CN219930236U - 搬送装置、转运装置及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及搬运装置技术领域，具体公开了搬送装置、转运装置及真空镀膜设备。该搬送装置用于搬送基板治具，基板治具的边缘凹设有若干限位凹槽，搬送装置包括搬送料框和搬运架；搬送料框的顶端设有导向限位柱，导向限位柱与限位凹槽滑动配合；搬运架的底端设有至少一对定位斜面，沿竖直方向自上而下，成对的两个定位斜面的间距逐渐增大或减小；搬运架的顶端和搬送料框的底端，一个设有若干定位凸起，另一个设有定位凹槽，定位凹槽与定位凸起数量相同，每个定位凸起均插接于一个定位凹槽。该搬送装置借助搬送料框和搬运架的分体设计，有助于基板治具传送和定位，降低转运难度，提高转运效率。

Description

搬送装置、转运装置及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及搬运装置技术领域，尤其涉及搬送装置、转运装置及真空镀膜设备。

背景技术

镀膜设备在超长时间连续镀膜时，往往需要自动化搬送机构来实现镀膜基板及其治具的自动化搬送。在一些情况下，镀膜设备的自动化搬送机构首先将基板治具从外部环境依次转运至进片室和搬送室，然后再将搬送室内的基板治具转运至镀膜室的基板架等基板定位装置。现有技术中，前述自动化搬送的流程复杂繁琐，搬送精度较差。尤其对于超大超重基板治具，利用现有基板治具的自动化搬送机构，难以在基板治具转运的精度和效率等方面满足镀膜生产的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供搬送装置、转运装置及真空镀膜设备，用以对基板治具进行传送和定位操作，由此得以降低转运的难度，提高转运效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

搬送装置，用于搬送基板治具，所述基板治具的边缘凹设有若干限位凹槽，所述搬送装置包括搬送料框和搬运架；所述搬送料框的顶端设有导向限位柱，所述导向限位柱与所述限位凹槽滑动配合；所述搬运架的底端设有至少一对定位斜面，成对的两个所述定位斜面关于所述搬运架的中部对称布置，沿竖直方向自上而下，成对的两个所述定位斜面的间距逐渐增大或减小；所述搬运架的顶端和所述搬送料框的底端，其中一个凸设有若干定位凸起，另一个凹设有定位凹槽，所述定位凹槽与所述定位凸起数量相同，且每个所述定位凸起均匹配插接于一个所述定位凹槽。

作为搬送装置的优选技术方案，所述搬送料框的顶端还设有多个支承柱，所述支承柱的长度方向与所述导向限位柱的长度方向相同，所有的所述支承柱均用于支撑所述基板治具。

作为搬送装置的优选技术方案，所述搬送料框为板状件，所有的所述导向限位柱和所有的所述支承柱均固接于所述搬送料框的上板面。

作为搬送装置的优选技术方案，所述定位凸起凸设于所述搬运架的顶端，所述定位凹槽凹设于所述搬送料框的底端。

转运装置，包括基板治具输送装置、基板治具升降装置、举升装置、机械爪模块和上述的搬送装置，所述基板治具输送装置能传送所述搬送装置，且使所述搬送装置经过抬升位；所述基板治具升降装置能使位于所述抬升位的所述搬送装置接触或脱离所述基板治具输送装置；所述举升装置能使脱离所述基板治具输送装置的所述搬送料框相对所述搬运架移动；所述机械爪模块用于搬运所述搬送料框上的所述基板治具。

作为转运装置的优选技术方案，所述基板治具输送装置与所述搬运架的底端相接触，以带动所述搬送装置移动。

作为转运装置的优选技术方案，所述举升装置包括举升平台和举升滑轨，所述举升平台沿所述举升滑轨的长度方向滑设于所述举升滑轨，所述举升平台能托举搬送料框的底端，以带动所述搬送料框相对所述搬运架移动。

作为转运装置的优选技术方案，所述基板治具升降装置包括基板治具升降组件和升降驱动组件，所述升降驱动组件用于驱动所述基板治具升降组件沿竖直方向升降；所述基板治具升降组件包括升降板和固接于所述升降板边角的若干万向球头，所述万向球头包括球头座和球头主体，所述球头座固接于所述升降板的上板面，所述球头主体转动连接于所述球头座，且所述球头主体能与所述定位斜面相接触。

