CN219897261U - 一种光刻胶过滤机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及芯片制备设备技术领域，具体的为一种光刻胶过滤机构，包括过滤器，过滤器内设置有过滤芯，过滤芯内设置有滤渣清理机构；滤渣清理机构包括刮渣板，刮渣板通过传动轴连接有旋转电机；刮渣板采用扭转结构，通过与旋转电机的旋转方向相配合的扭转方向，实现了在自动刮取过滤芯上堵塞的滤渣的同时，还能够定向收集滤渣到过滤器底部，便于对滤渣进行统一排出的效果。

Description

一种光刻胶过滤机构

技术领域

本实用新型涉及芯片制备设备技术领域，具体的为一种光刻胶过滤机构。

背景技术

在半导体光刻工艺中，需要使用光刻胶涂布在基板表面，然后进行曝光、显影；现有的光刻胶大都采用离心涂布工艺，将大量光刻胶涂布在基板上之后，再利用旋转单元产生离心力将多余的光刻胶排出，以形成均匀的光刻胶层；这种方法会浪费绝大多数的光刻胶，而光刻胶材料又较为昂贵，为了缩减生产成本，则必须要将这部分多余的光刻胶回收过滤，以重复利用。

现有一申请号为CN201921950438.0的专利，公开了一种光刻胶过滤装置，采用设置有多层聚丙烯丝网的第一过滤罐，以及设置有精密过滤芯的第二过滤罐对光刻胶进行过滤；但是该申请使用了复杂的多层过滤网，却缺乏合理的滤渣清理机构，导致复杂的结构更加加重了滤渣清理难度，长时间使用后容易因为滤渣堆积导致过滤效率下降，甚至完全堵塞失去过滤功能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够自动清理滤渣的光刻胶过滤机构。

基于上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种光刻胶过滤机构，包括过滤器，过滤器内设置有竖直设置的筒状过滤芯，过滤芯的底部连接有出渣口；过滤芯的顶部连接有导流板，导流板为大口向上的喇叭状结构；过滤器的顶部设置有入料口，过滤器的侧面底部设置有出料口；过滤芯内侧设置有滤渣清理机构。

优选地，滤渣清理机构包括刮渣板，刮渣板中心位置固定连接有传动轴；传动轴竖直设置，传动轴的顶部连接有旋转电机。

优选地，滤渣清理机构包括一对沿传动轴对称设置的刮渣板，一对刮渣板的顶端与底端分别通过一对连接框固定连接；连接框与传动轴固定连接。

优选地，一对刮渣板为沿传动轴中心对称的扭转结构，刮渣板的边沿贴紧过滤芯的内侧壁设置。

优选地，一对刮渣板之间通过连接板连接为一体。

优选地，过滤器顶部设置有进气口，进气口连接有气泵；过滤器上设置有气压表。

优选地，入料口、出料口、出渣口和进气口处均设置有电磁阀。

本实用新型的有益效果有：

本实用新型为一种光刻胶过滤机构，用于将回收的光刻胶进行过滤后重复使用；本实用新型通过设置筒状的过滤芯对光刻胶进行过滤，过滤芯使用聚四氟乙烯纤维材质，使用寿命长、流通量高；通过过滤芯与导流板，将过滤器内部的空间分为了两个腔体，与过滤芯内侧连通的待过滤腔，和过滤芯外侧的已过滤腔，待过滤腔与出渣口连通，能够将过滤出来的滤渣排出，而已过滤腔与出料口连通，用于排出经过过滤的光刻胶；过滤芯内设置有滤渣清理机构，能够将过滤芯内侧壁上粘附的滤渣刮下，便于排出，避免其堵塞过滤芯。

本实用新型采用电机带动的旋转刮渣板，通过旋转刮渣板将过滤芯内侧壁上的滤渣刮下；刮渣板可以设置为中心对称的一对，增加滤渣清理效率；刮渣板可以设置为扭转的结构，其扭转方向与电机旋转方向相配合，使得过滤芯侧壁上的滤渣能收到向下方的推力，顺着刮渣板的边沿一路被推到底部的出渣口，避免其堆积在刮渣板上，导致清理效果变差；进一步的，两个刮渣板还可以通过连接板连接，使得刮渣板连为一个整体，成为类螺旋桨的结构，在转动时能够对过滤芯内的待过滤光刻胶形成向下的推力，提高过滤芯内的光刻胶压力，以提升过滤效率。

