CN220106474U - 一种硅片加工用托盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片加工技术领域，提供了一种硅片加工用托盘，所述硅片加工用托盘包括：底座；承放台，所述底座上通过转轴转动设有支撑框，所述承放台铰设于支撑框上；吸附机构，设于所述承放台上，用于将硅片吸附固定；本硅片加工用托盘操作简单，使用方便，通过吸附机构将硅片吸附固定，然后再进行加工操作，采用吸附固定模式，能够对硅片起到有效的防护作用，避免造成硅片破损，除此以外，在硅片加工过程中，通过转动承放台带动硅片转动从而调整其朝向，通过偏转承放台带动硅片偏转从而调整其偏转角度，以便于作业人员对硅片进行加工操作。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体是一种硅片加工用托盘。
背景技术
硅，是一种化学元素，化学符号是Si，有无定形硅和晶体硅两种同素异形体，属于元素周期表上第三周期，IVA族的类金属元素，硅也是极为常见的一种元素，然而它极少以单质的形式在自然界出现，而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式，广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中，高纯的单晶硅是重要的半导体材料，在单晶硅中掺入微量的第IIIA族元素，形成p型硅半导体，掺入微量的第VA族元素，形成n型半导体，p型半导体和n型半导体结合在一起形成p-n结，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能；
硅片由硅制得，是制作集成电路或太阳能领域的重要材料，在硅片加工时，通常先将其固定，然而，现有的固定机构一般都是通过挤压的方式将硅片固定，由于硅片易碎性质，此类固定方式容易造成硅片破碎。
因此，本实用新型提出一种硅片加工用托盘来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的实施例目的在于提供一种硅片加工用托盘，以解决上述问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种硅片加工用托盘，所述硅片加工用托盘包括：
底座；
承放台，所述底座上通过转轴转动设有支撑框，所述承放台铰设于支撑框上；
吸附机构，设于所述承放台上，用于将硅片吸附固定。
在一种可选方案中：所述底座底部对称设有多个垫片。
在一种可选方案中：所述底座内固定设有转向电机，所述转向电机的输出轴与转轴之间通过锥齿轮传动结构传动。
在一种可选方案中：所述承放台底部固定设有滑轨，所述滑轨上滑动卡设有滑块，所述支撑框上设有凸台，所述凸台上固定设有伸缩杆，所述伸缩杆伸缩端与滑块相铰连。
在一种可选方案中：所述吸附机构包括：
圆形盒，固定嵌设于所述承放台上，所述圆形盒朝上的一侧均匀设有硅胶吸盘，所述圆形盒上设有气筒，所述气筒内设有密封活塞且其远离圆形盒的一端螺纹穿设有螺纹杆，所述螺纹杆位于气筒内的一端与密封活塞转动相连；
滑杆，固定设于所述承放台内，所述滑杆上滑动套设有滑套，所述滑套上固定设有电动马达，所述电动马达的输出轴与螺纹杆远离密封活塞的一端固定相连。
相较于现有技术，本实用新型实施例的有益效果如下：
本硅片加工用托盘操作简单，使用方便，通过吸附机构将硅片吸附固定，然后再进行加工操作，采用吸附固定模式，能够对硅片起到有效的防护作用，避免造成硅片破损，除此以外，在硅片加工过程中，通过转动承放台带动硅片转动从而调整其朝向，通过偏转承放台带动硅片偏转从而调整其偏转角度，以便于作业人员对硅片进行加工操作。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，以示出符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。同时，这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本申请构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本申请的概念。
图1为本实用新型实施例的结构示意图。
图2为本实用新型实施例中滑轨与滑块二者之间的位置示意图。
图3为本实用新型实施例中承放台的俯视图。
