CN220075171U - 一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，包括设于硅棒运输车（1）上的工装导轨（2），工装导轨（2）上连有底板座（3），二者形成滑动导向配合，底板座（3）上设有相互配合的升降传动组件（4）、滚轮支撑组件（5）和棘轮自锁组件（6）；升降传动组件（4）包括滑动配合的滑块（42）和升降滑轨（43），以及相互啮合的齿条块（45）和直齿轮（410）；滚轮支撑组件（5）包括支撑块（51）和胶圈滚轮（52）；棘轮自锁组件（6）包括与棘轮（49）配合的棘爪（61）、手柄（64）和拉伸弹簧（66）。本实用新型的优点是辅助硅棒上料，提高上料效率，保证顺利上料。

Description

一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒机械加工技术领域，尤其涉及一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装。

背景技术

单晶硅棒机加工制造主要分为截断、开方、磨倒三个生产工序。其中，截断工序是将单晶拉制的长毛棒通过运料小车运输到截断机进行截断，截断上料一般采用桁架吊钩或者桁架机械手的方式进行夹持上料，这也导致截断工序前期需要大量时间进行桁架机械手的建设和调试，影响工厂建设前期的截断产能。

专利号CN218402701U提供了一种单晶硅棒运输平台，其公开了晶棒运输车和设于其上的V型槽支架，硅棒放置在V型槽支架上。但是当需要将硅棒进行转运上料时，此专利的技术方案是利用轨道架将运输车进行整体平移，而不是针对硅棒进行单独转运处理，硅棒还是无法单独运输至截断机上进行截断处理。

实用新型内容

本实用新型目的就是为了解决现有硅棒截断上料不便、机械手调试时间长和上料效率低的问题，提供了一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，可以辅助硅棒上料，单独将硅棒转运至截断机上，避免桁架机械手建设和调试造成的上料时间长，提高上料效率，保证顺利上料。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，包括设于硅棒运输车上的工装导轨，工装导轨上连有底板座，二者形成滑动导向配合，底板座上设有相互配合的升降传动组件、滚轮支撑组件和棘轮自锁组件；

所述升降传动组件包括竖直连于底板座右侧的滑块固定板，滑块固定板上连有滑块，滑块与升降滑轨相连，二者形成滑动导向配合，升降滑轨上通过连接板与一个齿条块相连，底板座上设有通孔，升降滑轨和齿条块的下端穿过通孔向下；

底板座的左侧通过轴承垫块与一个轴承座相连，轴承座上通过水平的轴承依次连接棘轮和直齿轮，直齿轮与齿条块相互啮合，棘轮和直齿轮之间通过一组内六角螺钉固定相连，且二者组合后的外圆弧面上设有三个圆孔，圆孔与撬棍相互配合，撬棍嵌入圆孔内，以用于实现齿轮的转动和装置的升降；

所述滚轮支撑组件包括与连接板相连的支撑块，支撑块的中部设有凹槽、两侧设有向内倾斜的安装面，每个安装面上连接一组胶圈滚轮，每侧的胶圈滚轮沿着平行于凹槽轴线的方向设置，且胶圈滚轮的上边缘高于支撑块的上边缘，以用于通过滚轮起到支撑硅棒的作用；

所述棘轮自锁组件包括与棘轮配合的棘爪，棘爪通过销轴连于棘爪座内，棘爪的上部与一个手柄相连、中部通过螺钉一与拉伸弹簧的一端相连，拉伸弹簧的另一端通过螺钉二与轴承座垫块相连，以用于通过棘爪实现棘轮和直齿轮的自锁。

进一步地，所述滑块固定板的两侧分别连接一对肋板，以用于增强结构强度和稳定性。

进一步地，所述升降滑轨竖直设置，且其轴线与齿条块的轴线相互平行。

进一步地，所述轴承通过平键与直齿轮相连，且轴承的两端分别连有轴用弹性挡圈，以用于避免轴承滑脱。

进一步地，所述圆孔的轴线以直齿轮的中轴为中心向外呈辐射状设置。

进一步地，所述胶圈滚轮包括胶圈、平垫圈、深沟球轴承、弹簧垫圈和内六角圆头螺钉，胶圈套设在深沟球轴承外，且其两端通过平垫圈和弹簧垫圈固定，内六角圆头螺钉穿过深沟球轴承的中部与支撑块的安装面相连。

