CN220041820U - 晶舟之间的晶圆片移转机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了晶舟之间的晶圆片移转机，其具有能自动取片并且能防止挤压破片的优点。本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机包括承载台、安装架和推杆，安装架呈可左右移动地安装于承载台，推杆呈可上下移动地安装于安装架，承载台承载一左一右相邻布置的母晶舟和目标晶舟，推杆用于将母晶舟装载的若干晶圆片推入目标晶舟内，推杆的端部安装有压力传感器，推杆在压力传感器因过压而受触发时停止推动晶圆片。

Description

晶舟之间的晶圆片移转机

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，尤其涉及晶舟之间的晶圆片移转装置。

背景技术

现有技术中，晶圆片放在晶舟中暂存，晶圆片在后续的流程中需要检验时，涉及到从第一晶舟中取片转移放入第二晶舟。通常使用真空吸笔吸附的方式取出晶圆片，由于是人工操作，取放的过程会有划伤晶圆片的风险，若真空吸笔吸力不足也会导致晶圆片掉落，导致晶圆片破片。此外，现有技术还有水平推片的设备，但此种设备不能按需取片，而且没有防过压的功能，可能造成晶圆片的挤压破片。

因此，亟需能自动取片并且能防止挤压破片的晶舟之间的晶圆片移转机来克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供能自动取片并且能防止挤压破片的晶舟之间的晶圆片移转机。

为实现上述目的，本实用新型的晶舟之间的晶圆片移转机包括承载台、安装架和推杆，安装架呈可左右移动地安装于承载台，推杆呈可上下移动地安装于安装架，承载台承载一左一右相邻布置的母晶舟和目标晶舟，推杆用于将母晶舟装载的若干晶圆片推入目标晶舟内，推杆的端部安装有压力传感器，推杆在压力传感器因过压而受触发时停止推动晶圆片。

较佳地，推杆的端部形成一卡口，推杆推动晶圆片时该晶圆片卡入卡口中。

较佳地，卡口为张开布置的楔口，压力传感器穿出于楔口。

较佳地，推杆的端部形成有向上倾斜的第一顶推结构和向下倾斜的第二顶推结构，第一顶推结构与第二顶推结构围出楔口。

较佳地，本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机还包括第一直线驱动装置，第一直线驱动装置安装于安装架，推杆安装于第一直线驱动装置的输出端，第一直线驱动装置驱使推杆上下移动。

较佳地，本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机还包括第二直线驱动装置，第二直线驱动装置安装于承载台，安装架安装于第二直线驱动装置的输出端，第二直线驱动装置驱使安装架左右移动。

较佳地，推杆的端部还安装有定位传感器，定位传感器在推杆的正右方放有晶圆片时受触发。

较佳地，本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机还包括安装于承载台或安装架上的蜂鸣报警器，蜂鸣报警器与压力传感器电连接，蜂鸣报警器在压力传感器受触发时进行报警。

较佳地，承载台的顶部凸伸形成有一左一右间隔布置的凸块，两凸块限定围出一供母晶舟放置的第一区域和供目标晶舟放置的第二区域。

较佳地，本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机还包括扫码枪，扫码枪用于读取母晶舟内的晶圆片的状态信息。

与现有技术相比，本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机包括承载台、安装架和推杆。安装架呈可左右移动地安装于承载台，推杆呈可上下移动地安装于安装架。承载台承载一左一右相邻布置的母晶舟和目标晶舟。推杆用于将母晶舟装载的晶圆片推入目标晶舟内，推杆的端部安装有压力传感器，推杆在压力传感器因过压而受触发时停止推动晶圆片。本实用新型所提供的晶舟之间的晶圆片转移机通过推杆将母晶舟内的晶圆片推入目标晶舟中，替代人工取片，避免刮花晶圆片。推杆推动晶圆片的过程中，若压力传感器因过压而受触发时推杆停止推动晶圆片，防止摩擦等因素导致晶圆片的挤压破片。

