CN220054551U - 晶圆承载装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及晶圆存放装置的技术领域，公开了一种晶圆承载装置，包括箱体、法兰、第一卡接结构以及第二卡接结构，箱体具有安装表面；法兰以抽插的方式可拆卸地连接于安装表面；法兰通过第一卡接结构以卡接的方式沿第一方向与安装表面连接，第一方向与抽插方向垂直，且与安装表面平行；第二卡接结构与第一卡接结构间隔设置，能够将法兰沿抽插方向与安装表面连接。在需要对箱体进行吊装转运时，先解除第一卡接结构，再解除第二卡接结构，从而可以将法兰从箱体上拆卸并与吊运装置连接；在法兰与吊运装置连接后，再将法兰与箱体连接，以便于吊运装置通过法兰对箱体进行吊运。并且由于第一方向与卡接方向垂直，从而可以提高法兰与箱体的连接稳定性。

Description

晶圆承载装置

技术领域

本申请涉及晶圆存放装置领域，具体而言，涉及一种晶圆承载装置。

背景技术

在相关的技术领域中，为了便于对晶圆承载装置进行吊运，在箱体的上表面往往会设置有用于与吊运装置连接的法兰，但是由于法兰通常于箱体一体式设置，不便于吊运装置与法兰连接。

实用新型内容

本申请实施例提供了一种晶圆承载装置，旨在利用第一卡接结构以及第二卡接结构便于实现箱体与法兰之间的安装与拆卸，从而便于将法兰从箱体上拆卸后，再将法兰与吊运装置连接，以提高法兰与吊运装置连接的便利性，进而便于吊运装置通过法兰对箱体进行吊运。

本申请实施例提供了一种晶圆承载装置，包括箱体、法兰、第一卡接结构以及第二卡接结构，箱体具有安装表面；法兰以抽插的方式可拆卸地连接于安装表面；法兰通过第一卡接结构以卡接的方式沿第一方向与安装表面连接，第一方向与抽插方向垂直，且与安装表面平行；第二卡接结构与第一卡接结构间隔设置，能够将法兰沿抽插方向与安装表面连接。

基于上述实施例，在需要对箱体进行吊装转运时，先沿第一方向解除第一卡接结构，再沿抽插方向移动法兰，以解除第二卡接结构，并沿抽插方向继续移动法兰，从而可以将法兰从箱体上拆卸，以便于将法兰与吊运装置连接；在法兰与吊运装置连接后，沿抽插方向移动法兰，直至法兰通过第一卡接结构以及第二卡接结构与安装表面连接，以便于吊运装置通过法兰对箱体进行吊运，从而可以对箱体内的晶圆进行转运，方便快捷。并且由于第一卡接结构的卡接方向沿第一方向，而第二卡接结构的卡接方向沿抽插方向，第一方向与卡接方向垂直，从而可以在吊运装置带动法兰沿一个方向的运动时，防止第一卡接结构以及第二卡接结构同时解除，以提高法兰与箱体的连接稳定性。

在其中一些实施例中，第一卡接结构包括沿抽插方向呈轴对称设置的两个卡接组件，每一卡接组件包括第一档条、第二档条、连接件以及第一弹性卡接件，第一档条设置于安装表面，两个第一档条的一端形成有开口；第二档条设置于安装表面，且与第一档条间隔设置，第二档条与开口相对设置，两个第二档条与两个第一档条共同围设出用于安装法兰的安装区域，第一档条朝向安装区域的表面为第一抵接面，第二档条朝向安装区域的表面为第二抵接面，第二抵接面与第一方向平行，第一抵接面与第二抵接面呈夹角设置，第二档条与第一档条之间具有卡接槽；连接件与法兰朝向安装表面的表面连接，且能够沿抽插方向自开口插接于安装区域内，并与第一抵接面以及第二抵接面抵接，连接件与第一档条以及第二档条卡接；第一弹性卡接件一端与连接件连接，另一端用于与卡接槽卡接。

