CN219836477U - 一种钨粉加料氮气置换装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种钨粉加料氮气置换装置，包括反应器、密闭钨粉加料漏斗和钨粉加料漏斗，反应器和密闭钨粉加料漏斗之间通过反应器钨粉进料管连接，密闭钨粉加料漏斗和钨粉加料漏斗之间通过钨粉加料管连接；反应器钨粉进料管上连接有氮气输入管路，钨粉加料管上连接有气体输出管；反应器钨粉进料管上依次设置有自动阀A和自动阀B；钨粉加料管上依次设置有自动阀C和自动阀D。本实用新型钨粉加料氮气自动置换装置可自动完钨粉加料工作中的氮气置换空气避免空气进入反应器的工作，实现氮气置换过程的无人化、自动化，降低生产成本，提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及六氟化钨生产技术领域，具体涉及一种钨粉加料氮气置换装置。
背景技术
六氟化钨是半导体芯片工业中使用的一种气体，目前六氟化钨主要生产方式是在反应器内钨粉氟化生成六氟化钨。反应过程不断消耗反应器内的钨粉，需要定期对反应器补加钨粉。补加钨粉过程中，会将空气带入反应器内，加完钨粉需要对反应器进行氮气置换，将空气置换出来。为了提高置换效率，提出一种钨粉加料氮气置换装置自动控制完成氮气置换。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种钨粉加料氮气置换装置，该装置可实现自动完成钨粉加料工作中的氮气置换空气的工作，实现氮气置换过程的无人化、自动化，降低生产成本，提高生产效率。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：包括反应器、密闭钨粉加料漏斗和钨粉加料漏斗，所述反应器和所述密闭钨粉加料漏斗之间通过反应器钨粉进料管连接，所述密闭钨粉加料漏斗和所述钨粉加料漏斗之间通过钨粉加料管连接；所述反应器钨粉进料管上连接有氮气输入管路，所述钨粉加料管上连接有气体输出管；所述反应器钨粉进料管上依次设置有自动阀A和自动阀B；所述钨粉加料管上依次设置有自动阀C和自动阀D；所述气体输出管上依次设置有自动阀E、自动阀F和单向阀A；所述氮气输入管路上依次设置有自动阀J、自动阀G、自动阀H和单项阀B；
所述密闭钨粉加料漏斗的内侧壁上设置有固定装置，所述固定装置的一端通过转轴与钨粉储存筒连接，所述密闭钨粉加料漏斗的内侧壁上还设置有转轴控制器；所述密闭钨粉加料漏斗的外壁上设置有振动器B；所述钨粉加料漏斗的外壁上设置有振动器A。
优选地，所述氮气输入管路和所述反应器之间通过管路连接，所述管路上设置有自动阀I和单向阀C。
优选地，所述自动阀A、自动阀B、自动阀C、自动阀D、自动阀E、自动阀F、自动阀G、自动阀H、自动阀I、自动阀J、单向阀A、单项阀B、单向阀C、振动器A、振动器B和转轴控制器均由控制器控制自动运行。
优选地，所述管路与所述氮气输入管路连接的一端位于所述自动阀G和所述自动阀J之间。
优选地，所述气体输出管与所述钨粉加料管连接的一端位于所述自动阀C和所述自动阀D之间。
优选地，所述氮气输入管路与所述反应器钨粉进料管连接的一端位于所述自动阀A和所述自动阀B之间。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
本实用新型钨粉加料氮气置换装置，氮气置换过程全自动进行，降低员工的劳动强度，避免员工进入车间的安全风险，可提前准备和完成氮气置换工作，使装置处于随时可以进行钨粉加料的状态，提高加料的工作效率。
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
附图标记说明：
1—反应器；2—反应器钨粉进料管；3—自动阀A；4—自动阀B；5—密闭钨粉加料漏斗；6—固定装置；7—转轴；8—转轴控制器；9—钨粉储存筒；10—自动阀C；11—自动阀D；12—钨粉加料管；13—钨粉加料漏斗；14—振动器A；15—气体输出管；16—自动阀E；17—自动阀F；18—单向阀A；19—振动器B；20—自动阀G；21—自动阀H；22—单项阀B；23—氮气输入管路；24—自动阀I；25—单向阀C；26—控制器；27—自动阀J。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
如图1所示，本实用新型钨粉加料氮气置换装置，包括反应器1、密闭钨粉加料漏斗5和钨粉加料漏斗13，所述反应器1的上端和所述密闭钨粉加料漏斗5的下端之间通过反应器钨粉进料管2连接，所述密闭钨粉加料漏斗5的上端和所述钨粉加料漏斗13的下端之间通过钨粉加料管12连接；所述反应器钨粉进料管2上连接有氮气输入管路23，所述钨粉加料管12上连接有气体输出管15；所述反应器钨粉进料管2上依次设置有自动阀A3和自动阀B4；所述钨粉加料管12上依次设置有自动阀C10和自动阀D11；所述气体输出管15上依次设置有自动阀E16、自动阀F17和单向阀A18；所述氮气输入管路23上依次设置有自动阀G20、自动阀H21、单项阀B22和自动阀J27；所述氮气输入管路23和所述反应器1之间通过管路连接，所述管路上设置有自动阀I24和单向阀C25；
所述密闭钨粉加料漏斗5的内侧壁上设置有固定装置6，所述固定装置6的一端通过转轴7与钨粉储存筒9的底部连接，所述密闭钨粉加料漏斗5的内侧壁上还设置有转轴控制器8；所述密闭钨粉加料漏斗5的下部设置有振动器B19；所述钨粉加料漏斗13的外壁上设置有振动器A14；
