CN217123617U - 一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，涉及单晶硅片加工技术领域，包括工作台，工作台的上方固定连接有三组限位柱，三限位柱之间设置有硅片本体，硅片本体远离单组限位柱的一侧设置有偏心轮，偏心轮与硅片本体相抵，工作台的下方中间部位固定安装有气缸，气缸的输出端固定连接有推杆，硅片本体远离双组限位柱的一侧设置有固定装置，固定装置包括与推杆固定连接的U形板，U形板的上方延伸至硅片本体的上方且滑动连接有两连杆，两连杆靠近硅片本体的一端固定连接有夹板，连杆远离夹板的一端固定连接有拉板，夹板随U形板位移至硅片本体上方放下夹板，由于弹簧的回弹效果，使夹板固定硅片本体，提升硅片本体加工便捷性。

Description

一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，更具体地说，涉及一种用于芳纶基材单晶硅片用夹持机构。

背景技术

单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

然而现有技术中加工单晶硅片时需要操作人员一只手扶持单晶硅片，用另一只手进行操作，单手操作容易降低加工时的稳定性以及加工精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，旨在能够有效的解决现有技术中加工单晶硅片时需要操作人员一只手扶持单晶硅片，用另一只手进行操作，单手操作容易降低加工时的稳定性以及加工精度的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，包括工作台，所述工作台的上方固定连接有三组限位柱，三组所述限位柱之间设置有硅片本体，所述硅片本体远离单组限位柱的一侧设置有偏心轮，所述偏心轮与硅片本体相抵，所述工作台的下方中间部位固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有推杆，所述硅片本体远离双组限位柱的一侧设置有固定装置，所述固定装置包括与推杆固定连接的U形板，所述U形板的上方延伸至硅片本体的上方且滑动连接有两连杆，两组所述连杆靠近硅片本体的一端固定连接有夹板，所述连杆远离夹板的一端固定连接有拉板，夹板随U形板位移至硅片本体的上方放下夹板，让夹板贴合硅片本体，由于弹簧的回弹效果，从而使夹板固定硅片本体，提升硅片本体加工时的便捷性。

作为本实用新型的一种优选方案，所述连杆的外侧套设有弹簧，所述弹簧的一端固定连接至U形板的内侧，所述弹簧的另一端固定连接至夹板。

作为本实用新型的一种优选方案，所述U形板的下方内侧固定连接有两导杆，两组所述导杆远离U形板的一端延伸至工作台的内部且固定连接有限位板。

作为本实用新型的一种优选方案，所述工作台下方靠近偏心轮的一侧固定连接有支架，所述支架的内侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端转动连接有第一齿轮。

作为本实用新型的一种优选方案，所述偏心轮远离硅片本体的一侧固定连接有传动轴，所述传动轴远离偏心轮的一端同轴固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮啮合连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述传动轴的外径贴合设置有限位扣，所述限位扣与工作台固定连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述工作台的下方四边角处固定连接有支腿，四组所述支腿远离工作台的一端均固定连接有底板。

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

（1）为了提升硅片本体加工时的便捷性，限位柱与偏心轮均起到限位的作用，并且通过固定装置对硅片本体进行固定，过程中通过拉板与连杆将夹板位置抬升，同时气缸驱动推杆带动U形板靠近工作台，当夹板随U形板位移至硅片本体的上方放下夹板，让夹板贴合硅片本体，由于弹簧的回弹效果，从而使夹板固定硅片本体，提升硅片本体加工时的便捷性。

（2）驱动电机可直驱第一齿轮进行转动，通过支架保证驱动电机运行时的稳定性，由于第一齿轮和第二齿轮的啮合连接的关系，第一齿轮转动时带动第二齿轮进行同步转动，经过传动轴的传动使偏心轮转动，偏心轮转动可解除对硅片本体的限定。

附图说明

图1为本实用新型的整体机构立体示意图；

图2为本实用新型的整体机构立体仰视图；

图3为本实用新型的整体机构正剖示意图。

图中标号说明：

1、工作台；2、限位柱；3、偏心轮；4、固定装置；41、U形板；42、连杆；43、夹板；44、弹簧；45、拉板；46、导杆；47、限位板；5、支架；6、驱动电机；7、第一齿轮；8、第二齿轮；9、传动轴；10、限位扣；11、支腿；12、底板；13、气缸；14、推杆；15、硅片本体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

请参阅图1和图2，一种用于芳纶基材单晶硅片用夹持机构，包括工作台1，工作台1的上方固定连接有三组限位柱2，三限位柱2之间设置有硅片本体15，硅片本体15远离单组限位柱2的一侧设置有偏心轮3，偏心轮3与硅片本体15相抵，工作台1的下方中间部位固定安装有气缸13，气缸13的输出端固定连接有推杆14，硅片本体15远离双组限位柱2的一侧设置有固定装置4，固定装置4包括与推杆14固定连接的U形板41，U形板41的上方延伸至硅片本体15的上方且滑动连接有两连杆42，两连杆42靠近硅片本体15的一端固定连接有夹板43，连杆42的外侧套设有弹簧44，弹簧44的一端固定连接至U形板41的内侧，弹簧44的另一端固定连接至夹板43，连杆42远离夹板43的一端固定连接有拉板45。