基于上述实施例，在安装法兰时，沿抽插方向移动法兰，法兰带动连接件运动，连接件自开口插接至安装区域内，继续移动连接件，直至第一弹性卡接件与卡接槽卡接，此时，连接件也与第一档条以及第二档条卡接，以实现法兰与箱体的安装，从而便于在吊运装置对法兰进行吊运时，可以将箱体连带吊起，以实现箱体的转运。在拆卸法兰时，向第一弹性卡接件远离连接件的一端施加一个力，以使得第一弹性卡接件向背离第一档条的方向产生弹性形变，直至第一弹性卡接件脱离卡接槽，再沿抽插方向，向远离第二档条的方向移动法兰，直至连接件自开口脱离安装区域，以实现法兰的拆卸，方便快捷。

在其中一些实施例中，连接件具有安装槽，第一弹性卡接件与安装槽的槽底连接，且与安装槽的槽壁间隔设置。

基于上述实施例，由于第一弹性卡接件与安装槽的槽壁间隔设置，可以为第一弹性卡接件提供弹性形变的空间，以便于在连接件运动至安装区域内时，第一弹性卡接件能够与卡接槽卡接，从而实现法兰与箱体的连接，方便快捷。

在其中一些实施例中，每一卡接组件还包括第三档条，第三档条设置于安装表面且位于安装区域内，且与第一档条间隔设置，第三档条朝向第一档条的表面为第三抵接面，第三抵接面与第二抵接面呈夹角设置，连接件插接于安装区域内时，连接件还与第三抵接面抵接，且与第三档条卡接。

基于上述实施例，在安装法兰时，连接件运动至安装区域内，利用第三档条增加连接件与箱体的接触面积，从而提高连接件与安装表面的连接稳定性，进而提高法兰与箱体的连接稳定性。

在其中一些实施例中，第一档条、第二档条以及第三档条均包括抵接部以及卡接部，抵接部与安装表面连接，第一抵接面、第二抵接面以及第三抵接面分别设置于三个抵接部上；第一档条以及第二档条的卡接部与抵接部远离安装表面的一侧连接，且向安装区域内延伸，第三档条的卡接部与抵接部远离安装表面的一侧连接，且向第一档条延伸；连接件插接于安装区域内时，连接件与安装表面抵接，卡接部朝向安装表面的一侧与连接件背离安装表面的一侧抵接。

基于上述实施例，利用抵接部以及卡接部，可以使得在连接件插接至安装区域内时，使得连接件与安装表面稳定连接，从而使得法兰与箱体连接。

在其中一些实施例中，第一抵接面与第三抵接面呈夹角设置，且沿法兰插入安装区域的方向，第一抵接面与第三抵接面之间的距离逐渐减小。

基于上述实施例，由于在沿法兰插入安装区域的方向，第一抵接面与第三抵接面之间的距离逐渐减小，以便于将法兰与箱体安装，而在拆卸时，需要第一弹性卡接件产生较大的弹性形变，从而增加在装配状态下，法兰与箱体的连接稳定性。

在其中一些实施例中，在两个卡接组件中，沿法兰插入安装区域的方向，两个第三抵接面之间的距离逐渐增大。

在其中一些实施例中，在两个卡接组件中，沿法兰插入安装区域的方向，两个第一抵接面之间的距离逐渐减小。

在其中一些实施例中，第一档条、第二档条背离安装区域的一侧以及第三档条背离第一档条的一侧均设置有加强筋。

基于上述实施例，利用加强筋，可以增加第一档条、第二档条以及第三档条与安装表面之间的连接稳定性，从而可以提高法兰与箱体之间的连接稳定性。

在其中一些实施例中，第二卡接结构包括凸条、连接件以及第二弹性卡接件，凸条凸设于安装表面，且长度方向与抽插方向垂直；连接件与法兰朝向安装表面的表面连接；第二弹性卡接件一端与连接件连接，另一端用于与凸条卡接。