附图说明

图1是本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机准备推动目标晶圆片到目标晶舟时的结构示意图。

图2是本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机推动目标晶圆片到目标晶舟时的结构示意图。

图3是推杆的端部的结构示意图。

具体实施方式

为了详细说明本实用新型的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。

如图1至图3所示，本实用新型提供了一款晶舟之间的晶圆片转移机100，用以在不同的晶舟之间转移晶圆片。本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机100包括承载台10、安装架20和推杆30。安装架20呈可左右移动地安装于承载台10，推杆30呈可上下移动地安装于安装架20。承载台10承载一左一右相邻布置的母晶舟40和目标晶舟50。推杆30用于将母晶舟40装载的晶圆片60推入目标晶舟50内，推杆30的端部安装有压力传感器31，推杆30在压力传感器31因过压而受触发时停止推动晶圆片60。本实用新型所提供的晶舟之间的晶圆片转移机100通过推杆30将母晶舟40内的晶圆片60推入目标晶舟50中，替代人工取片，避免刮花晶圆片60。推杆30推动晶圆片60的过程中，若压力传感器31因过压而受触发时推杆30停止推动晶圆片60，防止摩擦等因素导致晶圆片60的挤压破片。

较优的是，推杆30为长条状的杆件。进一步地，推杆30的端部形成一卡口32，推杆30推动晶圆片60时该晶圆片60卡入卡口32中。设置的卡口32提供限位作用，推片过程中限制了晶圆片60的偏移。具体地，卡口32为张开布置的楔口，压力传感器31穿出楔口，进行推片时，晶圆片60卡入楔口，该晶圆片60抵接于压力传感器31，压力传感器31能直接感知晶圆片60被推动时所受的阻力。更进一步地，推杆30的端部形成有向上倾斜的第一顶推结构33和向下倾斜的第二顶推结构34，第一顶推结构33和第二顶推结构34围出楔口。第一顶推结构33、第二顶推结构34可设置与推杆30一体形成。当然也可以设置为分体式结构，例如第一顶推结构33、第二顶推结构34通过卡接的方式安装于推杆30。第一顶推结构33和第二顶推结构34组成一“V”状结构，所围出楔口的角度为钝角，以便晶圆片60的对接插入。

如图1和图2所示，本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机100还包括第一直线驱动装置70和第二直线驱动装置80。第一直线驱动装置70安装于安装架20，推杆30安装于第一直线驱动装置70的输出端，第一直线驱动装置70驱使推杆30上下移动。具体地，第一直线驱动装置70为丝杆丝母副，该丝杆丝母副竖直安装，通过电机驱动。第二直线驱动装置80安装于承载台10，安装架20安装于第二直线驱动装置80的输出端，第二直线驱动装置80驱使安装架20左右移动。具体地，第二直线驱动装置80为丝杆丝母副，该丝杆丝母副水平安装，通过电机驱动。

如图1和图2所示，推杆30的端部还安装有定位传感器35。定位传感器35在推杆30的正右方放有晶圆片60时受触发。第二直线驱动装置80驱使安装架20向右平移而使其靠近母晶舟40时，推杆30靠近母晶舟40内的晶圆片60，当推杆30的右侧放有晶圆片60时，定位传感器35受触发，表示该高度放有一片晶圆片60。推杆30从母晶舟40的最下端向上移动时，定位传感器35每次受触发时记录该高度位置，便能获得母晶舟40内所有晶圆片60的高度位置信息。

根据需求控制推杆30到指定位置，能够推出某一个特定的晶圆片60到目标晶舟50，该特定的晶圆片称之为目标晶圆片。根据客户需求，例如质量不合格、调试等原因，需要将母晶舟40内的某一片或某几片目标晶圆片60推出到目标晶舟50中。而母晶舟40内的晶圆片60一般都是经过检测的，检测后可知每片晶圆片60的状态，晶圆片60的状态信息暂存于数据存储设备(如电脑或云端等)，通过读取这些信息便得知要取出的目标晶圆片。为方便读取上述状态信息，本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机100还包括扫码枪(图中未示)，扫码枪用于读取母晶舟40内的晶圆片60的状态信息，状态信息可以二维码或者条码的形式记载于流程卡上，读取流程卡的二维码或条码，能够知悉当前所检测批次的晶圆片60的状态信息。当推杆30推出晶圆片60后，也可以将该信息上传至数据存储设备，便于后续的数据追溯分析。

如图1至图3所示，本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机100还包括安装于承载台10上的蜂鸣报警器90。蜂鸣报警器90与压力传感器31电连接，蜂鸣报警器90在压力传感器31受触发时进行报警。在压力传感器31受触发时，蜂鸣报警器90进行报警，提示人们出现过压的情况，及时处理排解相关事故。蜂鸣报警器90通过发出警报声、亮灯等方式进行报警。较优的是，蜂鸣报警器90安装于承载台10的底部，但不限于此。