作为转运装置的优选技术方案，所述万向球头设有四个，每个所述定位斜面的两端均抵压有一个所述球头主体。

真空镀膜设备，包括用于对基板治具进行镀膜的镀膜室和上述的转运装置，所述镀膜室内还设有定位装置，所述定位装置用于定位所述基板治具，所述机械爪模块能将所述基板治具放置于所述定位装置。

本实用新型的有益效果：

该搬送装置上搬送料框和搬运架的分体设计，有助于基板治具进行传送和定位操作，降低了转运难度，提高了转运效率。定位凸起和定位凹槽的配合，实现了搬送料框与搬运架的可拆卸连接，保障了搬送料框与搬运架的相对位置确定。利用搬送装置对基板治具进行传送和定位操作，能够降低基板治具的转运难度，提高基板治具的转运效率。导向限位柱与限位凹槽的配合达到了对基板治具进行限位的目的。定位斜面的设置有助于完成对搬运架的匹配定位。搬送装置的设计还有助于简化了对基板治具定位流程，有助于适配基板治具转运所需的工作流程，还能够起到辅助定位基板治具的作用，进而提高了转运时的动作准确度。搬送装置的改进有助于降低转运难度，提高转运效率，满足真空镀膜设备对基板治具的转运需求，从而加快基板治具的转运速度。

该转运装置借助举升装置对搬送料框进行举升的设计，完成了搬送料框与搬运架的分离动作，以上动作不仅减少了举升装置所需承载的重量，还能使复位后的搬送料框仍保持与搬运架相对位置不变的情况。以上设计大幅降低了搬送料框在举升过程中产生位置偏移的风险，保障了举升装置动作的准确性，降低了基板治具产生位置偏差的风险，确保了转运装置的顺利运行。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的真空镀膜设备的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的转运装置的侧视图；

图3是本实用新型实施例提供的转运装置的俯视图；

图4是本实用新型实施例提供的基板治具升降装置的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的基板治具输送装置、基板治具升降装置、搬送装置和基板治具的侧视图；

图6是本实用新型实施例提供的搬送装置和基板治具的结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的搬送装置和基板治具的剖面侧视图；

图8是本实用新型实施例提供的搬运架的结构示意图；

图9是本实用新型实施例提供的搬送料框的结构示意图；

图10是本实用新型实施例提供的基板治具输送装置、基板治具升降装置、举升装置、机械爪装置、搬送装置和基板治具的结构示意图。

图中：

100、基板治具输送装置；110、输送滚轮；

200、基板治具升降装置；210、升降板；220、万向球头；221、球头座；222、球头主体；230、输送丝杆螺母；240、输送升降装置底座；241、输送升降丝杆；250、输送升降驱动单元；251、输送升降单元输出轴；

300、举升装置；310、举升平台；320、举升滑轨；

400、搬送装置；410、搬送料框；411、导向限位柱；412、支承柱；420、搬运架；421、定位斜面；422、定位凸起；

500、镀膜室；

600、定位装置；

700、转运装置；

800、基板治具。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1至图10所示，基板治具800上能够放置待镀膜的基板。基板治具800的边缘凹设有若干限位凹槽。本实施例中，基板治具800通过叠放的方式堆积。

本实施例提供了搬送装置400，搬送装置400包括搬送料框410和搬运架420；搬送料框410搬送料框410的顶端设有导向限位柱411，导向限位柱411与一个基板治具800上的限位凹槽数量相同，且每个导向限位柱411均与一个限位凹槽滑动配合；搬运架420的底端设有至少一对定位斜面421，成对的两个定位斜面421关于搬运架420的中部对称布置，沿竖直方向自上而下，成对的两个定位斜面421的间距逐渐增大或减小；搬运架420的顶端和搬送料框410的底端，其中一个凸设有若干定位凸起422，另一个凹设有定位凹槽，定位凹槽与定位凸起422数量相同，且每个定位凸起422均匹配插接于一个定位凹槽。具体地，定位斜面421设有一对。

