CN220041822U - 一种三头立式插片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种三头立式插片机，包括分片输送线、升降机构、料篮和机械手机构；分片输送线平行的设置有三条，用于将盛装于料框内的一刀硅片分片输出；升降机构设置于分片输送线的输出端，用于驱动料篮升降；机械手机构设置于三组升降机构的上方，用于将装满硅片的料篮从升降机构上抓走，并将空的料篮放置到升降机构上。本实用新型的插片机插片效率高，可满足后续加工生产的需求，极大的提高了生产效率。

Description

一种三头立式插片机

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种三头立式插片机。

背景技术

在单晶硅片的生产过程中，需将盛装于料框内的硅片逐一取出，并装入料篮内，完成插片作业，以方便后续的自动化加工处理。随着单晶硅片生产技术的不断提高，单晶硅片的产能得到了极大的提升。现有的插片机的插片效率已无法满足后续生产的需求。为此现设计一款三头立式插片机，可有效提高插片效率，以满足后续生产的需求。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种三头立式插片机，插片效率高，可满足后续加工生产的需求，极大的提高了生产效率。

本实用新型提供的一种三头立式插片机，包括分片输送线、升降机构、料篮和机械手机构；

所述分片输送线平行的设置有三条，所述分片输送线用于将盛装于料框内的一刀硅片分片输出；

所述升降机构设置有三组，一一对应的设置于所述分片输送线的输出端，用于驱动所述料篮升降；

所述料篮的一侧设置有进料口，所述料篮内的两侧对称的均布有插片槽；

所述机械手机构设置于三组所述升降机构的上方，用于将装满硅片的所述料篮从所述升降机构上抓走，并将空的所述料篮放置到所述升降机构上。

进一步的，所述分片输送线具有相对的输入端和输出端，所述分片输送线包括：

箱体，其顶面敞开，所述箱体内的底部位于所述输入端设置有两条平行的滑轨，所述滑轨沿所述输入端至输出端的方向设置；

驱动机构，设置于所述箱体的一侧，用于驱动所述料框沿所述滑轨移动；

提升机构，设置于所述箱体内，位于所述滑轨的上方，用于将所述料框内的硅片逐一提升；

传送带，安装于所述箱体的顶面，位于所述提升机构靠近所述输出端的一侧，用于传输硅片，所述传送带的传输末端伸出所述输出端；

转向机构，设置于所述箱体内，位于所述提升机构的顶端与所述传送带的传输起始端之间，用于带动所述提升机构提升的硅片，将其送入所述传送带。

进一步的，所述驱动机构包括：

第一直线电机，设置于所述箱体的一侧；

滑动板，与所述第一直线电机传动连接，所述第一直线电机驱动所述滑动板沿所述输入端至输出端的方向移动；

传动架，其一端与所述滑动板的顶面固定连接，另一端伸至所述箱体内的底部位于两条所述滑轨之间，并固定连接有挂钩。

进一步的，所述提升机构包括：

安装架，固定设置于所述箱体内，位于两条所述滑轨之间的上方；

轴杆，所述安装架上转动连接有若干水平设置的所述轴杆，若干所述轴杆沿竖直方向均匀分布；

传动辊轮，所述轴杆上均固定套接有若干所述传动辊轮，所述传动辊轮上均设置有皮带槽，位于同一竖直方向上的所述传动辊轮之间套设有传动皮带，所述传动皮带凸出所述安装架靠近所述输入端的一侧；

第一电机，与任一所述轴杆传动连接，用于驱动所述轴杆转动。

进一步的，所述转向机构包括：

滚筒，置于所述箱体内，位于所述提升机构的顶端与所述传送带的传输起始端之间；

第二电机，设置于所述箱体的一侧，用于驱动所述滚筒转动；

传动轴，设置于所述滚筒靠近所述输入端的一侧，位于所述提升机构的上方；

压辊，其两端分别通过摆臂与所述传动轴固定连接，所述压辊位于所述传动轴与提升机构之间，用于将所述提升机构提升的硅片压在所述滚筒上；

第三电机，与所述传动轴传动连接，用于驱动所述传动轴转动。

进一步的，所述升降机构包括设置于所述分片输送线的输出端的料篮架，所述料篮架的一侧设置有驱动其沿竖直方向上下移动的第二直线电机。

进一步的，所述机械手机构包括两条平行设置的X轴，两条所述X轴之间传动连接有Y轴，所述Y轴上传动连接有两条Z轴，所述Z轴的底端固定连接有安装板，所述安装板的底面固定安装有第一气动夹爪和第二气动夹爪。