如图1和图2所示，承载台10的顶部凸伸形成有一左一右间隔布置的凸块11，两凸块11限定围出一供母晶舟40放置的第一区域12和供目标晶舟50放置的第二区域13。母晶舟40和目标晶舟50分别稳定地定位于第一区域12和第二区域13中。

以下简单介绍本实用新型的晶舟之间的晶圆片转移机100的工作过程：使用扫码枪读取流程卡的二维码或条码，显示出来当前批次信息，选取需要推出的目标晶圆片60的片号发送到数据存储设备中。接着，将母晶舟40放到第一区域12，将目标晶舟50放到第二区域13，母晶舟40内承载有经检测过后的晶圆片60。第二直线驱动装置80驱使安装架20向右移动，使推杆30的端部靠近于母晶舟40。初始化推杆30，推杆30先移动到最下方的位置，然后逐级往上移动，定位传感器35在推杆30的正右方放有晶圆片60时受触发，受触发时配合第一直线驱动装置70的输出而记录下当前该晶圆片60的高度，如此类推，得到母晶舟40内每片晶圆片60的高度信息。推杆30接收数据存储设备所下发的要推出的目标晶圆片60的指令，第一直线驱动装置70驱使推杆30移动到相应的高度，接着第二直线驱动装置80驱使安装架20向右移动，推杆30插入母晶舟40内，推杆30将目标晶圆片60从母晶舟40推入到目标晶舟50中。

推动时，晶圆片60卡入楔口中，压力传感器31抵接于晶圆片60，压力传感器31没有被触发时，推杆30正常推片。压力传感器31被触发时，推杆30停止推动晶圆片60，防止晶圆片60的挤压破片，并且蜂鸣报警器90进行报警，提示人们出现事故。完成推片后，第二直线驱动装置80驱使安装架20向左移动，从承载台10取下母晶舟40和目标晶舟50，目标晶舟50内存放有经分片的目标晶圆片60。

以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，均属于本实用新型所涵盖的范围。

Claims (10)

1.晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于：包括承载台、安装架和推杆，所述安装架呈可左右移动地安装于所述承载台，所述推杆呈可上下移动地安装于安装架，所述承载台承载一左一右相邻布置的母晶舟和目标晶舟，所述推杆用于将所述母晶舟装载的若干晶圆片推入所述目标晶舟内，所述推杆的端部安装有压力传感器，所述推杆在所述压力传感器因过压而受触发时停止推动晶圆片。

2.根据权利要求1所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，所述推杆的端部形成一卡口，所述推杆推动晶圆片时该晶圆片卡入所述卡口中。

3.根据权利要求2所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，所述卡口为张开布置的楔口，所述压力传感器穿出于所述楔口。

4.根据权利要求3所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，所述推杆的端部形成有向上倾斜的第一顶推结构和向下倾斜的第二顶推结构，所述第一顶推结构与所述第二顶推结构围出所述楔口。

5.根据权利要求1所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，还包括第一直线驱动装置，所述第一直线驱动装置安装于所述安装架，所述推杆安装于所述第一直线驱动装置的输出端，所述第一直线驱动装置驱使所述推杆上下移动。

6.根据权利要求1所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，还包括第二直线驱动装置，所述第二直线驱动装置安装于所述承载台，所述安装架安装于所述第二直线驱动装置的输出端，所述第二直线驱动装置驱使所述安装架左右移动。

7.根据权利要求1所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，所述推杆的端部还安装有定位传感器，所述定位传感器在所述推杆的正右方放有晶圆片时受触发。

8.根据权利要求1所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，还包括安装于所述承载台或安装架上的蜂鸣报警器，所述蜂鸣报警器与所述压力传感器电连接，所述蜂鸣报警器在所述压力传感器受触发时进行报警。

9.根据权利要求1所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，所述承载台的顶部凸伸形成有一左一右间隔布置的凸块，两所述凸块限定围出一供母晶舟放置的第一区域和供目标晶舟放置的第二区域。

10.根据权利要求1所述的晶舟之间的晶圆片移转机，其特征在于，还包括扫码枪，所述扫码枪用于读取所述母晶舟内的晶圆片的状态信息。