CN219853936U - 一种氮化铝基板表面研磨装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及氮化铝基板加工技术领域,尤其涉及一种氮化铝基板表面研磨装置,包括支撑架,所述支撑架的左右两侧均开设有开口且两个开口内壁的上表面均固定安装有若干个气缸,同侧的若干个气缸活塞杆的端部固定安装有同一个安装板,支撑架内设置有两个转轴二,两个转轴二的外表面均设置有研磨辊,两个转轴二的外表面均固定安装有若干个限位板,研磨辊上开设有与配合限位板使用的限位槽,研磨辊的两侧均设置有两个传送辊,通过设置气缸、安装板、转轴二、研磨辊和传送辊,气缸带动安装板上下运动,安装板带动上方的转轴二和传送辊同步运动,进而对研磨辊和传送辊高度调节,其解决了不便于对不同尺寸厚度基板进行研磨的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及氮化铝基板加工技术领域,尤其涉及一种氮化铝基板表面研磨装置。
背景技术
氮化铝陶瓷基板是一种具有高导热性和导电性的绝缘陶瓷基板,它具有低膨胀系数和高抗氧化性,因此是多种半导体的合适选择。氮化铝陶瓷的高耐热性和耐化学性使其成为多种用途的首选材料,还有许多其他应用,它是一种出色的导热和导电体。
目前,中国专利申请号:CN202221067651.9 公开了一种用于氮化铝陶瓷基板的打磨机,包括固定箱,所述固定箱的上表面设有夹持机构,所述固定箱的上表面固定有连接箱,所述固定箱的上表面固定有背板,所述背板内腔的顶壁固定有电动推杆,所述电动推杆的输出端固定有打磨装置本体,所述固定箱的下表面设有除尘机构;所述夹持机构包括与固定箱右端固定的电机,所述电机的输出端固定有转轴,所述转轴的外表面固定有两个第一齿轮,所述第一齿轮的上表面啮合有第二齿轮,所述第二齿轮的上表面固定有转杆。该用于氮化铝陶瓷基板的打磨机通过设置夹持机构,使不同大小的陶瓷基板都可以被夹持稳固,进一步提高了打磨机的打磨精度,便于使用。其虽然解决了目前市面上现有的陶瓷基板打磨机不便于对多种大小的陶瓷基板进行夹持的问题,但是在实际使用过程中在对基板一面进行研磨完成后,需要工作人员对基板进行翻面再次对基板的另一面进行研磨,增加工作时间,降低工作效率的问题。
实用新型内容
因此,针对上述的问题,本实用新型提出一种氮化铝基板表面研磨装置,其解决了在实际使用过程中在对基板一面进行研磨完成后,需要工作人员对基板进行翻面再次对基板的另一面进行研磨,增加工作时间,降低工作效率技术的问题。
为实现上述目的,本实用新型采用了以下技术方案:一种氮化铝基板表面研磨装置,包括支撑架,所述支撑架的左右两侧均开设有开口且两个开口内壁的上表面均固定安装有若干个气缸,同侧的若干个所述气缸活塞杆的端部固定安装有同一个安装板,所述支撑架内设置有两个转轴二,两个所述转轴二的外表面均设置有研磨辊,两个所述转轴二的外表面均固定安装有若干个限位板,所述研磨辊上开设有与配合限位板使用的限位槽,所述研磨辊的两侧均设置有两个传送辊,上方所述转轴二与上方的两个传送辊均转动安装在安装板上,下方所述转轴二与下方的两个传送辊均转动安装在支撑架上,所述支撑架的侧面固定安装有电机一,下方其中一个所述传送辊的端部与电机一的输出轴固定连接,所述安装板的侧面固定安装有电机二,上方其中一个所述传送辊的端部与电机二的输出轴固定连接,同一水平面位置处的所述传送辊与转轴二之间通过传动机构一传动连接,所述支撑架内设置有移动架,下方所述研磨辊转动安装在移动架的外表面,上方所述研磨辊的外表面固定安装有两个工字型的滑块,所述滑块滑动安装在移动架上开设的滑槽内,所述支撑架上设置有用于驱使移动架左右运动的左右运动机构,且所述左右运动机构与下方转轴二之间通过转动机构二传动连接,所述支撑架内设置有若干个导向辊,若干个所述导向辊的底端均转动安装有滑杆,所述滑杆滑动安装在支撑架上开设的条形通道内,所述支撑架上设置有用于调节两侧导向辊之间距离的调节机构。
