CN220984503U - 一种晶圆取放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种晶圆取放装置，包括用于对晶圆在取放过程中进行转动支撑的支撑机构，支撑机构上设置有用于对晶圆进行移动的移动调整机构，移动调整机构下端固定有用于对晶圆进行压力吸附的取放机构。本实用新型通过支撑机构、移动调整机构的设置便于对取放机构整体进行径向、周向上的位置调整，通过取放机构的气缸收缩，拉动活动板、活塞柱向上移动，使吸附胶套内的压力小于大气压力，将晶圆吸附在吸附胶套下端，之后将晶圆移动到放置位置后，气缸伸长推动活塞柱向下移动，使吸附胶套内的压力增大，晶圆依靠重力放下，避免对晶圆边缘进行夹持，减小晶圆取放时的损坏量，提高了对晶圆取放的便利性。

Description

一种晶圆取放装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，特别是涉及一种晶圆取放装置。

背景技术

硅晶圆和硅太阳能电池分别是半导体材料和半导体器件的典型代表，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。现有公开号为CN 219393376U的一种晶圆取放装置，其通过弹簧钢片的两端与两个手持柄连接，使得两个夹持臂之间在夹持产品时力度均匀，不会因为作业人员力度而改变，人工操作方便、简单，可以减少人员取放晶圆掉落风险，有利于提高生产效率；其中，在软垫的作用下，避免对晶圆造成磨损，结构可靠。但是上述取放装置在使用时，仍需要两个夹持臂在弹簧钢片的作用下对晶圆外壁进行夹持，因晶圆材料比较脆弱，夹取时容易出现边缘位置碰伤，给取放带来困扰。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆取放装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种晶圆取放装置，包括用于对晶圆在取放过程中进行转动支撑的支撑机构，所述支撑机构上设置有用于对晶圆进行移动的移动调整机构，所述移动调整机构下端固定有用于对晶圆进行压力吸附的取放机构；

所述支撑机构包括底座，所述底座上侧设置有旋转组件，所述旋转组件上端固定有横梁；

所述取放机构包括固定在所述移动调整机构下端的筒体，所述筒体上端设置有气缸，所述气缸下端固定有活动板，所述活动板下端设置有活塞柱，所述筒体下端固定有底板，所述底板上设置有与所述活塞柱对应的通孔，所述底板下端位于该通孔外侧设置有吸附胶套。

进一步设置：所述旋转组件包括固定在所述底座上端的支撑箱，所述支撑箱上竖直设置有立柱，所述立柱上位于所述支撑箱内固定有蜗轮，所述蜗轮一侧啮合有蜗杆，所述蜗杆一端连接有动力件。

进一步设置：所述立柱与所述支撑箱转动连接，所述蜗杆与所述支撑箱转动连接。

进一步设置：所述移动调整机构包括电动滑轨，所述电动滑轨上滑动设置有滑块，所述滑块下端固定有连接框，所述连接框上设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆下端固定有连接架。

进一步设置：所述底板与所述筒体焊接，所述筒体上端设置有贯穿孔，所述活塞柱呈台阶状，所述活塞柱与所述底板滑动连接，所述活塞柱在所述活动板上均布有五处。

进一步设置：所述吸附胶套为硅胶套，所述吸附胶套下端呈锥形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

通过支撑机构、移动调整机构的设置便于对取放机构整体进行径向、周向上的位置调整，通过取放机构的气缸收缩，拉动活动板、活塞柱向上移动，使吸附胶套内的压力小于大气压力，将晶圆吸附在吸附胶套下端，之后将晶圆移动到放置位置后，气缸伸长推动活塞柱向下移动，使吸附胶套内的压力增大，晶圆依靠重力放下，避免对晶圆边缘进行夹持，减小晶圆取放时的损坏量，提高了对晶圆取放的便利性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型所述一种晶圆取放装置的轴测图；

图2是本实用新型所述一种晶圆取放装置的另一视角的结构示意图；

图3是本实用新型所述一种晶圆取放装置的主剖结构示意图；

图4是本实用新型所述一种晶圆取放装置的取放机构的分解状态下的结构示意图；

图5是图3的A处放大结构示意图。

附图标记说明如下：

1、支撑机构；11、底座；12、支撑箱；13、立柱；14、横梁；15、蜗轮；16、蜗杆；17、伺服电机；2、移动调整机构；21、电动滑轨；22、连接框；23、电动伸缩杆；24、连接架；3、取放机构；31、筒体；32、气缸；33、活动板；34、活塞柱；35、底板；36、吸附胶套。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1-图5所示，一种晶圆取放装置，包括用于对晶圆在取放过程中进行转动支撑的支撑机构1，支撑机构1上设置有用于对晶圆进行移动的移动调整机构2，移动调整机构2下端固定有用于对晶圆进行压力吸附的取放机构3；