基于本申请的一种晶圆承载装置，在需要对箱体进行吊装转运时，先沿第一方向解除第一卡接结构，再沿抽插方向移动法兰，以解除第二卡接结构，并沿抽插方向继续移动法兰，从而可以将法兰从箱体上拆卸，以便于将法兰与吊运装置连接；在法兰与吊运装置连接后，沿抽插方向移动法兰，直至法兰通过第一卡接结构以及第二卡接结构与安装表面连接，以便于吊运装置通过法兰对箱体进行吊运，从而可以对箱体内的晶圆进行转运，方便快捷。并且由于第一卡接结构的卡接方向沿第一方向，而第二卡接结构的卡接方向沿抽插方向，第一方向与卡接方向垂直，从而可以在吊运装置带动法兰沿一个方向的运动时，防止第一卡接结构以及第二卡接结构同时解除，以提高法兰与箱体的连接稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一种实施例中的晶圆承载装置的结构示意图；

图2为本申请一种实施例中晶圆承载装置的局部剖面结构示意图；

图3为图1中A处的放大结构示意图；

图4为本申请一种实施例中箱体一个视角的结构示意图；

图5为图4中B处的放大结构示意图；

图6为本申请一种实施例中连接件的结构示意图；

图7为本申请一种实施例中箱体另一个视角的结构示意图。

附图标记说明：1、晶圆承载装置；11、箱体；111、安装表面；12、法兰；13、第一卡接结构；13A、开口；13B、安装区域；131、卡接组件；131A、卡接槽；1311、第一档条；1311A、第一抵接面；1312、第二档条；1312A、第二抵接面；1313、连接件；1313A、安装槽；1314、第一弹性卡接件；132、第三档条；132A、第三抵接面；1321、抵接部；1322、卡接部；14、第二卡接结构；141、凸条；142、第二弹性卡接件；15、加强筋；X、抽插方向；Y、第一方向。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

请参照图1和图2，本申请实施例提供了一种晶圆承载装置1，包括箱体11、法兰12、第一卡接结构13以及第二卡接结构14。

箱体11用于存放晶圆，从而可以利用箱体11对存放于箱体11内的晶圆进行保护，以防止晶圆在运输过程中损坏。所述箱体具有安装表面111。其中，箱体11的材质可以为塑料，例如PC(Polycarbonate，聚碳酸酯)或PP(polypropylene，聚丙烯)，以减轻箱体11自身的重量，并且线体11可以通过注塑工艺一体成型，以使得箱体11具有较高的结构强度，从而能够为晶圆提供可靠的防护。

法兰12以抽插的方式可拆卸地连接于安装表面111，在法兰12与箱体11的安装表面11连接时，能够通过吊运装置吊运法兰12，以带动箱体11运动，进而实现晶圆的转运；而在吊运至预设位置后，将法兰12自安装表面11拆卸，以便于将打开箱体11，进行晶圆的取放操作，方便快捷；在需要吊运箱体11时，可以先将法兰12自安装表面11拆卸，从而便于法兰12与吊运装置连接，之后，再将法兰12与安装表面11连接，以便于吊运装置通过法兰12对箱体11进行吊运。其中，法兰12的材质可以为塑料，并且法兰12能过通过注塑工艺一体成型，以提高法兰12的结构强度，从而提高法兰12与箱体11的连接稳定性，以提高晶圆转运的稳定性。

第一卡接结构13以卡接的方式沿第一方向Y与安装表面111连接，第一方向Y与抽插方向X垂直，且与安装表面111平行，以实现法兰12与箱体11的连接，从而便于通过法兰对箱体11进行转运。

第二卡接结构14与第一卡接结构13间隔设置，且第二卡接结构14的卡接放方向沿抽插方向X，能够将法兰12沿抽插方向X与安装表面111连接，并且由于第一卡接结构13的卡接方向沿第一方向Y，而第二卡接结构14的卡接方向沿抽插方向X，第一方向Y与卡接方向垂直，从而可以在吊运装置带动法兰12沿一个方向运动时，防止第一卡接结构13以及第二卡接结构14同时解除，以提高法兰12与箱体11的连接稳定性。

请结合图1和图2，在本申请实施例中，在需要对箱体11进行吊装转运时，先沿第一方向Y解除第一卡接结构13，再沿抽插方向X移动法兰12，以解除第二卡接结构14，并沿抽插方向X继续移动法兰12，从而可以将法兰12从箱体11上拆卸，以便于将法兰12与吊运装置连接；在法兰12与吊运装置连接后，沿抽插方向X移动法兰12，直至法兰12通过第一卡接结构13以及第二卡接结构14与安装表面111连接，以便于吊运装置通过法兰12对箱体11进行吊运，从而可以对箱体11内的晶圆进行转运，方便快捷。

