CN219905796U - 一种ald自动化上下料机用输送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及输送机构技术领域，提供了一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括第一输送架体和第二输送架体，所述第一输送架体与所述第二输送架体结构相同，所述第一输送架体坡度小于所述第二输送架体，所述第一输送架体上转动设有驱动轴，所述驱动轴上联动设有驱动轮，所述驱动轴等距离设有多个，所述驱动轮上设有用于承载物料的输送盒，所述输送盒的下表面与所述驱动轮啮合设置。本实用新型通过预先将物料装配在输送盒内，保持物料在输送盒内的稳定，并将输送盒放置在驱动轮上，使得输送盒下表面与驱动轮啮合，此时当对驱动轴进行驱动转动时，可带动驱动轮进行转动，进而带动输送盒在驱动轮上前进后退移动操作，实现对物料的平稳运输。

Description

一种ALD自动化上下料机用输送机构

技术领域

本实用新型涉及输送机构技术领域，尤其涉及一种ALD自动化上下料机用输送机构。

背景技术

ALD全称，Atomic Layer Deposition，是指原子层沉积技术，主要应用于超大规模集成电路、OLED及先进封装领域，硅片在加工的过程中，需要使用到ALD自动化上下料机，由于硅片体积较小，厚度较低，需要使用到上下料机将硅片进行上料和下料。

如专利号为“CN112660692A”的一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括支撑框架、导向滚轮、轴承支撑座、驱动马达、传动轴、输送滚轮和到位检查光电开关，所述支撑框架的顶部端面通过螺钉固定安装有若干个导向滚轮，所述支撑框架的端面一侧设置有驱动马达，所述支撑框架的顶部一侧以及中央位置处均固定安装有若干个轴承支撑座，所述轴承支撑座之间插接安装有传动轴，且靠近驱动马达一侧的传动轴的一端与驱动马达连接；所述支撑框架的两侧位于传动轴的外侧位置处均通过螺栓固定安装有到位检查光电开关；该ALD自动化上下料机用输送机构，结构稳定，支撑牢固；具有稳定的传输输送能力，同时，导向效果好，能够有效避免输送物料发生偏移的情况。

在上述专利中，通过直接将物料放置在输送滚轮上，在上下料过程中，输送机构是倾斜的，物料与输送滚轮之间的摩擦力不强的情况下，容易出现物料输送过程中滑落的情况，且在上下料过程中，若是出现两端不同坡度的支撑框架拼接的输送机构，下表面的输送机构较为平缓，上表面的相对较陡，当物料经过两段支撑框架转角位置处时，容易出现物料前端卡入另一段支撑框架上传动轴的下表面，造成物料损坏的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在输送机构是倾斜的，物料与输送滚轮之间的摩擦力不强的情况下，容易出现物料输送过程中滑落的情况。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括第一输送架体和第二输送架体，所述第一输送架体与所述第二输送架体结构相同，所述第一输送架体坡度小于所述第二输送架体，所述第一输送架体上转动设有驱动轴，所述驱动轴上联动设有驱动轮，所述驱动轴等距离设有多个，所述驱动轮上设有用于承载物料的输送盒，所述输送盒的下表面与所述驱动轮啮合设置，所述第一输送架体与所述第二输送架体之间下表面设有托板，所述托板的上表面通过升降机构设有调节件，所述调节件与所述输送盒下表面啮合设置。

作为一种优选的实施方式，所述驱动轴等距离设有多个，相邻所述驱动轴端面通过皮带联动设置，一个所述驱动轴通过电机驱动，通过电机对一个驱动轴驱动转动，可带动所有联动的驱动轴进行同步转动操作，实现对设置在驱动轴上的输送盒进行平稳运输。

作为一种优选的实施方式，所述输送盒的下表面设有底板，所述底板的下表面对称设有齿条，所述齿条与所述驱动轮啮合设置。

作为一种优选的实施方式，所述底板的下表面设有限位槽，所述驱动轴上设有与所述限位槽卡合限位设置的限位轮，通过限位槽与限位轮的卡合限位设置，有效保证了输送盒移动时的稳定性。

