CN219054888U - 一种晶圆片打盲孔装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种晶圆片打盲孔装置，涉及晶圆片加工技术领域。该晶圆片打盲孔装置，包括支撑框和机座，所述支撑框外侧固定连接有转动盘，所述机座底部安装有升降装置，所述升降装置底部安装有钻孔设备，其特征在于：所述支撑框顶部设有转动盘，该晶圆片打盲孔装置，握把带动固定连接的转向齿轮盘转动，转向齿轮盘转动带动啮合连接的多个转向齿轮转动，当转向齿轮转动时，带动固定连接的螺纹筒转动，使螺纹筒内部的螺纹杆推动弧形夹持板，由于弧形夹持板与固定框内壁固定连接有伸缩杆，使伸缩杆对弧形夹持板进行限位，从而使多个螺纹杆推动多个弧形夹持板对晶圆片进行夹持，操作便捷，并且可以对不同大小的晶圆片固定。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆片打盲孔技术，具体为一种晶圆片打盲孔装置，属于晶圆片加工技术领域。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
现公开了(公开号：CN215145831U)一种用于激光晶圆切割或打孔机的吸片盘，属于激光精密加工辅助设备技术领域，包括本体，所述本体一侧边缘具有平整靠山，所述平整靠山两侧具有弧形靠山，所述弧形靠山上远离平整靠山的一端连接有晶圆支撑凸台，所述平整靠山、弧形靠山和晶圆支撑凸台之间围合成避让悬空区，所述晶圆支撑凸台上表面开设有晶圆吸附孔。上述用于激光晶圆切割或打孔机的吸片盘首先通过平整靠山和弧形靠山对待加工晶圆的进行定位，然后晶圆吸附孔通过真空吸附将待加工晶圆固定到晶圆支撑凸台上，晶圆的加工位置通过避让悬空区与吸片盘本体进行隔离，因此不会出现晶圆加工过程中硅材质高温熔融与吸片盘粘结的问题，有益效果显著。
在上述的方案中通过吸附孔对工件进行固定，无法针对不同的尺寸的晶圆片进行居中定位，在加工过程中影响了生产的效率，同时在打孔时会产生灰尘，灰尘会影响人员的观察，无法及时判断晶圆片的加工状态。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆片打盲孔装置，以解决现有技术中对在上述的方案中通过吸附孔对工件进行固定，无法针对不同的尺寸的晶圆片进行居中定位，在加工过程中影响了生产的效率，同时在打孔时会产生灰尘，灰尘会影响人员的观察，无法及时判断晶圆片的加工状态题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆片打盲孔装置，包括支撑框和机座，所述支撑框外侧固定连接有转动盘，所述机座底部安装有升降装置，所述升降装置底部安装有钻孔设备，所述支撑框顶部设有转动盘，所述转动盘底部固定连接有转动杆，所述转动杆贯穿支撑框并与支撑框转动连接，所述转动盘顶部固定连接有多个固定框，多个所述固定框内部均设有用于对晶圆片固定的夹持组件：
所述钻孔设备外侧套设有防护罩，所述防护罩内部设有吸附装置。
优选的，所述夹持组件包括多个螺纹筒，多个所述螺纹筒均贯穿固定框并与固定框转动连接，所述螺纹筒内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端固定连接有弧形夹持板，可以通过弧形夹持板对晶圆片进行夹持。
优选的，所述夹持组件还包括多个伸缩杆，多个所述伸缩杆分别固定连接于多个弧形夹持板外侧，并与固定框内壁固定连接，通过伸缩杆对弧形夹持板进行限位。
优选的，多个所述螺纹筒外侧均固定连接有转向齿轮，所述固定框外侧设有转向齿轮盘，所述转向齿轮盘与支撑框转动连接，所述转向齿轮盘与多个转向齿轮啮合连接，所述转向齿轮盘外侧固定连接有握把，通过转向齿轮盘带动多个转向齿轮进行同步转动。
优选的，所述吸附装置包括吸附管，所述吸附管贯穿防护罩并延伸至防护罩内部，所述防护罩由于弹性材料制成，所述防护罩固定连接于钻孔设备外侧。
优选的，所述吸附装置还包括吸气泵，所述吸气泵固定连接于机座外侧，所述吸气泵进气端与吸气泵固定连通，可以对钻孔时产生的灰尘进行吸附处理。
优选的，所述支撑框内部固定连接有旋转电机，所述旋转电机输出轴与转动杆固定连接。
本实用新型提供了一种晶圆片打盲孔装置，其具备的有益效果如下：
