CN219968460U - 一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备，涉及硅片制造领域，包括：粘料板的第一表面用于与晶棒的侧面粘接连接，晶棒的轴线方向与粘料板的长度方向平行，粘料板两个相对的长边的侧壁，分别设置有定位凹槽；粘料板两个相对的长边的侧壁与粘料板的第一表面相邻；定位凹槽的延伸方向与沿粘料板的长边方向平行。本实用新型可以在观测到切割金刚线移动至处于定位凹槽中的位置时，准确判断切割金刚线已完全切断晶棒，切割金刚线与定位凹槽的重叠判断清晰且直观，大大提升了切割金刚线是否完全切断晶棒的判断准确性。另外，在切割金刚线移动至处于所述定位凹槽中的位置时，切割金刚线距离晶托还有一定的安全距离，从而也对晶托起到了保护。

Description

一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备

技术领域

本申请涉及硅片制造领域，特别是涉及一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备。

背景技术

在光伏硅片制造过程中，需要采用切割设备对晶棒进行切割。

目前，可以采用粘料板对晶棒进行粘接，并采用晶托承载粘料板和晶棒，通过金刚线的切割，达到对晶棒的切割目的。

现有技术至少存在以下问题：对晶棒的切割需要将晶棒完全切断，目前方案通过经验观察晶棒是否完全切断，由于目视观测的不准确性，导致经常出现晶棒未完全切断，或过度切割使得金刚线切割至晶托造成损坏。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备，以解决现有技术中通过经验观测晶棒是否完全切断存在的不准确性的问题。

为了解决上述问题，本实用新型是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种晶棒的粘料板，所述粘料板的第一表面用于与晶棒的侧面粘接连接，所述晶棒的轴线方向与所述粘料板的长度方向平行，所述粘料板两个相对的长边的侧壁，分别设置有定位凹槽；所述粘料板两个相对的长边的侧壁与所述粘料板的第一表面相邻；所述长边的侧壁上的定位凹槽从所述粘料板的长边的侧壁的一端至另一端贯穿；所述长边的侧壁上的定位凹槽的开口朝向远离所述长边的侧壁的方向；

所述定位凹槽的延伸方向与沿所述粘料板的长边方向平行。

可选的，所述定位凹槽的槽深为2-4mm，槽宽为2-4mm。

可选的，在所述粘料板的长边的侧壁中，所述定位凹槽设置在与所述长边方向平行的中线位置处。

可选的，在所述粘料板两个相对的短边的侧壁，分别设置有定位凹槽；所述短边的侧壁上的定位凹槽从所述粘料板的短边的侧壁的一端至另一端贯穿；所述短边的侧壁上的定位凹槽的开口朝向远离所述短边的侧壁的方向，所述短边的侧壁上的定位凹槽的延伸方向与沿所述粘料板的短边方向平行。

可选的，所述粘料板为一体结构。

可选的，所述粘料板包括：第一分部和第二分部，所述第二分部的一面为凸起的连接部；

所述第二分部通过所述连接部与所述第一分部可拆卸连接；

所述第二分部背离所述连接部的一面用于与晶棒的侧面粘接连接。

可选的，所述粘料板的厚度为10mm。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种晶棒切割设备，包括：

包括所述的晶棒的粘料板，晶托和切割金刚线；

所述晶托的一面与所述粘料板的第二表面粘接连接，所述切割金刚线垂直于所述晶棒的长度方向设置，所述粘料板的第二表面与所述粘料板的第一表面相对。

在本实用新型实施例中，通过在粘料板两个相对的长边的侧壁，分别设置有贯穿的定位凹槽，定位凹槽的延伸方向与沿粘料板的长边方向平行，从而在切割金刚线切割晶棒的过程中，使得定位凹槽起到完全切断参考线的作用，这样可以在观测到切割金刚线移动至处于定位凹槽中的位置时，准确判断切割金刚线已完全切断晶棒，切割金刚线与定位凹槽的重叠判断清晰且直观，大大提升了切割金刚线是否完全切断晶棒的判断准确性。另外，在切割金刚线移动至处于所述定位凹槽中的位置时，切割金刚线距离晶托还有一定的安全距离，从而也对晶托起到了保护，避免切割金刚线过度切割至晶托对其造成损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所述的一种晶棒的粘料板的主视图；