进一步的，所述料框的顶部敞开，所述料框的一端设置有出料口，所述料框的底部设置有与所述滑轨相匹配的滑槽。

相对于现有技术而言，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的插片机设置有三条分片输送线及配套的升降机构和机械手机构；具有三处分片输出端，控制各输出端完成插片的时间间隔，通过机械手机构的配合，可连续完成各输出端的料篮更换，作业连续性好，插片效率高可满足后续加工生产的需求，极大的提高了生产效率。

应当理解，实用新型内容部分中所描述的内容并非旨在限定本实用新型的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为三头立式插片机的结构示意图；

图2为分片输送线和升降机构的结构示意图；

图3为分片输送线的内部结构示意图；

图4为升降机构的结构示意图；

图5为机械手机构的结构示意图；

图6为料框的结构示意图；

图中标号：1、分片输送线；2、升降机构；3、料篮；4、机械手机构；5、料框；

11、箱体；12、滑轨；13、驱动机构；14、提升机构；15、传送带；16、转向机构；

21、料篮架；22、第二直线电机；

31、进料口；

41、X轴；42、Y轴；43、Z轴；44、安装板；45、第一气动夹爪；46、第二气动夹爪；

51、出料口；52、滑槽；

131、第一直线电机；132、滑动板；133、传动架；134、挂钩。

141、安装架；142、轴杆；143、传动辊轮；144、第一电机；

161、滚筒；162、第二电机；163、传动轴；164、压辊；165、摆臂；166、第三电机。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

请参考图1～图6，本实用新型的实施例提供了一种三头立式插片机，包括分片输送线1、升降机构2、料篮3和机械手机构4；

分片输送线1平行的设置有三条，分片输送线1用于将盛装于料框5内的一刀硅片分片输出；

升降机构2设置有三组，一一对应的设置于分片输送线1的输出端，用于驱动料篮3升降；

料篮3的一侧设置有进料口31，料篮3内的两侧对称的均布有插片槽；

机械手机构4设置于三组升降机构2的上方，用于将装满硅片的料篮3从升降机构2上抓走，并将空的料篮3放置到升降机构2上。

在本实施例中，装载于料框5内的一刀硅片，经分片输送线1逐一由输出端输出，并插入料篮3的插片槽。随着硅片的输出，升降机构2驱动料篮3上升，直至料篮3装满硅片。

三条分片输送线1具有三个并排分布的输出端，依次为1#工位、2#工位和3#工位，通过控制三条分片输送线1的硅片输出间隔，控制各工位完成装篮的时间。

各工位完成硅片装篮后，通过机械手机构4将各工位的满篮换成空篮，实现了满篮的连续输出，插片机的作业连续性好，插片效率高，可满足后续加工生产的需求，极大的提高了生产效率。

在一优选实施例中，如图2和图3所示，分片输送线1具有相对的输入端和输出端，分片输送线包括：

箱体11，其顶面敞开，箱体11内的底部位于输入端设置有两条平行的滑轨12，滑轨12沿输入端至输出端的方向设置；

驱动机构13，设置于箱体11的一侧，用于驱动料框5沿滑轨12移动；

提升机构14，设置于箱体11内，位于滑轨12的上方，用于将料框5内的硅片逐一提升；

传送带15，安装于箱体11的顶面，位于提升机构14靠近输出端的一侧，用于传输硅片，传送带15的传输末端伸出输出端；

转向机构16，设置于箱体11内，位于提升机构14的顶端与传送带15的传输起始端之间，用于带动提升机构14提升的硅片，将其送入传送带15。

在本实施例中，进行硅片的分片输出时，首先通过驱动机构13驱动料框5沿滑轨12移动，随着料框5的移动，提升机构14进入料框5内逐一将硅片向上提起。被提起的硅片经转向机构16转向后，由竖直转换成水平，并被送入传送带15，经输出端连续输出，并送入料篮3内进行装篮。实现了硅片的分片输出，作业连续性好。