作为一种优选的实施方式，所述调节件包括转轴和转轮，所述转轮转动设置在所述转轴上，所述升降机构设有两个且对称设置在所述托板上，所述转轴的两端设置在所述升降机构上，通过设置的升降机构，便于对调节件进行高度调节，可根据输送盒的移动位置对调节件的高度进行实时调节，以保证输送盒移动的稳定性。

作为一种优选的实施方式，所述升降机构为气缸，所述转轴上表面设有压力传感器，所述第一输送架体上设有控制盒，所述控制盒内设有单片机，所述气缸通过单片机与所述压力传感器电性连通，当输送盒移动至转轴上，并与压力传感器接触时，压力传感器将接收到的信号通过单片机转变为电信号，并传递给气缸，对气缸启动升高，对输送盒一端抬起，使其在前进过程中落在第二输送架体上，实现过渡功能。

作为一种优选的实施方式，所述输送盒内部设有等距离设有隔板，相邻所述隔板之间用于放置物料，所述输送盒一侧设有盖板，通过设置的隔板，便于将物品放置在相邻隔板之间，避免相邻物料之间相互碰撞，造成损伤，通过设置的盖板，便于对物料进行存取。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

1、本实用新型通过预先将物料装配在输送盒内，保持物料在输送盒内的稳定，并将输送盒放置在驱动轮上，使得输送盒下表面与驱动轮啮合，此时当对驱动轴进行驱动转动时，可带动驱动轮进行转动，进而带动输送盒在驱动轮上前进后退移动操作，实现对物料的平稳运输。

2、本实用新型同时通过设置的托板，且在托板上通过升降机构设置调节件，可对经过第一输送架体与第二输送架体之间的输送盒进行过渡输送，避免上下料过程中出现卡顿的情况。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种ALD自动化上下料机用输送机构的立体图；

图2为本实用新型提供的一种ALD自动化上下料机用输送机构的调节件示意图；

图3为本实用新型提供的一种ALD自动化上下料机用输送机构的输送盒仰视图；

图4为本实用新型提供的一种ALD自动化上下料机用输送机构的输送盒拆分示意图。

图例说明：

1、第一输送架体；2、第二输送架体；3、驱动轴；4、驱动轮；5、输送盒；7、托板；8、调节件；9、电机；10、底板；11、齿条；12、限位槽；13、限位轮；14、转轴；15、转轮；16、压力传感器；17、气缸；18、控制盒；19、隔板；20、盖板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括第一输送架体1和第二输送架体2，第一输送架体1与第二输送架体2结构相同，第一输送架体1坡度小于第二输送架体2，第一输送架体1上转动设有驱动轴3，驱动轴3上联动设有驱动轮4，驱动轴3等距离设有多个，驱动轮4上设有用于承载物料的输送盒5，输送盒5的下表面与驱动轮4啮合设置，第一输送架体1与第二输送架体2之间下表面设有托板7，托板7的上表面通过升降机构设有调节件8，调节件8与输送盒5下表面啮合设置，通过使用该装置对物料进行输送时，可通过预先将物料装配在输送盒5内，保持物料在输送盒5内的稳定，并将输送盒5放置在驱动轮4上，使得输送盒5下表面与驱动轮4啮合，此时当对驱动轴3进行驱动转动时，可带动驱动轮4进行转动，进而带动输送盒5在驱动轮4上前进后退移动操作，实现对物料的平稳运输，即使是倾斜运输时，由于驱动轮4与输送盒5之间的啮合联动设置，使得驱动轮4不会因摩擦力较小导致的滑落的情况，保证了物料运输的安全性，同时通过设置的托板7，且在托板7上通过升降机构设置调节件8，可对经过第一输送架体1与第二输送架体2之间的输送盒5进行过渡输送，避免上下料过程中出现卡顿的情况。

如图1-4所示，驱动轴3等距离设有多个，相邻驱动轴3端面通过皮带联动设置，一个驱动轴3通过电机9驱动，通过电机9对一个驱动轴3驱动转动，可带动所有联动的驱动轴3进行同步转动操作，实现对设置在驱动轴3上的输送盒5进行平稳运输。

如图1-4所示，输送盒5的下表面设有底板10，底板10的下表面对称设有齿条11，齿条11与驱动轮4啮合设置。

如图1-4所示，底板10的下表面设有限位槽12，驱动轴3上设有与限位槽12卡合限位设置的限位轮13，通过限位槽12与限位轮13的卡合限位设置，有效保证了输送盒5移动时的稳定性。