图2为本实用新型实施例所述的一种晶棒和粘料板的装配示意图；

图3为本实用新型实施例所述的一种晶棒切割过程的示意图；

图4为本实用新型实施例所述的另一种晶棒切割过程的示意图；

图5为本实用新型实施例所述的另一种晶棒切割过程的示意图；

图6为本实用新型实施例所述的一种粘料板的左视图；

图7为本实用新型实施例所述的一种粘料板的俯视图；

图8为本实用新型实施例所述的另一种粘料板的主视图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例。虽然附图中显示了本实用新型的示例性实施例，然而应当理解的是，还可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本实用新型，并且能够将本实用新型的范围完整的传达给本领域的技术人员。

参照图1，本实用新型实施例提供了一种晶棒的粘料板的主视图，粘料板10的第一表面a用于与晶棒(图1中未绘出)的侧面粘接连接，粘料板10两个相对的长边的侧壁b，分别设置有定位凹槽11；进一步参照图2，本实用新型实施例提供了一种晶棒和粘料板的装配示意图，粘料板10两个相对的长边的侧壁b与粘料板10的第一表面a相邻；长边的侧壁b上的定位凹槽11从粘料板10的长边的侧壁b的一端至另一端贯穿；长边的侧壁b上的定位凹槽11的开口朝向远离长边的侧壁b的方向。在晶棒20和粘料板10装配后(晶托未绘出)，晶棒20的轴线方向与粘料板10的长度方向平行，切割晶棒20时，可以采用与晶棒20的轴线方向垂直的切割金刚线30，从晶棒20背离粘料板10的一面开始进行切割，直至将晶棒20完全切透。

参照图3，本实用新型实施例提供了一种晶棒切割过程的示意图，在进行晶棒20的切割时，晶托40的第一表面粘接粘料板10，粘料板10的第一表面a粘接晶棒20，晶托40挂载晶棒20并将其沿x方向压向切割金刚线30，切割金刚线30从晶棒20背离粘料板10的一面开始进行切割，由于切割金刚线30具有一定的柔韧性，则在切割过程中收到晶棒20沿x方向施加的作用力，切割金刚线30会沿x方向弯曲呈弧形线，这就使得人工对切割金刚线30是否完全切断晶棒20的判断具有一定的识别难度。

参照图4，本实用新型实施例提供了另一种晶棒切割过程的示意图，在该情况下，人工观测到切割金刚线30的两端超过晶棒20的与粘料板10接触的一面，此时人工通过经验易判断切割金刚线30完全切断晶棒20，但是，由于切割过程中切割金刚线30弯曲呈弧形线，则图4的实际情况中，虽然切割金刚线30的两端超过与晶棒20与粘料板10接触的一面，但实际切割金刚线30并未完全切断晶棒20，此时人工判断为误判。

因此，为了解决人工误判的问题，本实用新型实施例在粘料板10两个相对的长边的侧壁，分别设置有贯穿的定位凹槽11，定位凹槽11的延伸方向与沿粘料板10的长边方向平行。基于上述设计，参照图5，本实用新型实施例提供了另一种晶棒切割过程的示意图，粘料板10长边的侧壁中定位凹槽11的设计，可以使得在切割金刚线30移动至处于所述定位凹槽11中的位置时，可以准确判定当前切割金刚线30已完全切断晶棒20，即定位凹槽起到了完全切断参考线的作用。另外，在切割金刚线30移动至处于所述定位凹槽11中的位置时，切割金刚线30距离晶托40还有一定的安全距离，从而也对晶托起到了保护，避免切割金刚线过度切割至晶托对其造成损坏。