在一优选实施例中，如图2和图3所示，驱动机构13包括：

第一直线电机131，设置于箱体11的一侧；

滑动板132，与第一直线电机131传动连接，第一直线电机131驱动滑动板132沿输入端至输出端的方向移动；

传动架133，其一端与滑动板132的顶面固定连接，另一端伸至箱体11内的底部位于两条滑轨12之间，并固定连接有挂钩134。

在本实施例中，料框5被送入箱体11内后，挂钩134勾住料框5的端部。第一直线电机131通过传动架133驱动料框5沿滑轨12移动，确保了硅片的连续分片输出。

在一优选实施例中，如图3所示，提升机构14包括：

安装架141，固定设置于箱体11内，位于两条滑轨12之间的上方；

轴杆142，安装架141上转动连接有若干水平设置的轴杆142，若干轴杆142沿竖直方向均匀分布；

传动辊轮143，轴杆142上均固定套接有若干传动辊轮143，传动辊轮143上均设置有皮带槽，位于同一竖直方向上的传动辊轮143之间套设有传动皮带，传动皮带凸出安装架141靠近输入端的一侧；

第一电机144，与任一轴杆142传动连接，用于驱动轴杆142转动。

在本实施例中，料框5内最前端的硅片贴到传动皮带上后，被传动皮带带动向上升起，并被转向机构16送入传送带15。随着料框5的移动，硅片逐一被传动皮带提升，连续输出。

在一优选实施例中，如图2和图3所示，转向机构16包括：

滚筒161，置于箱体11内，位于提升机构14的顶端与传送带15的传输起始端之间；

第二电机162，设置于箱体11的一侧，用于驱动滚筒161转动；

传动轴163，设置于滚筒161靠近输入端的一侧，位于提升机构14的上方；

压辊164，其两端分别通过摆臂165与传动轴163固定连接，压辊164位于传动轴163与提升机构14之间，用于将提升机构14提升的硅片压在滚筒161上；

第三电机166，与传动轴163传动连接，用于驱动传动轴163转动。

在本实施例中，硅片被提升机构14提起后，第三电机166驱动传动轴163转动，通过摆臂165带动压辊164移动，将硅片压在滚筒161的表面，转动的滚筒161带动硅片继续上升，并沿滚筒161的表面转向，硅片转至水平后被送入传送带15，实现了硅片的转向输出。

在一优选实施例中，如图2和图4所示，升降机构2包括设置于分片输送线1的输出端的料篮架21，料篮架21的一侧设置有驱动其沿竖直方向上下移动的第二直线电机22。

在本实施例中，料篮3被竖直的放置于料篮架21内，其进料口31朝向分片输送线1的输出端，传送带15的传输末端伸入料篮3内。第二直线电机22驱动料篮架21由最低工位铸件上升，传送带15将硅片由上至下逐一插入料篮3内，直至料篮3被插满。

在一优选实施例中，如图1和图5所示，机械手机构4包括两条平行设置的X轴41，两条X轴41之间传动连接有Y轴42，Y轴42上传动连接有两条Z轴43，Z轴43的底端固定连接有安装板44，安装板44的底面固定安装有第一气动夹爪45和第二气动夹爪46。

在本实施例中，机械手机构4采用由X轴41、Y轴42和Z轴43组成的三轴驱动结构。配置有两条Z轴43，每条Z轴43的底端均安装有第一气动夹爪45和第二气动夹爪46，第一气动夹爪45用于将装满的料篮3取走，第二气动夹爪46用于将空的料篮3放置到升降机构2上，实现了料篮3的快速更换。两条Z轴43的设置可满足3个工位处的料篮3更换，有效的提高了生产效率。

在一优选实施例中，如图6所示，料框5的顶部敞开，料框5的一端设置有出料口51，料框5的底部设置有与滑轨12相匹配的滑槽52。料框5被放入箱体11内的滑轨12上时，滑轨12嵌入对应的滑槽52内，出料口51朝向提升机构14，以便提升机构14穿过出料口51进入料框5内，将硅片逐一提升输出。