附图标记注释：1-垫片、2-底座、3-转轴、4-锥齿轮传动结构、5-支撑框、6-承放台、7-圆形盒、8-硅胶吸盘、9-气筒、10-密封活塞、11-螺纹杆、12-电动马达、13-滑套、14-滑杆、15-滑轨、16-滑块、17-伸缩杆、18-凸台、19-控制面板、20-转向电机。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1和图2，本实用新型实施例中，一种硅片加工用托盘，所述硅片加工用托盘包括：
底座2；
承放台6，所述底座2上通过转轴3转动设有支撑框5，所述承放台6铰设于支撑框5上；
吸附机构，设于所述承放台6上，用于将硅片吸附固定。
在本实施例中，通过吸附机构将硅片吸附固定，然后再进行加工操作，采用吸附固定模式，能够对硅片起到有效的防护作用，避免造成硅片破损，除此以外，在硅片加工过程中，通过转动承放台6带动硅片转动从而调整其朝向，通过偏转承放台6带动硅片偏转从而调整其偏转角度，以便于作业人员对硅片进行加工操作。
进一步的，在本实施例中，所述底座2底部对称设有多个垫片1。
进一步的，在本实施例中，所述底座2内固定设有转向电机20，所述转向电机20的输出轴与转轴3之间通过锥齿轮传动结构4传动，通过转向电机20带动转轴3转动，转轴3转动带动承放台6转动，即带动硅片转动从而调整其朝向。
进一步的，在本实施例中，所述承放台6底部固定设有滑轨15，所述滑轨15上滑动卡设有滑块16，所述支撑框5上设有凸台18，所述凸台18上固定设有伸缩杆17，所述伸缩杆伸17缩端与滑块16相铰连，通过伸缩杆17伸缩带动承放台6偏转倾斜，承放台6偏转倾斜带动硅片偏转倾斜从而调整其偏转角度，以便于作业人员对硅片进行加工操作。
请参阅图1和图3，本实用新型的一个实施例中，所述吸附机构包括：
圆形盒7，固定嵌设于所述承放台6上，所述圆形盒7朝上的一侧均匀设有硅胶吸盘8，所述圆形盒7上设有气筒9，所述气筒9内设有密封活塞10且其远离圆形盒7的一端螺纹穿设有螺纹杆11，所述螺纹杆11位于气筒9内的一端与密封活塞10转动相连；
滑杆14，固定设于所述承放台6内，所述滑杆14上滑动套设有滑套13，所述滑套13上固定设有电动马达12，所述电动马达12的输出轴与螺纹杆11远离密封活塞10的一端固定相连。
在本实施例中，将硅片放于承放台6上后，通过电动马达12带动螺纹杆11转动，螺纹杆11转动带动密封活塞10朝远离圆形盒7的方向移动进行抽气，在负压作用下，从而将硅片吸附固定，硅片加工完成后，再通过电动马达12带动密封活塞10朝圆形盒7移动进行注气，从而能够轻松将硅片取下。
进一步的，在本实施例中，所述底座2上设有用于控制该硅片加工用托盘使用的控制面板19。
本实用新型上述实施例中提供了一种硅片加工用托盘，通过吸附机构将硅片吸附固定，然后再进行加工操作，采用吸附固定模式，能够对硅片起到有效的防护作用，避免造成硅片破损，除此以外，在硅片加工过程中，通过转动承放台6带动硅片转动从而调整其朝向，通过偏转承放台6带动硅片偏转从而调整其偏转角度，以便于作业人员对硅片进行加工操作。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种硅片加工用托盘，其特征在于，所述硅片加工用托盘包括：
底座；
承放台，所述底座上通过转轴转动设有支撑框，所述承放台铰设于支撑框上；
吸附机构，设于所述承放台上，用于将硅片吸附固定；
所述吸附机构包括：
圆形盒，固定嵌设于所述承放台上，所述圆形盒朝上的一侧均匀设有硅胶吸盘，所述圆形盒上设有气筒，所述气筒内设有密封活塞且其远离圆形盒的一端螺纹穿设有螺纹杆，所述螺纹杆位于气筒内的一端与密封活塞转动相连；
滑杆，固定设于所述承放台内，所述滑杆上滑动套设有滑套，所述滑套上固定设有电动马达，所述电动马达的输出轴与螺纹杆远离密封活塞的一端固定相连。
2.根据权利要求1所述的硅片加工用托盘，其特征在于，所述底座底部对称设有多个垫片。
3.根据权利要求1所述的硅片加工用托盘，其特征在于，所述底座内固定设有转向电机，所述转向电机的输出轴与转轴之间通过锥齿轮传动结构传动。
4.根据权利要求1所述的硅片加工用托盘，其特征在于，所述承放台底部固定设有滑轨，所述滑轨上滑动卡设有滑块，所述支撑框上设有凸台，所述凸台上固定设有伸缩杆，所述伸缩杆伸缩端与滑块相铰连。
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