请参照图3-5，在一种具体的实施例中，第一卡接结构13包括沿抽插方向X呈轴对称设置的两个卡接组件131，每一卡接组件131包括第一档条1311、第二档条1312、连接件1313以及第一弹性卡接件1314，第一档条1311设置于安装表面111，两个第一档条1311的一端形成有开口13A；第二档条1312设置于安装表面111，且与第一档条1311间隔设置，第二档条1312与开口13A相对设置，两个第二档条1312与两个第一档条1311共同围设出用于安装法兰12的安装区域13B，第一档条1311朝向安装区域13B的表面为第一抵接面1311A，第二档条1312朝向安装区域13B的表面为第二抵接面1312A，第二抵接面1312A与第一方向Y平行，第一抵接面1311A与第二抵接面1312A呈夹角设置，第二档条1312与第一档条1311之间具有卡接槽131A；连接件1313与法兰12朝向安装表面111的表面连接，且能够沿抽插方向X自开口13A插接于安装区域13B内，并与第一抵接面1311A以及第二抵接面1312A抵接，连接件1313与第一档条1311以及第二档条1312卡接；第一弹性卡接件1314一端与连接件1313连接，另一端用于与卡接槽131A卡接；在安装法兰12时，沿抽插方向X移动法兰12，法兰12带动连接件1313运动，连接件1313自开口13A插接至安装区域13B内，继续移动连接件1313，直至第一弹性卡接件1314与卡接槽131A卡接，此时，连接件1313也与第一档条1311以及第二档条1312卡接，以实现法兰12与箱体11的安装，从而便于在吊运装置对法兰12进行吊运时，可以将箱体11连带吊起，以实现箱体11的转运。在拆卸法兰12时，向第一弹性卡接件1314远离连接件1313的一端施加一个力，以使得第一弹性卡接件1314向背离第一档条1311的方向产生弹性形变，直至第一弹性卡接件1314脱离卡接槽131A，再沿抽插方向X，向远离第二档条1312的方向移动法兰12，直至连接件1313自开口13A脱离安装区域13B，以实现法兰12的拆卸，从而便于吊运装置与法兰12连接。

请参照图3-6，在一种具体的实施例中，连接件1313具有安装槽1313A，第一弹性卡接件1314与安装槽1313A的槽底连接，且与安装槽1313A的槽壁间隔设置，由于第一弹性卡接件1314与安装槽1313A的槽壁间隔设置，可以为第一弹性卡接件1314提供弹性形变的空间，以便于在连接件1313运动至安装区域13B内时，第一弹性卡接件1314能够与卡接槽131A卡接，从而实现法兰12与箱体11的连接，方便快捷。

请参照图3-5，在一种具体的实施例中，每一卡接组件131还包括第三档条132，第三档条132设置于安装表面111且位于安装区域13B内，且与第一档条1311间隔设置，第三档条132朝向第一档条1311的表面为第三抵接面132A，第三抵接面132A与第二抵接面1312A呈夹角设置，连接件1313插接于安装区域13B内时，连接件1313还与第三抵接面132A抵接，且与第三档条132卡接，在安装法兰12时，连接件1313运动至安装区域13B内，利用第三档条132增加连接件1313与箱体11的接触面积，从而提高连接件1313与安装表面111的连接稳定性，进而提高法兰12与箱体11的连接稳定性。

请参照图3-5，在一种具体的实施例中，第一档条1311、第二档条1312以及第三档条132均包括抵接部1321以及卡接部1322，抵接部1321与安装表面111连接，第一抵接面1311A、第二抵接面1312A以及第三抵接面132A分别设置于三个抵接部1321上；第一档条1311以及第二档条1312的卡接部1322与抵接部1321远离安装表面111的一侧连接，且向安装区域13B内延伸，第三档条132的卡接部1322与抵接部1321远离安装表面111的一侧连接，且向第一档条1311延伸；连接件1313插接于安装区域13B内时，连接件1313与安装表面111抵接，卡接部1322朝向安装表面111的一侧与连接件1313背离安装表面111的一侧抵接，利用抵接部1321以及卡接部1322，可以使得在连接件1313插接至安装区域13B内时，使得连接件1313与安装表面111稳定连接，从而使得法兰12与箱体11连接，以便于通过法兰12对箱体11进行吊运。