本实用新型还可以在待过滤腔设置进气口，通过气泵将空气注入待过滤腔内；本实用新型在各个出口、入口处均设置有电磁阀，用以控制各个出入口的开闭；进气口可以在停止过滤，需要清理滤渣、排渣时使用，首先在关闭出渣口的时候注入空气，提高过滤器内部气压以快速将剩余的待过滤光刻胶全部过滤，然后在关闭出料口的情况下，打开出渣口，便可以将过滤芯内的滤渣用空气排出，以实现自动排渣的效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例1的内部结构剖视图；

图3为本实用新型实施例2的结构剖视图；

图4为本实用新型实施例3的结构剖视图；

图5为本实用新型实施例5的整体结构示意图。

图中：过滤器1；过滤芯11；导流板12；待过滤腔13；已过滤腔14；入料口2；出料口3；出渣口4；旋转电机5；传动轴51；刮渣板52；连接框53；连接板54；进气口6；气压表7。

具体实施方式

实施例1

以下为结合具体实施例对本实用新型做出的进一步解释与说明，如图1所示，本实施例为一种用于过滤光刻胶的过滤机构，包括一个筒状的过滤器1，过滤器1内部设置有过滤机构，外部设置有多个接口，包括设置在顶部的入料口2、设置在底部的出料口3和出渣口4。

如图2所示，过滤器1内部设置有过滤芯11，过滤芯11为圆筒状的结构，其顶部和底部设置为开口；过滤芯11使用聚四氟乙烯纤维材质制成，滤孔的直径在0.1μm到0.5μm之间，既保证了过滤精度也保证了过滤效率；过滤芯11的底部与所述过滤器1的内侧底面固定连接，过滤芯11的内侧与出渣口4连通；过滤芯11的顶部连接设置有导流板12，导流板12为喇叭状的结构，小口端与过滤芯11的顶端固定连接配合，大口端与过滤器1的内侧面固定连接，使得整个过滤器1的内侧空间被过滤芯11与导流板12分割为了两个互不连通的空间，如图2所示，与入料口2以及出渣口4连通的空间为待过滤腔13，而与出料口3连通的空间为已过滤腔14。

在过滤芯11内侧设置有刮渣板52，刮渣板52绕过滤芯11的中心轴对称地设置有一对；两个刮渣板52的顶部与底部均通过一对连接框53固定连接在一体，即一对刮渣板52以及一对连接框53两两相对地合围成一个口字型结构；在连接框53上固定设置有一根传动轴51，传动轴51与过滤芯11的中心轴重合设置，并且穿过两个连接框53的中点，分别与两个连接框53固定连接，即当传动轴51转动时，连接框53会跟随传动轴51转动，并且进一步地带动两个刮渣板52转动；刮渣板52的边沿顶在过滤芯11的内侧壁上，在传动轴51带动转动下，可以将过滤芯11的内侧壁上残留的过滤渣刮下；传动轴51的顶部连接有旋转电机5，旋转电机5设置在过滤器1的顶部，为传动轴51提供旋转动力。

过滤器1的底部设置为圆台状结构，底部设置为斜面便于完成过滤的光刻胶顺利流到最低端；过滤器1的最底面设置了出渣口4，出料口3设置在圆台状结构的侧面最底端，以便于收集完成过滤的光刻胶并且将其排出；本实施例中还在各个出入口处均设置有电磁阀，用于控制入料口2、出料口3和出渣口4的开闭。

本实施例在实际使用时，首先打开入料口2和出料口3的阀门，关闭出渣口4的阀门，使得光刻胶从入料口2进入过滤器1内，但是无法从出渣口4排出；光刻胶从入料口2进入过滤器1内之后，首先进入待过滤腔13内；在待过滤腔13内的光刻胶会在重力以及容器内压力的作用下流动到过滤芯11内侧，并且在压力作用下通过过滤芯11过滤后，进入已过滤腔14；进入已过滤腔14后，便会在重力的作用下流动到过滤器1的底部，从出料口3排出。

在过滤过程中，可以打开旋转电机5，驱动刮渣板52转动以刮取过滤芯11内侧面上堵塞的滤渣，将其刮下，避免堵塞过滤芯11上的滤孔，以影响过滤效率；当需要进行排渣时，关闭入料口2处的阀门，保持出料口3处的阀门打开直至无光刻胶流出后，将其关闭，然后打开出渣口4处的阀门，便可以将过滤芯11内侧的滤渣排出。

实施例2

本实施例所使用的主要技术手段与实施例1大体相同，其主要不同点在于，如图3所示，本实施例所使用的刮渣板52为扭转结构。

本实施例中，刮渣板52采用了扭转体的结构，两个刮渣板52绕传动轴51中心对称设置，使得其扭转方向相同；在本实施例中，刮渣板52采用的是从上至下顺时针扭转的方向，而配合地旋转电机应当采用逆时针旋转的方向，使得过滤芯11内侧上的滤渣总是受到向下的分力影响；与之配合的，两个连接板54之间也呈一定的夹角，使得其能够分别连接刮渣板52的顶端和底端。

