CN217262437U - 一种新型硅片自动装篮装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型硅片自动装篮装置，包括：安装架；滚筒线，设置于安装架上；升降机构，设置于安装架上，位于滚筒线的传输末端，升降机构上设置有定位座；料篮，放置于定位座上；装篮传送带，设置于安装架上，位于滚筒线与升降机构之间；空篮传送带，设置于安装架上，位于升降机构的一侧；满篮传送带，设置于安装架上，位于升降机构的另一侧；搬运机构，设置于安装架上，位于升降机构、空篮传送带和满篮传送带的上方。本实用新型的自动装篮装置可实现硅片的自动装篮，有效降低了工人劳动强度，装篮效率高。

Description

一种新型硅片自动装篮装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种新型硅片自动装篮装置。

背景技术

单晶硅片的生产过程中，是将半导体晶圆粘接到料座上，然后通过切割设备将其切割成硅片，再进行加热脱胶处理，将硅片从料座上脱下。硅片完成脱胶后，需将硅片装入料篮内，以方便后续的自动化加工处理。人工进行硅片装篮，不仅效率低，而且工人的劳动强度大。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可实现单晶硅片的自动装篮，有效降低工人劳动强度，装篮效率高的新型硅片自动装篮装置。

本实用新型提供的一种新型硅片自动装篮装置，包括：

安装架；

滚筒线，设置于所述安装架上；

升降机构，设置于所述安装架上，位于所述滚筒线的传输末端，所述升降机构上设置有定位座，所述升降机构驱动所述定位座上下移动；

料篮，放置于所述定位座上，用于装载硅片；

装篮传送带，设置于所述安装架上，位于所述滚筒线与升降机构之间，用于将硅片装入所述料篮内；

空篮传送带，设置于所述安装架上，位于所述升降机构的一侧，用于将空的料篮传送至所述升降机构的一侧；

满篮传送带，设置于所述安装架上，位于所述升降机构的另一侧，用于将满的料篮传送走；

搬运机构，设置于所述安装架上，位于所述升降机构、空篮传送带和满篮传送带的上方，用于将空的料篮搬运至所述定位座上，以及将满的料篮搬运至所述满篮传送带上。

进一步的，所述升降机构包括固定设置于所述安装架上的直线电机，所述直线电机上传动连接有移动板，所述直线电机驱动所述移动板沿竖直方向上下移动，所述移动板上固定连接有座板，所述定位座固定设置于所述座板的顶面，所述座板上靠近所述装篮传送带的一侧设置有第一开口槽，所述装篮传送带的一端伸入所述第一开口槽内。

进一步的，所述料篮包括篮体，所述篮体的一侧设置有装篮开口，所述篮体内位于所述装篮开口的两侧对称的设置有若干插片槽，所述篮体的底部位于所述装篮开口的一侧设置有第二开口槽。

进一步的，所述搬运机构包括固定设置于所述安装架上的横板，所述横板的一侧滑动连接有滑动板，所述横板上固定设置有驱动所述滑动板沿垂直于所述滚筒线的传输方向移动的驱动气缸，所述滑动板上固定设置有升降气缸，所述升降气缸的底端传动连接有安装板，所述安装板的底面固定设置有气动夹手。

进一步的，所述滚筒线上设置有烘干机构；所述烘干机构包括设置于所述滚筒线上的封装箱，所述封装箱上沿所述滚筒线的传输方向设置有供硅片通过的输送通道，所述封装箱内位于所述滚筒线的上下两侧对称的设置有烘干风刀。

相对于现有技术而言，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的自动装篮装置设置有滚筒线、升降机构、料篮、装篮传送带、空篮传送带、满篮传送带和搬运机构。进行硅片的装篮作业时，首先通过空篮传送带将空的料篮传送至升降机构，然后搬运机构将空的料篮搬运至升降机构的定位座上。空的料篮就位后，硅片被滚筒线传输至输出端后，经装篮传送带传送至定位座上的料篮内进行装篮，随着装篮传送带的连续输送，升降机构通过定位座带动料篮移动，直至装篮传送带将料篮装满。搬运机构将装满的料篮搬运至满篮传送带上传送走，同时将新的空料篮搬运至定位座上待装篮。本申请的自动装篮装置通过装篮传送带与升降机构之间的配合实现了硅片的自动装篮，装置结构简单，设计合理，作业连续性好，自动化程度高，降低了工人的劳动强度，装篮作业效率高。

