CN218241803U提供的一种单面湿法腐蚀的夹具，包括第一压环和第二压环用于初步固定待测的样片，第一密封圈和第二密封圈用于抑制腐蚀溶液进入到样片的不被腐蚀的一面，该夹具使用时需要将各部件依次组装，使用不方便，且单次只能对一个样片进行处理，效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种单面湿法处理装置，以解决上述现有技术存在的问题，使用方便，且能够同时处理多个工件以提高处理效率。
为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：
本实用新型提供一种单面湿法处理装置，包括支撑筒、支撑板及负压组件；所述支撑筒上端为开口端；所述支撑板固定设置于所述支撑筒内，且所述支撑板周向边缘与所述支撑筒内壁密封连接，所述支撑板上设置有多个沿厚度方向贯穿的支撑孔，各所述支撑孔上端均用于密封盖设有一个处理面朝上的工件；所述负压组件与各所述支撑孔下端均能够连通，并能够使各所述支撑孔内形成负压。
优选地，所述支撑筒的下端为封闭端，所述支撑板与所述封闭端之间为负压腔，各所述支撑孔均与所述负压腔连通，所述负压腔的侧壁上设置有抽气口，所述抽气口与所述负压组件连通。
优选地，所述负压组件设置为抽真空泵，与所述抽气口通过软管连接且连通。
优选地，所述负压腔内靠近所述抽气口设置有与所述抽气口相对的挡板，所述挡板上端与所述支撑板固定连接，且所述挡板与所述抽气口和所述负压腔内壁之间均具有间隙。
优选地，所述支撑板上端面在各所述支撑孔外均设置有一个环形密封槽，且各环形密封槽内均嵌入有一个环形密封件；各所述环形密封件均用于与对应所述工件的下端面的周向边缘抵接。
优选地，所述支撑孔的上端尺寸大于对应所述工件的下端面的有效区，且各所述环形密封件均用于与对应所述工件的下端面的非有效区周向抵接。
优选地，各所述环形密封件能够在所述工件的挤压下发生弹性变形以与所述支撑板上表面平齐。
优选地，各所述环形密封件设置为橡胶材质。
优选地，所述支撑筒和所述支撑板采用耐腐蚀材质。
本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：
本实用新型提供的单面湿法处理装置，支撑筒内固定设置有支撑板，支撑板上设置有多个支撑孔，使用时，在各支撑孔上密封盖设一个处理面朝上的工件，然后通过负压组件使各支撑孔内形成负压以稳定吸附各工件使各工件位置固定并提升工件与支撑板接触的紧密性，避免漏液，然后从开口端倒入处理液至支撑板上对多个工件的处理面进行湿法处理，使用方便，同时对多个工件进行处理，提升处理效率；且支撑板与支撑筒密封连接，避免漏液。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为实施例一提供的单面湿法处理装置的结构示意图；
图2为图1提供的单面湿法处理装置的纵截面示意图；
图3为图1提供的单面湿法处理装置的使用状态下的纵截面示意图；
图4为图3中A处的放大示意图。
图标：100-单面湿法处理装置；110-支撑筒；111-开口端；112-封闭端；113-负压腔；114-抽气口；115-挡板；120-支撑板；121-支撑孔；122-环形密封槽；123-环形密封件；200-工件。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型的目的是提供一种单面湿法处理装置，以解决上述现有技术存在的问题，使用方便，且能够同时处理多个工件以提高处理效率。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
实施例一
本实施例提供一种单面湿法处理装置100，请参见图1和图3，包括支撑筒110、支撑板120及负压组件，支撑筒110上端为开口端111；支撑板120固定设置于支撑筒110内，且支撑板120周向边缘与支撑筒110内壁密封连接，支撑板120上设置有多个沿厚度方向贯穿的支撑孔121，各支撑孔121上端均用于密封盖设有一个处理面朝上的工件200；负压组件(图中未显示)与各支撑孔121下端均能够连通，并能够使各支撑孔121内形成负压。
支撑筒110内固定设置有支撑板120，支撑板120上设置有多个支撑孔121，使用时，在各支撑孔121上密封盖设一个处理面朝上的工件200，然后通过负压组件使各支撑孔121内形成负压以稳定吸附各工件200使各工件200位置固定并提升工件200与支撑板120接触的紧密性，避免漏液，然后从开口端111倒入处理液至支撑板120上对多个工件200的处理面进行湿法处理，使用方便，同时对多个工件200进行处理，提升处理效率；且支撑板120与支撑筒110密封连接，避免漏液。
本实施例的可选方案中，较为优选地，支撑筒110的下端为封闭端112，支撑板120与封闭端112之间为负压腔113，各支撑孔121均与负压腔113连通，负压腔113的侧壁上设置有抽气口114，抽气口114与负压组件连通，通过使负压组件直接与负压腔113连通，通过负压腔113能够使各支撑孔121内形成负压同时对各工件200进行吸附固定，使用时，只需将负压组件与抽气口114；连通即可。
