CN220065641U - 一种可识别晶圆错位的倒片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可识别晶圆错位的倒片装置，包括工作台，所述工作台的顶部面由晶圆转移部和推动组件构成，晶圆转移部通过定位结构安装于工作台的顶部面；所述晶圆转移部包括中间板、分别通过连接结构固定于中间板两侧的卡塞A和卡塞B、防晶圆错位组件；所述连接结构由一组呈上下位置分别设置于中间板两侧面的定位口、两个呈上下位置分别固定连接于卡塞A和卡塞B一侧面的定位块构成；所述防晶圆错位组件由两个以上呈等距式设置于卡塞A和卡塞B圆周内壁面的晶圆槽、呈等距式设置于中间板内壁且与晶圆槽数量和高度相同的通槽。本实用新型可以及时发现晶圆错位并调整，从而避免错位后的晶圆对晶圆本身及设备造成安全隐患。

Description

一种可识别晶圆错位的倒片装置

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片生产技术领域，尤其涉及一种可识别晶圆错位的倒片装置。

背景技术

在半导体芯片制造领域，为了减少外界污染源对晶圆的污染，通常会将晶圆放置于晶圆卡塞内，由于晶圆生产制造工艺流程较多，使用到的设备种类也较多，不同的设备厂家在设备上设计的卡塞定位装置不同，一般采用各自专用的卡塞进行生产作业，故在晶圆的生产过程中需要不断地将晶圆在不同卡塞之间进行转移工作。

经检索，中国专利申请号为CN202123213078.6的专利，公开了一种晶圆倒片装置，其包括箱体、定位组件及推手组件，箱体顶部形成用于放置开口相对的两片架的承载平台，定位组件设置于承载平台上，推手组件与箱体内部滑动连接，推手组件可沿第一方向往复移动，推手组件用于沿第一方向从第一位置移动至第二位置，以将一片架中的晶圆推入另一片架中。上述专利中的晶圆倒片装置存在以下不足：在晶圆转移的过程中，如果出现晶圆错位但又未能及时发现，错位后的晶圆倒入到设备专用卡塞后进行作业，将对设备及晶圆本身产生较大的安全隐患，因此还存在不能快速识别晶圆错位的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可识别晶圆错位的倒片装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种可识别晶圆错位的倒片装置，包括工作台，所述工作台的顶部面由晶圆转移部和推动组件构成，晶圆转移部通过定位结构安装于工作台的顶部面；

所述晶圆转移部包括中间板、分别通过连接结构固定于中间板两侧的卡塞A和卡塞B、防晶圆错位组件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述连接结构由一组呈上下位置分别设置于中间板两侧面的定位口、两个呈上下位置分别固定连接于卡塞A和卡塞B一侧面的定位块构成。

作为本实用新型再进一步的方案：所述防晶圆错位组件由两个以上呈等距式设置于卡塞A和卡塞B圆周内壁面的晶圆槽、呈等距式设置于中间板内壁且与晶圆槽数量和高度相同的通槽、分别设置于卡塞A和卡塞B，以及中间板位于中间位置上的通口。

作为本实用新型再进一步的方案：所述定位结构包括设置于工作台顶部外壁且与的晶圆转移部相适配的放置槽、呈对称式固定连接于放置槽左右两侧的凸柱。

作为本实用新型再进一步的方案：所述中间板位于两侧底端的内壁设置有与凸柱相适配的定位孔。

作为本实用新型再进一步的方案：所述推动组件包括推杆和设置于工作台顶部面的导轨，且推杆的底部面固定连接有与导轨内壁形成滑动配合的滑动块。

作为本实用新型再进一步的方案：所述推杆面朝晶圆转移部的一侧外壁设置有防静电板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述滑动块和导轨的相对应一侧面固定连接有同一个弹簧；

所述导轨的相对应一侧面均设置有缓冲垫。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种可识别晶圆错位的倒片装置，具备以下有益效果：

1.该可识别晶圆错位的倒片装置，通过设置有防晶圆错位组件，利用推动组件从卡塞B上的通口穿过，以便使得卡塞B的晶圆槽内的晶圆在水平穿过中间板上的通槽后，转移至卡塞A上的晶圆槽内，通过中间板上通槽的设置，可对晶圆转移过程起到辅助支撑作用，防止在转移期间出现晶圆错位的情况，而且在转移倒片过程中若晶圆错位，那么推动组件则无法继续前移，故而可以及时发现晶圆错位并调整，从而避免错位后的晶圆对晶圆本身及设备造成安全隐患。