如图1-4所示，调节件8包括转轴14和转轮15，转轮15转动设置在转轴14上，升降机构设有两个且对称设置在托板7上，转轴14的两端设置在升降机构上，通过设置的升降机构，便于对调节件8进行高度调节，可根据输送盒5的移动位置对调节件8的高度进行实时调节，以保证输送盒5移动的稳定性。

如图1-4所示，升降机构为气缸17，转轴14上表面设有压力传感器16，第一输送架体1上设有控制盒18，控制盒18内设有单片机，气缸17通过单片机与压力传感器16电性连通，当输送盒5移动至转轴14上，并与压力传感器16接触时，压力传感器16将接收到的信号通过单片机转变为电信号，并传递给气缸17，对气缸17启动升高，对输送盒5一端抬起，使其在前进过程中落在第二输送架体2上，实现过渡功能。

如图1-4所示，输送盒5内部设有等距离设有隔板19，相邻隔板19之间用于放置物料，输送盒5一侧设有盖板20，通过设置的隔板19，便于将物品放置在相邻隔板19之间，避免相邻物料之间相互碰撞，造成损伤，通过设置的盖板20，便于对物料进行存取。

工作原理：通过使用该装置对物料进行输送时，可通过预先将物料装配在输送盒5内，保持物料在输送盒5内的稳定，并将输送盒5放置在驱动轮4上，使得输送盒5下表面与驱动轮4啮合，此时当对驱动轴3进行驱动转动时，可带动驱动轮4进行转动，进而带动输送盒5在驱动轮4上前进后退移动操作，实现对物料的平稳运输，即使是倾斜运输时，由于驱动轮4与输送盒5之间的啮合联动设置，使得驱动轮4不会因摩擦力较小导致的滑落的情况，保证了物料运输的安全性，同时通过设置的托板7，且在托板7上通过升降机构设置调节件8，可对经过第一输送架体1与第二输送架体2之间的输送盒5进行过渡输送，避免上下料过程中出现卡顿的情况。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (7)

1.一种ALD自动化上下料机用输送机构，包括第一输送架体(1)和第二输送架体(2)，所述第一输送架体(1)与所述第二输送架体(2)结构相同，所述第一输送架体(1)坡度小于所述第二输送架体(2)的坡度，其特征在于，所述第一输送架体(1)上转动设有驱动轴(3)，所述驱动轴(3)上联动设有驱动轮(4)，所述驱动轴(3)等距离设有多个，所述驱动轮(4)上设有用于承载物料的输送盒(5)，所述输送盒(5)的下表面与所述驱动轮(4)啮合设置，所述第一输送架体(1)与所述第二输送架体(2)之间的下表面设有托板(7)，所述托板(7)的上表面通过升降机构设有调节件(8)，所述调节件(8)与所述输送盒(5)下表面啮合设置。

2.根据权利要求1所述的一种ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于：相邻所述驱动轴(3)端面通过皮带联动设置，一个所述驱动轴(3)通过电机(9)驱动。

3.根据权利要求1所述的一种ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于：所述输送盒(5)的下表面设有底板(10)，所述底板(10)的下表面对称设有齿条(11)，所述齿条(11)与所述驱动轮(4)啮合设置。

4.根据权利要求3所述的一种ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于：所述底板(10)的下表面设有限位槽(12)，所述驱动轴(3)上设有与所述限位槽(12)卡合限位设置的限位轮(13)。

5.根据权利要求1所述的一种ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于：所述调节件(8)包括转轴(14)和转轮(15)，所述转轮(15)转动设置在所述转轴(14)上，所述升降机构设有两个且对称设置在所述托板(7)上，所述转轴(14)的两端设置在所述升降机构上。

6.根据权利要求5所述的一种ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于：所述升降机构为气缸(17)，所述转轴(14)上表面设有压力传感器(16)，所述第一输送架体(1)上设有控制盒(18)，所述控制盒(18)内设有单片机，所述气缸(17)通过单片机与所述压力传感器(16)电性连通。

7.根据权利要求1所述的一种ALD自动化上下料机用输送机构，其特征在于：所述输送盒(5)内部设有等距离设有隔板(19)，相邻所述隔板(19)之间用于放置物料，所述输送盒(5)一侧设有盖板(20)。