请参照图3、图5和图7，在一种具体的实施例中，第一抵接面1311A与第三抵接面132A呈夹角设置，且沿连接件1313插入安装区域13B的方向，第一抵接面1311A与第三抵接面132A之间的距离逐渐减小，以使得连接件1313在安装区域13B内移动的过程中，第一弹性卡接件1314能够与第一抵接面1311A抵接而产生弹性形变，在第一弹性卡接件1314运动至与卡接槽131A对齐时，第一弹性卡接件1314的弹性形变恢复，使得第一弹性卡接件1314与卡接槽131A卡接，从而使得连接件1313与箱体11卡接，以使得法兰12与箱体11连接。并且由于在沿连接件1313插入安装区域13B的方向上，第一抵接面1311A与第三抵接面132A之间的距离逐渐减小，以使得第一弹性卡接件1314与卡接槽131A卡接时，第一弹性卡接件1314与卡接槽131A槽壁之间任然存在有弹性力，从而可以提高法兰12与箱体11的连接稳定性。

请参照图3、图5和图7，在一种具体的实施例中，在两个卡接组件131中，沿法兰12插入安装区域13B的方向，两个第三抵接面132A之间的距离逐渐增大，以使得两个第三抵接面132A形成钳形，从而可以使得连接件1313在向靠近第二档条1312运动的过程中，可以进一步挤压第一弹性卡接件1314，使得第一弹性卡接件1314在与卡接槽131A卡接后，能够使得第一弹性卡接件1314与卡接槽131A槽壁之间的弹性力更大，从而进一步提高了连接件1313与安装表面111的连接稳定性，以提高法兰12与箱体11的连接稳定性。

请参照图3、图5和图7，进一步的，在又一种具体的实施例中，在两个卡接组件131中，沿法兰12插入安装区域13B的方向，两个第一抵接面1311A之间的距离逐渐减小，以使得两个第一抵接面1311A之间形成钳形，同样可以增加第一弹性卡接件1314与卡槽槽壁之间的弹性力，以进一步提高法兰12与箱体11的连接稳定性。并且由于在沿法兰12插入安装区域13B的方向，两个第一抵接面1311A之间的距离逐渐减小，以使得开口13A处连两个第一抵接面1311A之间的距离较大，从而便于将连接件1313插接至安装区域13B内，以提高法兰12与箱体11之间的装配便利性，提高装配效率。

请参照图1、图5和图7，在一种具体的实施例中，第一档条1311、第二档条1312背离安装区域13B的一侧以及第三档条132背离第一档条1311的一侧均设置有加强筋15，利用加强筋15可以增加第一档条1311、第二档条1312以及第三档条132与安装表面111之间的连接稳定性，从而可以提高法兰12与箱体11之间的连接稳定性。

请参照图2、图6和图7，在一种具体的实施例中，第二卡接结构14包括凸条141以及第二弹性卡接件142，凸条141凸设于安装表面111，且长度方向与抽插方向X垂直；第二弹性卡接件142一端与连接件1313连接，第二弹性卡接件142的另一端用于与凸条141卡接，在安装法兰12时，沿抽插方向X，自开口13A将连接件1313插接于安装区域13B内，直至第一弹性卡接件1314与卡接槽131A卡接，以实现在第一方向Y上，连接件1313与安装表面111连接，且第二弹性卡接件142与凸条141卡接，以实现在抽插方向X上，连接件1313与安装表面111的连接，进而可以增加连接件1313与安装表面111的连接稳定性，以增加法兰12与箱体11的连接稳定性。在拆卸法兰12时，先沿第一方向Y，向使得两个第一弹性卡接件1314相向运动，直至两个第一弹性卡接件1314均脱离对应的卡接槽131A，以实现第一卡接结构13的解除，然后沿抽插方向X，向远离安装区域13B的方向驱动法兰12，以使得第二弹性卡接件142脱离凸条141，从而实现第二卡接结构14的解除，继续沿向远离安装区域13B的方向移动法兰12，直至连接件1313自开口13A脱离安装区域13B，从而实现法兰12的拆卸，以便于法兰12与吊运装置连接。