该搬送装置400上搬送料框410和搬运架420的分体设计，有助于基板治具进行传送和定位操作，降低了转运难度，提高了转运效率。定位凸起422和定位凹槽的配合，实现了搬送料框410与搬运架420的可拆卸连接，保障了搬送料框410与搬运架420的相对位置确定。利用搬送装置400对基板治具800进行传送和定位操作，能够降低基板治具800的转运难度，提高基板治具800的转运效率。导向限位柱411与限位凹槽的配合达到了对基板治具800进行限位的目的。定位斜面421的设置有助于完成对搬运架420的匹配定位。搬送装置400的设计还有助于简化了对基板治具800定位流程，有助于适配基板治具800转运所需的工作流程，还能够起到辅助定位基板治具800的作用，进而提高了转运时的动作准确度。搬送装置400的改进有助于降低转运难度，提高转运效率，满足基板治具800的转运需求，从而加快基板治具800的转运速度。

在本实施例中，搬送料框410的顶端还设有多个支承柱412，支承柱412的长度方向与导向限位柱411的长度方向相同，所有的支承柱412均用于支撑基板治具800的边缘。支承柱412的设置起到了支撑基板治具800的目的，避免了基板治具800与搬送料框410的直接接触，降低了基板治具800磨损的风险，提升了基板治具800上的基板的成品良品率。

进一步地，搬送料框410为板状件，所有的导向限位柱411和所有的支承柱412均固接于搬送料框410的上板面。以上结构简单可靠，降低了搬送料框410的生产成本，减少了搬送料框410的占用空间，降低了基板治具800在搬送料框410上放置的难度，保障了搬送装置400对基板治具800的限位效果。

在本实施例中，定位凸起422凸设于搬运架420的顶端，定位凹槽凹设于搬送料框410的底端。在本实施例的其他实施方式中，定位凹槽凹设于搬运架420的顶端，定位凸起422凸设于搬送料框410的底端。

本实施例还提供了转运装置700，转运装置700包括基板治具输送装置100、基板治具升降装置200、举升装置300、机械爪模块和上述的搬送装置400，基板治具输送装置100能传送搬送装置400，且使搬送装置400经过抬升位；基板治具升降装置200能使位于抬升位的搬送装置400接触或脱离基板治具输送装置100；举升装置300能使脱离基板治具输送装置100的搬送料框410相对搬运架420移动；机械爪模块用于搬运搬送料框410上的基板治具800。

该转运装置700借助举升装置300对搬送料框410进行举升的设计，完成了搬送料框410与搬运架420的分离动作，以上动作不仅减少了举升装置300所需承载的重量，还能使复位后的搬送料框410仍保持与搬运架420相对位置不变的情况。以上设计大幅降低了搬送料框410在举升过程中产生位置偏移的风险，保障了举升装置300动作的准确性，降低了基板治具800产生位置偏差的风险，确保了转运装置700的顺利运行。

在本实施例中，基板治具输送装置100与搬运架420的底端相接触，以带动搬送装置400移动。具体地，搬运架420的底端与输送滚轮110相接触。以上传动方式简单可靠，实现了基板治具输送装置100对搬运架420的顺利带动，同时也降低了基板治具升降装置200抬升搬运架420的难度，保障了转运装置700的顺利运行。

在本实施例中，举升装置300包括举升平台310和举升滑轨320，举升平台310沿举升滑轨320的长度方向滑设于举升滑轨320，举升平台310能托举搬送料框410的底端，以带动搬送料框410相对搬运架420移动。借助举升平台310沿举升滑轨320的长度方向滑动的设计，得以通过举升搬送料框410的方式，完成对搬送料框410和搬运架420的分离操作。

在本实施例中，基板治具升降组件包括升降板210和固接于升降板210边角的若干万向球头220，万向球头220包括球头座221和球头主体222，球头座221固接于升降板210的上板面，球头主体222转动连接于球头座221，且球头主体222能与定位斜面421相接触。通过球头主体222能与定位斜面421相接触的方式，实现了基板治具升降组件与搬运架420的准确匹配，降低了基板治具升降装置200对搬送装置400进行定位的难度，使得被抬升后的搬送装置400均能通过球头主体222与定位斜面421的滑动配合产生位置微调，从而准确地位于预定位置上，以上结构设计大幅提升了基板治具升降装置200的定位精度，实现了对搬送装置400的精确定位，确保了转运装置700的稳定运行。

进一步地，万向球头220设有四个，每个定位斜面421的两端均抵压有一个球头主体222。通过将四个万向球头220分别定位搬运架420的四个边角的方式，进一步的提升了基板治具升降装置200对搬送装置400的定位精度。