采用上述方案,通过设置气缸、安装板、转轴二、研磨辊和传送辊,利用气缸带动安装板上下运动,安装板运动带动上方的转轴二和研磨辊以及传送辊同步上下运动,实现对上方研磨辊和传送辊的高度调节工作,便于对不同厚度的基板进行研磨,提高适用范围,通过设置电机一、电机二、传动机构一、传动机构二和限位板,利用电机一带动下方其中一个传送辊转动,利用电机二带动上方其中一个传送辊转动,两个传送辊通过传动机构一带动同侧的转轴二和传送辊同步转动,转轴二转动通过限位板带动研磨辊同步转动,实现对基板的输送和研磨同步进行,在上下料输送过程中进行研磨作业,便于对基板进行上料下料,提高工作效率,通过设置传动机构二、左右运动机构、移动架和滑块,下方转轴二同步传动机构二驱使左右运动机构运行带动移动架左右运动,移动架运动配合滑块带动两个研磨辊同步左右运动,从而使得研磨辊左右运动对基板表面进行研磨,进一步提高研磨效果,通过设置调节机构和导向辊,利用调节机构调节两侧导向辊之间的距离,能够对基板的两侧进行限位导向,避免研磨过程中基板出现晃动的情况,从而提高工作的稳定性。
上述方案中,需要说明的是,所述电机一与电机二以及气缸均与外接电源电性连接。
进一步的,所述传动机构一包括固定安装在下方转轴二外表面的双皮带轮一,下方两个所述传送辊的外表面均固定安装有单皮带轮一,所述单皮带轮一与双皮带轮一之间通过皮带一传动连接,上方所述转轴二的外表面固定安装有双皮带轮二,上方两个所述传送辊的外表面均固定安装有单皮带轮二,所述单皮带轮二与双皮带轮二之间通过皮带二传动连接。
采用上述方案,通过设置双皮带轮一、单皮带轮一和皮带一,电机一带动下方其中一个传送辊转动,下方其中一个传送辊转动通过单皮带轮一和双皮带轮一以及皮带一带动下方另一个传送辊和下方的转轴二同步转动,同上,通过设置双皮带轮二、单皮带轮二和皮带二,电机二带动上方其中一个传送辊转动,上方其中一个传送辊转动通过单皮带轮二和双皮带轮二以及皮带二带动上方另一个传送辊和上方的转轴二同步转动,转轴二带动的同时带动研磨辊转动,进而能够实现传送工作和研磨工作的同步进行,提高工作效率,且便于基板的上料下料工作,提高工作的简便性。
进一步的,所述左右运动机构包括转动安装在支撑架上的转轴一,所述转轴一的底端固定安装有转盘,所述转盘的下表面偏心转动安装有连杆,所述连杆的另一端转动安装在移动架上。
采用上述方案,通过设置转轴一、转盘和连杆,利用转轴一带动转盘转动,转盘转动通过连杆驱使移动架左右运动,移动架左右运动带动研磨辊同步左右运动,使得研磨辊转动对基板研磨的同时能够左右运动对基板进行研磨,进一步提高研磨效果。
进一步的,所述传动机构二包括转动安装在支撑架上的转杆,所述转杆与转轴一的外表面均固定安装有锥齿轮且两个锥齿轮相啮合,所述转杆与下方转轴二的外表面均固定安装有单皮带轮三,两个所述单皮带轮三之间通过皮带三传动连接。
采用上述方案,通过设置转杆、锥齿轮、单皮带轮三和皮带三,下方转轴二转动通过单皮带轮三和皮带三带动转杆转动,转杆转动通过锥齿轮带动转轴一转动,进而驱使左右运动机构驱使移动架左右运动,实现研磨辊的左右运动机构,以提高研磨效果,无需多个驱动机构带动节约成本。