本实施例在实际使用中，旋转电机5带动刮渣板52进行逆时针转动，由于刮渣板52为顺时针扭转，因此过滤芯11内侧面上的滤渣总是会在被刮渣板52刮下时收到一个指向下方的分力，因而会顺着刮渣板52向下移动，直至移动到最低端，脱离刮渣板52；通过设置了扭转结构的刮渣板52，并且配合合适的旋转方向，使得滤渣能够高效率地被收集到过滤芯11的内侧底部，便于进行排渣。

实施例3

本实施例所使用的主要技术方案与实施例2大体相同，其主要不同点在于，如图4所示，本实施例中使用了连接板54将两个刮渣板52连接为一个整体。

如图4所示，通过连接框54连接后的刮渣板52形成为一个整体结构，其中间不再是口字型的空腔，过滤芯11内侧被连接为一整体的刮渣板52均分为了两部分；在旋转电机5的带动下进行旋转刮渣时，连为一整体的刮渣板52会起到如同螺旋桨结构的效果，对过滤芯11内的光刻胶产生一个向下的推力；由于出渣口4关闭，过滤芯11内的空间一定，因此在刮渣板52的推动下，过滤芯11内的压力会一定程度地提升；由于过滤芯11内侧的压力提升，因此其过滤速率也会得到一定提升，以提高整体的过滤效率。

实施例4

本实施例所使用的主要技术方案与实施例2大体相同，其主要不同点在于，如图5所示，本实施例在过滤器1的顶部设置了进气口6，进气口6通过进气管与气泵连接，在进气口6处设置有电磁阀，用以控制进气口6的开闭，在不需要时关闭进气口6以免光刻胶通过进气口6漏出到气泵。

设置进气口6是便于进行排渣工作，进气口6设置在过滤器1的顶部，直接连通到待过滤腔13内；当需要进行排渣时，关闭入料口2的阀门，保持出料口3阀门打开的状态下，打开进气口6的阀门，同时打开气泵，将气体泵入过滤器1内；在气压的作用下，过滤芯11内侧的压力增加，使得待过滤的光刻胶快速被过滤排出；待出料口3不再排出光刻胶后，关闭出料口3处的阀门，然后打开出渣口4处的阀门，在气体推动下，能够快速排净过滤芯11内的滤渣。

配合进气口6的设置，在过滤器1上设置有气压表7，气压表7用于监测待过滤腔13内的气压，避免由于气压过大损坏过滤芯11。

以上所述，仅为结合具体实施例对本实用新型做出的进一步解释说明，所做的一切描述并不代表对本实用新型的保护范围做出了限制，任何本领域的技术人员在本实用新型所揭露的技术范围内所能够轻易想到的变化或是替换方案，都应涵盖在本实用新型的保护范围内，因此，本实用新型的保护范围应该以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (7)

1.一种光刻胶过滤机构，包括过滤器，其特征在于：所述过滤器内设置有竖直设置的筒状过滤芯，所述过滤芯的底部连接有出渣口；所述过滤芯的顶部连接有导流板，所述导流板为大口向上的喇叭状结构；所述过滤器的顶部设置有入料口，所述过滤器的侧面底部设置有出料口；所述过滤芯内侧设置有滤渣清理机构。

2.根据权利要求1所述的光刻胶过滤机构，其特征在于：所述滤渣清理机构包括刮渣板，所述刮渣板中心位置固定连接有传动轴；所述传动轴竖直设置，传动轴的顶部连接有旋转电机。

3.根据权利要求2所述的光刻胶过滤机构，其特征在于：所述滤渣清理机构包括一对沿传动轴对称设置的刮渣板，一对所述刮渣板的顶端与底端分别通过一对连接框固定连接；所述连接框与所述传动轴固定连接。

4.根据权利要求3所述的光刻胶过滤机构，其特征在于：一对所述刮渣板为沿传动轴中心对称的扭转结构，所述刮渣板的边沿贴紧所述过滤芯的内侧壁设置。

5.根据权利要求4所述的光刻胶过滤机构，其特征在于：一对所述刮渣板之间通过连接板连接为一体。

6.根据权利要求1所述的光刻胶过滤机构，其特征在于：所述过滤器顶部设置有进气口，所述进气口连接有气泵；所述过滤器上设置有气压表。

7.根据权利要求1-6任一所述的光刻胶过滤机构，其特征在于：所述入料口、出料口、出渣口和进气口处均设置有电磁阀。