进一步地，所述升降传动组件的外部还设有防护外壳，防护外壳上设有把手。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案的优点具体在于：

（1）本实用新型的支撑板为特定凹型设计，可以支撑不同规格的圆棒，便于推动上料，其上带有胶圈的轴承可以很好的转动、便于人工推动上料；

（2）本实用新型的肋板加固了滑块固定座，保证了导轨滑块竖直运动的稳定性，提升了整体的升降传动性能，连接板把导轨滑块和齿条相连接为一个整体，直齿轮和棘轮内部都有特定距离的三个圆孔，既保证没有破坏齿轮太多结构强度，同时便于撬棍插入，利用杠杆原理使得两个紧密连接的齿轮能转动一定距离，齿条与直齿轮相啮合便能达到升降功能；

（3）本实用新型的棘爪通过弹簧的拉伸作用卡在棘轮上，从而形成自锁。当需要下降时，只需掰动手柄把棘爪拉开即可，操作方便快捷，提高了上料效率。

附图说明

图1为本实用新型的用于单晶圆棒截断上料的辅助工装结构图；

图2为本实用新型的升降传动组件爆炸图；

图3为本实用新型的滚轮支撑组件爆炸图；

图4为本实用新型的棘轮自锁组件爆炸图；

图5为本实用新型的辅助工装在硅棒运输车上的应用示意图。

具体实施方式

实施例

为使本实用新型更加清楚明白，下面结合附图对本实用新型的一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装进一步说明，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参见图1和图5，一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，包括设于硅棒运输车1上的工装导轨2，其特征在于：

参见图1~4，工装导轨2上连有底板座3，二者形成滑动导向配合，底板座3上设有相互配合的升降传动组件4、滚轮支撑组件5和棘轮自锁组件6；

参见图1和图2，所述升降传动组件4包括竖直连于底板座3右侧的滑块固定板41，滑块固定板41的两侧分别连接一对肋板412，且滑块固定板41上连有滑块42，滑块42与升降滑轨43相连，二者形成滑动导向配合，升降滑轨43上通过连接板44与一个齿条块45相连，二者的轴线均竖直设置，底板座3上设有通孔3a，升降滑轨43和齿条块45的下端穿过通孔3a向下；

底板座3的左侧通过轴承垫块与46一个轴承座47相连，轴承座47上通过水平的轴承48依次连接棘轮49和直齿轮410，且轴承48的两端分别连有轴用弹性挡圈414，直齿轮410与齿条块45相互啮合，棘轮49和直齿轮410之间通过一组内六角螺钉411固定相连，且二者组合后的外圆弧面上设有三个圆孔410a，圆孔410a与撬棍7相互配合，撬棍7嵌入圆孔410a内，以用于实现齿轮的转动和装置的升降；

参见图1和图3，所述滚轮支撑组件5包括与连接板44相连的支撑块51，支撑块51的中部设有凹槽51a、两侧设有向内倾斜的安装面51b，每个安装面51b上连接一组胶圈滚轮52，胶圈滚轮52包括胶圈521、平垫圈522、深沟球轴承523、弹簧垫圈524和内六角圆头螺钉525，胶圈521套设在深沟球轴承523外，且其两端通过平垫圈522和弹簧垫圈524固定，内六角圆头螺钉525穿过深沟球轴承523的中部与支撑块51的安装面51b相连，每侧的胶圈滚轮52沿着平行于凹槽51a轴线的方向设置，且胶圈滚轮52的上边缘高于支撑块51的上边缘，以用于通过滚轮起到支撑硅棒的作用；

参见图1和图4，所述棘轮自锁组件6包括与棘轮49配合的棘爪61，棘爪61通过销轴62连于棘爪座63内，棘爪61的上部与一个手柄64相连、中部通过螺钉一65与拉伸弹簧66的一端相连，拉伸弹簧66的另一端通过螺钉二67与轴承座垫块46相连，以用于通过棘爪实现棘轮和直齿轮的自锁。

参见图1，升降传动组件4的外部还设有防护外壳9，防护外壳9上设有把手10。

使用时，可以将撬棍7插入圆孔410a内，通过直齿轮410转动一定距离，带动齿条块45沿着滑轨滑块方向上下移动，将滚轮支撑机构5抬起至圆棒8下方，通过橡胶滚轮52支撑圆棒，并方便推动上料，同时可以通过手柄64将棘爪61卡入棘轮49中，实现自锁功能。