另外，粘料板10可以采用塑料等有机材料制成。

在本实用新型实施例中，通过在粘料板两个相对的长边的侧壁，分别设置有贯穿的定位凹槽，定位凹槽的延伸方向与沿粘料板的长边方向平行，从而在切割金刚线切割晶棒的过程中，使得定位凹槽起到完全切断参考线的作用，这样可以在观测到切割金刚线移动至处于定位凹槽中的位置时，准确判断切割金刚线已完全切断晶棒，切割金刚线与定位凹槽的重叠判断清晰且直观，大大提升了切割金刚线是否完全切断晶棒的判断准确性。另外，在切割金刚线移动至处于所述定位凹槽中的位置时，切割金刚线距离晶托还有一定的安全距离，从而也对晶托起到了保护，避免切割金刚线过度切割至晶托对其造成损坏。

可选地，参照图1，定位凹槽11的槽深h1为2-4mm，槽宽h2为2-4mm。

优选的，在一种实施方式下，定位凹槽11的槽深h1为3mm，槽宽h2为3mm。

可选地，参照图6，本实用新型实施例提供了一种粘料板的左视图，在粘料板10的长边的侧壁中，定位凹槽11设置在与长边方向平行的中线b位置处。

在本实用新型实施例中，图6示出了粘料板10的长边的侧壁，可以将定位凹槽11设置在与长边方向平行的中线b位置处，这样可以在切割金刚线移动至处于定位凹槽中的位置时，准确判断切割金刚线已完全切断晶棒，又可以同时保证切割金刚线不会过度切割至粘料板背离晶棒一侧设置的晶托，从而对晶托起到保护作用。

可选地，参照图7，本实用新型实施例提供了一种粘料板的俯视图，在粘料板10两个相对的短边的侧壁，分别设置有贯穿的定位凹槽11，短边的侧壁上的定位凹槽11从粘料板10的短边的侧壁的一端至另一端贯穿；短边的侧壁上的定位凹槽11的开口朝向远离短边的侧壁的方向，短边的侧壁上的定位凹槽11的延伸方向与沿粘料板10的短边方向平行。

在本实用新型实施例中，在粘料板10两个相对的短边的侧壁，也可以分别设置有贯穿的定位凹槽11，定位凹槽11的延伸方向与沿粘料板的短边方向平行，这样可以在粘料板11侧壁的整个四周环布定位凹槽11，这样，在切割金刚线沿垂直于晶棒的长度方向切割晶棒时，长边侧壁的定位凹槽11可以起到完全切割定位的作用，而在切割金刚线沿垂直于晶棒的宽度方向切割晶棒时，短边侧壁的定位凹槽11可以起到完全切割定位的作用，提高了方案的适用性。

可选地，参照图1，粘料板10为一体结构。

在本实用新型实施例中，粘料板10可以为一体结构，一体结构的粘料板加工难度低，使得其生产成本较低。

可选地，参照图8，本实用新型实施例提供了另一种粘料板的主视图，粘料板10包括：第一分部101和第二分部102，第二分部102的一面为凸起的连接部1021；第二分部102通过连接部1021与第一分部101可拆卸连接；第二分部102背离连接部1021的一面用于与晶棒的侧面粘接连接。

在本实用新型实施例中，切割金刚线切割晶棒的过程中，切割金刚线处于粘料板10的定位凹槽11时，也一并对粘料板10的第二分部102进行了切割，这就使得第二分部102在切割晶棒过程中产生了损耗，本实用新型实施例可以将粘料板10分为第一分部101和第二分部102，并将第二分部102设置为与第一分部101可拆卸连接，这样在第二分部102完全损耗后，可以将损耗的第二分部102卸离第一分部101，更换新的第二分部102与第一分部101连接，而不必每次都更换整个粘料板，从而起到节省物料，降低生产成本的作用。

其中，第二分部102通过连接部1021与第一分部101可拆卸连接，连接部1021背离第二分部102的一面，可以与第一分部101粘接连接，也可以通过螺栓可拆卸连接，也可以采用卡接连接等方式，本实用新型实施例对此不做限定。

