CN220106485U - 一种固晶机固晶夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种固晶机固晶夹具，属于半导体固晶机领域，用于固定放置在固晶工作台上的晶圆盘，其特征在于，包括布置在晶圆盘外周的多个夹具单体，夹具单体包括连接臂、顶杆、压缩弹簧及伸缩驱动件，所述连接臂水平放置，连接臂中部通过一转轴转动连接在固晶工作台上，所述连接臂一端的内侧通过压缩弹簧与固晶工作台相抵触，连接臂的另一端固定连接有顶杆，顶杆端部方向朝向晶圆盘，连接臂的外侧设置有伸缩驱动件，伸缩驱动件的伸缩端朝向连接臂靠近压缩弹簧的一端；本实用新型能够在压缩弹簧的作用下保持顶杆对晶圆盘的夹持固定，在需取放晶圆盘时即启动伸缩驱动件挤压连接臂进而挤压压缩弹簧，解除顶杆对晶圆盘的夹持固定，整体结构简单。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体固晶机技术领域，具体涉及一种固晶机固晶夹具。
背景技术
固晶过程中，负压吸嘴吸取晶圆盘上的单颗晶圆并随摆臂送至料片的指定位置。晶圆盘在使用时需放置到固晶工作位上并利用固晶夹具进行固定，避免固晶过程中晶圆盘发生移位。
现有技术中，公布号为CN115642119A的实用新型专利公开了一种固晶机固晶夹具，其利用电机带动螺杆转动，带动两滑块相互靠近，从而推动两个第一夹板朝着晶圆盘一侧移动，当第一夹板与晶圆盘的外壁接触后，此时安装块继续朝着第一夹板移动，使得第一弹簧压缩，从而在第一弹簧的弹力作用下，使得两个第一夹板将晶圆盘夹紧，实现晶圆盘的固定。
但是，上述结构较为复杂，不利于在固晶工作位的安装。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构简单、更加利于夹具在固晶工作位的安装的固晶机固晶夹具。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种固晶机固晶夹具，用于固定放置在固晶工作台上的晶圆盘，其特征在于，包括布置在晶圆盘外周的多个夹具单体，所述夹具单体包括连接臂、顶杆、压缩弹簧及伸缩驱动件，所述连接臂水平放置，连接臂中部通过一转轴转动连接在固晶工作台上，所述连接臂一端的内侧通过压缩弹簧与固晶工作台相抵触，连接臂的另一端固定连接有顶杆，顶杆端部方向朝向晶圆盘，所述连接臂的外侧设置有伸缩驱动件，伸缩驱动件的伸缩端朝向连接臂靠近压缩弹簧的一端。
进一步的，所述伸缩驱动件采用气缸；更进一步的，其缸筒固定在固晶工作台上。
进一步的，所述固晶工作位上开设有用于放置压缩弹簧的凹槽，压缩弹簧呈水平状放置，压缩弹簧的一端固定连接在凹槽内。
更进一步的，所述连接臂对应压缩弹簧固定设置有抵触板。
更进一步的，所述抵触板与连接臂为一体式结构。
进一步的，所述顶杆为L型结构。
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置的主要由连接臂、顶杆、压缩弹簧和伸缩驱动件组成的夹具单体，多个夹具单体布置在晶圆盘外周，能够实现在压缩弹簧的作用下保持顶杆对晶圆盘的夹持固定，另外在需取放晶圆盘时即启动伸缩驱动件挤压连接臂进而挤压压缩弹簧，解除顶杆对晶圆盘的夹持固定，操作方便。整体结构简单，在现有的固晶装置上能够快捷安装，且该夹具结构仅需在解除晶圆或放置晶圆的瞬间启动相应的控制气缸，固定状态下无需启动气缸，节省了气体的使用。
附图说明
图1是本实用新型一实施例的俯视结构示意图；
图2是本实用新型一实施例夹具单体在固晶工作台上的俯视结构示意图；
图3是本实用新型一实施例连接臂的侧视结构示意图；