进一步的,所述调节机构包括转动安装在支撑架下表面的双向螺纹杆且双向螺纹杆的端部安装有转把,同侧的若干个所述滑杆的底端固定安装有同一个连接板,两个所述连接板分别螺纹安装在双向螺纹杆的两段螺纹上。
采用上述方案,通过设置双向螺纹杆和连接板,利用转把带动双向螺纹杆转动,双向螺纹杆转动驱使两个连接板相对靠近或相对远离,连接板运动通过滑杆带动导向辊同步运动,实现对两侧导向辊距离的调节工作,便于对基板的两侧进行限位导向,避免研磨过程中基板出现晃动的情况,以提高工作的稳定性。
进一步的,所述双向螺纹杆的两侧均设置有导杆,两个所述导杆均固定安装在支撑架的下表面,所述连接板滑动安装在两个导杆的外表面。
采用上述方案,通过设置导杆,利用导杆对连接板起到限位导向的作用,避免连接板运动过程中出现转动晃动的情况,以提高连接板运动的稳定性,进一步提高工作的稳定性。
通过采用前述技术方案,本实用新型的有益效果是:
本氮化铝基板表面研磨装置,通过设置电机一、电机二、传动机构一、传动机构二和限位板,利用电机一带动下方其中一个传送辊转动,利用电机二带动上方其中一个传送辊转动,两个传送辊通过传动机构一带动同侧的转轴二和传送辊同步转动,转轴二转动通过限位板带动研磨辊同步转动,实现对基板的输送和研磨工作,便于对基板进行上料下料,同时能够对基板的上下表面同步进行研磨,以提高工作效率。
进一步的,通过设置气缸、安装板、转轴二、研磨辊和传送辊,利用气缸带动安装板上下运动,安装板运动带动上方的转轴二和研磨辊以及传送辊同步上下运动,实现对上方研磨辊和传送辊的高度调节工作,便于对不同厚度的基板进行研磨,提高适用范围。
进一步的,通过设置传动机构二、左右运动机构、移动架和滑块,下方转轴二同步传动机构二驱使左右运动机构运行带动移动架左右运动,移动架运动配合滑块带动两个研磨辊同步左右运动,从而使得研磨辊左右运动对基板表面进行研磨,进一步提高研磨效果。
进一步的,通过设置调节机构和导向辊,利用调节机构调节两侧导向辊之间的距离,能够对基板的两侧进行限位导向,避免研磨过程中基板出现晃动的情况,从而提高工作的稳定性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的另一角度结构示意图;
图3是本实用新型的又一角度结构示意图;
图4是本实用新型支撑架的剖面结构示意图;
图5是本实用新型支撑架剖面的另一角度结构示意图。
图中:1、支撑架;2、传送辊;3、研磨辊;4、气缸;5、安装板;6、移动架;7、滑块;8、电机一;9、电机二;10、双皮带轮一;11、双皮带轮二;12、单皮带轮一;13、单皮带轮二;14、皮带一;15、皮带二;16、单皮带轮三;17、皮带三;18、转杆;19、锥齿轮;20、转盘;21、转轴一;22、连杆;23、双向螺纹杆;24、导杆;25、连接板;26、滑杆;27、导向辊;28、限位板;29、转轴二。
实施方式
现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。