所述自动阀A3、自动阀B4、自动阀C10、自动阀D11、自动阀E16、自动阀F17、自动阀G20、自动阀H21、自动阀I24、自动阀J27、单向阀A18、单项阀B22、单向阀C25、振动器A14、振动器B19和转轴控制器8均由控制器26控制自动运行均由控制器26控制。
本实施例中，所述管路与所述氮气输入管路23连接的一端位于所述自动阀G20和所述自动阀J27之间；所述气体输出管15与所述钨粉加料管12连接的一端位于所述自动阀C10和所述自动阀D11之间；所述氮气输入管路23与所述反应器钨粉进料管2连接的一端位于所述自动阀A3和所述自动阀B4之间。
使用本实施例的钨粉加料氮气置换装置的步骤为：
S1、需要钨粉加料氮气控制装置进行氮气置换工作时，操作人员发出申请；
S2、控制器26向中控室的管理人员发出自动氮气置换申请，管理人员同意后，钨粉加料氮气置换装置开始运行；
S3、在控制器26的控制下，打开自动阀C10、自动阀D11，关闭自动阀A3、自动阀B4、自动阀E16、自动阀F17、自动阀G20、自动阀H21、自动阀I24、自动阀J27，在振动器A14振动的作用下，倒入钨粉加料漏斗13内的钨粉，经过钨粉加料管12，流入钨粉储存桶9内；
S4、在控制器26的控制下，打开自动阀B4、自动阀C10、自动阀E16、自动阀F17、自动阀G20、自动阀H21、自动阀J27，关闭自动阀A3、自动阀D11、自动阀I24，从氮气输入管路23通入氮气，氮气经过密闭钨粉加料漏斗5，从气体输出管路15流出，通入的氮气将密闭钨粉加料漏斗5内的空气逐渐置换干净；
S5、在控制器26的控制下，打开自动阀A3、自动阀B4，关闭自动阀C10、自动阀D11、自动阀E16、自动阀F17、自动阀G20、自动阀H21、自动阀I24、自动阀J27，转轴控制器8控制转轴7将钨粉储存筒9翻转，将钨粉倒入密闭钨粉加料漏斗5，在振动器B19的振动下，钨粉经过自动阀A3、自动阀B4、反应器钨粉进料管2，进入反应器1中；
S6、在控制器26的控制下，打开自动阀A3、自动阀B4、自动阀C10、自动阀E16、自动阀F17、自动阀G20、自动阀H21、自动阀I24，关闭自动阀J27、自动阀D11，从氮气输入管路23通入氮气，氮气经过反应器1和密闭钨粉加料漏斗5内，从气体输出管路15流出，通入的氮气将反应器1内残留的空气逐渐置换干净；
S7、在控制器26的控制下，关闭自动阀A3、自动阀B4、自动阀C10、自动阀D11、自动阀E16、自动阀F17、自动阀G20、自动阀H21、自动阀I24、自动阀J27，氮气置换工作完成。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制。凡是根据实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
Claims (6)
1.一种钨粉加料氮气置换装置，其特征在于，包括反应器(1)、密闭钨粉加料漏斗(5)和钨粉加料漏斗(13)，所述反应器(1)和所述密闭钨粉加料漏斗(5)之间通过反应器钨粉进料管(2)连接，所述密闭钨粉加料漏斗(5)和所述钨粉加料漏斗(13)之间通过钨粉加料管(12)连接；所述反应器钨粉进料管(2)上连接有氮气输入管路(23)，所述钨粉加料管(12)上连接有气体输出管(15)；所述反应器钨粉进料管(2)上依次设置有自动阀A(3)和自动阀B(4)；所述钨粉加料管(12)上依次设置有自动阀C(10)和自动阀D(11)；所述气体输出管(15)上依次设置有自动阀E(16)、自动阀F(17)和单向阀A(18)；所述氮气输入管路(23)上依次设置有自动阀J(27)、自动阀G(20)、自动阀H(21)和单项阀B(22)；
所述密闭钨粉加料漏斗(5)的内侧壁上设置有固定装置(6)，所述固定装置(6)的一端通过转轴(7)与钨粉储存筒(9)连接，所述密闭钨粉加料漏斗(5)的内侧壁上还设置有转轴控制器(8)；所述密闭钨粉加料漏斗(5)的外壁上设置有振动器B(19)；所述钨粉加料漏斗(13)的外壁上设置有振动器A(14)。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述氮气输入管路(23)和所述反应器(1)之间通过管路连接，所述管路上设置有自动阀I(24)和单向阀C(25)。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述自动阀A(3)、自动阀B(4)、自动阀C(10)、自动阀D(11)、自动阀E(16)、自动阀F(17)、自动阀G(20)、自动阀H(21)、自动阀I(24)、自动阀J(27)、单向阀A(18)、单项阀B(22)、单向阀C(25)、振动器A(14)、振动器B(19)和转轴控制器(8)均由控制器(26)控制自动运行。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述管路与所述氮气输入管路(23)连接的一端位于所述自动阀G(20)和所述自动阀J(27)之间。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气体输出管(15)与所述钨粉加料管(12)连接的一端位于所述自动阀C(10)和所述自动阀D(11)之间。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述氮气输入管路(23)与所述反应器钨粉进料管(2)连接的一端位于所述自动阀A(3)和所述自动阀B(4)之间。
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