本实用新型中，滚轮支撑组件5利用了特定凹型形状的支撑板可以支撑不同规格的圆棒8，上面带有胶圈的轴承可以很好的转动、便于人工推动上料；升降传动组件4，利用了导轨滑块较好地保证了竖直移动，同时带有3个孔洞的直齿轮配合撬棍能带动齿条运动，最后通过连接板把导轨滑块和齿轮齿条相互连接，有了良好的升降传动效果；棘轮自锁组件6，利用了拉伸弹簧将棘爪卡在棘轮上，而棘轮又与直齿轮连接，使得整体机构有了自锁性，同时手柄连接着棘爪，能使棘轮机构解除自锁。

除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。

Claims (7)

1.一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，包括设于硅棒运输车（1）上的工装导轨（2），其特征在于：

工装导轨（2）上连有底板座（3），二者形成滑动导向配合，底板座（3）上设有相互配合的升降传动组件（4）、滚轮支撑组件（5）和棘轮自锁组件（6）；

所述升降传动组件（4）包括竖直连于底板座（3）右侧的滑块固定板（41），滑块固定板（41）上连有滑块（42），滑块（42）与升降滑轨（43）相连，二者形成滑动导向配合，升降滑轨（43）上通过连接板（44）与一个齿条块（45）相连，底板座（3）上设有通孔（3a），升降滑轨（43）和齿条块（45）的下端穿过通孔（3a）向下；

底板座（3）的左侧通过轴承垫块（46）与一个轴承座（47）相连，轴承座（47）上通过水平的轴承（48）依次连接棘轮（49）和直齿轮（410），直齿轮（410）与齿条块（45）相互啮合，棘轮（49）和直齿轮（410）之间通过一组内六角螺钉（411）固定相连，且二者组合后的外圆弧面上设有三个圆孔（410a），圆孔（410a）与撬棍（7）相互配合，撬棍（7）嵌入圆孔（410a）内；

所述滚轮支撑组件（5）包括与连接板（44）相连的支撑块（51），支撑块（51）的中部设有凹槽（51a）、两侧设有向内倾斜的安装面（51b），每个安装面（51b）上连接一组胶圈滚轮（52），每侧的胶圈滚轮（52）沿着平行于凹槽（51a）轴线的方向设置，且胶圈滚轮（52）的上边缘高于支撑块（51）的上边缘；

所述棘轮自锁组件（6）包括与棘轮（49）配合的棘爪（61），棘爪（61）通过销轴（62）连于棘爪座（63）内，棘爪（61）的上部与一个手柄（64）相连、中部通过螺钉一（65）与拉伸弹簧（66）的一端相连，拉伸弹簧（66）的另一端通过螺钉二（67）与轴承座垫块（46）相连。

2.根据权利要求1所述的用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，其特征在于：

所述滑块固定板（41）的两侧分别连接一对肋板（412）。

3.根据权利要求1或2所述的用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，其特征在于：

所述升降滑轨（43）竖直设置，且其轴线与齿条块（45）的轴线相互平行。

4.根据权利要求1或2所述的用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，其特征在于：

所述轴承（48）通过平键（413）与直齿轮（410）相连，且轴承（48）的两端分别连有轴用弹性挡圈（414）。

5.根据权利要求1或2所述的用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，其特征在于：

所述圆孔（410a）的轴线以直齿轮（410）的中轴为中心向外呈辐射状设置。

6.根据权利要求1或2所述的用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，其特征在于：

所述胶圈滚轮（52）包括胶圈（521）、平垫圈（522）、深沟球轴承（523）、弹簧垫圈（524）和内六角圆头螺钉（525），胶圈（521）套设在深沟球轴承（523）外，且其两端通过平垫圈（522）和弹簧垫圈（524）固定，内六角圆头螺钉（525）穿过深沟球轴承（523）的中部与支撑块（51）的安装面（51b）相连。

7.根据权利要求1或2所述的用于单晶圆棒截断上料的辅助工装，其特征在于：

所述升降传动组件（4）的外部还设有防护外壳（9），防护外壳（9）上设有把手（10）。