1、该晶圆片打盲孔装置，握把带动固定连接的转向齿轮盘转动，转向齿轮盘转动带动啮合连接的多个转向齿轮转动，当转向齿轮转动时，带动固定连接的螺纹筒转动，使螺纹筒内部的螺纹杆推动弧形夹持板，由于弧形夹持板与固定框内壁固定连接有伸缩杆，使伸缩杆对弧形夹持板进行限位，从而使多个螺纹杆推动多个弧形夹持板对晶圆片进行夹持，操作便捷，并且可以对不同大小的晶圆片固定。
2、该晶圆片打盲孔装置，在打孔时，通过启动升降装置，使升降装置推动钻孔设备进行下降，使钻孔设备外侧固定连接的防护罩与晶圆片接触，随着钻孔设备的不断下降进行钻孔处理，通过防护罩将钻孔设备进行罩住，避免灰尘散，同时吸气泵，使吸附管将钻孔设备钻孔时产生的灰尘进行吸收，达到一个清理的效果。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的支撑框局部剖视图；
图3为本实用新型的夹持组件结构示意；
图4为本实用新型图2的A部结构放大图。
图中：1、支撑框；2、转动盘；3、机座；4、升降装置；5、钻孔设备；6、防护罩；7、吸附管；8、固定框；9、螺纹筒；10、螺纹杆；11、伸缩杆；12、弧形夹持板；13、转向齿轮盘；14、转向齿轮；15、握把；16、旋转电机；17、吸气泵；18、转动杆。
具体实施方式
本实用新型实施例提供一种晶圆片打盲孔装置。
请参阅图1、图2和图3，包括支撑框1和机座3，支撑框1外侧固定连接有转动盘2，机座3底部安装有升降装置4，升降装置4底部安装有钻孔设备5，其特征在于：支撑框1顶部设有转动盘2，转动盘2底部固定连接有转动杆18，转动杆18贯穿支撑框1并与支撑框1转动连接，转动盘2顶部固定连接有多个固定框8，多个固定框8内部均设有用于对晶圆片固定的夹持组件：
钻孔设备5外侧套设有防护罩6，防护罩6内部设有吸附装置。
夹持组件包括多个螺纹筒9，多个螺纹筒9均贯穿固定框8并与固定框8转动连接，螺纹筒9内部螺纹连接有螺纹杆10，螺纹杆10一端固定连接有弧形夹持板12，可以通过弧形夹持板12对晶圆片进行夹持，夹持组件还包括多个伸缩杆11，多个伸缩杆11分别固定连接于多个弧形夹持板12外侧，并与固定框8内壁固定连接，通过伸缩杆11对弧形夹持板12进行限位，多个螺纹筒9外侧均固定连接有转向齿轮14，固定框8外侧设有转向齿轮盘13，转向齿轮盘13与支撑框1转动连接，转向齿轮盘13与多个转向齿轮14啮合连接，转向齿轮盘13外侧固定连接有握把15，通过转向齿轮盘13带动多个转向齿轮14进行同步转动。
具体的，当操作人员需要对晶圆片进行加工打孔时，在转动盘2顶部设置了多个固定框8，通过将多个晶圆片依次放置于多个螺纹筒9中，通过转动握把15，使握把15带动固定连接的转向齿轮盘13转动，转向齿轮盘13转动带动啮合连接的多个转向齿轮14转动，当转向齿轮14转动时，带动固定连接的螺纹筒9转动，使螺纹筒9内部的螺纹杆10推动弧形夹持板12，由于弧形夹持板12与固定框8内壁固定连接有伸缩杆11，使伸缩杆11对弧形夹持板12进行限位，从而使多个螺纹杆10推动多个弧形夹持板12对晶圆片进行夹持，操作便捷，并且可以对不同大小的晶圆片固定。
请再次参阅图1、图2、图3和图4，支撑框1内部固定连接有旋转电机16，旋转电机16输出轴与转动杆18固定连接。
具体的，通过启动旋转电机16，使旋转电机16输出轴带动转动杆18转动，从而使转动杆18带动转动盘2转动，使转动盘2带动多个固定框8内部夹持的晶圆片进行转换，使其移动至钻孔设备5下部进行钻孔加工，提高了钻孔设备5的加工速率。
请再次参阅图1、图2、图3和图4，吸附装置包括吸附管7，吸附管7贯穿防护罩6并延伸至防护罩6内部，防护罩6由于弹性材料制成，防护罩6固定连接于钻孔设备5外侧，吸附装置还包括吸气泵17，吸气泵17固定连接于机座3外侧，吸气泵17进气端与吸气泵17固定连通，可以对钻孔时产生的灰尘进行吸附处理。
具体的，在打孔时，通过启动升降装置4，使升降装置4推动钻孔设备5进行下降，使钻孔设备5外侧固定连接的防护罩6与晶圆片接触，随着钻孔设备5的不断下降进行钻孔处理，通过防护罩6将钻孔设备5进行罩住，避免灰尘散，同时吸气泵17，使吸附管7将钻孔设备5钻孔时产生的灰尘进行吸收，达到一个清理的效果。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种晶圆片打盲孔装置，包括支撑框(1)和机座(3)，所述支撑框(1)外侧固定连接有转动盘(2)，所述机座(3)底部安装有升降装置(4)，所述升降装置(4)底部安装有钻孔设备(5)，其特征在于：所述支撑框(1)顶部设有转动盘(2)，所述转动盘(2)底部固定连接有转动杆(18)，所述转动杆(18)贯穿支撑框(1)并与支撑框(1)转动连接，所述转动盘(2)顶部固定连接有多个固定框(8)，多个所述固定框(8)内部均设有用于对晶圆片固定的夹持组件：