应当理解，实用新型内容部分中所描述的内容并非旨在限定本实用新型的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为新型硅片自动装篮装置的结构示意图；

图2为装篮传送带的结构示意图；

图3为升降机构的结构示意图；

图4为料篮的结构示意图(插片槽未示出)；

图5为搬运机构的结构示意图。

图中标号：10、硅片；11、安装架；12、滚筒线；13、升降机构；14、料篮；15、装篮传送带；16、空篮传送带；17、满篮传送带；18、搬运机构；19、烘干机构；

31、定位座；32、直线电机；33、移动板；34、座板；35、第一开口槽；

41、篮体；42、装篮开口；43、第二开口槽；

81、横板；82、滑动板；83、驱动气缸；84、升降气缸；85、安装板；86、气动夹手；

91、封装箱；92、输送通道；93、烘干风刀。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

请参考图1～图5，本实用新型的实施例提供了一种新型硅片自动装篮装置，包括：

安装架11；

滚筒线12，设置于安装架11上；

升降机构13，设置于安装架11上，位于滚筒线12的传输末端，升降机构13上设置有定位座31，升降机构13驱动定位座31上下移动；

料篮14，放置于定位座31上，用于装载硅片10；

装篮传送带15，设置于安装架11上，位于滚筒线12与升降机构13之间，用于将硅片10装入料篮14内；

空篮传送带16，设置于安装架11上，位于升降机构13的一侧，用于将空的料篮14传送至升降机构13的一侧；

满篮传送带17，设置于安装架11上，位于升降机构13的另一侧，用于将满的料篮14传送走；

搬运机构18，设置于安装架11上，位于升降机13构、空篮传送带16和满篮传送带17的上方，用于将空的料篮14搬运至定位座31上，以及将满的料篮14搬运至满篮传送带17上。

在本实施例中，进行硅片10的装篮作业时，空的料篮14逐一经空篮传送带16传送至升降机构13的一侧，空篮传送带16的传送末端设置有限位件，对料篮14进行限位，使搬运机构18可准确抓起料篮14，并将其放置到升降机构13的定位座31上，供装篮传送带15将硅片10直接传送至料篮14内进行装篮。料篮14装满后，被搬运机构18转运至满篮传送带17上后传送走。同时搬运机构18将新的空料篮14搬运至定位座31上待装篮。

本申请的自动装篮装置通过装篮传送带15与升降机构13之间的配合实现了硅片10的自动装篮，装置结构简单，设计合理，作业连续性好，自动化程度高，降低了工人的劳动强度，装篮作业效率高。

在一优选实施例中，如图2和图3所示，升降机构13包括固定设置于安装架11上的直线电机32，直线电机32上传动连接有移动板33，直线电机32驱动移动板33沿竖直方向上下移动，移动板33上固定连接有座板34，定位座31固定设置于座板34的顶面，座板34上靠近装篮传送带15的一侧设置有第一开口槽35，装篮传送带15的一端伸入第一开口槽35内。

在本实施例中，料篮14被放置到座板34上的定位座31内，对料篮14进行定位。装篮传送带15伸入第一开口槽35内，通过直线电机32驱动移动板33移动，可调节料篮14的高度位置，使硅片10经装篮传送带15准确的送入定位座31上的料篮14内。

在一优选实施例中，如图4所示，料篮14包括篮体41，篮体的一侧设置有装篮开口42，篮体41内位于装篮开口42的两侧对称的设置有若干插片槽，篮体41的底部位于装篮开口42的一侧设置有第二开口槽43。

在本实施例中，采用侧面敞开的料篮14使得硅片10的装篮以及后续加工时的输出都十分便捷。料篮14被放置到定位座31上之后，装篮开口42朝向装篮传送带15。第二开口槽43配合第一开口槽35，使装篮传送带15直接伸入篮体41内。硅片10装篮时由上至下进行，硅片10被送入篮体41内后，嵌入两侧的插片槽内，然后篮体41上升，装入下一层的硅片，直至料篮14全部装满。实现了硅片10的自动装篮，提高了生产效率。

在一优选实施例中，如图1和图5所示，搬运机构18包括固定设置于安装架11上的横板81，横板81的一侧滑动连接有滑动板82，横板81上固定设置有驱动滑动板82沿垂直于滚筒线12的传输方向移动的驱动气缸83，滑动板82上固定设置有升降气缸84，升降气缸84的底端传动连接有安装板85，安装板85的底面固定设置有气动夹手86。