可选地，粘料板的厚度为10mm。在本实用新型实施例中，粘料板的厚度可以采用10mm的规格，粘料板的长度和宽度则可以根据晶棒的尺寸进行灵活调整。

参照图3，本实用新型实施例还提供了一种晶棒切割设备，包括所述的晶棒20的粘料板10，晶托40和切割金刚线30；

晶托40的一面与粘料板的第二表面c粘接连接，切割金刚线30垂直于晶棒20的长度方向设置，粘料板10的第二表面c与粘料板10的第一表面a相对。

在进行晶棒20的切割时，晶托40的第一表面a粘接粘料板10，粘料板10的第一表面a粘接晶棒20，晶托40挂载晶棒20并将其沿x方向压向切割金刚线30，切割金刚线30从晶棒20背离粘料板10的一面开始进行切割，由于切割金刚线30具有一定的柔韧性，则在切割过程中收到晶棒20沿x方向施加的作用力，切割金刚线30会沿x方向弯曲呈弧形线。本实用新型实施例可以使得在切割金刚线30移动至处于所述定位凹槽11中的位置时，可以准确判定当前切割金刚线30已完全切断晶棒20，即定位凹槽起到了完全切断参考线的作用。另外，在切割金刚线30移动至处于所述定位凹槽11中的位置时，切割金刚线30距离晶托40还有一定的安全距离，从而也对晶托起到了保护，避免切割金刚线过度切割至晶托对其造成损坏。

综上，在本实用新型实施例中，通过在粘料板两个相对的长边的侧壁，分别设置有贯穿的定位凹槽，定位凹槽的延伸方向与沿粘料板的长边方向平行，从而在切割金刚线切割晶棒的过程中，使得定位凹槽起到完全切断参考线的作用，这样可以在观测到切割金刚线移动至处于定位凹槽中的位置时，准确判断切割金刚线已完全切断晶棒，切割金刚线与定位凹槽的重叠判断清晰且直观，大大提升了切割金刚线是否完全切断晶棒的判断准确性。另外，在切割金刚线移动至处于所述定位凹槽中的位置时，切割金刚线距离晶托还有一定的安全距离，从而也对晶托起到了保护，避免切割金刚线过度切割至晶托对其造成损坏。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (8)

1.一种晶棒的粘料板，所述粘料板的第一表面用于与晶棒的侧面粘接连接，所述晶棒的轴线方向与所述粘料板的长度方向平行，其特征在于，所述粘料板两个相对的长边的侧壁，分别设置有定位凹槽；所述粘料板两个相对的长边的侧壁与所述粘料板的第一表面相邻；所述长边的侧壁上的定位凹槽从所述粘料板的长边的侧壁的一端至另一端贯穿；所述长边的侧壁上的定位凹槽的开口朝向远离所述长边的侧壁的方向；

所述定位凹槽的延伸方向与沿所述粘料板的长边方向平行。

2.根据权利要求1所述的晶棒的粘料板，其特征在于，所述定位凹槽的槽深为2-4mm，槽宽为2-4mm。

3.根据权利要求1所述的晶棒的粘料板，其特征在于，在所述粘料板的长边的侧壁中，所述定位凹槽设置在与所述长边方向平行的中线位置处。

4.根据权利要求1所述的晶棒的粘料板，其特征在于，在所述粘料板两个相对的短边的侧壁，分别设置有定位凹槽；所述短边的侧壁上的定位凹槽从所述粘料板的短边的侧壁的一端至另一端贯穿；所述短边的侧壁上的定位凹槽的开口朝向远离所述短边的侧壁的方向，所述短边的侧壁上的定位凹槽的延伸方向与沿所述粘料板的短边方向平行。

5.根据权利要求1所述的晶棒的粘料板，其特征在于，所述粘料板为一体结构。

6.根据权利要求1所述的晶棒的粘料板，其特征在于，所述粘料板包括：第一分部和第二分部，所述第二分部的一面为凸起的连接部；

所述第二分部通过所述连接部与所述第一分部可拆卸连接；

所述第二分部背离所述连接部的一面用于与晶棒的侧面粘接连接。

7.根据权利要求1-6任一项所述的晶棒的粘料板，其特征在于，所述粘料板的厚度为10mm。

8.一种晶棒切割设备，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的晶棒的粘料板，晶托和切割金刚线；

所述晶托的一面与所述粘料板的第二表面粘接连接，所述切割金刚线垂直于所述晶棒的长度方向设置，所述粘料板的第二表面与所述粘料板的第一表面相对。