在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种三头立式插片机，其特征在于，包括分片输送线、升降机构、料篮和机械手机构；

所述分片输送线平行的设置有三条，所述分片输送线用于将盛装于料框内的一刀硅片分片输出；

所述升降机构设置有三组，一一对应的设置于所述分片输送线的输出端，用于驱动所述料篮升降；

所述料篮的一侧设置有进料口，所述料篮内的两侧对称的均布有插片槽；

所述机械手机构设置于三组所述升降机构的上方，用于将装满硅片的所述料篮从所述升降机构上抓走，并将空的所述料篮放置到所述升降机构上。

2.根据权利要求1所述的三头立式插片机，其特征在于，所述分片输送线具有相对的输入端和输出端，所述分片输送线包括：

箱体，其顶面敞开，所述箱体内的底部位于所述输入端设置有两条平行的滑轨，所述滑轨沿所述输入端至输出端的方向设置；

驱动机构，设置于所述箱体的一侧，用于驱动所述料框沿所述滑轨移动；

提升机构，设置于所述箱体内，位于所述滑轨的上方，用于将所述料框内的硅片逐一提升；

传送带，安装于所述箱体的顶面，位于所述提升机构靠近所述输出端的一侧，用于传输硅片，所述传送带的传输末端伸出所述输出端；

转向机构，设置于所述箱体内，位于所述提升机构的顶端与所述传送带的传输起始端之间，用于带动所述提升机构提升的硅片，将其送入所述传送带。

3.根据权利要求2所述的三头立式插片机，其特征在于，所述驱动机构包括：

第一直线电机，设置于所述箱体的一侧；

滑动板，与所述第一直线电机传动连接，所述第一直线电机驱动所述滑动板沿所述输入端至输出端的方向移动；

传动架，其一端与所述滑动板的顶面固定连接，另一端伸至所述箱体内的底部位于两条所述滑轨之间，并固定连接有挂钩。

4.根据权利要求2所述的三头立式插片机，其特征在于，所述提升机构包括：

安装架，固定设置于所述箱体内，位于两条所述滑轨之间的上方；

轴杆，所述安装架上转动连接有若干水平设置的所述轴杆，若干所述轴杆沿竖直方向均匀分布；

传动辊轮，所述轴杆上均固定套接有若干所述传动辊轮，所述传动辊轮上均设置有皮带槽，位于同一竖直方向上的所述传动辊轮之间套设有传动皮带，所述传动皮带凸出所述安装架靠近所述输入端的一侧；

第一电机，与任一所述轴杆传动连接，用于驱动所述轴杆转动。

5.根据权利要求2所述的三头立式插片机，其特征在于，所述转向机构包括：

滚筒，置于所述箱体内，位于所述提升机构的顶端与所述传送带的传输起始端之间；

第二电机，设置于所述箱体的一侧，用于驱动所述滚筒转动；

传动轴，设置于所述滚筒靠近所述输入端的一侧，位于所述提升机构的上方；

压辊，其两端分别通过摆臂与所述传动轴固定连接，所述压辊位于所述传动轴与提升机构之间，用于将所述提升机构提升的硅片压在所述滚筒上；

第三电机，与所述传动轴传动连接，用于驱动所述传动轴转动。

6.根据权利要求1所述的三头立式插片机，其特征在于，所述升降机构包括设置于所述分片输送线的输出端的料篮架，所述料篮架的一侧设置有驱动其沿竖直方向上下移动的第二直线电机。

7.根据权利要求1所述的三头立式插片机，其特征在于，所述机械手机构包括两条平行设置的X轴，两条所述X轴之间传动连接有Y轴，所述Y轴上传动连接有两条Z轴，所述Z轴的底端固定连接有安装板，所述安装板的底面固定安装有第一气动夹爪和第二气动夹爪。

8.根据权利要求2所述的三头立式插片机，其特征在于，所述料框的顶部敞开，所述料框的一端设置有出料口，所述料框的底部设置有与所述滑轨相匹配的滑槽。