本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本申请的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本申请的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：

箱体，具有安装表面；

法兰，以抽插的方式可拆卸地连接于所述安装表面；

第一卡接结构，所述法兰通过所述第一卡接结构以卡接的方式沿第一方向与所述安装表面连接，所述第一方向与所述抽插方向垂直，且与所述安装表面平行；

第二卡接结构，与所述第一卡接结构间隔设置，能够将所述法兰沿所述抽插方向与所述安装表面连接。

2.如权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一卡接结构包括沿所述抽插方向呈轴对称设置的两个卡接组件，每一所述卡接组件包括：

第一档条，设置于所述安装表面，两个所述第一档条的一端形成有开口；

第二档条，设置于所述安装表面，且与所述第一档条间隔设置，所述第二档条与所述开口相对设置，两个所述第二档条与两个所述第一档条共同围设出用于安装所述法兰的安装区域，所述第一档条朝向所述安装区域的表面为第一抵接面，所述第二档条朝向所述安装区域的表面为第二抵接面，所述第二抵接面与所述第一方向平行，所述第一抵接面与所述第二抵接面呈夹角设置，所述第二档条与所述第一档条之间具有卡接槽；

连接件，与所述法兰朝向所述安装表面的表面连接，且能够沿所述抽插方向自所述开口插接于所述安装区域内，并与所述第一抵接面以及所述第二抵接面抵接，所述连接件与所述第一档条以及所述第二档条卡接；

第一弹性卡接件，一端与所述连接件连接，另一端用于与所述卡接槽卡接。

3.如权利要求2所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述连接件具有安装槽，所述第一弹性卡接件与所述安装槽的槽底连接，且与所述安装槽的槽壁间隔设置。

4.如权利要求2所述的晶圆承载装置，其特征在于，每一所述卡接组件还包括：

第三档条，设置于所述安装表面且位于所述安装区域内，且与所述第一档条间隔设置，所述第三档条朝向所述第一档条的表面为第三抵接面，所述第三抵接面与所述第二抵接面呈夹角设置，所述连接件插接于所述安装区域内时，所述连接件还与所述第三抵接面抵接，且与所述第三档条卡接。

5.如权利要求4所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一档条、所述第二档条以及所述第三档条均包括抵接部以及卡接部，所述抵接部与所述安装表面连接，所述第一抵接面、第二抵接面以及第三抵接面分别设置于三个所述抵接部上；所述第一档条以及所述第二档条的所述卡接部与所述抵接部远离所述安装表面的一侧连接，且向所述安装区域内延伸，所述第三档条的所述卡接部与所述抵接部远离所述安装表面的一侧连接，且向所述第一档条延伸；所述连接件插接于所述安装区域内时，所述连接件与所述安装表面抵接，所述卡接部朝向所述安装表面的一侧与所述连接件背离所述安装表面的一侧抵接。

6.如权利要求4所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一抵接面与所述第三抵接面呈夹角设置，且沿所述法兰插入所述安装区域的方向，所述第一抵接面与所述第三抵接面之间的距离逐渐减小。

7.如权利要求4所述的晶圆承载装置，其特征在于，在两个所述卡接组件中，沿所述法兰插入所述安装区域的方向，两个所述第三抵接面之间的距离逐渐增大。

8.如权利要求7所述的晶圆承载装置，其特征在于，在两个所述卡接组件中，沿所述法兰插入所述安装区域的方向，两个所述第一抵接面之间的距离逐渐减小。

9.如权利要求4所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一档条、所述第二档条背离所述安装区域的一侧以及所述第三档条背离所述第一档条的一侧均设置有加强筋。

10.如权利要求1-9任一项所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第二卡接结构包括：

凸条，凸设于所述安装表面，且长度方向与所述抽插方向垂直；

连接件，与所述法兰朝向所述安装表面连接；

第二弹性卡接件，一端与所述连接件连接，另一端用于与所述凸条卡接。