具体地，升降驱动组件包括固接于升降板210下板面的若干输送升降丝杆241，输送升降丝杆241沿竖直方向延伸，输送丝杆螺母230与输送升降丝杆241的数量相同，且每个输送丝杆螺母230均匹配螺接于一个输送升降丝杆241上，每个输送丝杆螺母230均转动连接于输送升降装置底座240上，输送升降驱动单元250的输出轴输送升降单元输出轴251固接于输送升降装置底座240上用于驱动升降板210相对输送升降装置底座240升降。

本实施例还提供了真空镀膜设备，包括用于对基板治具800进行镀膜的镀膜室500和上述的转运装置，镀膜室500内还设有定位装置600，定位装置600用于定位基板治具800，机械爪模块能将基板治具800放置于定位装置600。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.搬送装置，用于搬送基板治具(800)，所述基板治具(800)的边缘凹设有若干限位凹槽，其特征在于，所述搬送装置包括：

搬送料框(410)，所述搬送料框(410)的顶端设有导向限位柱(411)，所述导向限位柱(411)与所述限位凹槽滑动配合；

搬运架(420)，所述搬运架(420)的底端设有至少一对定位斜面(421)，成对的两个所述定位斜面(421)关于所述搬运架(420)的中部对称布置，沿竖直方向自上而下，成对的两个所述定位斜面(421)的间距逐渐增大或减小；

所述搬运架(420)的顶端和所述搬送料框(410)的底端，其中一个凸设有若干定位凸起(422)，另一个凹设有定位凹槽，所述定位凹槽与所述定位凸起(422)数量相同，且每个所述定位凸起(422)均匹配插接于一个所述定位凹槽。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送料框(410)的顶端还设有多个支承柱(412)，所述支承柱(412)的长度方向与所述导向限位柱(411)的长度方向相同，所有的所述支承柱(412)均用于支撑所述基板治具(800)。

3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送料框(410)为板状件，所有的所述导向限位柱(411)和所有的所述支承柱(412)均固接于所述搬送料框(410)的上板面。

4.根据权利要求1-3任一项所述的搬送装置，其特征在于，所述定位凸起(422)凸设于所述搬运架(420)的顶端，所述定位凹槽凹设于所述搬送料框(410)的底端。

5.转运装置，其特征在于，包括基板治具输送装置(100)、基板治具升降装置(200)、举升装置(300)、机械爪模块和权利要求1-4任一项所述的搬送装置，所述基板治具输送装置(100)能传送所述搬送装置，且使所述搬送装置经过抬升位；所述基板治具升降装置(200)能使位于所述抬升位的所述搬送装置接触或脱离所述基板治具输送装置(100)；所述举升装置(300)能使脱离所述基板治具输送装置(100)的所述搬送料框(410)相对所述搬运架(420)移动；所述机械爪模块用于搬运所述搬送料框(410)上的所述基板治具(800)。

6.根据权利要求5所述的转运装置，其特征在于，所述基板治具输送装置(100)与所述搬运架(420)的底端相接触，以带动所述搬送装置移动。

7.根据权利要求5所述的转运装置，其特征在于，所述举升装置(300)包括举升平台(310)和举升滑轨(320)，所述举升平台(310)沿所述举升滑轨(320)的长度方向滑设于所述举升滑轨(320)，所述举升平台(310)能托举搬送料框(410)的底端，以带动所述搬送料框(410)相对所述搬运架(420)移动。

8.根据权利要求5所述的转运装置，其特征在于，所述基板治具升降装置(200)包括基板治具升降组件和升降驱动组件，所述升降驱动组件用于驱动所述基板治具升降组件沿竖直方向升降；所述基板治具升降组件包括升降板(210)和固接于所述升降板(210)边角的若干万向球头(220)，所述万向球头(220)包括球头座(221)和球头主体(222)，所述球头座(221)固接于所述升降板(210)的上板面，所述球头主体(222)转动连接于所述球头座(221)，且所述球头主体(222)能与所述定位斜面(421)相接触。

9.根据权利要求8所述的转运装置，其特征在于，所述万向球头(220)设有四个，每个所述定位斜面(421)的两端均抵压有一个所述球头主体(222)。

10.真空镀膜设备，其特征在于，包括用于对基板治具(800)进行镀膜的镀膜室(500)和权利要求5-9任一项所述的转运装置，所述镀膜室(500)内还设有定位装置(600)，所述定位装置(600)用于定位所述基板治具(800)，所述机械爪模块能将所述基板治具(800)放置于所述定位装置(600)。