2.该可识别晶圆错位的倒片装置，通过设置有连接结构，分别将卡塞A和装有晶圆的卡塞B通过其上的定位块插入中间板上的定位口内，从而使得三者进行快速安装固定，而且可以防止卡塞A和卡塞B的组装位置上下颠倒；将晶圆转移部卡入工作台上的放置槽内，使得中间板上的定位孔对应套入凸柱上，从而完成晶圆转移部与工作台的稳定安装，拆装方便。

3.该可识别晶圆错位的倒片装置，向晶圆转移部方向推动推杆使其顺延导轨位移，使得防静电板插入通口内后，逐渐接触并顶动卡塞B内的晶圆，使其水平转移至卡塞A内，倒片结束松开手后，推杆会在弹簧的弹性拉伸下复位至原点，然后将晶圆转移部从放置槽内取出即完成晶圆的倒片工作。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种可识别晶圆错位的倒片装置的侧视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种可识别晶圆错位的倒片装置的俯视爆炸结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种可识别晶圆错位的倒片装置的卡塞A、中间板和卡塞B爆炸结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种可识别晶圆错位的倒片装置的工作台局部剖面结构示意图。

图中：1工作台、101放置槽、102凸柱、2推杆、201滑动块、3防静电板、4中间板、401定位口、402定位孔、403通槽、5卡塞A、501晶圆槽、502定位块、6卡塞B、601通口、7导轨、701缓冲垫、702弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

一种可识别晶圆错位的倒片装置，为了完成晶圆的倒片，如图1-3所示，包括工作台1，所述工作台1的顶部面由晶圆转移部和推动组件构成，其中，晶圆转移部通过定位结构安装于工作台1的顶部面，实现便捷拆装；

所述定位结构包括开设于工作台1顶部外壁且与的晶圆转移部相适配的放置槽101、呈对称式焊接于放置槽101左右两侧的凸柱102；将晶圆转移部卡接于放置槽101内从而使其安装于工作台1上。

所述晶圆转移部包括中间板4、分别通过连接结构固定于中间板4两侧的卡塞A5和卡塞B6；所述中间板4位于两侧底端的内壁开设有与凸柱102相适配的定位孔402；

进一步的，所述连接结构由一组呈上下位置分别开设于中间板4两侧面的定位口401、两个呈上下位置分别焊接于卡塞A5和卡塞B6一侧面的定位块502构成；组装时分别将卡塞A5和装有晶圆的卡塞B6通过其上的定位块502插入中间板4上的定位口401内，从而使得三者进行快速安装固定，而且可以防止卡塞A5和卡塞B6的组装位置上下颠倒；然后将晶圆转移部卡入工作台1上的放置槽101内，使得中间板4上的定位孔402对应套入凸柱102上，从而完成晶圆转移部与工作台1的稳定安装，拆装方便。

优选的，卡塞A5和卡塞B6结构相同；

进一步的，所述晶圆转移部还包括防晶圆错位组件，防晶圆错位组件由若干个呈等距式开设于卡塞A5和卡塞B6圆周内壁面用于盛放晶圆的晶圆槽501、呈等距式开设于中间板4内壁且与晶圆槽501数量和高度相同的通槽403、分别开设于卡塞A5和卡塞B6，以及中间板4位于中间位置上的通口601；利用推动组件从卡塞B6上的通口601穿过，以便使得卡塞B6的晶圆槽501内的晶圆在水平穿过中间板4上的通槽403后，转移至卡塞A5上的晶圆槽501内，通过中间板4上通槽403的设置，可对晶圆转移过程起到辅助支撑作用，防止在转移期间出现晶圆错位的情况，而且在转移倒片过程中若晶圆错位，那么推动组件则无法继续前移，故而可以及时发现晶圆错位并调整，从而避免错位后的晶圆对晶圆本身及设备造成安全隐患。