所述钻孔设备(5)外侧套设有防护罩(6)，所述防护罩(6)内部设有吸附装置。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片打盲孔装置，其特征在于：所述夹持组件包括多个螺纹筒(9)，多个所述螺纹筒(9)均贯穿固定框(8)并与固定框(8)转动连接，所述螺纹筒(9)内部螺纹连接有螺纹杆(10)，所述螺纹杆(10)一端固定连接有弧形夹持板(12)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆片打盲孔装置，其特征在于：所述夹持组件还包括多个伸缩杆(11)，多个所述伸缩杆(11)分别固定连接于多个弧形夹持板(12)外侧，并与固定框(8)内壁固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆片打盲孔装置，其特征在于：多个所述螺纹筒(9)外侧均固定连接有转向齿轮(14)，所述固定框(8)外侧设有转向齿轮盘(13)，所述转向齿轮盘(13)与支撑框(1)转动连接，所述转向齿轮盘(13)与多个转向齿轮(14)啮合连接，所述转向齿轮盘(13)外侧固定连接有握把(15)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片打盲孔装置，其特征在于：所述吸附装置包括吸附管(7)，所述吸附管(7)贯穿防护罩(6)并延伸至防护罩(6)内部，所述防护罩(6)由于弹性材料制成，所述防护罩(6)固定连接于钻孔设备(5)外侧。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆片打盲孔装置，其特征在于：所述吸附装置还包括吸气泵(17)，所述吸气泵(17)固定连接于机座(3)外侧，所述吸气泵(17)进气端与吸气泵(17)固定连通。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆片打盲孔装置，其特征在于：所述支撑框(1)内部固定连接有旋转电机(16)，所述旋转电机(16)输出轴与转动杆(18)固定连接。
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| CN202222832546.6U CN219054888U (zh) | 2022-10-26 | 2022-10-26 | 一种晶圆片打盲孔装置 |
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| CN202222832546.6U CN219054888U (zh) | 2022-10-26 | 2022-10-26 | 一种晶圆片打盲孔装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116533085A (zh) * | 2023-07-07 | 2023-08-04 | 深圳市星国华先进装备科技有限公司 | 一种多爪式限位式晶圆加工整平装置 |
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2022
- 2022-10-26 CN CN202222832546.6U patent/CN219054888U/zh active Active
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| CN116533085A (zh) * | 2023-07-07 | 2023-08-04 | 深圳市星国华先进装备科技有限公司 | 一种多爪式限位式晶圆加工整平装置 |
| CN116533085B (zh) * | 2023-07-07 | 2023-09-19 | 深圳市星国华先进装备科技有限公司 | 一种多爪式限位式晶圆加工整平装置 |
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