在本实施例中，通过驱动气缸83驱动滑动板82移动，从而带动气动夹手86移动，气动夹手86移动至空篮传送带16的上方后，升降气缸84驱动气动夹手86下移，将空的料篮14抓取，通过横移将其放置到升降机构13的定位座31上。料篮14装满后，通过气动夹手86将其搬运至满篮传送带17上运走。装篮过程中，实现了料篮14的自动更换。

优选的，在安装板85的底面设置两组气动夹手86，将空篮传送带16和满篮传送带17对称的布置在升降机构13的两侧，两组气动夹手86之间的间距等于空篮传送带16或满篮传送带17与定位座31之间的间距。进行料篮14的搬运转移时，一组气动夹手86抓取满料篮14的同时，另一组气动夹手86可同步抓取空料篮14，满料篮14被放置到满篮传送带17上之后，空料篮14同时被放置到定位座31上。极大的提高了料篮14的转运效率。

在一优选实施例中，如图1和图2所示，滚筒线12上设置有烘干机构19；烘干机构19包括设置于滚筒线12上的封装箱91，封装箱91上沿滚筒线12的传输方向设置有供硅片10通过的输送通道92，封装箱91内位于滚筒线12的上下两侧对称的设置有烘干风刀93。

在本实施例中，完成脱胶作业后，硅片10上会携带有水。通过在滚筒线12上设置有烘干机构19，可将硅片10上的水烘干。硅片10在滚筒线12上传输时，随滚筒线12穿过输送通道92，通过烘干风刀93对硅片10逐一进行烘干处理。上下对称的烘干风刀93为一组，为进一步提高烘干效果，可根据需求增加烘干风刀93的设置组数。

在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种新型硅片自动装篮装置，其特征在于，包括：

安装架；

滚筒线，设置于所述安装架上；

升降机构，设置于所述安装架上，位于所述滚筒线的传输末端，所述升降机构上设置有定位座，所述升降机构驱动所述定位座上下移动；

料篮，放置于所述定位座上，用于装载硅片；

装篮传送带，设置于所述安装架上，位于所述滚筒线与升降机构之间，用于将硅片装入所述料篮内；

空篮传送带，设置于所述安装架上，位于所述升降机构的一侧，用于将空的料篮传送至所述升降机构的一侧；

满篮传送带，设置于所述安装架上，位于所述升降机构的另一侧，用于将满的料篮传送走；

搬运机构，设置于所述安装架上，位于所述升降机构、空篮传送带和满篮传送带的上方，用于将空的料篮搬运至所述定位座上，以及将满的料篮搬运至所述满篮传送带上。

2.根据权利要求1所述的新型硅片自动装篮装置，其特征在于，所述升降机构包括固定设置于所述安装架上的直线电机，所述直线电机上传动连接有移动板，所述直线电机驱动所述移动板沿竖直方向上下移动，所述移动板上固定连接有座板，所述定位座固定设置于所述座板的顶面，所述座板上靠近所述装篮传送带的一侧设置有第一开口槽，所述装篮传送带的一端伸入所述第一开口槽内。

3.根据权利要求2所述的新型硅片自动装篮装置，其特征在于，所述料篮包括篮体，所述篮体的一侧设置有装篮开口，所述篮体内位于所述装篮开口的两侧对称的设置有若干插片槽，所述篮体的底部位于所述装篮开口的一侧设置有第二开口槽。

4.根据权利要求3所述的新型硅片自动装篮装置，其特征在于，所述搬运机构包括固定设置于所述安装架上的横板，所述横板的一侧滑动连接有滑动板，所述横板上固定设置有驱动所述滑动板沿垂直于所述滚筒线的传输方向移动的驱动气缸，所述滑动板上固定设置有升降气缸，所述升降气缸的底端传动连接有安装板，所述安装板的底面固定设置有气动夹手。

5.根据权利要求4所述的新型硅片自动装篮装置，其特征在于，所述滚筒线上设置有烘干机构；所述烘干机构包括设置于所述滚筒线上的封装箱，所述封装箱上沿所述滚筒线的传输方向设置有供硅片通过的输送通道，所述封装箱内位于所述滚筒线的上下两侧对称的设置有烘干风刀。

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