本实施例中：支撑机构1包括底座11，底座11上侧设置有旋转组件，旋转组件上端固定有横梁14；旋转组件包括固定在底座11上端的支撑箱12，支撑箱12上竖直设置有立柱13，立柱13上位于支撑箱12内固定有蜗轮15，蜗轮15一侧啮合有蜗杆16，蜗杆16一端连接有伺服电机17；立柱13与支撑箱12转动连接，蜗杆16与支撑箱12转动连接，通过伺服电机17工作带动蜗杆16转动，使蜗杆16与蜗轮15啮合，带动立柱13、横梁14旋转，便于对晶圆在圆周上进行位置调整。

本实施例中：移动调整机构2包括电动滑轨21，电动滑轨21上滑动设置有滑块，滑块下端固定有连接框22，连接框22上设置有电动伸缩杆23，电动伸缩杆23下端固定有连接架24，通过电动滑轨21对连接框22进行横向上的移动，电动伸缩杆23的伸缩对连接架24进行上下位置的控制。

本实施例中：取放机构3包括固定在移动调整机构2下端的筒体31，筒体31上端设置有气缸32，气缸32下端固定有活动板33，活动板33下端设置有活塞柱34，筒体31下端固定有底板35，底板35上设置有与活塞柱34对应的通孔，底板35下端位于该通孔外侧设置有吸附胶套36；底板35与筒体31焊接，筒体31上端设置有贯穿孔，活塞柱34呈台阶状，活塞柱34与底板35滑动连接，活塞柱34在活动板33上均布有五处；吸附胶套36为硅胶套，吸附胶套36下端呈锥形，在吸附胶套36贴合在晶圆上表面后，通过气缸32收缩，拉动活动板33、活塞柱34向上移动，使吸附胶套36内的压力小于大气压力，将晶圆吸附在吸附胶套36下端，之后将晶圆移动到放置位置后，气缸32伸长推动活塞柱34向下移动，使吸附胶套36内的压力增大，晶圆依靠重力放下，避免对晶圆边缘进行夹持，减小晶圆取放时的损坏量。

本实用新型工作原理及使用流程：通过移动调整机构2的电动滑轨21上的滑块移动，使取放机构3移动到晶圆上侧，电动伸缩杆23推动连接架24整体向下移动，使吸附胶套36与晶圆上表面挤压贴合，之后通过气缸32收缩，拉动活动板33、活塞柱34向上移动，使吸附胶套36内的压力小于大气压力，晶圆吸附在吸附胶套36下端，电动伸缩杆23向上收缩，抬起取放机构3，伺服电机17工作带动蜗杆16与蜗轮15啮合转动，使立柱13、横梁14整体旋转，将晶圆移动到放置位置，气缸32伸长推动活塞柱34向下移动，使吸附胶套36内的压力增大，晶圆依靠重力放下。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (6)

1.一种晶圆取放装置，其特征在于：包括用于对晶圆在取放过程中进行转动支撑的支撑机构(1)，所述支撑机构(1)上设置有用于对晶圆进行移动的移动调整机构(2)，所述移动调整机构(2)下端固定有用于对晶圆进行压力吸附的取放机构(3)；

所述支撑机构(1)包括底座(11)，所述底座(11)上侧设置有旋转组件，所述旋转组件上端固定有横梁(14)；

所述取放机构(3)包括固定在所述移动调整机构(2)下端的筒体(31)，所述筒体(31)上端设置有气缸(32)，所述气缸(32)下端固定有活动板(33)，所述活动板(33)下端设置有活塞柱(34)，所述筒体(31)下端固定有底板(35)，所述底板(35)上设置有与所述活塞柱(34)对应的通孔，所述底板(35)下端位于该通孔外侧设置有吸附胶套(36)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述旋转组件包括固定在所述底座(11)上端的支撑箱(12)，所述支撑箱(12)上竖直设置有立柱(13)，所述立柱(13)上位于所述支撑箱(12)内固定有蜗轮(15)，所述蜗轮(15)一侧啮合有蜗杆(16)，所述蜗杆(16)一端连接有动力件。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述立柱(13)与所述支撑箱(12)转动连接，所述蜗杆(16)与所述支撑箱(12)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述移动调整机构(2)包括电动滑轨(21)，所述电动滑轨(21)上滑动设置有滑块，所述滑块下端固定有连接框(22)，所述连接框(22)上设置有电动伸缩杆(23)，所述电动伸缩杆(23)下端固定有连接架(24)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述底板(35)与所述筒体(31)焊接，所述筒体(31)上端设置有贯穿孔，所述活塞柱(34)呈台阶状，所述活塞柱(34)与所述底板(35)滑动连接，所述活塞柱(34)在所述活动板(33)上均布有五处。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述吸附胶套(36)为硅胶套，所述吸附胶套(36)下端呈锥形。