本实施例的可选方案中，较为优选地，负压组件设置为抽真空泵，与抽气口114通过软管连接且连通，通过软管连接，便于调整负压组件和支撑筒110的相对位置，提升使用灵活性。
本实施例的可选方案中，较为优选地，负压腔113内靠近抽气口114设置有与抽气口114相对的挡板115，挡板115上端与支撑板120固定连接，通过设置挡板115，能够避免支撑孔121存在漏液时，处理液被直接抽至负压组件中，挡板115能够阻挡处理液且挡板115与抽气口114和负压腔113内壁之间均具有间隙，间隙的设置不影响负压腔113内形成负压。
本实施例的可选方案中，较为优选地，请参见图2-图4，支撑板120上端面在各支撑孔121外均设置有一个环形密封槽122，且各环形密封槽122内均嵌入有一个环形密封件123，设置环形密封槽122保证环形密封件123的稳定性；各环形密封件123均用于与对应工件200的下端面的周向边缘抵接，通过设置环形密封件123提升工件200盖设于支撑孔121的密封性。
本实施例的可选方案中，较为优选地，支撑孔121的上端尺寸大于对应工件200的下端面的有效区(即非处理面的工作区)，且各环形密封件123均用于与对应工件200的下端面的非有效区周向抵接，对工件200处理时，使工件200的非处理面的非有效区与支撑板120或环形密封件123接触，非处理面的有效区悬空，如此即使工件200与支撑板120之间密封失效发生漏液，处理液直接从支撑孔121中流出，不会与有效区接触，减少非处理面的损伤。
本实施例的可选方案中，较为优选地，各环形密封件123能够在工件200的挤压下发生弹性变形以与支撑板120上表面平齐，避免工件200下端面与支撑板120之间存在间隙，造成处理液对环形密封件123的腐蚀。
本实施例的可选方案中，较为优选地，各环形密封件123设置为橡胶材质。
本实施例的可选方案中，较为优选地，支撑筒110和支撑板120采用耐腐蚀材质，具体地，可设置为石英或者聚四氟等耐腐蚀性好的材料。
进一步优选地，支撑筒110和支撑板120可一体成型，提升稳定性，减少连接带来的漏液可能。
本实用新型中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (9)
1.一种单面湿法处理装置，其特征在于：包括：
支撑筒(110)，所述支撑筒(110)上端为开口端(111)；
支撑板(120)，所述支撑板(120)固定设置于所述支撑筒(110)内，且所述支撑板(120)周向边缘与所述支撑筒(110)内壁密封连接，所述支撑板(120)上设置有多个沿厚度方向贯穿的支撑孔(121)，各所述支撑孔(121)上端均用于密封盖设有一个处理面朝上的工件(200)；及
负压组件，所述负压组件与各所述支撑孔(121)下端均能够连通，并能够使各所述支撑孔(121)内形成负压。
2.根据权利要求1所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述支撑筒(110)的下端为封闭端(112)，所述支撑板(120)与所述封闭端(112)之间为负压腔(113)，各所述支撑孔(121)均与所述负压腔(113)连通，所述负压腔(113)的侧壁上设置有抽气口(114)，所述抽气口(114)与所述负压组件连通。
3.根据权利要求2所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述负压组件设置为抽真空泵，与所述抽气口(114)通过软管连接且连通。
4.根据权利要求2所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述负压腔(113)内靠近所述抽气口(114)设置有与所述抽气口(114)相对的挡板(115)，所述挡板(115)上端与所述支撑板(120)固定连接，且所述挡板(115)与所述抽气口(114)和所述负压腔(113)内壁之间均具有间隙。
5.根据权利要求1所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述支撑板(120)上端面在各所述支撑孔(121)外均设置有一个环形密封槽(122)，且各环形密封槽(122)内均嵌入有一个环形密封件(123)；各所述环形密封件(123)均用于与对应所述工件(200)的下端面的周向边缘抵接。
6.根据权利要求5所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述支撑孔(121)的上端尺寸大于对应所述工件(200)的下端面的有效区，且各所述环形密封件(123)均用于与对应所述工件(200)的下端面的非有效区周向抵接。
7.根据权利要求5所述的单面湿法处理装置，其特征在于：各所述环形密封件(123)能够在所述工件(200)的挤压下发生弹性变形以与所述支撑板(120)上表面平齐。
8.根据权利要求6所述的单面湿法处理装置，其特征在于：各所述环形密封件(123)设置为橡胶材质。
9.根据权利要求1所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述支撑筒(110)和所述支撑板(120)采用耐腐蚀材质。
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