参考图1至图5,本实施例提供一种氮化铝基板表面研磨装置包括支撑架1,支撑架1的左右两侧均开设有开口且两个开口内壁的上表面均固定安装有若干个气缸4,同侧的若干个气缸4活塞杆的端部固定安装有同一个安装板5,支撑架1内设置有两个转轴二29,两个转轴二29的外表面均设置有研磨辊3,两个转轴二29的外表面均固定安装有若干个限位板28,研磨辊3上开设有与配合限位板28使用的限位槽,研磨辊3的两侧均设置有两个传送辊2,上方转轴二29与上方的两个传送辊2均转动安装在安装板5上,下方转轴二29与下方的两个传送辊2均转动安装在支撑架1上,支撑架1的侧面固定安装有电机一8,下方其中一个传送辊2的端部与电机一8的输出轴固定连接,安装板5的侧面固定安装有电机二9,上方其中一个传送辊2的端部与电机二9的输出轴固定连接,同一水平面位置处的传送辊2与转轴二29之间通过传动机构一传动连接,传动机构一包括固定安装在下方转轴二29外表面的双皮带轮一10,下方两个传送辊2的外表面均固定安装有单皮带轮一12,单皮带轮一12与双皮带轮一10之间通过皮带一14传动连接,上方转轴二29的外表面固定安装有双皮带轮二11,上方两个传送辊2的外表面均固定安装有单皮带轮二13,单皮带轮二13与双皮带轮二11之间通过皮带二15传动连接,通过设置双皮带轮一10、单皮带轮一12和皮带一14,电机一8带动下方其中一个传送辊2转动,下方其中一个传送辊2转动通过单皮带轮一12和双皮带轮一10以及皮带一14带动下方另一个传送辊2和下方的转轴二29同步转动,同上,通过设置双皮带轮二11、单皮带轮二13和皮带二15,电机二9带动上方其中一个传送辊2转动,上方其中一个传送辊2转动通过单皮带轮二13和双皮带轮二11以及皮带二15带动上方另一个传送辊2和上方的转轴二29同步转动,转轴二29带动的同时带动研磨辊3转动,进而能够实现传送工作和研磨工作的同步进行,提高工作效率,且便于基板的上料下料工作,提高工作的简便性;
支撑架1内设置有移动架6,下方研磨辊3转动安装在移动架6的外表面,上方研磨辊3的外表面固定安装有两个工字型的滑块7,滑块7滑动安装在移动架6上开设的滑槽内,支撑架1上设置有用于驱使移动架6左右运动的左右运动机构,左右运动机构包括转动安装在支撑架1上的转轴一21,转轴一21的底端固定安装有转盘20,转盘20的下表面偏心转动安装有连杆22,连杆22的另一端转动安装在移动架6上,通过设置转轴一21、转盘20和连杆22,利用转轴一21带动转盘20转动,转盘20转动通过连杆22驱使移动架6左右运动,移动架6左右运动带动研磨辊3同步左右运动,使得研磨辊3转动对基板研磨的同时能够左右运动对基板进行研磨,进一步提高研磨效果;
还包括传动机构二,且左右运动机构与下方转轴二29之间通过转动机构二传动连接,传动机构二包括转动安装在支撑架1上的转杆18,转杆18与转轴一21的外表面均固定安装有锥齿轮19且两个锥齿轮19相啮合,转杆18与下方转轴二29的外表面均固定安装有单皮带轮三16,两个单皮带轮三16之间通过皮带三17传动连接,通过设置转杆18、锥齿轮19、单皮带轮三16和皮带三17,下方转轴二29转动通过单皮带轮三16和皮带三17带动转杆18转动,转杆18转动通过锥齿轮19带动转轴一21转动,进而驱使左右运动机构驱使移动架6左右运动,实现研磨辊3的左右运动机构,以提高研磨效果,无需多个驱动机构带动节约成本;
支撑架1内设置有若干个导向辊27,若干个导向辊27的底端均转动安装有滑杆26,滑杆26滑动安装在支撑架1上开设的条形通道内,支撑架1上设置有用于调节两侧导向辊27之间距离的调节机构,调节机构包括转动安装在支撑架1下表面的双向螺纹杆23且双向螺纹杆23的端部安装有转把,同侧的若干个滑杆26的底端固定安装有同一个连接板25,两个连接板25分别螺纹安装在双向螺纹杆23的两段螺纹上,通过设置双向螺纹杆23和连接板25,利用转把带动双向螺纹杆23转动,双向螺纹杆23转动驱使两个连接板25相对靠近或相对远离,连接板25运动通过滑杆26带动导向辊27同步运动,实现对两侧导向辊27距离的调节工作,便于对基板的两侧进行限位导向,避免研磨过程中基板出现晃动的情况,以提高工作的稳定性;