在进一步的实施例中，为了提升硅片本体15加工时的便捷性，限位柱2与偏心轮3均起到限位的作用，并且通过固定装置4对硅片本体15进行固定，过程中通过拉板45与连杆42将夹板43位置抬升，同时气缸13驱动推杆14带动U形板41靠近工作台1，当夹板43随U形板41位移至硅片本体15的上方放下夹板43，让夹板43贴合硅片本体15，由于弹簧44的回弹效果，从而使夹板43固定硅片本体15，提升硅片本体15加工时的便捷性。

请参阅图2和图3，U形板41的下方内侧固定连接有两导杆46，两导杆46远离U形板41的一端延伸至工作台1的内部且固定连接有限位板47。

在进一步的实施例中，通过导杆46对U形板41进行位置的限定，从而提升U形板41位移时的稳定性。

请参阅图1，工作台1下方靠近偏心轮3的一侧固定连接有支架5，支架5的内侧固定安装有驱动电机6，驱动电机6的输出端转动连接有第一齿轮7，偏心轮3远离硅片本体15的一侧固定连接有传动轴9，传动轴9的外径贴合设置有限位扣10，限位扣10与工作台1固定连接，传动轴9远离偏心轮3的一端同轴固定连接有第二齿轮8，第二齿轮8与第一齿轮7啮合连接。

在进一步的实施例中，驱动电机6可直驱第一齿轮7进行转动，通过支架5保证驱动电机6运行时的稳定性，由于第一齿轮7和第二齿轮8的啮合连接关系，第一齿轮7转动时带动第二齿轮8同步转动，经过传动轴9的传动使偏心轮3转动，偏心轮3转动可解除对硅片本体15的限定。

请参阅图1，工作台1的下方四边角处固定连接有支腿11，四支腿11远离工作台1的一端均固定连接有底板12。

在进一步的实施例中，通过支腿11对工作台1进行稳定支撑，底板12可增大与桌面的接触面积，进一步提升了工作台1的稳定性。

工作原理：

本实用新型，对硅片本体15加工时，将硅片本体15放置在限位柱2之间，然后启动驱动电机6，经过第一齿轮7、第二齿轮8和传动轴9的传动使偏心轮3转动，偏心轮3转动靠近抵住硅片本体15，进一步加强对硅片本体15的限位效果，最后拉动拉板45使夹板43位置抬升，同时气缸13驱动推杆14带动U形板41靠近工作台1，当夹板43随U形板41位移至硅片本体15的上方放下夹板43，让夹板43贴合硅片本体15，由于弹簧44的回弹效果，从而使夹板43固定硅片本体15，提升硅片本体15加工时的便捷性。

以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的上方固定连接有三组限位柱（2），三组所述限位柱（2）之间设置有硅片本体（15），所述硅片本体（15）远离单组限位柱（2）的一侧设置有偏心轮（3），所述偏心轮（3）与硅片本体（15）相抵，所述工作台（1）的下方中间部位固定安装有气缸（13），所述气缸（13）的输出端固定连接有推杆（14），所述硅片本体（15）远离双组限位柱（2）的一侧设置有固定装置（4），所述固定装置（4）包括与推杆（14）固定连接的U形板（41），所述U形板（41）的上方延伸至硅片本体（15）的上方且滑动连接有两连杆（42），两所述连杆（42）靠近硅片本体（15）的一端固定连接有夹板（43），所述连杆（42）远离夹板（43）的一端固定连接有拉板（45）。

2.根据权利要求1所述的一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，其特征在于：所述连杆（42）的外侧套设有弹簧（44），所述弹簧（44）的一端固定连接至U形板（41）的内侧，所述弹簧（44）的另一端固定连接至夹板（43）。

3.根据权利要求1所述的一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，其特征在于：所述U形板（41）的下方内侧固定连接有两组导杆（46），两组所述导杆（46）远离U形板（41）的一端延伸至工作台（1）的内部且固定连接有限位板（47）。

4.根据权利要求1所述的一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，其特征在于：所述工作台（1）下方靠近偏心轮（3）的一侧固定连接有支架（5），所述支架（5）的内侧固定安装有驱动电机（6），所述驱动电机（6）的输出端转动连接有第一齿轮（7）。

5.根据权利要求4所述的一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，其特征在于：所述偏心轮（3）远离硅片本体（15）的一侧固定连接有传动轴（9），所述传动轴（9）远离偏心轮（3）的一端同轴固定连接有第二齿轮（8），所述第二齿轮（8）与第一齿轮（7）啮合连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，其特征在于：所述传动轴（9）的外径贴合设置有限位扣（10），所述限位扣（10）与工作台（1）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于芳纶基材单晶硅片的夹持机构，其特征在于：所述工作台（1）的下方四边角处固定连接有支腿（11），四组所述支腿（11）远离工作台（1）的一端均固定连接有底板（12）。

Images