图中：1.固晶工作台，11.凹槽，2.晶圆盘，3.夹具单体，4.连接臂，41.转轴，42.抵触板，5.顶杆，6.压缩弹簧，7.伸缩驱动件。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实施例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
如附图所示，本实施例的一种固晶机固晶夹具，用于固定放置在固晶工作台1上的晶圆盘2，所述的固晶机固晶夹具包括阵列布置在晶圆盘2外周的多个夹具单体3，其数量至少为三个，本实施例以四个夹具单体3为例。
所述夹具单体3包括连接臂4、顶杆5、压缩弹簧6及伸缩驱动件7，本实施例的伸缩驱动件7具体采用水平放置的气缸，其缸筒固定在固晶工作台1上，所述连接臂4水平放置，连接臂4中部通过一转轴41转动连接在固晶工作台1上，所述连接臂4一端的内侧通过压缩弹簧6与固晶工作台1相抵触，连接臂4的另一端固定连接有顶杆5，顶杆5端部方向朝向晶圆盘2，所述连接臂4的外侧设置有伸缩驱动件7，伸缩驱动件7的伸缩端朝向连接臂4靠近压缩弹簧6的一端。
本实施例中，所述固晶工作台1侧端面上开设有用于放置压缩弹簧6的凹槽11，压缩弹簧6呈水平状放置，压缩弹簧6的一端固定连接在凹槽11内，所述连接臂4对应压缩弹簧6固定设置有抵触板42，本实施例的抵触板42与连接臂4为一体式结构，抵触板42的设置一方面用于适应凹槽11，另一方面用于抵触压缩弹簧6。
本实施例中，所述顶杆5的水平截面呈L型，其前端用于与晶圆盘的外周抵触，其后端用于与连接臂4螺栓固定。
使用时，首先将晶圆盘2放置在固晶工作台1上，此时晶圆盘的高度高于固晶工作台1，连接臂4通过转轴41安装在固晶工作台1的外缘处，此时连接臂4在压缩弹簧6的作用下具有绕转轴41转动的趋势使顶杆5前端抵触在晶圆盘2的外端面上。当需要取下晶圆盘时，启动伸缩驱动件7，使其伸缩端触碰到连接臂4的端部并挤压压缩弹簧6，连接臂绕转轴41反向转动，顶杆5解除对晶圆盘的抵触作用，进而释放晶圆盘，方便将其取下。在进行放置晶圆盘时，对伸缩驱动件7实施同样的操作即可为晶圆盘提供处足够的空间进行放置。
Claims (7)
1.一种固晶机固晶夹具，用于固定放置在固晶工作台(1)上的晶圆盘(2)，其特征在于，包括布置在晶圆盘(2)外周的多个夹具单体(3)，所述夹具单体(3)包括连接臂(4)、顶杆(5)、压缩弹簧(6)及伸缩驱动件(7)，所述连接臂(4)水平放置，连接臂(4)中部通过一转轴(41)转动连接在固晶工作台(1)上，所述连接臂(4)一端的内侧通过压缩弹簧(6)与固晶工作台(1)相抵触，连接臂(4)的另一端固定连接有顶杆(5)，顶杆(5)端部方向朝向晶圆盘(2)，所述连接臂(4)的外侧设置有伸缩驱动件(7)，伸缩驱动件(7)的伸缩端朝向连接臂(4)靠近压缩弹簧(6)的一端。
2.根据权利要求1所述的固晶机固晶夹具，其特征在于，所述伸缩驱动件(7)采用气缸。
3.根据权利要求2所述的固晶机固晶夹具，其特征在于，所述气缸的缸筒固定在固晶工作台(1)上。
4.根据权利要求1所述的固晶机固晶夹具，其特征在于，所述固晶工作台(1)上开设有用于放置压缩弹簧(6)的凹槽(11)，压缩弹簧(6)呈水平状放置，压缩弹簧(6)的一端固定连接在凹槽(11)内。
5.根据权利要求4所述的固晶机固晶夹具，其特征在于，所述连接臂(4)对应压缩弹簧(6)固定设置有抵触板(42)。
6.根据权利要求5所述的固晶机固晶夹具，其特征在于，所述抵触板(42)与连接臂(4)为一体式结构。
7.根据权利要求1所述的固晶机固晶夹具，其特征在于，所述顶杆(5)为L型结构。
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