双向螺纹杆23的两侧均设置有导杆24,两个导杆24均固定安装在支撑架1的下表面,连接板25滑动安装在两个导杆24的外表面,通过设置导杆24,利用导杆24对连接板25起到限位导向的作用,避免连接板25运动过程中出现转动晃动的情况,以提高连接板25运动的稳定性,进一步提高工作的稳定性;
通过设置气缸4、安装板5、转轴二29、研磨辊3和传送辊2,利用气缸4带动安装板5上下运动,安装板5运动带动上方的转轴二29和研磨辊3以及传送辊2同步上下运动,实现对上方研磨辊3和传送辊2的高度调节工作,便于对不同厚度的基板进行研磨,提高适用范围,通过设置电机一8、电机二9、传动机构一、传动机构二和限位板28,利用电机一8带动下方其中一个传送辊2转动,利用电机二9带动上方其中一个传送辊2转动,两个传送辊2通过传动机构一带动同侧的转轴二29和传送辊2同步转动,转轴二29转动通过限位板28带动研磨辊3同步转动,实现对基板的输送和研磨同步进行,在上下料输送过程中进行研磨作业,便于对基板进行上料下料,提高工作效率,通过设置传动机构二、左右运动机构、移动架6和滑块7,下方转轴二29同步传动机构二驱使左右运动机构运行带动移动架6左右运动,移动架6运动配合滑块7带动两个研磨辊3同步左右运动,从而使得研磨辊3左右运动对基板表面进行研磨,进一步提高研磨效果,通过设置调节机构和导向辊27,利用调节机构调节两侧导向辊27之间的距离,能够对基板的两侧进行限位导向,避免研磨过程中基板出现晃动的情况,从而提高工作的稳定性。
本实用新型的工作方式是:使用时,首先将基板放置在上下传送辊2和上下研磨辊3之间,然后打开气缸4,利用气缸4带动安装板5向下运动,安装板5运动带动上方的转轴二29和研磨辊3以及传送辊2同步向下运动,使上方研磨辊3和传送辊2与基板相贴合,然后关闭气缸4,转动转把使转把带动双向螺纹杆23转动,双向螺纹杆23转动配合导杆24驱使两个连接板25相对靠近,连接板25运动通过滑杆26带动导向辊27同步运动,使两侧导向辊27与基板两侧相贴合,对基板的两侧进行限位导向,然后打开电机一8和电机二9,电机一8带动下方其中一个传送辊2转动,下方其中一个传送辊2转动通过单皮带轮一12和双皮带轮一10以及皮带一14带动下方另一个传送辊2和下方的转轴二29同步转动,同上,电机二9带动上方其中一个传送辊2转动,上方其中一个传送辊2转动通过单皮带轮二13和双皮带轮二11以及皮带二15带动上方另一个传送辊2和上方的转轴二29同步转动,转轴二29带动的同时带动研磨辊3转动,实现对基板传送工作和研磨工作的进行,同时下方转轴二29转动通过单皮带轮三16和皮带三17带动转杆18转动,转杆18转动通过锥齿轮19带动转轴一21转动,转轴一21转动带动转盘20转动,转盘20转动通过连杆22驱使移动架6左右运动,移动架6左右运动带动研磨辊3同步左右运动,使得研磨辊3转动对基板研磨的同时能够左右运动对基板进行研磨,从而提高研磨效果。