为了推出晶圆，如图1-2所示，所述推动组件包括推杆2和开设于工作台1顶部面的导轨7，且推杆2的底部面通过螺栓固定有与导轨7内壁形成滑动配合的滑动块201；

进一步的，所述推杆2面朝晶圆转移部的一侧外壁粘接有防静电板3；向晶圆转移部方向推动推杆2使其顺延导轨7位移，使得防静电板3插入通口601内后，逐渐接触并顶动卡塞B6内的晶圆，使其水平转移至卡塞A5内，从而完成倒片工作。

优选的，导轨7的长度外延至放置槽101的1/4或1/3位置；从而能够保证推杆2的推动行程能够满足晶圆从卡塞B6转移至卡塞A5上的条件。

工作原理：分别将卡塞A5和装有晶圆的卡塞B6通过其上的定位块502插入中间板4上的定位口401内，然后将晶圆转移部卡入工作台1上的放置槽101内，使得中间板4上的定位孔402对应套入凸柱102上。向晶圆转移部方向推动推杆2使其顺延导轨7位移，使得防静电板3插入通口601内后，逐渐接触并顶动卡塞B6内的晶圆，以便使得晶圆槽501内的晶圆在水平穿过中间板4上的通槽403后，转移至卡塞A5上的晶圆槽501内。

实施例2

一种可识别晶圆错位的倒片装置，如图2和图4所示，为了使得推杆2复位；本实施例在实施例1的基础上作出以下改进：所述滑动块201和导轨7的相对应一侧面焊接有同一个弹簧702；倒片结束松开手后，推杆2会在弹簧702的弹性拉伸下复位至原点，然后将晶圆转移部从放置槽101内取出即完成晶圆的倒片工作。

进一步的，所述导轨7的相对应一侧面均粘接有缓冲垫701；可对推杆2回到初始位置以及前进至终点位置时产生缓冲作用。

工作原理：倒片结束松开手后，推杆2会在弹簧702的弹性拉伸下复位至原点，然后将晶圆转移部从放置槽101内取出即完成晶圆的倒片工作。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种可识别晶圆错位的倒片装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的顶部面由晶圆转移部和推动组件构成，晶圆转移部通过定位结构安装于工作台(1)的顶部面；

所述晶圆转移部包括中间板(4)、分别通过连接结构固定于中间板(4)两侧的卡塞A(5)和卡塞B(6)、防晶圆错位组件。

2.根据权利要求1所述的一种可识别晶圆错位的倒片装置，其特征在于，所述连接结构由一组呈上下位置分别设置于中间板(4)两侧面的定位口(401)、两个呈上下位置分别固定连接于卡塞A(5)和卡塞B(6)一侧面的定位块(502)构成。

3.根据权利要求2所述的一种可识别晶圆错位的倒片装置，其特征在于，所述防晶圆错位组件由两个以上呈等距式设置于卡塞A(5)和卡塞B(6)圆周内壁面的晶圆槽(501)、呈等距式设置于中间板(4)内壁且与晶圆槽(501)数量和高度相同的通槽(403)、分别设置于卡塞A(5)和卡塞B(6)，以及中间板(4)位于中间位置上的通口(601)。

4.根据权利要求1所述的一种可识别晶圆错位的倒片装置，其特征在于，所述定位结构包括设置于工作台(1)顶部外壁且与晶圆转移部相适配的放置槽(101)、呈对称式固定连接于放置槽(101)左右两侧的凸柱(102)。

5.根据权利要求4所述的一种可识别晶圆错位的倒片装置，其特征在于，所述中间板(4)位于两侧底端的内壁设置有与凸柱(102)相适配的定位孔(402)。

6.根据权利要求1所述的一种可识别晶圆错位的倒片装置，其特征在于，所述推动组件包括推杆(2)和设置于工作台(1)顶部面的导轨(7)，且推杆(2)的底部面固定连接有与导轨(7)内壁形成滑动配合的滑动块(201)。

7.根据权利要求6所述的一种可识别晶圆错位的倒片装置，其特征在于，所述推杆(2)面朝晶圆转移部的一侧外壁设置有防静电板(3)。

8.根据权利要求7所述的一种可识别晶圆错位的倒片装置，其特征在于，所述滑动块(201)和导轨(7)的相对应一侧面固定连接有同一个弹簧(702)；

所述导轨(7)的相对应一侧面均设置有缓冲垫(701)。