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本实用新型,但所属领域的技术人员应该明白,在不脱离所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围内,在形式上和细节上可以对本实用新型做出各种变化,均为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种氮化铝基板表面研磨装置,其特征在于,包括支撑架(1),所述支撑架(1)的左右两侧均开设有开口且两个开口内壁的上表面均固定安装有若干个气缸(4),同侧的若干个所述气缸(4)活塞杆的端部固定安装有同一个安装板(5),所述支撑架(1)内设置有两个转轴二(29),两个所述转轴二(29)的外表面均设置有研磨辊(3),两个所述转轴二(29)的外表面均固定安装有若干个限位板(28),所述研磨辊(3)上开设有与配合限位板(28)使用的限位槽,所述研磨辊(3)的两侧均设置有两个传送辊(2),上方所述转轴二(29)与上方的两个传送辊(2)均转动安装在安装板(5)上,下方所述转轴二(29)与下方的两个传送辊(2)均转动安装在支撑架(1)上,所述支撑架(1)的侧面固定安装有电机一(8),下方其中一个所述传送辊(2)的端部与电机一(8)的输出轴固定连接,所述安装板(5)的侧面固定安装有电机二(9),上方其中一个所述传送辊(2)的端部与电机二(9)的输出轴固定连接,同一水平面位置处的所述传送辊(2)与转轴二(29)之间通过传动机构一传动连接,所述支撑架(1)内设置有移动架(6),下方所述研磨辊(3)转动安装在移动架(6)的外表面,上方所述研磨辊(3)的外表面固定安装有两个工字型的滑块(7),所述滑块(7)滑动安装在移动架(6)上开设的滑槽内,所述支撑架(1)上设置有用于驱使移动架(6)左右运动的左右运动机构,且所述左右运动机构与下方转轴二(29)之间通过转动机构二传动连接,所述支撑架(1)内设置有若干个导向辊(27),若干个所述导向辊(27)的底端均转动安装有滑杆(26),所述滑杆(26)滑动安装在支撑架(1)上开设的条形通道内,所述支撑架(1)上设置有用于调节两侧导向辊(27)之间距离的调节机构。
2.根据权利要求1所述的一种氮化铝基板表面研磨装置,其特征在于:所述传动机构一包括固定安装在下方转轴二(29)外表面的双皮带轮一(10),下方两个所述传送辊(2)的外表面均固定安装有单皮带轮一(12),所述单皮带轮一(12)与双皮带轮一(10)之间通过皮带一(14)传动连接,上方所述转轴二(29)的外表面固定安装有双皮带轮二(11),上方两个所述传送辊(2)的外表面均固定安装有单皮带轮二(13),所述单皮带轮二(13)与双皮带轮二(11)之间通过皮带二(15)传动连接。
3.根据权利要求1所述的一种氮化铝基板表面研磨装置,其特征在于:所述左右运动机构包括转动安装在支撑架(1)上的转轴一(21),所述转轴一(21)的底端固定安装有转盘(20),所述转盘(20)的下表面偏心转动安装有连杆(22),所述连杆(22)的另一端转动安装在移动架(6)上。
4.根据权利要求1所述的一种氮化铝基板表面研磨装置,其特征在于:所述调节机构包括转动安装在支撑架(1)下表面的双向螺纹杆(23)且双向螺纹杆(23)的端部安装有转把,同侧的若干个所述滑杆(26)的底端固定安装有同一个连接板(25),两个所述连接板(25)分别螺纹安装在双向螺纹杆(23)的两段螺纹上。
5.根据权利要求4所述的一种氮化铝基板表面研磨装置,其特征在于:所述双向螺纹杆(23)的两侧均设置有导杆(24),两个所述导杆(24)均固定安装在支撑架(1)的下表面,所述连接板(25)滑动安装在两个导杆(24)的外表面。
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